DE3332606A1 - Getter-sorptionspumpe mit waermespeicher fuer hochvakuum- und gasentladungsanlagen - Google Patents

Getter-sorptionspumpe mit waermespeicher fuer hochvakuum- und gasentladungsanlagen

Info

Publication number
DE3332606A1
DE3332606A1 DE19833332606 DE3332606A DE3332606A1 DE 3332606 A1 DE3332606 A1 DE 3332606A1 DE 19833332606 DE19833332606 DE 19833332606 DE 3332606 A DE3332606 A DE 3332606A DE 3332606 A1 DE3332606 A1 DE 3332606A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
getter
sorption pump
individual
high vacuum
gas discharge
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
DE19833332606
Other languages
English (en)
Inventor
Heinz Ing.(grad.) 8019 Haslach Mägdefessel
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Siemens AG
Original Assignee
Siemens AG
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Siemens AG filed Critical Siemens AG
Priority to DE19833332606 priority Critical patent/DE3332606A1/de
Priority to EP84109511A priority patent/EP0144522A3/de
Priority to US06/644,353 priority patent/US4571158A/en
Publication of DE3332606A1 publication Critical patent/DE3332606A1/de
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
    • F04B37/00—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00
    • F04B37/02—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00 for evacuating by absorption or adsorption
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J7/00—Details not provided for in the preceding groups and common to two or more basic types of discharge tubes or lamps
    • H01J7/14—Means for obtaining or maintaining the desired pressure within the vessel
    • H01J7/18—Means for absorbing or adsorbing gas, e.g. by gettering

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)

Description

2_ " "" 3332806
SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT Unser Zeichen Berlin und München VPA 33 ρ f g 5 7 QE
Getter-Sorptionspumpe mit Wärmespeicher für Hochvakuum- und Gasentladunqsanlaqen
Die Erfindung betrifft eine Getter-Sorptionspumpe für Hochvakuum- und Gasentladungsanlagen mit mindestens einem Getterkörper aus nichtverdampfendem Gettermaterial und einem zugehörigen Heizelement.
Um eine große Pumpleistung zu erzielen, mußten bisher eine Vielzahl von Einzelgettern zusammengeschaltet werden, wodurch sich der auf der Heizleistung bezogene Wirkungsgrad zunehmend verschlechterte, das Problem der Wärmeabführung sich vergrößerte sowie der Platzbedarf für die Unterbringung der Einzelgetter sich problematisch erhöhte. Um die Pumpleistung über längere Zeit zu stabilisieren mußte ständig Heizleistung zugeführt werden.
Da die gebräuchlichen Getterstoffe ihre optimalen Pumpfähigkeiten für verschiedene Gase nur bei bestimmten Temperaturen entfalten (selektive Pumpeigenschaften), mußte die Arbeitstemperatur entweder variiert werden oder mit mindestens zwei Heizstromkreisen die einzelnen Getter auf unterschiedliche Temperaturen gehalten werden.
In der Anwendungspraxis wurden diese notwendigen Maßnahmen in der Regel vernachlässigt, so daß die optimalen Gettereigenschaften der nichtverdampfenden Getter ungenutzt blieben. Auch die bisher bekannten Getterpumpen, die an Stelle vieler Einzelgetter einen größeren kompakten Getterkörper besitzen, weisen die wesentlichsten genannten Nachteile auf.
Rb 1 Kth / 09.09.1983
-Z- VPA 83 P 1 66 7DE
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, die spezifische Leistungsfähigkeit von Getterpumpen bei gleichzeitiger Herabsetzung der erforderlichen Heizleistung zu erhöhen und mit Hilfe einer Wärmespeicherung langzeitig zu stabilisieren sowie eine hohe Pumpgeschwindigkeit durch eine extrem große Oberfläche auf kleinstem Raum zu erreichen.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch eine Getter-Sorptionspumpe mit den Merkmalen des Anspruchs 1 gelöst. 10
Weitere vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung sind Gegenstand zusätzlicher Ansprüche.
Die Pumpgeschwindigkeit eines Getterkörpers erhöht sich mit seiner Oberfläche, d.h. auch mit seiner Porösität, die Kapazität hingegen mit seiner Masse. Beide Faktoren zusammen bestimmen die zeitliche Stabilität über die sorbierte Gasmenge. Ferner wird diese Stabilität von der gasartabhängigen Arbeitstemperatur beeinflußt. 20
Die Herabsetzung der erforderlichen Heizleistung gegenüber der Verwendung von vielen Einzelgettern ergibt sich aus der wirtschaftlicheren Ausnutzung der Heizleistung aus dem Heizelement, z.B. einer Heizspirale (weniger Strahlungsverluste).
Die Wärmespeicherung wird durch die in die Konstruktion integrierte Keramikmasse erzielt. Die Möglichkeiten sind außerordentlich vielseitig und zweckdienlich optimierbar. 30
Ein weiterer Vorteil der energiesparenden Wärmespeicherung ist, daß die wärmebedingte gute Pumpwirkung längere Zeit erhalten bleibt, nachdem die Heizspannung abgeschaltet ist. Eine solche Abschaltung ist z.B. unbedingt
-1- VPA 83 P 1 6 6 7 DE
erforderlich in Nuklear-Beschleunigeranlagen, um Störungen durch Fremdfelder zu vermeiden.
Außerdem wirkt sich die langsame Abkühlung des Getterkörper dadurch vorteilhaft aus, daß die temperaturbedürftigen selektiven optimalen Pumpbereiche sehr langsam durchfahren und damit alle wichtigen gasartbedingten Sorptionsmaxima erfaßt werden.
Die Erfindung wird anhand von Ausführungsbeispielen weiter erläutert. Teile, die nicht unbedingt zum Verständnis der Erfindung beitragen, sind in den Figuren unbezeichnet oder weggelassen. Einander entsprechende Teile sind in den Figuren mit den gleichen Bezugszeichen versehen.
Es zeigen schematisch teilweise im Schnitt:
Fig. 1 eine erfindungsgemäße Getter-Sorptionspumpe und die
Fig. 2 und 3 weitere Ausführungsbeispiele der erfindungsgemäßen Getter-Sorptionspumpe.
Die in Fig. 1 dargestellte Getter-Sorptionspumpe besteht im wesentlichen aus dem Heizelement 1, das in einem Isolierrohr 2 angeordnet ist. Die Vielzahl von Einzelgetterkörpern 3 ist voneinander beabstandet auf dem Isolier- · rohr 2 angebracht. Diese Anordnung ist von einem Pumpgefäß 7 umgeben, das mit einem Pumpflansch 8 an die Hochvakuumanlage angeschlossen werden kann. Die Heizanschlüsse 9 sind durch das Pumpgefäß 7 hindurchgeführt.
Fig. 2 zeigt wiederum das mit dem Heizelement 1 versehene, vorzugsweise aus Keramik bestehende und als Wärmespeicher dienende Isolierrohr 2. In diesem Ausführungsbeispiel sind die Einzel-Getterkörper 3 auf Metallscheiben 5 auf-
-/- VPA 83 P 1 6 6 7 DE
gebracht. Die Metallscheiben 5 sind mit Abstandssicken 6 versehen. Die Metallscheiben 5 können auch als Rohransatzteile ausgebildet sein. Damit wird sowohl eine gut wärmeleitende Verbindung mit dem Isolierrohr 2 als auch der gewünschte Abstand der einzelnen Metallscheiben geschaffen.
In Fig. 3 ist eine Getter-Sorptionspumpe dargestellt ,bei der die auf das Isolierrohr 2, in dem das Heizelement 1 verläuft, aufgebrachten Einzel-Getterkörper 3 durch Metall- oder Keramikringe 4 voneinander beabstandet sind.
5 Patentansprüche
3 Figuren
- Leerseite -

Claims (5)

  1. Patentansprüche
    . /i7) Getter-Sorptionspumpe für Hochvakuum- und Gasentladungsanlagen mit mindestens einem Getterkörper aus nichtverdampfendem Gettermaterial und einem zugehörigen Heizelement, dadurch gekennzeichnet, daß das Heizelement (1) in einem Isolierrohr (2) angeordnet ist, und daß eine Vielzahl von Einzel-Getterkörpern (3) voneinander beabstandet auf dem Isolierrohr (2) angebracht ist.
    10
  2. 2. Getter-Sorptionspumpe nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Einzel-Getterkörper (3) durch Metall- oder Keramikringe (4) voneinander beabstandet sind.
  3. 3. Getter-Sorptionspumpe nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Einzel-Getterkörper (3) auf Metallscheiben (5) aufgebracht sind, die mit Abstandssicken (6) versehen sind.
  4. 4. Getter-Sorptionspumpe nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Metallscheiben (5) aus Molybdän oder Wolfram bestehen.
  5. 5. Getter-Sorptionspumpe nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Einzel-Getterkörper (5) aus Zirkon, Titan, Thorium, Tantal, Platin, Niob, Cer, Palladium sowie deren Mischungen oder Legierungen bestehen.
DE19833332606 1983-09-09 1983-09-09 Getter-sorptionspumpe mit waermespeicher fuer hochvakuum- und gasentladungsanlagen Withdrawn DE3332606A1 (de)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19833332606 DE3332606A1 (de) 1983-09-09 1983-09-09 Getter-sorptionspumpe mit waermespeicher fuer hochvakuum- und gasentladungsanlagen
EP84109511A EP0144522A3 (de) 1983-09-09 1984-08-09 Getter-Sorptionspumpe mit Wärmespeicher für Hochvakuum- und Gasentladungsanlagen
US06/644,353 US4571158A (en) 1983-09-09 1984-08-27 Getter sorption pump with heat accumulator for high-vacuum and gas discharge systems

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19833332606 DE3332606A1 (de) 1983-09-09 1983-09-09 Getter-sorptionspumpe mit waermespeicher fuer hochvakuum- und gasentladungsanlagen

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE3332606A1 true DE3332606A1 (de) 1985-03-28

Family

ID=6208667

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE19833332606 Withdrawn DE3332606A1 (de) 1983-09-09 1983-09-09 Getter-sorptionspumpe mit waermespeicher fuer hochvakuum- und gasentladungsanlagen

Country Status (3)

Country Link
US (1) US4571158A (de)
EP (1) EP0144522A3 (de)
DE (1) DE3332606A1 (de)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0910106A1 (de) * 1997-10-15 1999-04-21 SAES GETTERS S.p.A. Getter-pumpe mit hoher geschwindigkeit von Gassorption

Families Citing this family (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0238908A1 (de) * 1986-03-19 1987-09-30 Siemens Aktiengesellschaft Kryosorptionspumpe für ein thermisches Isoliervakuum im Läufer einer elektrischen Maschine mit supraleitender Erregerwicklung
USRE39802E1 (en) 1992-03-16 2007-08-28 Fujitsu Limited Storage medium for preventing an irregular use by a third party
JP3073590B2 (ja) * 1992-03-16 2000-08-07 富士通株式会社 電子化データ保護システム、使用許諾者側装置および使用者側装置
US5317900A (en) * 1992-10-02 1994-06-07 The Lyle E. & Barbara L. Bergquist Trust Ultrasensitive helium leak detector for large systems
US5328336A (en) * 1992-12-09 1994-07-12 Praxair Technology, Inc. Getter capsule
US5972183A (en) * 1994-10-31 1999-10-26 Saes Getter S.P.A Getter pump module and system
US5911560A (en) * 1994-10-31 1999-06-15 Saes Pure Gas, Inc. Getter pump module and system
US6109880A (en) * 1994-10-31 2000-08-29 Saes Pure Gas, Inc. Getter pump module and system including focus shields
US6142742A (en) * 1994-10-31 2000-11-07 Saes Pure Gas, Inc. Getter pump module and system
US5685963A (en) * 1994-10-31 1997-11-11 Saes Pure Gas, Inc. In situ getter pump system and method
IT237018Y1 (it) * 1995-07-10 2000-08-31 Getters Spa Pompa getter perfezionata in particolare per uno strumento dianalisi chimiche portatile
KR20010006278A (ko) * 1997-04-18 2001-01-26 사이스 푸어 가스 인코포레이티드 인시튜 게터펌프시스템 및 방법
US6988924B2 (en) * 2003-04-14 2006-01-24 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Method of making a getter structure
US7045958B2 (en) * 2003-04-14 2006-05-16 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Vacuum device having a getter
WO2005090795A1 (ja) * 2004-03-23 2005-09-29 Kyoto University ポンプ装置及びそのポンプユニット
JP6095586B2 (ja) * 2013-01-25 2017-03-15 有限会社真空実験室 ゲッター部材収納具、ゲッター装置及びゲッターポンプ

Family Cites Families (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2899257A (en) * 1959-08-11 Getter for electron discharge device
US2130190A (en) * 1936-03-18 1938-09-13 Rca Corp Getter for vacuum tubes
US3081413A (en) * 1952-07-19 1963-03-12 Gen Electric X-ray tube with gas gettering means
US2890319A (en) * 1957-09-16 1959-06-09 Tung Sol Electric Inc Fast-heating hydrogen reservoir
US3167678A (en) * 1961-06-19 1965-01-26 Gen Electric Getter operating at various temperatures to occlude various gases
US3381805A (en) * 1966-07-08 1968-05-07 Getters Spa Getter assembly having support of low thermal conductivity
US3390758A (en) * 1967-03-21 1968-07-02 Union Carbide Corp Getter assembly
NL163054C (nl) * 1968-08-10 1980-07-15 Getters Spa Niet-verdampende getterinrichting.
DE2034633C3 (de) * 1969-07-24 1979-10-25 S.A.E.S. Getters S.P.A., Mailand (Italien) Kartusche für eine Getterpumpe
US4137012A (en) * 1976-11-03 1979-01-30 S.A.E.S. Getters S.P.A. Modular getter pumps
JPS53121210A (en) * 1977-03-30 1978-10-23 Hitachi Ltd Non-evaporation type getter pump
JPS53131511A (en) * 1977-04-22 1978-11-16 Hitachi Ltd Non-evaporation type cetter pump
US4515528A (en) * 1983-07-05 1985-05-07 General Electric Company Hydrocarbon getter pump

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0910106A1 (de) * 1997-10-15 1999-04-21 SAES GETTERS S.p.A. Getter-pumpe mit hoher geschwindigkeit von Gassorption
US6149392A (en) * 1997-10-15 2000-11-21 Saes Getters S.P.A. Getter pump with high gas sorption velocity

Also Published As

Publication number Publication date
EP0144522A3 (de) 1986-10-15
EP0144522A2 (de) 1985-06-19
US4571158A (en) 1986-02-18

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE3332606A1 (de) Getter-sorptionspumpe mit waermespeicher fuer hochvakuum- und gasentladungsanlagen
DE2034633B2 (de) Kartusche für eine Getterpumpe
DE2446833A1 (de) Getterpumpe
WO1988009578A1 (en) Gas laser
EP0560436A1 (de) Kathode mit einem Festkörperelement
EP0596854A1 (de) Katalysator
EP0617650B1 (de) Verfahren zum verlöten von trägerkörpern von abgaskatalysatoren
DE2336278C2 (de) Gas/Flüssigkeits-Trenneinheit
DE3321718A1 (de) Waelzkolbenpumpe
DE3232324A1 (de) Refrigerator-betriebene kryopumpe
DE69022487T2 (de) Vorrichtung zum Verdampfen von Substanzen.
DE3332647A1 (de) Getter-sorptionspumpe mit waermespeicher fuer hochvakuum- und gasentladungsanlagen
DE3332660A1 (de) Getter-sorptionspumpe mit waermespeicher fuer hochvakuum- und gasentladungsanlagen
DE3332608A1 (de) Getter-pumpe fuer hochvakuum- und gasentladungsanlagen
DE2434297A1 (de) Koerniges filtermaterial
DE3521255C3 (de) Gasgekühlter Stromleiter
CH660253A5 (de) Gasisolierter durchfuehrungsisolator.
DE2426387A1 (de) Bauelement fuer vakuumpumpen
DE2249741C3 (de) Erhitzungssystem für eine Heißgasmaschine
DE3400901A1 (de) Gespaltenes brennelement fuer einen kernreaktor, insbesondere siedewasserreaktor
DE1174379B (de) Verfahren zur Herstellung von Elektrodenplatten fuer Bleiakkumulatoren
DE4233352B4 (de) Wanderfeldröhre
EP0739647A1 (de) Kapillarverdampfer
EP0220434A2 (de) Filter für den Abgasstrom einer Brennkraftmaschine
DE3931082C2 (de) Gaslaser

Legal Events

Date Code Title Description
8130 Withdrawal