DE272913C - - Google Patents

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DE272913C
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    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/004Photosensitive materials
    • G03F7/09Photosensitive materials characterised by structural details, e.g. supports, auxiliary layers
    • G03F7/094Multilayer resist systems, e.g. planarising layers

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Architecture (AREA)
  • Structural Engineering (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Photosensitive Polymer And Photoresist Processing (AREA)

Description

KAISERLICHES
PATENTAMT.
PATENTSCHRIFT
KLASSE 57 rd. GRUPPE
Dr. EUGEN ALBERT in MÜNCHEN.
lichtempfindlichen Schicht.
Zusatz zum Patent 216476.
Patentiert im Deutschen Reiche vom 25. Dezember 1912 ab. Längste Dauer: 6. Dezember 1922.
Nach dem Patent 216476 wird ein dickflüssiges Lösungsmittel zur Beseitigung des zwischen Druckplatte und lichtempfindlicher Schicht ruhenden Ätzgrundes verwendet, da bei dünnflüssigen immer die Gefahr besteht, daß sie durch die schützende Kopie hindurchdringen, bevor der Deckgrund in Lösung gegangen ist.
Das Lösungsmittel muß, wenn es den freiliegenden Deckgrund gelöst hat, an der weiteren Wirkung möglichst schnell gehindert werden, wozu aus wirtschaftlichen Gründen Wasser vorgeschlagen wurde.
Des ferneren ist dort beschrieben, daß durch Säuren und Basen die Lösungsfähigkeit für den Harzgrund außerordentlich gesteigert werden kann.
Die Bedingung der plötzlichen Lösungsunterbrechung auf dem Wege der Abspülung durch Wasser besteht nur bei leicht flüchtigen Stoffen, wie Alkohol; werden aber die lösenden Eigenschaften der Säuren und Basen durch Mischung derselben mit dickflüssigen Stoffen von geringer Flüchtigkeit unter gänzlicher oder teilweiser Ausschaltung alkoholischer Substanzen verwertet, so kann eine derartige Flüssigkeit von der Platte abgewischt werden. Zum vollen Erfolge für ein sicheres und rationelles Arbeiten ist es aber, was Gegenstand vorliegender Erfindung ist, noch nötig, die durch eine Base oder Säure bedingte Lösungsfähigkeit des Gemisches durch chemische Einwirkung zu zerstören, wobei sich dann meistens Salze ohne jede Lösungskraft bilden werden. Z. B. wird ein Lösungsgemisch mit einer Säure als lösendes Prinzip in der dünnen Verteilung auf einer abgewischten Platte in dem Momente aller Lösungsfähigkeit beraubt, indem sie mit Ammoniakdämpfen in Berührung kommt.

Claims (1)

  1. Patent-Anspruch:
    Ausführungsart des durch Patent 216476 geschützten Verfahrens, dadurch gekenn- 4^ zeichnet, daß man die Lösungskraft einer den Deckgrund lösenden Flüssigkeit durch Einwirkung chemischer Mittel aufhebt.
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