DE2725389A1

DE2725389A1 - Elektrolyse-abscheideverfahren

Info

Publication number: DE2725389A1
Application number: DE19772725389
Authority: DE
Inventors: Tatsuo Kikuchi; Kenji Ogisu; Eiji Tanaka; Shin-Ichi Tokumoto; Toshiro Tsumori; Kanagawa Yokohama
Original assignee: Sony Corp
Current assignee: Sony Corp
Priority date: 1976-06-04
Filing date: 1977-06-04
Publication date: 1977-12-15
Also published as: CA1117468A; FR2353652A1; SE440797B; AU514658B2; NL7706223A; DE2725389C2; GB1579890A; AU2566877A; JPS52148539A; FR2353652B1; SE7706497L; US4113581A; JPS597357B2

Description

Die Erfindung bezieht sich auf ein Elektrolyse-Ahscheideverfahren und insbesondere auf ein solches unter Verwendung eines Salzschmelze-Elektrolyten.

Wenn ein Metall oder eine Legierung wie Titan kannte Salzschmelze-Elektrolyseverfahrer abgeschieder wird, wird das abgeschiedene Metall oder dessen Legierung im allgemeinen nur als Pulver, körnige Kristalle, als Dendrit oder als Schwamm erhalten. Wenn solch ein abgeschiedenes Metallmaterial gesammelt wird, geht eire

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erhebliche Menge des Elektrolyten während der Entfernung des abgeschiedenen Materials aus dem Elektrolysebad verloren. Wenn das abgeschiedene Metall oder die Legierung z.B. Titan gegenüber Sauerstoff oder dergleichen relativ aktiv ist, wird es durch Sauerstoff oder andere Fremdstoffe infolge der zuvor erwähnten Oberflächenformen leicht verunreinigt und es treten verschiedene Schwierigkeiten bei der nachfolgenden Verarbeitung solcher Materialien auf.

Es wurden verschiedene Elektrolyseabscheideverfahren vorgeschlagen, bei denen ein Salzschmelze-Elektrolysebad verwendet wird, so daß selbst ein Metall, dessen kompakte Abscheidung als schwierig angesehen wurde, mit einer plattenähnlichen bzw. ebenen Oberfläche abgeschieden wird, so daß ein kompaktes Material mit einer bestimmten Dicke erhalten wird, das durch Walz- oder andere Formvorgänge leicht bearbeitet werden kann (J. of Metals, Band 27, Nr. 11, November 1975, Seiten 18 bis 23). Außerdem wurdenElektrolyseabscheideverfahren vorgeschlagen, wie sie in der US-PS 4 016 052 und der US-Patentanneldung 613 513 beschrieben sind, bei denen man Feststoffpartikel in einem Salzschmelze-Elektrolysebad dispergiert und eine relative Strömungsgeschwindigkeit zwischen dem Elektrolyten, der die Feststoffpartikel enthält, und der Abscheidekathode erzeugt, um eine verbesserte Abscheidung zu erhalten.

Selbst wenn bei diesen Verfahren in dem Bad zu dispergierende Feststoffpartikel von außen eingebracht werden, können Verunreinigungen auftreten, da eine Komponente wie ein Oxid, das von den ursprünglich im Elektrolyten vorhandenen Komponenten verschieden ist, in das Bad eingebracht werden kann. Solch ein Fremdstoff verursacht eine Verschlechterung der Qualität des abgeschiedenen

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Materials und erzeugt Schwierigkeiten, den Elektrolyten über eine längere Zeitperiode zu erhalten, ebenso wie andere Schwierigkeiten.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde ein Elektrolyse-Abscheideverfahren zu schaffen, bei dem Feststoffpartikel in das Salzschmelze-Elektrolysebad derart eingebracht werden, daß eine Verunreinigung der Partikel wie durch Oxidation oder dergleichen vermieden wird.

Weiterhin soll ein Elektrolyse-Abscheideverfahren geschaffen werden, bei dem Feststoffpartikel in einem Salzschmelze-Elektrolysebad dispergiert werden und ein bestimmtes Metall oder eine Legierung aus dem Bad auf einer ^bscheideflache abgeschieden wird, wobei die Oberfläche der Ablagerung relativ glatt und flach bleibt.

Gelöst wird diese Aufgabe gemäß der Erfindung durch die im Anspruch 1 angegebenen Merkmale.

Die Erfindung wird nachstehend anhand der Figuren 1 bis 3 beispielsweise erläutert. Es zeigt:

Figur 1 einen Querschnitt einer Aus führungsform einer Hilfselektrolysezelle zur Erzeugung von Feststoffpartikeln, die zur Durchführung des Verfahrens gemäß der Erfindung verwendbar ist,

Figur 2 einen Querschnitt einer Ausführungsform einer Hauptelektrolysezelle für die Durchführung des Verfahrens gemäß der Erfindung, und

Figur 3 eine Fig. 1 und 2 ähnliche Darstellung einer Ausführungsform einer Elektrolysezelle zur Durchführung des Verfahrens gemäß der Erfindung.

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Der elektrolytische AbscheideVorgang besteht darin, statt Feststoffen einem Salzschmelze-Elektrolysebad von außen zuzufügen, wie dies beim Stand der Technik der Fall ist, Feststoffe eines bestimmten Metalls oder einer Legierung in einem Salzschmelze-Elektrolysebad zu erzeugen und diese Partikel in dem Bad zu dispergieren, ohne sie einer externen bzw. verschmutzenden Umgebung auszusetzen.

Dabei wird eine Hauptelektrolyseeinrichtung mit einer Hilfselektrolyseeinrichtung in einer Elektrolysezelle kombiniert, wobei metallische Feststoffe in der Zelle erzeugt und die elektrolytische Abscheidung des gewünschten Metalls dann aus dem Elektrolysebad bewirkt wird, das dispergierte Feststoffe enthält. Wenn daher Feststoffe in einem Elektrolysebad erzeugt und dispergiert werden, können keine Substanzen bzw. Verunreinigungen wie Oxide oder dergleichen in den Elektrolyten eingebracht werden. Dies führt zu einem elektrolytisch abgeschiedenen Material hoher Qualität und schafft ein Elektrolysebad, das leicht über eine lange Zeitperiode in gutem Zustand gehalten werden kann.

Die metallischen Feststoffe, die in dem Salzschmelze-Elektrolysebad dispergiert sind, sind auf keinen bestimmten Größenbereich begrenzt. Diese Feststoffe können in einem Salzschmelzeelektrolysebad dispergiert sein und eine relative Strömungsgeschwindigkeit kann zwischen dem Elektrolyten, der diese Partikel dispergiert erhalt, und einer Elektrolyseabscheidefläche (d.h. die Kathode) erzeugt werden, so daß ein bestimmtes Metall oder eine Legierung auf der Elektrolyseabscheidefläche durch Elektrolyse anwachsen kann, wobei die Oberfläche der Schicht relativ glatt, homogen und flach bleibt. Die dadurch erreichten Vorteile werden durch die durch die Feststoffe hervorgerufenen Vorgänge verursacht bzw. gefördert: Eine Erhöhung der Geschwindigkeit des Massen-

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transportes bestimmter Ionen, die Einstellung der Viskosität des Bereichs des Elektrolyten nahe der Abscheide- bzw. Kathodenoberfläche, eine mechanische Polierwirkung und andere vorteilhafte Vorgänge.

Wie sich aus den zuvor erwähnten, durch die Feststoffe hervorgerufenen Vorgängen ergibt, ist die Größe jedes Feststoffpartikels nicht notwendig auf einen bestimmten Größenbereich begrenzt. Wenn jeder Partikel relativ groß ist und in einem Salzschmelze-Elektrolysebad dispergiert wird, wird das elektrolytisch abgeschiedene Metall oder die Legierung reinigenden Aufprallströmungen ausgesetzt und es können verschiedene Schwierigkeiten und Nachteile auftreten, wenn solch ein Elektrolysebad, das relativ große Partikel enthält, umgerührt oder heftig bewegt wird, um die Partikel in angemessener Dispersion zu halten. Jeder Feststoffpartikel wird daher vorzugsweise auf einen mittleren Durchmesser von etwa 1 mm oder weniger gehalten.

Fig. 1 zeigt eine Hilfselektrolysezelle 1, die zur Erzeugung von metallischen Feststoffpartikeln verwendet werden kann. Die Zelle 1 enthält ein Elektrolysebad bzw. einen Elektrolyten 2, der allgemein aus geschmolzenen Chloridsalzen von Alkali und Alkalimetallen zusammen mit z.B. Titanchloridsalzen besteht. Eine Hilfskathode bzw. eine Elektrolyseabscheidefläche 3 ist in der Zelle z.B. in deren Mitte angeordnet, in dem Bad 2 unter der Badoberfläche 4 eingetaucht und funktionsmäßig mit einer gesteuerten elektrischen Energiequelle verbunden. Zwei Hilfsanoden 5 sind in gleicher Weise in der Zelle 1 an beiden Seiten der Kathode 3 angeordnet und funktionsmäßig mit einer gesteuerten !elektrischen Energiequelle verbunden. Eine Membran 6 ist um jede Hilfsanode in der gezeigten Weise angeordnet und hat einen Gasauslaß 7 zur Ableitung von während des Elektrolyseabscheidevorgangs erzeugten Gasen wie Cl₂ · Das Elektrolyeebad 2 wird unter dem Einfluß eines inerten Schutzgases wie

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Argon oder dergleichen gehalten. Ein Einlaß 8 für das inerte Gas ist mit dem Inneren der Zelle 1 und einer Quelle (nicht gezeigt) des inerten Gases verbunden. Ein Gasauslaß 9 ist in gleicher Weise mit dem Inneren der Zelle 1 zur Ableitung des inerten Gases verbunden, wenn dies erwünscht ist. Die Zelle 1 ist auch mit einer geeigneten Rühreinrichtung 10 wie Propellern versehen, um den Elektrolyten in der Zelle umzurühren, falls dies erwünscht ist. Eine Vorrichtung der zuvor beschriebenen Art ist zur Erzeugung von metallischen Feststoffpartikeln unter gesteuerten Bedingungen geeignet, wie die späteren Ausfiihrungsbeispiele zeigen.

Während des Betriebs der zuvor beschriebenen Hilfselektrolysezelle wird eine Metall- oder Legierungsschicht 12 auf der Hilfskathode 3 gebildet und Feststoffpartikel 12a des Metalls oder der Legierung werden von der Schichtfläche z.B. durch Kratzen mit einem axial beweglichen Kratzer entfernt, der mit einer geeigneten Antriebseinrichtung verbunden ist, die schematisch durch einen Doppelpfeil 11a angegeben ist. Die auf diese Weise entfernten Feststoffpartikel 12a werden in dem Elektrolysebad 2 mittels der Rühreinrichtung 10 in Disperson gehalten. Die Zelle 1 ist selbstverständlich mit einer Heizeinrichtung (nicht gezeigt) versehen, um das Bad 2 steuerbar auf einer bestimmten Elektrolysetemperatur zu halten. Zusätzlich ist die Zelle 1 mit einem gesteuerten Strömungsmittelkanal 1a versehen, um wahlweise den Elektrolyten zusammen mit den dispergierten Partikeln darin ohne Berührung mit der Luft zu entfernen.

Eine Hauptelektrolysezelle 21 zeigt Fig. 2, in der die Hauptabscheidung (eine gleichmäßige Abscheidung) eines bestimmten Metalls oder einer Legierung stattfindet. Diese Elektrolysezelle ist bekannt und kann in verschiedenen Ausführungsformen hergestellt werden; zur

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Erläuterung ist eine beispielsweise Ausfuhrungsform gezeigt. Die Elektrolysezelle 21 ist mit einem bestimmten Salzschmelze-Elektrolysebad bzw. einem Elektrolyten 22 versehen, der allgemein aus geschmolzenem Chlorid, Alkali und Erdalkalimetallsalzen besteht, die Chloridsalze eines bestimmten Metalls oder einer Legierung wie Al, Be, Mn, Ti, V, Zn, Zr usw oder Ti-Al, Ti-Fe, Ti-Mn usw. zusammen mit den zuvor beschriebenen metallischen Feststoffpartikeln 12a enthalten. Eine Drehkathode 2 3 ist in dem Bad angeordnet, so daß eine gewünschte Abscheidung auf deren Oberfläche auftritt. Eine Hauptanode 25 ist im Abstand von der Kathode 23 in dem Bad angeordnet und mit einer Membran 26 versehen, die die Anode 25 umgibt. Der Gasauslaß 27 ist mit der Anode 26 verbunden, um erzeugte Gase wie Chlor oder dergleichen abzuleiten. Ein gesteuerter Gaseinlaß 28 und ein Auslaß 29 für ein inertes Gas wie Argon können ebenfalls vorgesehen sein, um in der Zelle 21 eine Schutzatmosphäre zu schaffen. Ein gesteuerter Strömungsmittelkanal 21a ist vorgesehen, um die Zufuhr eines Elektrolyten zu ermöglichen, wenn dies erforderlich ist. Eine geeignete Rühreinrichtung wie ein Propeller ist ebenfalls in der Zelle 21 angeordnet, um den Elektrolyten in einem geeignet umgerührten Zustand zu halten. Bei dieser Art der Zellkonstruktion bewirkt das Pad 22, das metallische Feststoffpartikel 12a enthält (die durch den Hilfselektrolysevorgang erzeugt werden, der zuvor anhand der Fig. 1 beschrieben wurde) eine glatte und im wesentlichen homogene Abscheidung eines bestimmten Metalls oder einer Metallegierung.

Bei den Ausführungsbeispielen der Fig. 1 und 2 sind die Hilfselektrolysezelle 1 und die Hauptelektrolysezelle 21 getrennt gezeigt, jedoch kann auch eine integrierte Elektrolysezelle, wie sie Fig. 3 zeigt, verwendet werden, wobei eine Hilfselektrode und eine Hauptelektrode getrennt

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in einer einzigen Zelle angeordnet sind. Selbstverständlich können Elektrolysezellen mit anderen Formen als den zuvor beschriebenen verwendet werden.

Im folgenden werden Beispiele unter Verwendung von Titan als dem abzuscheidenden Metall im einzelnen beschrieben.

Beispiel I

A) Beispielsweises Verfahren zur Erzeugung von metallischen Feststoffpartikeln.

Bei der Vorrichtung der anhand der Fig. 1 beschriebenen Art wurden die folgenden Parameter festgelegt: Elektrolysezustand
Zusammensetzung des Elektrolyten (in Molteilen)

LiCl
KCl

1 ,000 0,681

TiCl. TiCl.

0,067
0,007

TiCl- wurde durch Reaktion von Titan mit Titantrichlorid entsprechend der folgenden Gleichung erhalten:

Ti + 2TiCl.

-> 3TiCl₂

Stromart und -dichte

Umrühren des Elektrolyten

Hilfskathode

Hilfsanode

Feststoffpartikel im Elektrolyten vor Betriebsbeginn

Elektrolysetemperatur

-2

Gleichstrom mit 20 A dm

Nein

Stationäre Elektrode, bestehend aus rostfreiem Stahl in Plattenform mit den ungefähren Abmessungen von 30 χ 50 χ 3 mm

stationäre plattenförmige Kohlen stof felektrode

Nein
45O°C

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Nach Beginn der Abscheidung wurden verbrauchte Titansalze in der erforderlichen Weise periodisch zugeführt:

B) Elektrolysebadzustand nach der Elektrolyse

Zusammensetzung des im wesentlichen die gleiche Elektrolyten wie vor der Elektrolyse

Partikel in dem Elektrolyten:

Während und nach Beendigung der Elektrolyse wurde das abgeschiedene Material von der Oberfläche der Hilfskathode z.B. durch die Gleitbewegung eines Kratzers entfernt und der Elektrolyt wurde z.B. durch einen Propeller umgerührt, um die Feststoffpartikel zu dispergieren. Danach wurde eine Probe des Elektrolyten entnommen und Titanpartikel mit einer mittleren Korngröße von etwa 150 um wurden festgestellt. Die Menge der Titanpartikel betrug etwa 50 Volumenprozent, bezogen auf das Gesamtvolumen des Bades.

C) Verfahren der gleichmäßigen Elektrolyseabscheidung (Hauptelektrolyseabscheidung) von Titan

Die Abscheidung wurde in einer Vorrichtung im wesentlichen gleich der anhand der Fig. 2 beschriebenen durchgeführt und die folgenden Parameter wurden eingestellt:

Elektrolysezustand

Zusammensetzung des im wesentlichen gleich dem Elektrolyten Elektrolysebad, das zuvor im

Abschnitt A) beschrieben wurde, es waren jedoch Titanpartikel dispergiert enthalten, die entsprechend dem vorherigen Abschnitt B) erzeugt wurden

Stromart und -dichte Gleichstrom von 20 A dm

Drehzahl der Rührpropelle 2000 U/min

Hauptkathode zylindrische Elektrode aus

rostfreiem Stahl mit einem Durchmesser von etwa 20 mm

Drehzahl der Hauptkathode 2000 ü/min

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Hauptanode

Elek troIy se tempe ratur

43

Im wesentlichen gleich der zuvor im Abschnitt A) beschriebenen Hilfsanode

45O°C

Abgeschiedenes Material:

Das abgeschiedene Material, d.h. die Schicht hatte nach Waschen mit z.B. Salzsäure eine glänzende glatte Oberfläche mit einer Qualität der Klasse 1 der Japanischen Industrienormen.

D) Verfahren der gleichmäßigen Elektrolyseabscheidung von

Titan
Elektrolysezustand

Zusammensetzung des Elektrolyten

Stromart und -dichte

Drehzahl der Rührpropeller

Hauptkathode Anode

Elektrolysetemperatur

im wesentlichen gleich dem des zuvor unter B) beschriebenen Elektrolyten

unterbrochener Gleichstrom von 30 A dm"² mit einer Dauer von 0,6 Sekunden und einer Unterbrechungszeit von 0,6 Sekunden

2000 U/min

gleich der wie zuvor unter B) gleich der wie zuvor unter B) aleich der wie zuvor unter B)

Abgeschiedenes Material:

Das abgeschiedene Material hatte nach Waschen eine glänzende glatte Oberfläche mit im wesentlichen der gleichen Qualität, die zuvor im Abschnitt B) erhalten wurde.

Beispiel II

A) Verfahren der Erzeugung von Metallpartikeln In der Vorrichtung der anhand der Fig. 1 beschriebenen Art wurden die folgenden Parameter eingestellt:

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Elektrolysezustand

Zusammensetzung des Elektrolyten (in Molteilen)

BaCl₂	0,374	KCl	0,305
MgCl₂	0,708	TiCl₂	0,243
CaCl₂	0,319	TiCl₃	O,O2O
NaCl	1 ,000

(TiCl₂ wurde durch die Reaktion von Titan und Titantrichlorid erhalten, wie zuvor beschrieben wurde.)

Stromart und -dichte unterbrochener Gleichstrom von

30 A dm~2 mit einer Dauer von 0,6 Sekunden und einer Unterbrechung szeit von 0,6 Sekunden

Umrühren des Elektrolyten Nein

Hilfskathode plattenförmige stationäre Elektrode

aus rostfreiem Stahl gleich der bei dem Beispiel I beschriebenen

Hilfsanode plattenförmige Kohlenstoffelektrode

mit den näherungsweisen Abmessungen von 30 χ 50 χ 5 mm

Metallpartikel im
Elektrolyten vor
Betriebsbeginn nein

Elektrolysetemperatur 46O°C

Während des Betriebs wurden verbrauchte Titansalze in der erforderlichen Weise periodisch zugeführt.

B) Badzustand nach der Elektrolyse

Zusammensetzung des im wesentlichen gleich der vor Elektrolyten der Elektrolyse

Partikel im Elektrolyten:

Nach Beendigung der Elektrolyse wurde das abgeschiedene Material geprüft und Titanpartikel mit einer mittleren Korngröße von etwa 200 um wurden festgestellt. Die Menge dieser Partikel betrug etwa 15 Volumenprozent.

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Ά -

C) Gleichmäßige Elektrolyseabscheidung von Titan Elektrolysezustand

Zusammensetzung des im wesentlichen gleich dem Elektrolyten Elektrolyter, der zuvor unter

H-A beschrieben wurde, jedoch mit Titanpartikeln, die wie zuvor unter H-B erzeugt wurden

Stromart und -dichte unterbrochener Gleichstrom von

50 A dm"² mit einer Dauer von 0,2 Sekunden und einer Unterbrechungszeit von 0,4 Sekunden

Drehzahl der Rührpropeller 2000 U/min

Hauptkathode zylindrische Elektrode aus rost

freiem Stahl mit einem Durchmesser von etwa 20 mm

Drehzahl der

Hauptkathode 2000 U/min

Hauptanode gleich der, die zuvor zur Erzeugung

der Metallpartikel unter H-B verwendet wurde

Elektrolysetemperatur 46O°C
Abgeschiedenes Material:

Das abgeschiedene Material hatte nach Waschen mit einer geeigneten Säure wie HCl die gleiche glänzende glatte und im wesentlichen homogene glatte Oberfläche, wie sie zuvor bei dem Beispiel I-C und D festgestellt wurde. Die Analyse des abgeschiedenen Titans durch ein Röntgenmikroanalysegerät ergab, daß die Qualität gleich der der Klasse 1 der Japanischen Industrienormen war.

Wie die vorherigen Beispiele zeigen, ergibt der Abscheidevorgang, bei dem metallische Feststoffpartikel eines bestimmten Metalls oder einer Legierung in einem Elektrolysebad durch eine Elektrolyseeinrichtung erzeugt und während der gleichmäßigen Abscheidung des Metalls oder der Metalllegierung dispergiert werden, durch Elektrolyse Ablagerungen hoher Qualität, so daß die Ablagerung relativ homogen ist, glatte ebene Flächen hat und ohne Schmelzen oder dergleichen zur Verwendung geeignet ist.

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Bei den zuvor beschriebenen Ausführungsbeispielen wurde reines Titan zur Erzeugung der metallischer Feststoffpartikel und zur Erzeugung einer flacher Schicht verwendet. Selbstverständlich können andere Metall- und Legierungspartikel in gleicher Weise in dem Elektrolysebad erzeugt und dispergiert werden, um eine Schicht eines anderen Metalls oder einer Legierung durch den zuvor beschriebenen gleichmäßigen Elektrolysevorgana abzuscheiden.

Die Erfindung kann mit einem Metall durchgeführt werden, das wenigstens aus der Al, Be, Mn, Ti, V, Zr, Zn und/ oder Legierungen davon wie Ti-Fe, Ti-Al, Ti-Mn usw. umfassenden Gruppe besteht.

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Leerseite

Claims

SONY CORPORATION Tokyo/Japan It 3923 Elektrolyse-Abscheideverfahren Patentansprüche

1. Elektrolyse-Abscheideverfahren, bei dem ein Salzschmelze-Elektrolysebad, das ein Salz eines bestimmten Metalls oder Metallbestandteilen einer bestimmten Legierung enthält, gebildet wird, und eine Hauptelektrode in dem Bad zur elektrolytischen Abscheidung des Metalls oder der Legierung aus dem Bad angeordnet wird, dadurch gekennzeichnet , daß eine Hilfselektrode im Abstand von der Hauptelektrode in
dem Bad angeordnet wird, daß Feststoffpartikel des
Metalls oder der Legierung auf der Hilfselektrode abgeschieden und in dem Bad dispergiert werden, und daß das Metall oder die Legierung auf der Hauptelektrode
aus dem die dispergierten Feststoffpartikel enthaltenden Bad abgeschieden werden.

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2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet , daß die Hilfselektrode mit einer Einrichtung zum Entfernen des darauf abgeschiedenen Materials versehen ist.

3. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet , daß das Salzschmelze-Elektrolysebad wenigstens Salz von Li, K und Ti enthält.

4. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet , daß das Salzschmelze-Elektrolysebad wenigstens Salz von Ba, Mg, K, Ca, Na und Ti enthält.

5. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet , daß eine Hauptelektrolysezelle und eine Hilfselektrolysezelle zur Abscheidung auf der Hilfselektrode und der Hauptelektrode verwendet werden.

6. Verfahren nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Hauptelektrolysezelle mit der Hauptelektrode und die Hilfselektrolysezelle mit der Hilfselektrode versehen ist.

7. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet , daß die Hauptelektrode und die Hilfselektrode in einer einzigen Elektrolysezelle angeordnet sind.

8. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet , daß ein Metall oder eine Metalllegierung mit einer glatten Oberfläche auf der Hauptelektrode abgeschieden wird.

9. Verfahren zur elektrolytischen Abscheidung von Titan oder einer Titanlegierung, dadurch g e k e η η -

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zeichnet, daß ein Alkalichlorid- und Erdalkalimetallsalz-Schmelzelektrolytbad gebildet wird, das ein Chloridtitansalz enthält und in dem Elektroden zur Abscheidung von Titan oder einer Titanlegierung angeordnet werden, daß Feststoffpartikel aus Titan oder einer Titanlegierung in dem Bad erzeugt und darin dispergiert werden, und daß Titan oder eine Titanleaieruna als im wesentlichen flache Schicht aus deir Rad abgeschieden werden.

10. Elektrolytisches Abscheideverfahren, dadurch g e k e η η zeichnet , daß ein Alkalichlorid- und Erdalkalimetallsalz-Schmelzelektrolysebad gebildet wird, das ein Chlorid eines Metalls enthält, das aus der Al, Be, Mn, Ti, V, Zr, Zn und Legierungen hiervon umfassenden Gruppe besteht, daß in dem Bad Elektroden zur Abscheidung des Metalls angeordnet sind, daß Feststoffpartikel des Metalls in dem Bad gebildet und die Partikel darin dispergiert werden, und daß das Metall als im wesentlichen homogene glatte Schicht aus dem Bad abgeschieden wird.

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