DE2720615A1 - Elektrisch leitfaehige schicht und verfahren zu deren herstellung - Google Patents

Elektrisch leitfaehige schicht und verfahren zu deren herstellung

Info

Publication number
DE2720615A1
DE2720615A1 DE19772720615 DE2720615A DE2720615A1 DE 2720615 A1 DE2720615 A1 DE 2720615A1 DE 19772720615 DE19772720615 DE 19772720615 DE 2720615 A DE2720615 A DE 2720615A DE 2720615 A1 DE2720615 A1 DE 2720615A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
electrically conductive
conductive layer
layer according
pyrolysis
semiconducting material
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
DE19772720615
Other languages
English (en)
Other versions
DE2720615C2 (de
Inventor
Peter Dipl Chem Ambros
Hermann Dipl Ing Geyer
Wolf-Erhard Dipl I Steigerwald
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Preh GmbH
Original Assignee
Preh GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Preh GmbH filed Critical Preh GmbH
Priority to DE19772720615 priority Critical patent/DE2720615C2/de
Priority to JP5282678A priority patent/JPS5416696A/ja
Priority to GB1808878A priority patent/GB1586384A/en
Priority to FR7813353A priority patent/FR2389984B1/fr
Priority to BR7802826A priority patent/BR7802826A/pt
Priority to AT333078A priority patent/AT364029B/de
Publication of DE2720615A1 publication Critical patent/DE2720615A1/de
Application granted granted Critical
Publication of DE2720615C2 publication Critical patent/DE2720615C2/de
Expired legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01C—RESISTORS
    • H01C7/00—Non-adjustable resistors formed as one or more layers or coatings; Non-adjustable resistors made from powdered conducting material or powdered semi-conducting material with or without insulating material
    • H01C7/06—Non-adjustable resistors formed as one or more layers or coatings; Non-adjustable resistors made from powdered conducting material or powdered semi-conducting material with or without insulating material including means to minimise changes in resistance with changes in temperature
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01C—RESISTORS
    • H01C17/00—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing resistors
    • H01C17/06—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing resistors adapted for coating resistive material on a base
    • H01C17/20—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing resistors adapted for coating resistive material on a base by pyrolytic processes

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Conductive Materials (AREA)
  • Laminated Bodies (AREA)
  • Apparatuses And Processes For Manufacturing Resistors (AREA)
  • Non-Adjustable Resistors (AREA)
  • Compositions Of Macromolecular Compounds (AREA)
  • Parts Printed On Printed Circuit Boards (AREA)

Description

P r e h £
Elektrofeinmechanische Werke
Jakob Preh Nachf.
Schweinfurter Str. 5
87^0 Bad Neustadt/Saale , den 4.5.1977
V77 pt.
Bsch/Gü
Elektrisch leitfähige Schicht und Verfahren zu deren Herstellung
Die Erfindung betrifft eine elektrisch leitfähige Schicht, bestehend aus einer gleichmäßigen Mischung einer elektrisch leitfähigen Komponente in Form von kleinsten Teilchen in einem elektrisch nichtleitenden, aushärtbaren Polymer, und ein Verfahren zu deren Herstellung.
Eine nach dem erfindungsgemäßen Verfahren hergestellte Schicht kann zur Herstellung von elektrischen Widerständen verwendet werden. Daneben kann die Schicht wie die meisten leitfähigen Schichten auch als Abschirmbeschichtung z.B. zum Zwecke einer Erdung von Behältnissen eingesetzt werden.
Besonders bei Verwendung von elektrischen Widerständen besteht die Forderung, daß der Temperaturkoeffizient der Schicht möglichst klein und über einen weiten Temperaturbereich konstant sein soll. Der Temperaturkoeffizient wird im allgemeinen dadurch ermittelt, daß die Änderung des Widerstandswertes bezogen auf den Wert bei Raumtemperatur durch den Widerstandswert bei Raumtemperatur und die Temperaturdifferenz dividiert wird. Der Temperaturkoeffizient spielt insbesondere eine Rolle bei Widerstandswerten mit kleinen Toleranzen, Besonders für Präzisionswiderstände ist daher ein kleiner und konstanter Temperaturkoeffizient eine wichtige Forderung.
609846/0515
Es ist bereits bekannt, Schichten für elektrische Widerstände in sogenannter organischer Dickschichttechnik herzustellen. Bei diesem Herstellungsverfahren werden elektrisch leitfähige Teilchen, wie z.B. Ruß, Graphit, Kohlenstoffaser, Silber, Nickel, Chrom oder auch Metallegierungen oder Metalloxyde, in einem organischen, elektrisch isolierenden und zugleich bindenden Polymer, wie z.B. Polyäthylen, oder Epoxyd- oder Phenolharze, so eingebettet, daß nach dem Aushärten eine elektrisch leitende Matrix gebildet wird, wobei die elektrische Leitfähigkeit der Schicht unter anderem durch die Füllkonzentration, Anordnung und elektrische Eigenschaften der dem Polymer beigemengten Teilchen bestimmt wird.
Der Temperaturkoeffizient ist bei einer Schicht, der Kohleteilchen beigemengt sind, von der Temperatur abhängig. Bei Metall-Metalloxydschichten kann der Temperaturkoeffizient auch durch die Schichtzusammensetzung beeinflußt werden, wobei er unabhängig vom Widerstandswert ist. Bei den Kohleschichtwiderständen ist die erreichbare elektrische Leitfähigkeit hin zu niedrigen Ohmwerten durch die relativ schlechte Leitfähigkeit der beigemengten Kohleteilchen in Form von Graphit, Ruß oder Kohlenstoffaser begrenzt und die Kohlenschichtwiderstände weisen einen honen negativen Temperaturkoeffizienten auf.
Besonders bei Verwendung von unedlen und somit preiswerten Metallen als Beimengung ist die elektrische Langzeitstabilität durch Redox-Vorgänge an der Oberfläche oft in Frage gestellt. Im allgemeinen erhält man Widerstände, die einen positiven Temperaturkoeffizienten aufweisen.
809845/0515
Ferner ist es bekannt, sogenannte Cermetwiderstände in anorganischer Dickschichttechnik herzustellen. Hierbei wird als elektrisch nicht leitende und zugleich bindende Komponente niederschmelzende Glasarten eingesetzt. Als elektrisch leitende Matrix werden vorzugsweise hochwertige und somit oxydationsbeständige Metalle bzw. deren Metalloxide wie Silber, Platin, Ruthenium, Palladium usw. verwendet. Den spezifischen Widerstand und den Temperaturkoeffizient kann man durch Mischen mehrerer Pasten mit unterschiedlicher elektrischer Leitfähigkeit verändern, wobei die Leitfähigkeit einer Paste von der spezifischen Leitfähigkeit des der Glasfritte beigemengten Edelmetalls und dessem Mischverhältnis abhängt.
Bei der Verwendung von Ruß oder Graphit als elektrisch leitende Teilchen in einem elektrisch isolierenden Polymer ergeben sich mehrere Nachteile. Da, wie bereits erwähnt, die elektrische Leitfähigkeit der Schicht unter anderem von der Füllkonzentration der Teilchen abhängt, muß man für ein breites Spektrum der elektrischen Widerstandswerte verschiedene Massen mit unterschiedlichen Packungsdichten bereithalten. Unterschiedliche Packungsdichten ergeben aber unterschiedliche reologische Eigenschaften der Schicht. Außerdem wirkt sich die unterschiedliche Packungsdichte durch ein unterschiedliches Schrumpfungsverhalten bei der Aushärtung der Schicht aus. Auch die variierende Oberflächenspannung von Schicht zu Schicht, die durch die variierenden Eigenschaften des Rußes und des Graphites gegeben sind, trägt, insbesondere beim Einsatz des Siebdruckverfahrens zur Widerstandsschicht-Herstellung, zu einer schlechten Reproduzierbarkeit der Widerstandewerte von Charge zu Charge bei.
809845/0515
-M-ß
Zur Erzielung von verschiedenen Widerstandswerten bei gleichbleibender Packungedichte der Teilchen im Polymer ist es bereits bekannt, daß die die elektrisch leitfähige Komponente darstellenden Teilchen aus einem feuerfesten anorganischen Oxydmaterial bestehen, auf dessen Oberfläche eine Schicht eines kohlenstoffhaltigen Pyropolymers aufgebracht ist. Die elektrisch leitfähige Komponente beträgt 10 - 95 Gew.% bezogen auf die Endzusammensetzung der Mischung und die Teilchengröße liegt unter 20 ;um. Unterschiedliche Leitfähigkeiten solcher Teilchen sind aber nur durch Variierung der Schichtdicke des pyrolytischen Kohlenstoffes zu erreichen, der die einzelnen feuerfesten Partikel umhüllt. Der Bereich der niedrigen Leitwerte, die für hochohmige Widerstandsanordnungen erforderlich sind, ist durch starke Reduzierung bis auf einige Monolagen der kohlenstoffhaltigen Pyropolymerbeschichtung zu erreichen. Die hierbei erzielten hohen Widerstandswerte sind aber mit einer zunehmenden Verschlechterung des Verhaltens des Temperaturkoeffizienten verbunden. Eine Erklärung hierfür ist die nur relativ schwach ausgeprägte Kontinuierlichkeit der "Korngrenzen" der Kohlenstoffschichten. Mit abnehmender Schichtdicke gewinnen diese Kontaktstellen zunehmend an Bedeutung. Da der Streuwiderstand der Kontaktstellen an den Korngrenzen stark temperaturempfindlich ist, äußert sich dieser Zustand makroskopisch in einem mit der abnehmenden Kohlenstoffschichtdicke sich rapide verschlechternden Temperaturkoeffizienten des Widerstandes. Deshalb haben dickere Materialschichten mit höherem spezifischen Widerstandewert aber dem gleichen Widerstand pro Quadrat geringere Temperaturkoeffizienten des Widerstandes.
Die Erfindung hat sich die Aufgabe gestellt, eine elektrische leitfähige Schicht der eingangs genannten Art und ein Verfahren zu deren Herstellung zu finden, bei
809845/0515
der bei gleichbleibender Packungsdichte der elektrisch leitfähigen Komponente im Bindemittel eine Erzielung der Terschiedensten Widerstandswerte möglich ist und bei der außerdem möglichst geringe Werte des Temperaturkoeffizienten gewährleistet sind.
Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe dadurch gelöst, daß die elektrisch leitfähige Komponente aus einem halbleitenden Material besteht, das durch Pyrolyse einer kohlenstoffhaltigen Verbindung erhalten und mit Elementen der III-VIII Gruppe des Periodischen Systems dotiert und/oder beschichtet wird. Die Dotierung und/oder Beschichtung wird während einer simultan und/oder nacheinander laufenden Pyrolyse von Kohlenwasserstoff und einer das Dotierelement enthaltenden chemischen Verbindung vorgenommen.
Das halbleitende Material kann bei einer Ausführung der Erfindung durch Pyrolyse von gasförmigen oder flüssigen Kohlenwasserstoffen, wie aliphatische, aromatische oder heteroyclische Kohlenwasserstoffe und/oder deren Gemische erhalten werden.
Eine andere Möglichkeit besteht darin, daß das halbleitende Material durch Pyrolyse von pulverförmiger kohlenstoffhaltigen, organischen Materialien wie, Dextrose, Glukose, Stärke oder Steinkohlen-Pech erhalten wird.
Die Pyrolyse wird bei beiden Ausführungen bei einer Temperatur von 600 - l600°C vorgenommen.
Die Dotierung und/oder Beschichtung des vorgenannten halbleitenden Materials erfolgt aus der Gasphase der Verbindungen der Elemente der III-VIII Gruppe des
Periodischen Systems durch Temperatureinwirkung.
— ο —
8098*5/0515
Ala Elemente können beispielsweise Bor, Silicium, Germanium oder Phosphor Verwendung finden. Außerdem besteht die Möglichkeit,hierzu Metalle wie z.B. Aluminium * Titan, Zirconium, Vanadium, Chrom, Wolfram, Eisen, Kobalt, Nickel oder Molybdän zu verwenden. Das halbleitende Material besitzt eine elektrische Leitfähigkeit von etwa 10 bis etwa 10° (Jl-1Cm"1).
Zusätzlich zu der elektrisch leitfähigen Komponente können noch Stoffe mit einem großen elektrischen Verlustfaktor und einer großen Dielektrizitätskonstante dem Polymer beigemengt werden. Die Stoffe sind zu feinsten Teilchen vermählen.
Wird die im Temperaturbereich von 600 - l600°C vorgenommene Pyrolyse, in der Anwesenheit von feuerfesten Material durchgeführt, so schlägt sich der Kohlenstoff mit den Dotierungs- oder Beschichtungeelement und/oder auch als Verbindung in Form einer Umhüllung auf dieses nieder. Die resultierende eMctrische Leitfähigkeit derartiger Kohlenstoffe ergibt sich aus der Pyrolysetemperatur und aus dem Mengenverhältnis des Kohlenwasserstoffes zur Dotierungssubstanz. Da die meisten Elemente der III-VIII Gruppe des Periodischen Systems in der Form eines Nichtleiters niedergeschlagen werden, ist die resultierende Leitfähigkeit über diese Dotierungssubstanzen einstellbar.
Die geringen Temperaturkoeffizienten, die beim Einsatz derartiger Materialien zu erreichen sind, sind wahrscheinlich auf mehrere Faktoren zurückzuführen. Elemente der III-VIII Gruppe des Periodischen Systems begünstigen den während der Kohlenwasserstoff-Pyrolyse laufenden Dehyrogenierungs- baw. Graphitierungs-Prosess.
609845/0S15
Der Einfluß der'Kontaktstellen" zwischen den Kohlenstoff-Korngrenzen wird durch höhere Schichtdicken herabgesetzt.
Auch Kreuzverbindungen zwischen benachbarten Kohlenstoff-Atomlagen, die durch Dotierungselemente entstanden sind, sind nicht auszuschließen. Alle diese Paktoren tragen zu einer Temperaturstabilität der aus derartigen Materialien hergestellten Widerstände bei.
Als feuerfestes Material mit großem elektrischen Verlustfaktor und gröuer~reTät'iVer~l)ielektrisitätakonatante können Bariumtitanat, Titanoxyd, Siliciumoxid, Aluminiumoxyd, Eisenoxyd, Siliciumcarbid, Eisencarbid, Eisensilicid, Chromsilicid oder deren Gemische verwendet werden.
Natürlich kann die elektrisch leitfähige Komponente ein Gemisch von verschiedenen halbleitenden Materialien enthalten, von denen jedes eine andere Leitfähigkeit besitzt .
Ferner wird bei einer weiteren Ausführungsform der Erfindung das halbleitende Material im Vakuum, in einer Stickstoff- oder in einer Inertgas-Atmosphäre bei Temperaturen zwischen 800 - l600 0C getempert.
Die Aushärtung von Widerstandsschichten, die mit Kohlenstoffen gefüllt sind, die mit Elementen der IH-VIII Gruppe des Periodischen Systeme dotiert sind, kann im Mikrowellenfeld rationeller durchgeführt werden. Die Wirksamkeit der durch Mikrowellen hervorgerufenen Wärmeentwicklung wird durch die Anwesenheit dielektrischer Pigmente bzw. dielektrischer Stellen im Kohlenstoff selbst gesteigert. Hierbei handelt es sich insbesondere um Aluminiumoxyde, Titanoxyde, Aluminiumphosphat, SiIi ciumdioxyd, Siliciumcarbid, Aluminiumnitrid usw.
•09845/0515
Die in die Polymer-Matrix eingekörperten, dielektrisch hochwirksamen Materialien entwickeln im Mikrowellenfeld sehr schnell Wärme. Jedes Materialteilchen kann als Heizelement angesehen werden. Bei einer gleichmäßigen Verteilung dieser Teilchen in der Polymermatrix kommt es zu einer schnellen und rationellen Aushärtung des Polymer-Binders .
Zweckmäßigerweise wird die Aushärtung mit Mikrowellen im Frequenzbereich von ca. 2%00 - 6000 MHz, vornehmlich bei 2^50 MHz vorgenommen.
Nachfolgend wird die Erfindung noch anhand von Beispielen erläutert.
Beispiel I:
Bs wurden 100 g Titanoxyd-Partikel< 5um und einer Oberfläche von 15 m /g mit einem Gasgemisch bestehend aus k5% Propan, 5% Bortrichlorid und 50* Wasserstoff bei einer Temperatur von 1000 C behandelt.
Das so hergestellte elektrisch leitfähige Material wurde in einer Kugelmühle feinst vermählen und im Verhältnis 55 Gew.tf des leitfähigen Materialee zu %5* Bpoxydbindemittelfestanteil in einer Perlmühle eindispergiert.
Die erhaltene siebdruckfähige Paste wurde mittels Siebdruck auf ein Hartpapier-Substrat aufgedruckt und in einem Mikrowellenofen mit einer Leistung von kO W/cm innerhalb 1,5 Min. ausgehärtet.
Die entstandene Widerstandsanordnung hatte einen Wert von 84O Κ.Λ/0 und einen Temperaturkoeffizienten von -200 ppm/°C.
•09845/0615
Beispiel II: Es wurden 100 got Aluminiumoxyd < 5 um und nit einer Ober-
2 fläche von 8 m /g mit einem Gasgemisch bestehend aus 30% Acetylen, J% TitantetrachlorJd und 6796 Argon bei einer Temperatur von 9000C behandelt.
Das erhaltene elektrisch leitfähige Material wurde in der Kugelmühle mit 30 ml Ethanol feinst vermählen und wie in Beispiel I angeführt auf ein Hartpapier-Substrat mittels Siebdruck aufgedruckt. Die erhaltene Anordnung wurde im Umluftofen bei l80°C 30 Minuten ausgehärtet.
Der erhaltene Widerstandswert hatte einen Wert von 500 und einen Temperaturkoeffizienten von -350 ppm/ C.
Beispiel III: Es wurden 100 g Aluminiumphosphat mit einer Oberfläche
von 17 m /g und einer Partikelgröße <5 μ* mit einem Gasgemisch bestehend aus 80# Stickstoff und 20# Cyclohexan bei einer Temperatur von 800°C 25 Minuten lang behandelt.
Anschließend wurde die Temperatur auf 900 C erhöht und die Behandlung mit 5 % Siliciumtetrachlorid in Wasserstoff für die Dauer von 5 Minuten fortgesetzt.
Das erhaltene leitfähige Material wurde wie in Beispiel I zu einer Siebdruckpaste verarbeitet und auf Hartpapier aufgedruckt und in einem Mikrowellenofen mit einer Leistung von 25 W/cm innerhalb 2 Minuten ausgehärtet.
Die erhaltene Widerstandsanordnung hatte einen Wert von
120 Kil/p und einen Temperaturkoeffizient en von -300 ppm/°C.
•09845/0515

Claims (13)

  1. genSprüche
    Elektrisch leitfähige Schicht, bestehend aus einer gleichmäßigen Mischung einer elektrisch leitfähigen Komponente in Form von kleinsten Teilchen in einem elektrisch nicht leitenden, aushärtbaren Polymer, dadurch gekennzeichnet,
    daß die elektrisch leitfähige Komponente aus einem halbleitenden Material besteht, das durch Pyrolyse einer kohlenstoffhaltigen Verbindung erhalten und mit Elementen der III-VIII Gruppe des Periodischen Systems dotiert und/oder beschichtet wird.
  2. 2. Elektrisch leitfähige Schicht nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
    daß das halbleitende Material durch Pyrolyse von gas förmigen oder flüssigen Kohlenwasserstoffen, wie aliphatisch^, aromatische oder heterocyclische Kohlenwasserstoffen und/oder deren Gemische erhalten wird.
  3. 3. Elektrisch leitfähige Schicht nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
    daß das halbleitende Material durch Pyrolyse von pulverförmigen, kohlenstoffhaltigen, organischen Materialien wie Dextrose, Glukose, Stärke oder Steinkohle-Pech erhalten wird.
  4. 4. Elektrisch leitfähige Schicht nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
    daß die Dotierung und/oder Beschichtung des halbleitenden Materials aus der Gasphase der Verbindungen der Elemente der III-VIII Gruppe des Periodischen Systems durch Temperatureinwirkung erfolgt.
    - 11 -
    8G9845/QS1S
    ORIGINAL INSPECTED
  5. 5. Elektrisch leitfähige Schicht nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet,
    daß die Dotierung und/oder Beschichtung des halbleitenden Materials mit Bor, Silicium, Germanium oder Phosphor erfolgt.
  6. 6. Elektrisch leitfähige Schicht nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet,
    daß die Dotierung und/oder Beschichtung des halbleitenden Materials mit Metallen, wie Aluminium, Titan, Zirconium, Vanadium, Chrom, Wolfram, Eisen, Kobalt, Nickel oder Molybdän erfolgt.
  7. 7. Elektrische leitfähige Schicht nach einem der Ansprüche 1 bis 6,
    dadurch gekennzeichnet,
    daß das halbleitende Material bei Raumtemperatur eine Leitfähigkeit von etwa 1O~ bis etwa 10 (Sl"1. cm"1) aufweist.
  8. 8. Elektrisch leitfähige Schicht nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
    daß zusätzlich zu der elektrisch leitfähigen Komponente Stoffe mit einem großen elektrischen Verlustfaktor und einer großen relativen Dielektrizitätskonstante in Form von feinet vermahlenen Teilchen in dem Polymer vorhanden sind.
  9. 9. Elektrisch leitfähige Schicht nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
    daß die durch Pyrolyse einer kohlenstoffhaltigen Verbindung erhaltene und mit Elementen der III-VIII Gruppe des Periodischen Systems dotierte und/oder beschichtete elektrisch leitfähige Komponente in
    - 12 -
    109845/0515
    mindestens einer Monolage auf die Oberfläche von feinst vermahlenen Teilchen aus einem feuerfesten Material mit großem elektrischen Verlustfaktor und großer relativer Dielektrizitätskonstante abgeschieden ist.
  10. 10. Elektrisch leitfähige Schicht nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet,
    daß das feuerfeste Material mit großem elektrischen Verlustfaktor und großer relativer Dielektrizitätskonstante aus Bariumtitanat, Titanoxyd, Siliciumoxyd, Aluminiumoxyd, Eisenoxyd, Siliciumcarbid, Eisencarbid, Eisensilicid, Chromsilicid oder deren Gemischen besteht.
  11. 11. Elektrisch leitfähige Schicht nach Anspruch 1 bis 10, dadurch gekennzeichnet,
    daß die elektrisch leitfähige Komponente ein Gemisch von halbleitenden Materialien enthält, von denen jedes eine unterschiedliche Leitfähigkeit besitzt.
  12. 12. Verfahren zur Herstellung einer elektrisch leitfähigen Schicht nach Anspruch 1 bis 3« dadurch gekennzeichnet,
    daß die Pyrolyse der kohlenstoffhaltigen Verbindung bei einer Temperatur von etwa 600 - l600 C vorgenommen wird.
  13. 13. Verfahren zur Herstellung einer elektrisch leitfähigen Schicht nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet,
    daß die Pyrolyse im Temperaturbereich zwischen 600 und l600°C vorgenommen wird.
    - 13 -
    809845/0515
    lk. Verfahren zur Herstellung einer elektrisch leitfähigen Schicht nach Anspruch 8 oder 9, dadurch gekennzeichnet, daß das halbleitende Material im Vakuum, in einer Stickstoff- oder in einer Inertgas-Atmosphäre bei Temperaturen zwischen 800 und l600°C getempert wird.
    15· Verfahren zur Herstellung einer elektrisch leitfähigen Schicht nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Aushärtung der elektrisch leitfähigen Schicht mit Mikrowellen erfolgt.
    l6. Verfahren zur Herstellung einer elektrisch leitfähigen Schicht nach Anspruch 15« dadurch gekennzeichnet, daß die Aushärtung mit Mikrowellen im Frequenzbereich von ca. 2400 - 6000 MHz, vornehmlich bei 2450 MHz vorgenommen wird.
    809845/0515
DE19772720615 1977-05-07 1977-05-07 Verfahren zur Herstellung eines elektrischen Schichtgemischwiderstandes Expired DE2720615C2 (de)

Priority Applications (6)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19772720615 DE2720615C2 (de) 1977-05-07 1977-05-07 Verfahren zur Herstellung eines elektrischen Schichtgemischwiderstandes
JP5282678A JPS5416696A (en) 1977-05-07 1978-05-04 Conductive layer and method of making same
GB1808878A GB1586384A (en) 1977-05-07 1978-05-05 Electrically conductive composition and process for its productiuon
FR7813353A FR2389984B1 (de) 1977-05-07 1978-05-05
BR7802826A BR7802826A (pt) 1977-05-07 1978-05-05 Camada eletricamente condutora e processo para sua fabricacao
AT333078A AT364029B (de) 1977-05-07 1978-05-08 Elektrischer schichtwiderstand und verfahren zu dessen herstellung

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19772720615 DE2720615C2 (de) 1977-05-07 1977-05-07 Verfahren zur Herstellung eines elektrischen Schichtgemischwiderstandes

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE2720615A1 true DE2720615A1 (de) 1978-11-09
DE2720615C2 DE2720615C2 (de) 1983-04-07

Family

ID=6008326

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE19772720615 Expired DE2720615C2 (de) 1977-05-07 1977-05-07 Verfahren zur Herstellung eines elektrischen Schichtgemischwiderstandes

Country Status (6)

Country Link
JP (1) JPS5416696A (de)
AT (1) AT364029B (de)
BR (1) BR7802826A (de)
DE (1) DE2720615C2 (de)
FR (1) FR2389984B1 (de)
GB (1) GB1586384A (de)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0112975A1 (de) * 1982-11-25 1984-07-11 PREH, Elektrofeinmechanische Werke Jakob Preh Nachf. GmbH &amp; Co. Einrichtung zur Erfassung einer x-y-Position

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB2160532B (en) * 1984-06-23 1987-11-11 Sredazkabel Ni Pk I T Kabelny Current-conducting polymer composition
US4754373A (en) * 1986-10-14 1988-06-28 General Electric Company Automotive headlamp
US20040113127A1 (en) * 2002-12-17 2004-06-17 Min Gary Yonggang Resistor compositions having a substantially neutral temperature coefficient of resistance and methods and compositions relating thereto

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2825702A (en) * 1953-09-03 1958-03-04 Electrofilm Inc Heating elements in film form
DE1118864B (de) * 1958-12-08 1961-12-07 Int Resistance Co Elektrischer Widerstand mit pyrolytisch niedergeschlagener Widerstandsschicht und Verfahren zu dessen Herstellung
AT269996B (de) * 1966-01-03 1969-04-10 Metro Finanz Etablissement Vad Elektrischer Widerstand
US3644221A (en) * 1969-11-14 1972-02-22 Atomic Energy Commission Polycrystalline graphite with controlled electrical conductivity
DE2164206A1 (de) * 1971-12-23 1973-07-05 Siemens Ag Elektrischer widerstand
DE2210742A1 (de) * 1972-03-06 1973-09-20 Siemens Ag Verfahren zur herstellung von metallbzw. metallegierungs-kohlenstoff-widerstaenden
DE2540335A1 (de) * 1974-09-12 1976-04-01 Uop Inc Tinte bzw. druckfarbe fuer elektrische widerstaende

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3074817A (en) * 1957-04-26 1963-01-22 Int Resistance Co Pyrolytically decomposed resistor consisting of the elements carbon, oxygen and silicon
US3907717A (en) * 1973-08-24 1975-09-23 Globe Union Inc Acrylic resistive coating composition

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2825702A (en) * 1953-09-03 1958-03-04 Electrofilm Inc Heating elements in film form
DE1118864B (de) * 1958-12-08 1961-12-07 Int Resistance Co Elektrischer Widerstand mit pyrolytisch niedergeschlagener Widerstandsschicht und Verfahren zu dessen Herstellung
AT269996B (de) * 1966-01-03 1969-04-10 Metro Finanz Etablissement Vad Elektrischer Widerstand
US3644221A (en) * 1969-11-14 1972-02-22 Atomic Energy Commission Polycrystalline graphite with controlled electrical conductivity
DE2164206A1 (de) * 1971-12-23 1973-07-05 Siemens Ag Elektrischer widerstand
DE2210742A1 (de) * 1972-03-06 1973-09-20 Siemens Ag Verfahren zur herstellung von metallbzw. metallegierungs-kohlenstoff-widerstaenden
DE2540335A1 (de) * 1974-09-12 1976-04-01 Uop Inc Tinte bzw. druckfarbe fuer elektrische widerstaende

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
Zeitschrift "Machine Design" v. 16.10.69, Seite 168-172 *

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0112975A1 (de) * 1982-11-25 1984-07-11 PREH, Elektrofeinmechanische Werke Jakob Preh Nachf. GmbH &amp; Co. Einrichtung zur Erfassung einer x-y-Position
US4568798A (en) * 1982-11-25 1986-02-04 Preh Elektrofeinmechanische Werke Jakob Preh Nachf. Gmbh & Co. X-Y Position detector

Also Published As

Publication number Publication date
GB1586384A (en) 1981-03-18
FR2389984A1 (de) 1978-12-01
DE2720615C2 (de) 1983-04-07
AT364029B (de) 1981-09-25
JPS6128201B2 (de) 1986-06-28
BR7802826A (pt) 1979-01-23
JPS5416696A (en) 1979-02-07
ATA333078A (de) 1981-02-15
FR2389984B1 (de) 1983-07-29

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4271045A (en) Electrically conductive layer and method for its production
DE2333473A1 (de) Kohlenstoffaserblatt und -papier
DE1931561C3 (de) Verfahren zur Herstellung eines Widerstandsfilmes mit einem spezifischen Durchgangswiderstand von 102 bis 106^ cm
DE69906804T2 (de) Keramischer zünder mit hoher oxidationsbeständigheit und verfahren zur herstellung desselben
DE2710199C2 (de) Widerstandsmasse
DE2720615A1 (de) Elektrisch leitfaehige schicht und verfahren zu deren herstellung
DE3026374C2 (de) Zündkerze mit Widerstandsglasabdichtung
DE2812912C2 (de) Aufdruckbare Widerstandsmassen
CA1197022A (en) Process for the manufacture of thick layer varistors on a hybrid circuit substrate
DE2917791A1 (de) Elektrischer widerstand, der ein metallisches hexaborid enthaelt, sowie verfahren zur herstellung desselben
DE2635699C3 (de) Verfahren zur Herstellung eines elektrischen Widerstands
JPH0435842B2 (de)
DE2445659C2 (de) Metalloxid-Varistor
DE2627930C2 (de) Verfahren zur Herstellung von Dickschichtvaristoren aus Metalloxiden
DE19546164C2 (de) Temperaturfühler
DE366626C (de) Hochohmiger Widerstand
DE2919436A1 (de) Gegenstand aus einem polymeren elektrischen widerstandsmaterial
DE2421861C2 (de) Elektrischer Vanadium-Ruthenium-Widerstand
DE2615785C2 (de) Verfahren zur Herstellung einer Widerstandsschicht
DE2716742B2 (de) Druckempfindlicher Widerstand mit hoher Empfindlichkeit und Verfahren zur Herstellung eines derartigen Widerstandes
DE2835562A1 (de) Material fuer einen glasartigen elektrischen widerstand und verfahren zu dessen herstellung
DE2814770C2 (de) Verfahren zur Erzeugung von auf ein Substrat aufgebrachten und leitfähige Pigmente enthaltenden Schichten
DE2604103C2 (de) Verfahren zur Herstellung von Kontaktschichten auf keramischen Halbleiterkörpern u. Beschichtungsmaterial dafür
DE1465252C (de) Metallkeramisches Widerstandselement
DE2854926A1 (de) Kohlewiderstand und verfahren zur herstellung eines kohleschichtwiderstandes

Legal Events

Date Code Title Description
OGA New person/name/address of the applicant
OD Request for examination
8125 Change of the main classification

Ipc: H01C 17/20

D2 Grant after examination
8364 No opposition during term of opposition
8339 Ceased/non-payment of the annual fee