DE2719902A1 - Verfahren zum entfernen isolierter materialbereiche von einer unterlage - Google Patents

Verfahren zum entfernen isolierter materialbereiche von einer unterlage

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DE2719902A1
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DE19772719902
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German (de)
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Robert Andrew Geshner
Jun Joseph Mitchell
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RCA Corp
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RCA Corp
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    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F1/00—Originals for photomechanical production of textured or patterned surfaces, e.g., masks, photo-masks, reticles; Mask blanks or pellicles therefor; Containers specially adapted therefor; Preparation thereof
    • G03F1/68—Preparation processes not covered by groups G03F1/20 - G03F1/50
    • G03F1/72—Repair or correction of mask defects

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  • Physics & Mathematics (AREA)
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SE7705053L (sv) 1977-11-11
GB1530978A (en) 1978-11-01
PL197962A1 (pl) 1978-01-02
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US4105468A (en) 1978-08-08

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