DE2711562C3 - Halbleiterbauelement und Verfahren zu seiner Herstellung - Google Patents
Halbleiterbauelement und Verfahren zu seiner HerstellungInfo
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Description
Die Erfindung betrifft ein Halbleiterbauelement entsprechend dem Oberbegriff des Anspruchs 1.
Ein Halbleiterbauelement dieser Art ist aus der US-PS 39 40 783 bekannt.
Die Erfindung betrifft weiter ein Verfahren zum Herstellen eines Halbleiterbauelements der genannten
Art
Es ist bekannt. Sperrschichten in Halbleiterbauelementen
entweder als pn-Übergänge oder als Schottky-Sperren auszubilden. Solche Potentialsperren werden in
Halbleiterdioden, Transistoren und anderen Halbleiterbauelementen, einschließlich integrierter Schaltungen,
verwendet.
Der pn-Übergang, wie er in bekannten Halbleiterbauelementen
hergestellt und verwendet wird, bildet eine Potentialsperre in einem Halbleiterkörper zwischen
zwei Halbleitergebieten vom entgegengesetzten Leitungstyp; mit Ausnahme einer schmalen Erschöpfungsschicht
am pn-Übergang sind diese beiden Halbleitergebiete vom entgegengesetzten Leitungstyp
nicht an beweglichen Ladungsträgern erschöpft, wenn wenigstens über dem Übergang eine Nullvorspannung
auftritt. Wenn ein Strom durch das Bauelement fließt, wenn dieses in der Durchlaß- oder der Sperrichtung
vorgespannt ist, erfolgt der Stromfluß über den Übergang zu einem der beiden Gebiete durch
Ladungsträger von dem dieses Gebietes entgegengesetzten Leitungstyp, d. h. durch Minoritätsladungsträger.
Wie in der Halbleitertechnik allgemein bekannt ist, kann eine solche Anwendung von Minoritätsladungsträgern
für viele Bauelemente, z. B. durch Minoritätsladungsträgerspeichereffekte, niedrige Schaltgeschwindigkeiten
und einem verhältnismäßig großen Durchlaßspannungsabfall ungünstig sein.
Bei vielen Anwendungen dieser Bauelemente wird daher bekanntlich eine Schottky-Sperre statt eines
pn-Übergangs benutzt. Eine Schottkys-Sperre ist ein Metall-Halbleiter-Übergang, der zwischen einer Elektrode
und einem Halbleitergebiet von einem ersten Leitungstyp gebildet wird, wobei das Halbleitergebiet
an der Oberfläche durch die Elektrode kontaktiert wird. Mit Ausnahme einer schmalen Erschöpfungsschicht an
der Schottky-Sperre ist das Halbleitergebiet nicht an beweglichen Ladungsträgern vom ersten Leitiingstyp
erschöpft, wenn wenigstens eine Nullvorspannung auftritt, während der Stromfluß durch das Bauelement,
wenn dieses vorgespannt ist, durch Ladungsträger vom gleichen Leitungstyp wie das genannte Gebiet, d. h.
durch Majoritätsladungsträger, erfolgt Es können daher Schottky-Dioden gebildet werden, die vernachlässigbare
Minoritätsladungsträgerspeichereffekte, hohe Schaltgeschwindigkeiten und niedrige Durchlaßspannungsabfälle
aufweisen. Schottky-Sperren weisen jedoch den Nachteil auf, daß sie an einer Oberfläche
eines Halbleiterkörpers gebildet werden. Die Höhe der Potentialsperre zwischen dem Halbleiter und dem
Metall wird von den Oberflächenzuständen und dem allgemeinen Zustand der Halbleiteroberfläche beeinflußt.
Außerdem ist die Technologie der Schottky-Sperren nicht dazu geeignet, Potentialsperren in der Masse
eines Halbleiterkörpers zu bilden, wodurch die Möglichkeiten zur Integration von Schottky-Sperren in
Halbleiter-Bauelementen beschränkt werden.
In der obengenannten US-PS 39 40 783 ist ein
Gleichrichter- und Spannungsreferenzhalbleiterbauelement beschrieben, in der der Hauptstromfluß durch
Majoritätsladungsträger erfolgt. Das Bauelement enthält eine p-leitende Halbleiterschicht zwischen zwei
η-leitenden Halbleitergebieten, die auch die Form von Schichten aufweisen; die p-leitende Schicht bildet zwei
pn-Übergänge mit den beiden η-leitenden Gebieten und weist vorzugsweise eine Dicke von 1 μπι auf. Eine
Spannung wird zwischen den beiden n-leitenden Gebieten und somit über der p-leitenden Schicht
angeordnet, von der eine erhebliche Dicke unter Nullvorspannung nicht an Löchern erschöpft ist. Die
Größe der Vorspannung wird beim Betrieb erhöht, um zu bewirken, daß sich eine der Erschöpfungsschichten,
die an einem der beiden pn-Obergänge gebildet wird, über die Dicke der p-leitenden Schicht ausbreitet,
derart, daß sich endgültig diese sich ausbreitende Erschöpfungsschicht über die ganze Dicke der p-leitenden
Schicht erstreckt, wodurch diese Schicht nahezu völlig erschöpft wird und die beiden η-leitenden Gebiete
miteinander verbunden werden. Unter diesen Bedingungen findet ein Stromfluß von Majoritätsladungsträgern
zwischen den η-leitenden Gebieten statt. Da es aber bei diesem Halbleiterbauelement notwendig ist, eine Vorspannung
anzuwenden, um die ganze p-leitende Schicht zu erschöpfen, weist die Strom-Spannungs-Kennlinie
eines solchen Bandelements bei Anwendung als Gleichrichter in der Durchlaßrichtung einen nicht-abrupten
Einschalneil bei einem beträchtlichen Durchlaßspannungsabfall auf. Dadurch kann die Asymmetrie der
Durchlaß- und -Sperrkennlinien beeinträchtigt und kann ihre zweckmäßige Anwendung in anderen
Konfigurationen beschränkt werden. So wäre eine solche npn-Sperrschichtstruktur, die eine Vorspannungserschöpfung
erfordert, nicht besonders geeignet für Anwendung als eine Sperre einer komplexeren
Mehrsperrenanordnungsstruktur, wie z. B. eines Transistors, und in der genannten US-Patentschrift wird nicht
verwiesen auf und keine Anzeige gegeben über eine derartige Anwendung einer solchen Struktur. Außerdem
weist, weil es notwendig ist, zum Erschöpfen der ganzen p-leitenden Schicht Vorspannung anzuwenden,
das Bauelement nach der US-PS 39 40 783 keine vernachlässigbaren Minoritätsladungsträgerspeichereffekte
und keine hohe Schallgeschwindigkeit auf.
Aus der DE-OS 24 29 705 ist ein Halbleiterbauelement
mit einem Halbleiterkörper bekannt, an dessen einer Oberfläche eine dünne Schicht u. a. mit zum
Halbleiterkörper entgegengesetzten Leitungstyp und auf dieser eine eine Schoitkysche Sperrschicht bildende
Metallelektrode angeordnet sind. Die Dicke der dünnen, durch Ionenimplantation erzeugten Halbleiterschicht,
durch die die effektive Höhe der Schottky-Sperre beeinflußt werden soll, ist dabei so gewählt, daß sie,
ohne daß eine Vorspannung an das Halbleiterbauelement angelegt ist, praktisch vollständig von beweglichen
Ladungsträgern beider Leitungstypen erschöpft
ίο ist.
Aus der DE-AS 16 14 929 ist es bei einem Halbleiterbauelement mit einem Halbleiterkörper mit
einem ersten und einem zweiten, durch ein Gebiet entgegengesetzten Leitungstyps getrennten Gebiet
eines Leitungstyps bekannt, das an die Oberfläche des Halbleiterkörpers grenzende erste Gebiet seitlich von
einer ringförmigen Zone entgegengesetzten Leitungstyps zu begrenzen, die das erste Gebiet seitlich von dem
zweiten Gebiet trennt und sich so tief in den Halbleiterkörper erstreckt, daß das zwischen dem
ersten und zweiten Gebiet angeordnete Gebiet entgegengesetzten Leitungstyps geschnitten wird.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, das Halbleiterbauelement nach dem Oberbegriff des An-Spruchs
1 so auszugestalten, daß sich ein Sperrschichtgebiet ergibt, das die Nachteile eines Schottky-Kontaktes
und eines pn-Überganges vermeidet.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch die im kennzeichnenden Teil des Anspruchs 1 angegebenen
so Merkmale gelöst.
Weitere Ausgestaltungen der Erfindung ergeben sich aus den Unteransprüchen.
Indem zwischen dem ersten und dem zweiten Gebiet ein solches dünnes Sperrschichtgebiet gebildet wird, das
j5 seine gesamte Dicke bereits bei Nullvorspannung nahezu erschöpft ist, wird eine Potentialsperrenstruktur
erhalten, die sogar bei sehr niedrigen Vorspannungen das Aussehen einer Potentialsperre an der Grenzfläche
einer η — η oder ρ — p-Struktur statt von pn-Übergängen
an den Grenzflächen zwischen n- und p-leitenden Gebieten aufweist. Eine derartige Potentialsperre
zwischen solchen ersten und zweiten Gebieten eines Halbleiterbauelements kann als eine Potentialspitze in
einem Teil der Masse des Halbleiterkörpers dargestellt werden und steuert den Stromfluß zwischen dem ersten
und dem zweiten Gebiet. Dieser Stromfluß erfolgt durch Ladungsträger vom ersten Leitungstyp, d. h. durch
Majoritätsladungsträger auf beiden Seiten der Potentialsperre. So können Halbleiterbauelemente nach der
ίο Erfindung vernachlässigbare Minoritätsladungsträgerspeichereffekte
und eine hohe Schaltgeschwindigkeit aufweisen.
Wenn ein sehr dünnes, nahezu erschöpftes Sperrschichtgebiet mit einer hohen Netto-Akt'vatorkonzen-
>5 tration verwendet und für das erste Gebiet eine sehr
hohe Dotierungskonzentration gewählt wird, kann die so zwischen dem ersten und dem zweiten Gebiet
gebildete Potentialsperre eine erhebliche Asymmetrie zwischen der Durchlaß- und der Sperr-Strom-Span-
bo nungs-Kennlinie aufweisen. So kann die Durchlaßkennlinie
einen abrupt verlaufenden Einschaltteil bei einem niedrigen Durchlaßspannungsabfall aufweisen.
Die Höhe der Potentialsperre zwischen dem ersten und dem zweiten Gebiet (und somit die Größe des
b> Strninflusses über das Sperrschichtgebiet für eine
gegebene Vorspannung) hängt von der Größe der den entgegengesetzten Leitungstyp bestimmenden Aktivatorkonzentration
im Sperrschichtgebiet ab. Eine derar·
tige Aktivatorkonzentration kann dadurch gebildet werden, daß in das Halbleiterkristallgitter Strahlungsbeschädigungen
eingeführt werden, die Energiepegel aufweisen, die für den entgegengesetzten Leitungstyp in
dem Halbleiter kennzeichnend sind; solche Beschädi- -, gungszentren können z. B. durch Implantation neutraler
Ionen gebildet \v erden. In einer bevorzugten Weiterbildung ist aber das Sperrschichtgebiet ein Halbleitergebiet,
das mit Dotierungsatomen vom entgegengesetzten Leitungstyp dotiert ist; durch eine solche Dotierung u>
kann das Sperrschichtgebiet eine leichter reproduzierbare und sehr hohe Aktivatorkonzentration vom
entgegengesetzten Leitungstyp aufweisen.
Das erste, das zweite und das Sperrschichtgebiet können einen Teil einer Halbleiterdiode, eines Transi- r,
stors oder einer anderen Art Haibieiterbaueiements, einschließlich einer integrierten Schaltung, bilden. In
Abhängigkeit von den Dotierungen und Dicken, die für die unterschiedlichen Gebiete derartiger Bauelemente
gewählt sind, kann ein großer Bereich von Eigenschaf- :<> ten für Halbleiterbauelemente nach der Erfindung
erhalten werden. Insbesondere können Bau- und Schaltungselemente mit einem niedrigen Durchlaßspannungsabfall,
einem niedrigen Sperrleckstrom und einer hohen Ansprechgeschwindigkeit erhalten werden. j-,
Halbleiterbauelemente nach der Erfindung können unter Verwendung verschiedener Techniken hergestellt
werden. Es ist aber besonders vorteilhaft, Ionenimplantation wenigstens zur Bildung des Sperrschichtgebietes
anzuwenden.
Einige Ausführungsbeispiele der Erfindung sind in den Zeichnungen dargestellt und werden im folgenden
näher beschrieben. Es zeigt
Fig. 1 die Änderung der Netto-Dotierungskonzentration, der Elektronenenergie und der Raumladung mit ü
der Tiefe für ein Halbleiterbauelement mit einem dünnen Gebiet mit Akzeptoren in einem n-leitenden
Halbleiterkörperteil in thermischem Gleichgewicht,
Fig. 2 das Potentialdiagramm eines Halbleiterbauelements mit einer der nach F i g. 1 ähnlichen Struktur, ao
F i g. 3 ein Potentialdiagramm für ein Ausführungsbeispiel der Erfindung,
Fig.4 einen Querschnitt durch eine Halbleiterdiode
gemäß einem Ausführungsbeispiel der Erfindung,
Fig.5 die Strom/Spannungs-Kennlinien einer Halb- «
leiterdiode nach F i g. 4,
Fig. 6 einen Querschnitt durch eine andere Halbleiterdiode gemäß einem Ausführungsbeispiel der
Erfindung, die durch das erfindungsgemäße Verfahren hergestellt ist
Es sei bemerkt, daß die Zeichnungen nur schematisch sind und daß gewisse Dicken der Deuiüchkeii halber
übertrieben groß dargestellt sind, während andere Dicken der Einfachheit halber verkleinert sind.
Zur Illustrierung werden zunächst an Hand der F i g. 1
und 2 Diagramme von Halbleiterbauelementen, die nicht Ausführungsbeispielen der Erfindung entsprechen,
beschrieben.
F i g. 1 zeigt eine vereinfachte Situation, in der eine
kleine Anzahl von Akzeptoratomen A in die Masse w eines η-leitenden Halbleitergebiets eines Halbleiterkörpers
mit einer gleichmäßigen Dotierungskonzentration Nd eingeführt werden, um ein dünnes Gebiet 1 mit einer
Netto-Akzeptorkonzentration ΛΛ, zu bilden, das Gebiete
2 und 3 des Halbleiterkörpers voneinander trennt Fig. 1(a) zeigt die Netto-Akzeptor- oder Donatorkonzentration
N als Funktion der Tiefe d im Halbleiterkörper. F i g. l(b) zeigt das entsprechende Elektronenenergiediagramm,
das die verbotene Energiezone zwischen der Valenzbandkante £Vund der Leitungsbandkante Ec
zusammen mit dem Ferminiveau £)und den Energiepegeln
der Akzeptoren A in der Nähe von £V und der Donatoren D in der Nähe von Ec darstellt. Fig. l(c)
zeigt die Raumladungsverteilung Q.
In dem Gebiet 1, das die η-leitenden Gebiete 2 und 3 voneinander trennt, ist die Donatorkonzentration durch
eine hohe Konzentration an Akzeptorverunreinigung überkompensiert. Alle Aktivatoren im schmalen Gebiet
1 sind aber dadurch erschöpft, daß darin die Erschöpfungsschichten die natürlicherweise an den
Übergängen 2-1 und 1-3 bei Null vorspannung gebildet werden, zusammenfließen. Dies ergibt die negative
Raumladung durch das ganze Gebiet 1 nach F i g. l(c).
Wie in der Haibleiteriechnologie allgemein bekannt ist, wird ein Halbleitergebiel (wie das Gebiet 1) als
nahezu völlig an Ladungsträgern beider Leilungstypen erschöpft betrachtet, wenn die Anzahl beweglicher
Ladungsträger beider Leitungstypen vernachlässigbar (z. B. im allgemeinen zwei Größenordnungen niedriger)
im Vergleich zu der der Netto-Aktivatorkonzentration im genannten Gebiet ist.
Das Vorhandensein des Gebietes mit negativer Raumladung nach Fig. l(c) führt Bandkrümmung ein,
wie in Fig. l(b) dargestellt ist, was eine Sperre für den
Elektronendurchgang zur Folge hat. Die Höhe dieser Sperre ist durch Φο in F i g. l(b) und 2 dargestellt.
So liefert das nahezu erschöpfte Gebiet 1 Potentialsperren Φο für den Durchgang von Elektronen von dem
ersten sowie dem zweiten η-leitenden Gebiet 2 bzw. 3 des Halbleiterkörpers. F i g. 2 ist ein Potentialdiagramm,
das der Leitungsbandkante folgt und das Verhalten eines derartigen Bauelements mil entgegengesetzten
Vorspannungen zwischen Elektroden mit dem ersten und dem zweiten Gebiet 2 bzw. 3 zeigt. Die
Potentialkurve 10 stellt die Situation dar, in der keine Vorspannungen zwischen den Gebieten 2 und 3
angelegt sind. Die Potentialkurven 11 und 12 gelten für
die Fälle, in denen das Gebiet 3 negativ (V\) bzw. positiv (V2) in bezug auf das Gebiet 2 vorgespannt ist. Vi und V2
stellen die negativen bzw. positiven Vorspannungen dar, die in bezug auf das Ferminiveau Ef bei Nullvorspannung
gemessen werden. Ef\ und £>2 stellen die
Ferminiveaus mit negativen bzw. positiven Spannungen Vi bzw. V2 dar. Die Sperre bei Nullvorspannung ist Φο.
Diese Sperre wird durch das Anlegen der positiven Vorspannung V2 herabgesetzt Die Potentialsperre für
Elektronen von dem Gebiet 3 unter der Vorspannung Vl ist mit Φι bezeichnet. Die Potentialsperre für Elektronen
von dem Gebiet 2 unter der Vorspannung V2 ist mit Φ2
bezeichnet Φ\ und Φ2 sind beide kleiner als Φο. Da die
Dotierungskonzentration des Gebietes 2 gleich der des Gebietes 3 ist ist Φ1 gleich Φ2, wenn Vl gleich V2 ist
Dadurch wird eine symmetrische Anordnung erhalten, die bei beiden Vorspannungspolaritäten bei nahezu dem
gleichen Wert von Vi und V2 leitend wird.
Ein Potentialdiagramm eines Ausführungsbeispiels der Erfindung ist in Fig.3 dargestellt Dieses Halbleiterbauelement
enthält ein nahezu erschöpftes Sperrschichtgebiet 1, das dem nach den F i g. 1 und 2 ähnlich
ist und ein erstes und ein zweites Gebiet 2 bzw. 3 voneinander trennt die beide einen ersten Leitungstyp,
z. B. den η-Typ, aufweisen. Bei diesem Bauelement weist jedoch das erste Gebiet 2 eine höhere Dotierungskonzentration
(n +) vom ersten Leitungstyp als das zweite Gebiet 3 auf. Ein Stromweg, der durch Elektroden mit
den Gebieten 2 und 3 definiert ist ist zwischen dem
zweiten und dem dritten Gebiet 2 bzw. 3 über das Sperrschichtgebiet 1 angeordnet. Der Stromfluß über
das Sperrschichtgebiet 1 erfolgt durch Ladungsträger vom ersten Leitungstyp (Elektronen bei n-leitenden
Gebieten 2 und 3). ■-,
Das Sperrschichtgebiet 1 ist ein Halbleitergebiet mit einer Netto-Aktivatorkonzentration vom entgegengesetzten Leitungstyp, um die Potentialsperren für den
Durchgang von Ladungsträgern vom ersten Leitungstyp vom ersten sowie vom zweiten Gebiet 2 bzw. 3 zu
erhalten und Erschöpfungsschichten bei Nullvorspannung mit dem ersten sowie dem zweiten Gebiet 2 bzw. 3
zu bilden. Das Sperrschichtgebiet 1 ist genügend dünn, damit die Erschöpfungsschichten, die bei Nullvorspannung mit dem ersten und zweiten Gebiet 2 bzw. 3
gebildet werden, in dem Sperrschichtgebiet 1 zusammenfließen um das Sperrschichtgebiet 1 nahezu völlig
an beweglichen Ladungsträgern vom ersten sowie vom entgegengesetzten Leitungstyp zu erschöpfen. Mit
Ausnahme der mit dem Gebiet 1 gebildeten Erschöpfungsschichten bleiben die Gebiete 2 und 3 bei
Nullvorspannung unerschöpft.
Eine annähernde Auflösung der Poissonschen Gleichung in dieser Situation ergibt:
Ο)
30
45
q = die Elektronenladung,
βο = die Dielektrizitätskonstante im Vakuum,
ε = die relative Dielektrizitätskonstante des Halbleitermaterials,
Φο = die Potentialsperre bei Nullvorspannung für vom
Gebiet 2 zum Gebiet 3 wandernde Elektronen, t — die Dicke des Sperrschichtgebietes 1 und
Ns = gleich (t ■ NA) ist und die Netto-Raumladungsdichte im Sperrschichtgebiet 1 darstellt Da M
der Netto-Verunreinigung vom entgegengesetzten Typ pro Oberflächeneinheit des Sperr-
Schichtgebietes 1 entspricht, kann dieser Wert auf z. B. Verunreinigungsionendosen bezogen
werden, die zur Bildung eines derartigen Sperrschichtgebietes 1 implantiert werden können.
Falls eine erhebliche Bandkrümmung auftritt, muß Φο
größer als z. B. k ■ T/q sein, wobei k die Boltsmann-Konstante und T die absolute Temperatur darstellen.
Daher folgt aus der Gleichung (\\ daß für eine Dicke t
von z.B. 10 nm, Ns größer als nahezu 2-10"
Verunreinigungsatome/cm2 sein muß.
Wenn jedoch das Ferminiveau £> einen Wert
innerhalb einiger k ■ Tvon der Valenzbandkante Ev im
Sperrschichtgebiet 1 erreichen würde, wäre das Sperrschichtgebiet 1 nicht mehr an beweglichen
Ladungsträgern vom entgegengesetzten Leitungstyp erschöpft, so daß sich pn-Obergänge bilden würden.
Dadurch wird der Höchstwert von Φο für diesen
Halbleiterkörper beschränkt und wird der zulässigen Größe von TVj für einen gegebenen Wert von f eine
obere Grenze gesetzt So folgt aus der Gleichung (1), daß für einen Siliziumhalbleiterkörper der Wert von Ns
kleiner als nahezu 2 - 10" Verunreinigungsatome/ctn2
für eine Dicke /des Sperrschichtgebietes von 10 nm sein
muß, um dieses Gebiet nahezu erschöpft zu halten. -
In F i g. 3 ist das η-leitende Gebiet 2 höher (n +) mit Donatoren als das η-leitende Gebiet 3 dotiert
Infolgedessen ist die Sperre Φι für Elektronen vom
Gebiet 3 unter einer Vorspannung Vi (wobei das Gebiet 3 negativ in bezug auf das Gebiet 2 vorgespannt ist)
niedriger als die Sperre Φ2 für Elektronen vom Gebiet 2
unter einer Vorspannung V2 (wobei das Gebiet 3 positiv in bezug auf das Gebiet 2 mit V2 = Vi vorgespannt ist).
So wird das Bauelement wirksam und stromleitend bei einer niedrigeren Spannung, wenn das Gebiet 3 negativ
in bezug auf das Gebiet 2 vorgespannt ist, als wenn es positiv vorgespannt ist. Insbesondere kann das Leitendwerden des Bauelements bei negativer Vorspannung
(V|) bei weniger als 1 V (wobei die Elektronen vom η-leitenden Gebiet 3 über das Sperrschichtgebiet 1 zum
η-leitenden Gebiet 2 fließen) auftreten, während das Leitendwerden bei positiver Vorspannung (V2) bei mehr
als 10 V (wobei die Elektronen vom η-leitenden Gebiet
2 über das Sperrschichtgebiet 1 zum η-leitenden Gebiet
3 fließen) erfolgen kann. Die Werte von V) und V2 beim
Leitendwerden des Bauelements werden durch die für die Gebiete 2 und 3 gewählte asymmetrische Dotierung
bestimmt Die Dotierungskonzentration des ersten Gebietes 2 kann leicht mindestens zwei oder drei oder
sogar vier Größenordnungen höher als die des zweiten Gebietes 3 gemacht werden.
Der Aktivator des Sperrschichtgebietes 1 kann ein Dotierungsmittel mit untiefem Niveau von dem am
ersten und zweiten Gebiet 2 und 3 entgegengesetzten Leitungstyp sein. Ein derartiges Dotierungsmittel bildet
ein untiefes Energieniveau im verbotenen Band des Halbleitermaterials in der Nähe der Kante des
verbotenen Bandes, die der für ein Dotierungsmittel vom ersten Leitungstyp gegenüberliegt Das Sperrschichtgebiet 1 kann aber statt dessen mit einer
Tiefniveauverunreinigung vom entgegengesetzten Leitungstyp dotiert sein. Eine derartige Verunreinigung
weist ein Energieniveau tief in dem verbotenen Band weit von der Kante Ec sowie der Kante Ev des
verbotenen Bandes und in der Nähe seiner Mitte auf. Ein möglicher Vorteil der Anwendung einer solchen
Verunreinigung auf tieferliegendem Niveau als Aktivator ist, daß, indem eine genügend hohe Dotierung
geliefert wird, die Potentialsperre einem Wert nahe kommen kann, der dem tiefen Energieniveau der
Verunreinigung entspricht und der für die Größe der Tiefniveaudotierung unempfindlich ist
Für eine gegebene Dicke f bestimmt die Anzahl Ns
von Aktivatoratomen vom entgegengesetzten Leitungstyp im Sperrschichtgebiet 1 im allgemeinen die
Höhe der Potentialsperre Φο zwischen dem ersten und dem zweiten Gebiet 2 und 3 und somit die Größe des
Stromflusses über das Sperrschichtgebiet 1 für eine gegebene Vorspannung. Um eine maximale Asymmetrie in den Kennlinien zu erhalten, ist es vorteilhaft, eine
geringe Dicke t und eine hohe Netto-Dotierung N, für
das Gebiet 1 zu wählen. Daher ist vorzugsweise die Aktivatorkonzentration vom entgegengesetzten Leitungstyp im Sperrschichtgebiet 1 z.B. mindestens eine
oder zwei Größenordnungen höher als die Aktivatorkonzentration vom ersten Leitungstyp in diesem Gebiet
Eine derart hohe Konzentration bringt mit sich, daß das Sperrschichtgebiet 1 auch sehr dünn sein muß, um bei
Nullvorspannung erschöpft zu bleiben. Insbesondere weist das Sperrschichtgebiet eine Dicke von z.B.
höchstens nahezu 25 nm auf.
F i g. 4 zeigt eine besondere Form eine Diodengemäß einem Ausführungsbeispiel der Erfindung. Die Diode
weist eine asymmetrische Strom-Spannungs-Kenniinie auf. was darauf zurückzuführen ist daß ihr erstes Gebiet
2 eine höhere Dotierungskonzentration vom ersten Leitungstyp als das zweite Gebiet 3 besitzt. Diese Diode
ist daher vom allgemeinen durch das Potentialdiagramm nach F i g. 3 illustrierten Typ. Bei dieser Diode grenzt
das erste Gebiet 2 an eine Oberfläche des Halbleiterkörpers 20 und ist durch das nahezu erschöpfte
Sperrschichtgebiet 1 von einem unterliegenden Halbleitergebiet 3 getrennt. Das an die Oberfläche
grenzende Gebiet 2 wird daher einfach durch eine Elektrode 22 kontaktiert, die auf der Halbleiterkörperoberfläche
angeordnet ist. Das Gebiet 2 wird seitlich von einer unerschöpften ringförmigen Zone 24 vom
entgegengesetzten Leitungstyp begrenzt, die sich genügend tief in dem Körper 20 erstreckt, um das
Sperrschichtgebiet 1 zu schneiden. Die unerschöpfte ringförmige Zone 24 wirkt als ein Schutzring ähnlich
den in bekannten Schottky-Dioden verwendeten Schutzringen. Die Zone 24 stellt sicher, daß das Gebiet 2
seitlich von dem umgebenden Teil des Gebietes 3 getrennt und nicht mit diesem am Rande des
Sperrschichtgebietes 1 kurzgeschlossen wird. Wie nachstehend beschrieben wird, kann eine solche
unerschöpfte Zone 24 während desselben Dotierungsschrittes gebildet werden, der auch zur Bildung der
erschöpften Sperrschichtgebietes 1 verwendet wird. Wie an Hand der F i g. 4 beschrieben wird, kann aber die
Zone 24 eine Dotierung aufweisen, die von der des Sperrschichtgebietes 1 verschieden ist. Dadurch können
die Dotierung und die Tiefe der Zone 24 unabhängiger gewählt werden, so daß die Zone 24 eine höhere Sperre
mit dem Gebiet 3 als das Sperrschichtgebiet 1 bilden kann.
Das zweite Gebiet 3 der Diode nach Fig.4 bildet
einen Teil einer epitaktischen Schicht auf einem stärker leitenden Substrat 13, das auch den ersten Leitungstyp
aufweist. Die Elektrode 23 mit dem Gebiet 3 kontaktiert die Hinterfläche des Substrats 13. Auf diese Weise wird
eine einfache Diode mit einander gegenüberliegenden Elektroden 22 und 23 gebildet.
Die Diode nach Fig.4 kann auf folgende Weise
hergestellt werden. Im vorliegenden Beispiel sei angenommen, daß der erste Leitungslyp des ersten und
des zweiten Gebietes 2 und 3 der η-Typ ist.
Auf einem stark leitenden η-Typ einkristallinen Siliziumsubstrat 13 wird eine η-leitende epitaktische
Siliziumschicht 3 auf bekannte Weise aufgewachsen. Die epitaktische Schicht 3 kann einen spezifischen Widerstand
von insbesondere z.B. 5Ω -cm und eine Dicke
von z. B. 12 μηι aufweisen. Auf der Oberfläche der
Schicht 3 wird eine thermische Oxidschicht auf bekannte Weise zur Anwendung als Maske gegen
Dotierung angewachsen. Unter Verwendung bekannter photolithographischer und Ätztechniken werden ringförmige
Fenster durch die Oxidschicht geätzt, an den Stellen, an denen die ringförmigen Zonen 24 in der
epitaktischen Schicht erzeugt werden sollen. Es ist klar, daß im allgemeinen viele Dioden gleichzeitig in
derselben Halbleiterscheibe dadurch hergestellt werden, daß die Bearbeitung an vielen Stellen auf der
Scheibe durchgeführt und anschließend die Scheibe unterteilt wird, um gesonderte Halbleiterkörper für jede
Diode zu erhalten. Der Einfachheit halber wird jedoch der Herstellungsvorgang nur für die an einer dieser
Stellen durchgeführten Bearbeitung beschrieben.
Nachdem das ringförmige Fenster in der Oxidmaske geöffnet ist, wird ein Akzeptordotierungsmittel in die
epitaktische Schicht 3 eingeführt, um die ρ+ -leitende
ringförmige Zone 24 zu bilden, die sich bis zu einer größeren Tiefe als die Tiefe erstreckt, auf der das
Sperrschichtgebiet 1 gebildet werden wird. Ein solches Dotierungsmittel kann durch bekannte Techniken, z. B.
thermische Diffusion von Bor, eingeführt werden. Nach der Bildung der Zone 24 wird die ganze Dotierungsmaske
entfernt, wird die Oberfläche der epitaktischen Schicht 3 gereinigt und wird eine frische Isolierschicht
26 auf bekannte Weise erzeugt. Diese Schicht 26 kann z. B. aus thermisch aufgewachsenem Siliziumoxid mit
einer Dicke von z. B. 120nm bestehen. Unter Verwendung
bekannter photolithographischer und Ätztechniken wird dann die Isolierschicht 26 mit einem Fenster 21
versehen, das in geringem Maße den Innenrand der vorher erzeugten ρ +-leitenden ringförmigen Zone 24
überlappt Über das Fenster 21 werden Aktivatorionen implantiert, wobei die Schicht 26 als Implantationsmaske
verwendet wird, um ein hochdotiertes η + -leitendes Oberflächengebiet 2 und ein sehr dünnes hochdotiertes
aber nahezu erschöpftes Sperrschichtgebiet 1 zu bilden. Vorzugsweise werden die Ionenenergie und -masse
derart gewählt, daß das Gebiet 1 möglichst dünn (z. B. nahezu 15 nm dick) gemacht wird, während die
Ionendosis derart gewählt wird, daß das Gebiet 1 möglichst hoch dotiert wird. Die Ionen für das Gebiet 1
können Ionen eines Flachniveauakzeptors sein, um die Donatorkonzentration des Substrats im Gebiet 1 zu
überkompensieren. Ein geeignetes Akzeptorion ist Indium mit einer lonenstrahlenergie von z. B. 20 keV.
Diese Energie für Indiumionen wird eine maximale Dotierungskonzentration für das Potentialsperrschichtgebiet
auf einer Tiefe von nahezu 15 nm von der Siliziumoberfläche liefern.
Das Gebiet 2 wird durch eine Donatorimplantation von z. B. 10-keV-Antimonionen erzeugt, wodurch für
das Gebiet 2 eine Tiefe von nahezu 10 nm erhalten wird.
Die für das Gebiet 2 nach Fig.4 verwendete Donatordosis kann den Innenrand der ρ + -Schutzringes
24 überdotieren, wo er über das Fenster 21 freigelegt ist. Vorzugsweise wird das Gebiet 2 vor dem Gebiet 1
implantiert, um die Kanalbildung der implantierten Ionen herabzusetzen und so die Breite des Sperrschichtgebietes
1 zu verringern. Aus demselben Grunde werden die Implantationen vorzugsweise unter einem
kleinen Winkel zu den Haupthalbleiterkristallachsen durchgeführt
Die Implantationen zur Bildung der Gebiete 1 und 2 können bei Zimmertemperatur mit Dosen insbesondere
zwischen 1013 und 1014 Antimonionen/cm2 für das Gebiet
2 und zwischen z.B. 5 · 1012 und 5 · 1013 Indiumionen/cm2
für das Gebiet 1 durchgeführt werden. Die beiden implantierten Gebiete werden dann bei z. B.
einer Temperatur von insbesondere 7500C und in einem
Hochvakuum ausgeglüht ohne daß eine nennenswerte Diffusion auftritt Diese Ionendosen für das Sperrschichtgebiet
1 sind höher als die Netto-Werte von N5,
die oben angegeben wurde, weil es notwendig ist sowohl die Dotierung der epitaktischen Schicht im
Gebiet 1 als auch die Donatordotierung ebenfalls in diesem Gebiet infolge der Implantation des Gebietes 2
zu überdotieren.
Nach dem Ausglühen der implantierten Gebiete werden die η-leitenden Gebiete 2 und 3 auf bekannte
Weise mit Elektroden in Form leitender Schichten 22 bzw. 23 versehen. Durch das Vorhandensein der
Schichten 22 und 23, die einen nahezu ohmschen Kontakt mit den Gebieten 2 und 3 bilden, wird eine
Majoritätsladungsträgerdiode erhalten. Die Elektroden 22 und 23 bestehen insbesondere aus einem Metall, z. B.
aus Aluminium oder Titan.
Fig. 5 zeigt die Strom-Spannungs-Kennlinien einer derartigen asymmetrischen Diode mit der Struktur nach
F i g. 4, die unter Verwendung eines derartigen Verfahrens hergestellt wird. Die Diode nach F i g. 5 enthält eine
η-leitende epitaktische Schicht 3 mit einem spezifischen Widerstand von 4 Ω · cm. Die einer Bordiffusion
unterworfene ringförmige Zone 24 weist eine Tiefe von 0,5 μπι und eine kreisförmige Symmetrie mit einem
Innendurchmesser von 55 μηι und einem Außendurchmesser
von 90 μσι auf. Das Fenster 21 in der Oxidschicht
26 ist auch kreisförmig mit einem Durchmesser von 70 μπι. Das erste Gebiet 2 wird durch eine implantierte
Antimondosis von 5 ■ 1013 Ionen/cm2 bei 10 keV erhalten.
Das Sperrschichtgebiet 1 wird durch eine implantierte Indiumdosis von 1 ■ 1013 Ionen/cm2 bei
30 keV erhalten. Die implantierten Gebiete werden zusammen 15 Minuten lang bei 7500C im Vakuum
ausgeglüht.
Die Strom-Spannungs-Kennlinien nach Fig.5 wer- 2«
den dadurch gemessen, daß Durchlaß- und Sperrvorspannungen V] bzw. V2 über die Diodenelektroden 22
und 23 angelegt werden, wie in F i g. 4 dargestellt, und daß der erhaltene Stromfluß /gemessen wird. Unter der
Vorspannung Vi wird das höher dotierte η-leitende 2r>
Gebiet 2 mit einem positiven Potential in bezug auf das weniger hoch dotierte η-leitende Gebiet 3 vorgespannt
und die Kennlinie /- Vi nach F i g. 5 wird erhalten. Unter
einer Sperrvorspannung V2 wird das Gebiet 2 negativ in
bezug auf das Gebiet 3 vorgespannt und die Kennlinie 1» 1-V2 wird erhalten. In der graphischen Darstellung nach
F i g. 5 sind die Durchlaß- und Sperrspannungen Vi und
V2 in Volt als Abszisse und ist der Stromfluß / über die
Diode in mA in einem logarithmischen Maßstab als Ordinate aufgetragen. Aus Fig.5 ist ersichtlich, daß
diese Majoritätsladungsträgerdiode unter Durchlaßvorspannung bei einer Spannung unter 1 V leitend wird und
daß bei einer Durchlaßvorspannung von 1 V der Stromfluß durch die Diode 10 mA nahe kommt. Bei
einer Sperrvorspannung von 1 V ist jedoch der Stromfluß durch die Diode weniger als 1 μΑ, wie in
Fig.5 dargestellt ist. Sogar bei einer Sperrspannung
von 15 V ist der Stromfluß nur nahezu 5μΑ. Eine derartige Diode kann z. B. als ein Gleichrichter
verwendet werden.
In der Diode nach den F i g. 4 und 5 ist das ganze Sperrschichtgebiet 1 nahezu an beweglichen Ladungsträgern
beider Leitungstypen bei Nullvorspannung erschöpft, dadurch, daß die Erschöpfungsschichten die
das Sperrschichtgebiet 1 bei Nullspannung natürlicherweise mit dem ersten und dem zweiten Gebiet 2 und 3
der Diode bildet in dem Sperrschichtgebiet 1 zusammenfließen. Die Diode nach F i g. 4 und 5 weist daher
eine Durchlaßkennlinie /- Vi mit einem abrupt verlaufenden
Einschaltteil auf, wie in F i g. 5 dargestellt ist. Wenn nicht nahezu das ganze Sperrschichtgebiet bereits ohne
Vorspannung an Ladungsträgern beider Typen erschöpft wäre, würde eine Diode gebildet werden, wobei
ein gleichmäßiger verlaufender Einschaltteil der Strom-Spannungs-Kennlinie mit höherem Spannungsabfall.
sowie eine niedrigere Schaltgeschwindigkeit erhalten werden würden, welches Verhalten ohne weiteres
gemessen werden kann. So kann durch solche Messungen festgestellt werden, ob, wie erforderlich, das
Sperrschichtgebiet 1 nahezu erschöpft ist oder nicht
In der Diode nach F i g. 6 ist die ringförmige Zone 24
während des Dotierungsschrittes gebildet, der auch zuf-Bildung
des erschöpften Sperrschichigebietes 1 angewandt
wurde. Der Vorteil einer derartigen Ausführung ist, daß die für die Herstellung benötigte Anzahl von
Bearbeitungsschritten erheblich herabgesetzt wird und eine sehr gedrängte Struktur gebildet werden kann.
Dies kann auf folgende Weise erzielt werden. Nach Ablagerung der epitaktischen Schicht 3 wird die
thermisch angewachsene Oxidschicht 26 mh einer Dicke bis zu z.B. 150nm erzeugt. Das Fenster 21, das den
Umrissen des erforderlichen ersten Gebietes 2 entspricht, wird dann in der Schicht 26 gebildet und Ionen
zur Bildung des ersten Gebietes 2 werden über das Fenster 21 unter Verwendung der Schicht 26 als
Implantationsmaske implantiert. Die Struktur wird dann einer Tauchätzbehandlung in z. B. verdünnter Fluorwasserstoffsäure
unterworfen, um etwa z. B. 40 nm der Schicht 26 wegzuätzen. Durch diese Tauchätzbehandlung
wird daher das Fenster 21 etwas verbreitert. Das verbreiterte Fenster 21 wird dann als Implantationsfenster
für das implantierte Sperrschichtgebiet verwendet, das sich bis zu der Oberfläche rings um das implantierte
Gebiet 2 erstreckt. Das verbreiterte Fenster 21 kann auch als Kontaktfenster für die Elektrode 22 verwendet
werden, die das erste Gebiet 2 kontaktiert; in diesem Falle kontaktiert die Elektrode 22 auch die ringförmige
Zone 24. Die durch die Ätzung erhaltene Verbreiterung des Fensters 21 und somit die Breite der sich
ergebenden ringförmigen Zone 24 können genügend gering gemacht werden, damit diese Zone 24 auch
nahezu erschöpft ist. Eine breite Zone 24, die während der Implantation des Sperrschichtgebietes implantiert
wird, ist jedoch nicht völlig erschöpft und verhält sich somit auf gleiche Weise wie die diffundierte p-leitende
Zone 24 in der Anordnung nach Fig.4. Erwünschtenfalls
kann eine weitere Isolierschicht im vergrößerten Fenster 21 entweder vor oder nach der Implantation des
Sperrschichtgebietes abgelagert werden, wonach in dieser weiteren Schicht ein Kontaktfenster gebildet
werden kann, so daß nur das Gebiet 2 für Kontaktierung durch die Elektrode 22 freigelegt wird.
Eine andere Abwandlung nach F i g. 6 besteht darin, daß eine Dotierungskonzentration 30 im zweiten Gebiet
3 in der mit dem Sperrschichtgebiet 1 gebildeten Erschöpfungsschicht vorhanden ist. Die Dotierungskonzentration
30 ist höher als die in der unterliegenden Masse des Gebietes 3. Eine derartige vergrößerte
Dotierungskonzentration 30 kann einfach durch Implantation von Dotierungsionen in das Gebiet 3 gebildet
werden, die den gleichen Leitungstyp wie das Gebiet 3 aufweisen, wobei die Implantation bei einer derartigen
Energie durchgeführt wird, daß diese Ionen etwas weiter in den Halbleiterkörper als die Ionen in das
implantierte Sperrschichtgebiet eindringen. Wenn die Dotierungskonzentration 30 wenigstens hauptsächlich
innerhalb der an Nullvorspannung liegenden Erschöpfungsschicht liegt, die sich vom Sperrschichtgebiet 1 bis
in das Gebiet 3 erstreckt, tritt ein vernachlässigbarer Effekt auf die asymmetrische Dotierung der Gebiete 2
und 3 auf. Die Dotierungskonzentration 30 wird daher vorzugsweise innerhalb nahezu 15 nm vom Sperrschichtgebiet
1 gebildet. Eine derartige örtlich vergrößerte Dotierungskonzentration 30 dient dazu, die
Größe des elektrischen Feldes im Gebiet 3 in der Nähe des Sperrschichtgebietes 1 zu erhöhen. Infolgedessen
erhält der abfallende Teil der Potentialkurve im Gebiet 3, die im Potentialdiagramm nach F i g. 3 dargestellt ist.
einen steileren Verlauf und fließen Träger leichter über die Potentialsperre zwischen den Gebieten 2 und 3. Eine
bevorzugt= Donatorionendosis für die Bildung der
Dotierungskonzentration 30 kann ζ. Β. zwischen 2 und
5 ■ 1012 Arsenionen/cm2 liegen.
F i g. 6 zeigt auch eine weitere Abwandlung, bei der die Elektrode 22, die ±j>
erste Gebiet 2 kontaktieri, mit einer öffnung versehen ist Auf diese Weise kann ein
Fenster für Photonenstrahlung auf dem größten Teil des ersten Gebietes 2 erhalten werden. Die in Fig.6
dargestellte Elektrode 22 ist ringförmig und kontaktiert den Umfang des Gebietes 2. Eine derartige Diode kann
als ein Photonen-Detektor für niedrige Intensität mit einer hohen Quantumausbeute und Verstärkung zum
Nachweisen von durch das Elektrodenfenster einfallender Photonenstrahlung verwendet werden. Minoritätsladungsträger, die von der Strahlung erzeugt werden,
können im Sperrschichtgebiet ί gesammelt werden, wodurch die Höhe der Sperre und die Größe des
Minoritätsladungsträgerstromflusses über die Sperre geändert werden. Die Elektrodenschicht 22 kann z. B.
aus hochdotiertem polykristallinem Silizium oder einem Metall bestehen.
Das Sperrschichtgebiet 1 und das erste und das zweite Gebiet 2 bzw. 3 können leicht mit anderen Halbleitergebieten
und Elektroden integriert werden, um komplexere Halbleiterbauelemente zu bilden.
Obgleich Ionenimplantation als besonders geeignet für die Bildung des schmalen, nahezu erschöpften
Sperrschichtgebietes 1 und z. B. des hochdotierten ersten Gebietes 2 erwähnt wurde, sind auch andere
bekannte Techniken möglich. So wäre Molekularstrahlepitaxie geeignet für die Bildung solcher dünnen
dotierten Gebiete mit z. B. einem III—V-Halbleitermaterial,
wie Galliumarsenid. Die seitlichen Abmessungen von Gebieten, die mit Hilfe von Molekularstrahlepitaxie
angewachsen sind, können durch eine anschließende lokalisierte Bearbeitung, z. B. eine lokalisierte Entfernung
durch Ätzen, lokalisierte Oberdotierung oder die
jo Bildung von halbisolierenden Zonen unter Verwendung eines lokalisierten Protonenbeschusses definiert werden.
Das erste und das zweite Gebiet 2 und 3 können auch p-leitend sein und es kann die Verunreinigungskonzentration
des Sperrschichtgebietes 1 durch Donatorniveaus gebildet werden. Auch ist es einleuchtend, daD
Elektroden, die zum Anlegen einer Vorspannung über dem Sperrschichtgebiet 1 zwischen dem ersten und dem
zweiten Gebiet 2 und 3 und zum Definieren in einer Halbleiteranordnung eines Stromweges dienen, der sich
zwischen dem ersten und dem zweiten Gebiet 2 und 3 über das Sperrschichtgebiet 1 erstreckt, nicht direkt die
Gebiete 2 und 3 zu kontaktieren brauchen, sondern indirekt mit diesen Gebieten über weitere Halbleitergebiete
oder sofc'ir weitere Schaltungselemente der
Bauelemente verbunden werden können, je nach der besonderen Struktur des Bauelements.
Hierzu 4 Blatt Zeichnungen
Claims (1)
- Patentansprüche:1. Halbleiterbauelement mit einem Halbleiterkörper mit einem ersten und einem zweiten Gebiet von einem ersten Leitungstyp, von denen das erste Gebiet eine höhere Dotierungskonzentration als das zweite Gebiet aufweist und die durch ein Sperrschichtgebiet mit einer Netto-Aktivatorkonzentration vom entgegengesetzten Leitungstyp voneinander getrennt sind, derart, daß bei Stromdurchgang zwischen dem ersten und dem zweiten Gebiet über das Sperrschichtgebiet der Strom durch das Sperrschichtgebiet durch Ladungsträger vom ersten Leitungstyp gebildet ist, dadurch gekennzeichnet, daß das Sperrschichtgebiet (1) so dünn ist, daß es nahezu ganz an beweglichen Ladungsträgern vom ersten sowie vom entgegengesetzten Leitungstyp erschöpft ist, ohne daß eine Vorspannung zwischen dem ersten (2) und dem zweiten (3) Gebiet angelegt ist.2. Halbleiterbauelement nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Sperrschichtgebiet (1) ein Halbleitergebiet ist, das mit Aktivatoratomen vom entgegengesetzten Leitungstyp dotiert ist3. Halbleiterbauelement nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß in dem Sperrschichtgebiet (1) die Konzentration von Aktivatoren vom entgegengesetzten Leitungstyp mindestens zwei Größenordnungen höher als die Konzentration von jo Aktivatoren vom ersten Leitungstyp ist.4. Halbleiterbauelement nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das erste Gebiet (2) an eine Oberfläche des Halbleiterkörpers grenzt und durch das Sperr- J5 schichtgebiet (1) von einem darunterliegenden Halbleiterkörperteil getrennt ist, der zu dem zweiten Gebiet (3) gehört.5. Halbleiterbauelement nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß das an die Oberfläche grenzende erste Gebiet (2) seitlich von einer nichterschöpften ringförmigen Zone (24) vom entgegengesetzten Leitungstyp begrenzt wird, die das erste Gebiet (2) seitlich von einem Teil des zweiten Gebietes (3) trennt und sich genügend tief in den Körper erstreckt, um das Sperrschichtgebiet (1) zu schneiden.6. Halbleiterbauelement nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die nichterschöpfte ringförmige Zone (24) eine Dotierung aufweist, die von der so des Sperrschichtgebietes (1) verschieden ist.7. Halbleiterbauelement nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß auf dem ersten Gebiet (2) eine erste Elektrode und auf dem zweiten Gebiet (3) eine zweite Elektrode si angebracht sind.8. Halbleiterbauelement nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das zweite Gebiet (3) in der mit dem Sperrschichtgebiet (1) gebildeten Erschöpfungsschicht eine höhere w) Dotierungskonzentration als in seinem darunterliegenden Teil aufweist.9. Halbleiterbauelement nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das zweite Gebiet (?) ein Teil einer epitaklischen h5 Schicht vom ersten Lcitungstyp ist, der auf einem stärker leitenden Substrat (13) vom ersten Leitungstyp liegt, während eine Elektrode (23) für das /weiteGebiet das Substrat (13) kontaktiert (F i g. 4).10_ Halbleiterbauelement nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß das zweite Gebiet ein Teil einer epitaktischen Schicht vom ersten Leitungstyp ist, der auf einem Substrat vom entgegengesetzten Leitungstyp liegt, während eine Elektrode für das zweite Gebiet die Oberfläche der epitaktischen Schicht kontaktiert. .11. Verfahren zur Herstellung eines Halbleiterbauelements nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das Sperrschichtgebiet dadurch gebildet wird, daß in einem Halbleiterkörperteil vom ersten Leitungstyp durch eine Halbleiterkörperoberfläche Ionen eines Dotierstoffs vom entgegengesetzten Leitungstyp implantiert werden, wobei die Energie der implantierten Ionen derart gewählt wird, daß eine maximale Konzentration des Dotierstoffs im Körper in Abstand von der Oberfläche erhalten wird.
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