DE2701599A1 - Verfahren zur herstellung von poroesen reaktionsgesinterten formkoerpern auf siliziumnitridbasis - Google Patents

Verfahren zur herstellung von poroesen reaktionsgesinterten formkoerpern auf siliziumnitridbasis

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    • C04B35/515Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics
    • C04B35/58Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on borides, nitrides, i.e. nitrides, oxynitrides, carbonitrides or oxycarbonitrides or silicides
    • C04B35/584Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on borides, nitrides, i.e. nitrides, oxynitrides, carbonitrides or oxycarbonitrides or silicides based on silicon nitride
    • C04B35/591Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on borides, nitrides, i.e. nitrides, oxynitrides, carbonitrides or oxycarbonitrides or silicides based on silicon nitride obtained by reaction sintering

Description

  • Verfahren zur Herstellung von porösen reaktions-
  • gesinterten Formkörpern auf Siliziumnitridbasis Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung von porösen reaktionsgesinterten Formkörpern auf Siliziumnitridbasis durch Nitridierung von Siliziummetallteilchen und Zusätze enthaltenden Formkörpern und anschließendes Sintern.
  • Bekanntlich weisen die auf dem üblichen Weg aus Siliniumpulver mit anschließendem Behandeln der daraus geformten Körper in Stickstoffatmoephäre hergestellten, reaktionsgesinterten Siliziumnitridformkörper eine offene Porosität auf, die im allgemeinen im Bereich von 20 % bis 40 % liegt.
  • Wegen dieser hohen Porosität sind solche reaktionsgesinterten Formkörper stark gasdurchlässig, und sie unterliegen dem korrosiven Angriff durch infiltrierende heiße Gase, Schlacken und Metallschmelzen.
  • Es wurden bereits verschiedene Versuche unternommen, die Gasdurchlässigkeit solcher porösen Siliziumnitridformkörper zu vermindern. So wird z.B. in der deutschen Offenlegungsechrift 2 540 015 eine Arbeitsweise beschrieben, bei welcher Cordierit oder ein Borsilikatelas als FUllstoff auf dem Umweg über Imprägnieren der porösen Silizimnitridkörper und einer darauf folgenden Wärmebehandlug der imprEgnierten Körper eingebaut wird. Durch den Einbau dieser Zusätze in die offenen Poren des Körpers wird die Gasdurchlässigkeit vermindert. Des weiteren wird in der deutschen Offenlegungsschrift 2 353 093 eine andere Ärbeitsweise beschrieben, bei der zunächst eine Metalloxidmischung, bestehend zu einem Teil aus der Gruppe Magnesiumoxid, Zinnoxid, Nickeloxid und deren Mischungen und zum anderen Teil aus der Gruppe Aluminiumoxid, Chromoxid, Titanoxid, Zinnoxid, Yttriumoxid und deren Mischungen hergestellt und mit pulverförmigem Siliziumnitrid zusammengemischt wird und die aus dieser Mischung geformten Körper dann unter Bildung von gasundurchlässigen Formteilen im Temperaturbereich von 16000C bis 18000C in Argon- oder Stickstoffatmosphäre gesintert wird. Aus der deutschen offenlegungsschrift 2 356 921 ist weiterhin eine Arbeitsweise zur Herstellung von Siliziumnitrid-Keramiken bekannt, bei welchem dem Siliziumpulver beim Reaktionesintern neben einem Flußmittel auch Siliziumdioxid, Siliziumcarbid, Graphit, Bornitrid, Aluminium, Titan und/oder Eisen in Mengen von 10 bis 30 Vol,-46 zusetzen kann. Bei dieser Arbeitsweise muß der Formkörper Jedoch unter Druck bei Temperaturen zwischen 16000C bis 18500C gesintert werden, um ein Produkt mit einer möglicht hohen Dichte zu erhalten.
  • Diese bekannten keramischen Körper enthalten aber zum Teil leicht korrodierbare Zusätze, sie haben wegen der hohen Dichte eine hohe Wärmeleitfähigkeit und ihre Herstellung ist sehr aufwendig.
  • Aufgabe der Erfindung ist ein Verfahren zur Herstellung von poren reaktionsgeeinterten Formkörpern auf Siliziumnitridbasis, das die Nachteile der zuvor beschriebenen Arbeitsweisen nicht aufweist, bei dem insbesondere eine Drucksinterung vermieden wird und wobei die erhaltenen Formkörper eine geringe Gasdurchlässigkeit, eine geringe Wärmeleitfähigkeit und gleichzeitig hohe Widerstandsfähigkeit gegenUber Korrosion durch heiße Gase, Schlacken und Metallechmelzen besitzen.
  • Überraschenderweise wurde nun gefunden, daß reaktionsgesintere Formkörper auf Siliziumnitridbasis mit sehr geringer Gasdurchlässigkeit trotz hoher Porosität hergestellt werden können, wenn man von einem Gemisch aus Ferrosiliziumnitridpulver und Siliziummetallpulver ausgeht.
  • Bei einer Abwandlung des erfindungsgemäßen Verfahrens wird von einem Gemisch aus Siliziumnitridpulver und Ferrosiliziummetallpulver ausgegangen.
  • Das erfindungsgemäße Verfahren zeichnet sich dadurch aus, daß man als Ausgangsmaterial ein Gemisch aus 70 bis 95 Gew.-Teilen Ferrosiliziumnitridpulver und 30 bis 5 Gew.-Teilen Siliziummetallpulver verwendet.
  • Bei der Abwandlung des erfindungsgemäßen Verfahrens zeichnet sich dieses dadurch aus, daß man als Ausgangsmaterial ein Gemisch aus 70 bis 95 Gew.-Teilen Siliziumnitridpulver und 30 bis 5 Gew.-Teilen metallischem Ferrosiliziumpulver verwendet. Bevorzugt verwendet man 7 bis 18 Gew.-Teile des Metallpulvers. Bei vorteilhaften Ausführungsformen beträgt die maximale Teilchengröße der verwendeten Pulver 200»nun, besonders vorteilhaft 150/31m , und besonders bevorzugt, 40 P m.
  • Falls man von einem grobkörnigeren Ausgangsmaterial, d.h.
  • Siliziummetallteilchen bzw. Siliziumnitridteilchen und Ferrosiliziumnitridteilchen bzw. Ferrosiliziummetallteilchen ausgeht, kann man dieses grobkörnigere Ausgangsmaterial in Anwesenheit von Wasser und gegebenenfalls einem Übergangsbindemittel auf eine feinkörnigere Teilchengröße mahlen.
  • Unter dem in der Beschreibung verwendeten Ausdruck "Pulver" sind Materialien mit einer maximalen Teilchengröße bis zu 0,2 mm entsprechend der Norm DIN 17600, B1. 2 (Entwurf Sept. 1966) zu verstehen. Die Angabe einer maximalen Teilchengröße bedeutet, daß dieses Material alle Teilchengrößen unterhalb der maximalen Teilchengröße enthalten kann, d.h. von der geringstmöglichen Teilchengröße bis zu der maximalen Teilchengröße. Die Korngrößenverteilung in diesem Bereich entspricht der üblichen Korngrößenverteilung, wie sie beim Mahlen dieser Materialien erhalten wird. Selbstverständlich ist es möglich, daß Je nach Verwendung eines bestimmten Mahlaggregates unterschiedliche Korngrößenverteilungen bzw.
  • Sieblinien erhalten werden.
  • Außerdem ist es auch möglich sehr feine Pulver zu verwenden, die durch Sichtung erhalten wurden, z.B.
  • bei einer Teilchengröße von 10/um oder 20.
  • Selbstverständlich erfolgt keine solche Abtrennung bei Mahlung eines grobkörnigeren Ausgangsmaterials auf eine feinkörnigere Teilchengröße.
  • Als Ferrosiliziumnitrid kann bei dem erfindungsgemäßen Verfahren ein Produkt verwendet werden, das entsprechend den Angaben in der deutschen Offenlegungsschrift 2 439 163 erhalten wurde, wobei dieses vorteilhafterweise zu 70 bis 80 Gew.-% und besonders bevorzugt 75 bis 80 Gew.-% Siliziumnitrid und aus Rest vorwiegend freies Eisen und die üblichen Verunreinigungen enthält.
  • Als Ferrosilizium kann bei dem erfindungsgemäßen Verfahren ein Ausgangsmaterial verwendet werden, das 40 bis 75 Gew.-% Si, vorteilhafterweise 50 bis 75 Gew.-% Si und besonders bevorzugt 60 bis 75 Gew.-% Si enthält.
  • Das bei dem erfindungsgemäßen Verfahren verwendete Siliziummetallpulver kann ein übliches Material sein, wie es auch bislang zur Herstellung von Siliziumnitridmaterialien bzw. Siliziumnitridformkörpern verwendet wurde. Dasselbe gilt für das bei dem erfindungsgemäßen Verfahren zu verwendende Siliziumnitrid.
  • Bei der Herstellung der Formkörper, die der anschließenden Nitridierung unterworfen werden, kann nach jeder bekannten, beliebigen Arbeitsweise vorgegangen werden, d.h. die Ausgangsmaterialien werden zweckmäßigerweise mit einer Lösung eines temporären Bindemittels versetzt, zu den Formkörpern unter den üblichen Preßdrücken, vorteilhafterweise mindestens 100 N/mm2 verpreßt, anschliessend bei einer 1000C übersteigenden Temperatur, vorteilhafterweise zwischen 110 0C und 150 ob getrocknet.
  • Nach dem vollständigen Trocknen werden die hergestellten Formkörper der Nitridierung unterworfen. Hierzu wird gereinigtes, möglichst sauerstofffreies Stickstoffgas oder Ammoniak in üblicher Weise in den Ofen, in welchem die Formkörper untergebracht sind, eingeleitet, wobei der Temperaturanstieg üblicherweise 300 bis 4000C/h beträgt.
  • Das Erhitzen erfolet zunächst auf eine Temperatur von maximal 1360°C, um die Nitridierungsreaktion, welche exotherm verläuft, nicht zu rasch ablaufen zu lassen, und ein Schmelzen von noch nicht umgesetztem Silizium, sei es im Ferrosiliziummetall oder im Siliziummetall, zu vermeiden. Nach Abschluß der Nitridierungsreaktion, die üblicherweise in 1 bis 4 Stunden, je nach Größe des Formgegenstandes, abeeschlossen ist, wird die Temperatur in einer Stunde auf etwa 15000C erhöht und für mehrere Stunden, vorteilhafterweise 4 bis 8 Stunden, auf dieser Temperatur gehalten, damit der Sintervorgang abgeschlossen werden kann. Selbstverständlich können in Abhängigkeit von der Größe und Dichte der Formkörper die angegebenen Zeit- und Temperaturbedingungen auch von den angegebenen Werten abweichen.
  • Bei dem erfindungsgemäßen Verfahren werden graue bis graugrüne, gesinterte, poröse, jedoch metallisch klingende Formkörper hoher Festigkeit und hoher Gasundurchlässigkeit erhalten. Die erfindungemä hergestellten Formkörper weisen eine matte Oberfläche auf, die zum größten Teil aus Siliziumoxynitrid besteht.
  • Dieses Slliziumoxynitrid bildet sich zwangsläufig aus der in den Ausgangsmaterialien enthaltenen Sauerstoffverunreinigung, obwohl die Nitridierung wie auch das anschließende Sintern normalerweise bei einem Sauerstoffpartialdruck von höchstens 10 -7 atm durchgeführt werden.
  • Je nach dem letallanteil in der Ausgangsmischung beträgt die lineare Schwindung der gesinterten Formkörper zwischen 0 und 3 %. Sie sind über den ganzen Quer-oder längsechnitt gleichmäßig verdichtet.
  • Mikroskopisch läßt das Gefüge das Vorhandensein einer Vielzahl von in der Grundmasse aus Siliziumnitrid und zum Teil Siliziumoxynitrid feindispergierter, metallisch reflektierender, rundlicher Teilchen erkennen, die zur Hauptsache aus Eisen bestehen. Besonders kennzeichnend ftir das Gefüge ist ein hoher Porenanteil, der über 25 ffi liest. 85 bis 90 % der Gesamtporen liegen in dem Größenbereich 0,02 bis 5/um, der Rest im Bereich 200 bis 400,um.
  • Die Gesamtporosität der Körper kann z.B. 38 bis 43 % betragen, wovon 90 bis 98 % auf die offenen Poren entfällt.
  • Trotz dieses Tatbestandes liegt die Luftdurchlässigkeit der gemäß der Erfindung hergestellten Körper, ermittelt nach DIN 51058, Blatt 1, im Bereich 0,0 bis 0,2 Nanoperm, was generell für hochporöse Keramiken, als welche die erfindungsgemäßen Körper auch bezeichnet werden können, erstaunlich niedrige Werte sind. Danach dürfen diese Formkörper als gasundurchlässig oder als solche mit einer nur sehr geringen Gasdurchlässigkeit bezeichnet werden. Ihre äußerst niedrige bis praktisch fehlende Gasdurchlässigkeit ist, wie aus dem Mikrogefüge festzustellen ist, auf innige Verwachsung der Metall- mit den Nitrid/Oxynitridphasen zurückzuführen, obwohl diese Phasen untereinander scharf abgegrenzt sind.
  • Das Zustandekommen eines derartigen Gefüges hat zur Bildung von Poren geführt, deren Größe überwiegend, wie vorstehend erwähnt, im Mikro- bis Submikrobereich liegt.
  • Diese Poren sind für unter laminarer Strömung stehende Gasen undurchlässig. Die groben Poren der Größenordnung 200 bis 400 iun ' die den weitaus geringeren Porenanteil darstellen und die an sich von Gasen durchströmbar sind, liegen nur grob verteilt und isoliert vor, so daß sie im Endeffekt ohne den Einfluß auf die Gesamtgasdurchlässigkeit der Körper bleiben.
  • Es ist verständlich, daß einem Gefüge, wie vorstehend beschieben, eine relativ hohe Festigkeit eigen sein muß.
  • Es hat sich tatsächlich gezeigt, daß die gemäß der Erfindung hergestellten Körper eine Kaltbiegefestigkeit 30 bis 50 N/mm2 und eine Kaltdruckfestigkeit 140 bis 190 N/mm2 aufweisen. Für Formteile aus Siliziumnitrid, die, in der Ingenieurtechnik eingesetzt, nicht primär auf Festigkeit sondern auf Beständigkeit gegen mehr oder wenig aggresiven Gase oder erosiven Schmelzen beansprucht werden, sind diese Festigkeitswerte völlig ausreichend. Sie bleiben - und das hat sich überraschend auch gezeigt - erhalten, selbst wenn man zur Herstellung der erfindungsgemäßen Körper relativ grobkörnige Mischungen verarbeitet. So wurden Werte, die innerhalb der vorstehend angegebenen Festigkeitsbereichen fallen, bei gesinterten Körpern ermittelt, für deren Herstellung man von Ferrosiliziumnitrid ausging, welches nur auf 150/im Maximalteilchengröße heruntergemahlen wurde. Demnach stellt die Verwendung von Mischungen mit der erfindungsgemäß angewandten, jedoch in der Herstellungstechnik von Nitridkeramiken unüblichen Grobkörnigkeit einen erheblichen und überraschenden Fortschritt dar. In der Praxis bedeutet dies eine Senkung der Masseaufbereitungskosten und Einsparung von Feinstmahlvorgängen.
  • Ein wichtiges Merkmal der erfindungsgemäß hergestellten Formkörper ist, daß sie trotz ihrer hohen Porosität auch von flüssigen Metallschmelzen nicht infiltriert werden.
  • Sie sind selbst gegen geschmolzenen Stahl sehr beständig.
  • Nach 1-stündiger Einwirkungsdauer von Stahlschmelzen bei 16000C konnten keine Ansätze einer Korrosion festgestellt werden.
  • Wie aus dem ausgeführten folgt, bietet das erfindungsgemäße Herstellungsverfahren von reaktionsgesinterten Formkörpern auf Siliziumnitridbasis eine Reihe von Vorteilen, die wie folgt nochmals zusammengefaßt werden: Das Material ist undurchlässig gegen Schmelzen und Gase, so daß keine korrosiven Medien eindringen können. Damit sind hohe Standzeiten beim Betriebseinsatz in der Feuerfest-Technik gewährleistet.
  • Die relativ hohe Porosität macht das Material leicht und setzt vor allem die Wärmeleitfähigkeit herab, so daß das Material wärmeisolierend ist, was in der Feuerfest-Technik erwünscht ist.
  • Die Festigkeit ist der von herkömmlichem Feuerfest-Material weit überlegen, wenn auch die Festigkeit von heißgepreßtem porenfreiem 5i3N4 nicht erreicht wird.
  • Die Erfindung wird anhand der folgenden Ausführungsbei spiele näher erläutert.
  • Beispiel 1 93 Gew.-Teile handelsübliches Ferrosiliziumnitrid mit einem Siliziumnitridgehalt von 75 - 80 P, Rest Eisen und Verunreinigungen, wurden mit 7 Gew.-Teilen Siliciummetallpulver unter Zusatz von 2 Gew.-Teilen einer 12 siegen wäßrigen Polyvinylalkohollbsung bis auf eine Maximalteilchengrbße von 40µm in. einem Mahlaggregat mit Korundkugeln naß vermahlen, Die wäßrige Suspension wurde in eine Filterpresse gepreßt und die Filterkuchen auf eine Festfeuchte von 1 % getrocknet. Nach der Trocknung wurde die Masse auf 0,5 bis 1 mm große Sekundärteilchen zerkleinert, in Briketts mit einem 2 Druck von 100 N/mm vorgepreßt und wieder in Teilchen der Maximalgröße von 0,6 mm zerkleinert. Aus diesen Teilchen wurden RF-Steine und zylindrische Körper etwa 60 mm > mit einem Druck von 200 N/mm2 isostatisch gepreßt und danach 4 Stunden bei 1100C getrocknet.
  • Das Reaktionssintern in einer Atmosphäre von gereinigtem, O2-freiem Stickstoffgas, dessen Sauerstoffpartialdruck 10 atm betrug, wurde in einem Vakuuminduktionsofen, mit einer Reaktionskammer aus Graphit, durchgeführt. Zunächst wurde der Reaktionaraum auf ein Vakuum von 0,8 Torr gebracht, anschließend die Kammer innerhalb von 2 Stunden auf 6000C erhitzt, alsdann 2 Stunden bei dieser Temperatur gehalten. Danach wurde das Stickstoffgas entsprechend einem Druck von 300 mm Wassersäule eingeleitet und die Brennkammertemperatur binnen 2 Stunden auf 1360°C erhöht. Nach einer Haltezeit von 3 Stunden bei 13500C wurde die Temperatur unter unveränderter Stickstoffatmosphäre innerhalb von 1 Stunde auf 150000 gebracht und während 6 Stunden bei 15000C wurden die dem Nitridierungsprozeß unterworfenen Körper gesintert.
  • Die gebrannten Formkörper wiesen einen Gewichtsverlust von 9 p, eine lineare Schwindung von 3 %, grau-grUne matte Oberflächen und einen metallisch klingenden Klang auf.
  • Die physikalischen Eigenschaftswerte sind in der beigeftlgten Tabelle aufgeführt.
  • Beispiel 2 88 Gew.-Teile handelsübliches Ferrosiliziumnitrid von Beispiel 1 wurden mit 12 Gew.-Teilen Siliziummetallpulver, wie in Beispiel 1 beschrieben, behandelt. Es resultierten reaktionsgesinterte Körper, die einen Gewichtsverlust von 6 %, eine lineare Schwindung von 0,5 % und ein ähnliches makroskopisches Aussehen sowie ähnliche Beschaffenheit aufwiesen wie die Körper gemäß dem Beispiel 1. Die physikalischen Eigenschaftsdaten sind in der Tabelle aufgeführt.
  • Belsniol 3 93 Gew.-Teile handelsübliches Ferrosilizium von Beispiel 1 wurden mit 7 Gew.-Teilen Siliziumnitridpulver unter Zusatz von 2 Gew.-Teilen einer 2 %igen wäßrigen Polyvinyllkoholldsung bis auf Maximalteilchengröße 150 µm in einem Mahlaggregat mit Korundkugeln naß gemahlen und des weiteren wie in Beispiel 1 behandelt.
  • Die reaktionsgesinterten Körper wiesen einen Gewichtsverlust von 4 %, eine lineare Schwindung von 1,5 ffi und ein ähnliches makroskopisches Aussehen sowie ähnliche Beschaffenheit wie die in Beispiel 1 und 2 beschriebenen Körper auf. Die physikalischen Eigenschaftswerte sind in der Tabelle aufgeführt.
  • Beispiel 4 88 Gew.-Teile handelsübliches Ferrosilizium von Beispiel 1 wurden mit 12 Gew.-Teilen Siliziummetallpulver unter Zusatz von 2 Gew.-Teilen einer 12 zeigen wäßrigen Polyvinylalkohollösung bis auf Maximalteilchengröße 150 zu in einem Mahlaggregat mit Korundkugeln naß vermahlen und des weiteren wie in Beispiel 1 behandelt.
  • Die reaktionsgesinterten Körper wiesen einen Gewichtsverlust von 2,3 %, eine lineare Schwindung von 1,3 % und ein ähnliches Aussehnen sowie ähnliche Beschaffenheit wie die unter Beispiel 1, 2 und 3 beschriebenen Körper auf.
  • Die physikalischen Eigenschaftswerte sind in der Tabelle aufgeführt.
  • Nach Behandlung von aus diesem Material hergestellten, in der Feuerfest-Technik unter dem Begriff "Verschlackungstiegel" bekannten Prüfkörper (Würfel von einer Kantenlänge 10 cm mit einer Vertiefung von 30 mm, > 45 mm, DIN 51069, Blatt 2) mit bei 16000C geschmolzenem Baustahl der Marke ST 37 während 1 Stunde konnte weder eine Stahlinfiltration in das Tiegelmaterial noch eine Korrosion der sich im Kontakt mit der Stahlschmelze befindlichen Tiegeloberfläche festgestellt werden.
  • Tabelle Physikalische Eigenschaftswerte Beispiel 1 2 3 4 Raumgewicht, g/cm3 1,95 1,83 2,08 2,03 Gesamtporosität, % 39,5 43,0 38,0 39,5 offene Porosität, % 38,0 42,0 36,0 37,5 Biegefestigkeit, N/mm2 48 40 30 30 Druckfestigkeit, N/mm2 188 184 145 140 Gasdurchlässigkeit, Nanoperm 0,08 0,00 0,13 0,17

Claims (14)

  1. Pat entan sprüche 1, Verfahren zur Herstellung von porösen reaktionsgesinterten F ormkörpern auf Siliziumnitridbasis durch Nitridierung von Siliziummetallteilchen und Zusätze enthaltenden Formkörpern und anschließendes Sintern, dadurch gekennzeichnet, daß man als Ausganesmaterial ein Gemisch aus 70 bis 95 Gew.-Teilen Ferrosiliziumnitridpulver und 30 bis 5 Gew.-Teilen Siliziummetallpulver verwendet.
  2. 2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß man Ferrosiliziumnitridpulver und/oder Siliziummetallpulver mit einer maximalen Teilchengröße von 200/um verwendet.
  3. 3. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß man Pulver mit einer maximalen Größe von 150,irn verwendet.
  4. 4. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß man Pulver mit einer maximalen Größe von 40/um verwendet.
  5. 5. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß man das grobkörnigere Ausgangsmaterial in Anwesenheit von Wasser und gegebenenfalls einem Übergangsbindemittel mahlt, und gegebenenfalls die erhaltenen Sekunddrteilchen zerkleinert.
  6. 6. Verfahren nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß man bis auf eine Teilchengröße von maximal 200/um mahlt.
  7. 7. Verfahren nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß man bis auf eine Korngröße von maximal 150/um mahlt.
  8. 8. Verfahren nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß man bis auf eine Korngröße von maximal 40/um mahlt.
  9. 9. Verfahren nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß man als Übergangsbindemittcl Polyvinylalicohol verwendet.
  10. 10. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß man als Ferrosiliziumnitrid ein Material mit 65 bis 80 Gew.- Siliziumnitrid und als Rest vorwiegend freiem Eisen verwendet.
  11. 11. Verfahren nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß man ein Material mit 70 bis 80 Gew.-,Siliziumnitrid und als Rest vorwiegend freiem Eisen verwendet.
  12. 12. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß man die Nitridierung bei einer Temperatur von maximal 1360 0C durchführt und anschließend 4 bis 8 Stunden bei etwa 15000C sintert.
  13. 13. Verfahren nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß man die Hitridierung bei einer Temperatur von 12500C bis 13500C durchführt und anschließend 4 bis 8 Stunden bei etwa 15000C sintert.
  14. 14. Abwandlung des Verfahrens nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß man als Ausgangsmaterial ein Gemisch aus 70 bis 95 Gew.-Teilen Siliziumnitridpulver und 30 bis 5 Gew.-Teilen pulverförmigem, metallischem Ferrosilizium verwendet.
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EP0313382A1 (de) * 1987-10-23 1989-04-26 Eaton Corporation Verfahren zur Herstellung von Gegenständen aus Siliciumnitrid
US5750449A (en) * 1993-06-14 1998-05-12 Sumitomo Electric Industries, Ltd. Ceramic porous bodies and method of producing the same
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