DE2642770A1 - Herstellung von halbleiteranordnungen - Google Patents

Herstellung von halbleiteranordnungen

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David John Vinton
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Koninklijke Philips NV
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Philips Gloeilampenfabrieken NV
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    • H01J37/00Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/30Electron-beam or ion-beam tubes for localised treatment of objects
    • H01J37/304Controlling tubes by information coming from the objects or from the beam, e.g. correction signals
    • H01J37/3045Object or beam position registration
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    • H10W46/101
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