DE2635798A1 - Verfahren zum stromlosen katalytischen abscheiden von aluminium - Google Patents

Verfahren zum stromlosen katalytischen abscheiden von aluminium

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Description

SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT - Unser Zeichen Berlin und München VPA 7g ρ 7 c q g Dpn
Verfahren zum stromlosen katalytischen Abscheiden von Aluminium
Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zum stromlosen katalytischen Abscheiden von Aluminium aus aprotischen Alankomplexbädern auf Substratoberflächen.
Es ist bekannt, daß Titantetrachlorid die Zersetzungstemperatur von Aluminiumwasserstoffverbindungen erheblich herabsetzt. Gemäß dem in der DT-AS 1 621 227 beschriebenen Verfahren kann auf einem Substrat Aluminium in Gegenwart eines Zersetzungskatalysators beispielsweise einer oder mehrerer Verbindungen von Metallen der Gruppe IVB und VB des Periodensystems der Elemente aus einer Aluminiumhydridverbindung, beispielsweise komplexen Alkali-, Erdalkali- oder Magnesiumaluminiumhydriden abgeschieden werden. Es hat sich jedoch gezeigt, daß hierbei der Katalysator auf dem Substrat nicht fest haftet. Der Katalysator löst sich im Aluminierbad vom Substrat ab und das Substrat ist uneinheitlich beschichtet. Vielfach ist die Katalysatorschicht zu dick. Statt einer Substrataluminierung erfolgt Ablösung des Katalysators im Aluminierbad vom Substrat und eine Zersetzung des Tauchaluminierbades. Ein technisch brauchbares Aluminierverfahren ist auf dieser Grundlage in der Praxis nicht verifizierbar. Es fehlen bestimmte Voraussetzungen hinsichtlich der Aktivierung von Substraten und der eigentlichen Aluminiummetallierung. Unter Verwendung der in der DT-AS 1 621 227 angegebenen Katalysatoren kann die zu aluminierende Unterlage nicht mit einem festhaftenden Katalysatorfilm belegt werden, der für die Abscheidung von Aluminium auf der Ober-
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fläche des Substrats erforderlich ist. Die in der DT-AS als Katalysatoren genannten Stoffe sind nicht adsorptiv auf dem Substrat gebunden. Sie lösen sich im Aluminierbad ab.
Aufgabe der Erfindung ist die Herstellung von haftfesten dichten und homogenen Aluminiumüberzügen auf isolierenden und leitfähigen Materialien durch stromloses Abscheiden von Aluminium in flüssiger Phase in Gegenwart von grenzflächenaktiven Katalysatoren, bei dem die eingangs geschiderten Nachteile vermieden sind und bei dem sich das verwendete Aluminierbad selbst bei Temperaturen von ca. 100 0C nicht thermisch zersetzt.
Die Aufgabe wurde erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß die Oberfläche von zu aluminierenden Substraten (1) zunächst in flüssiger Phase mittels einer verdünnten Lösung eines grenzflächenaktiven Katalysators - in einem Katalysatorbad - aktiviert, (2) das aktivierte Substrat in aprotischen Solventien, vorzugsweise solchen mit einem Siedepunkt > 100 0C - in einem Spülbad - intensiv gewaschen und (3) nachfolgend Aluminium durch Tauchen in eine 1- bis 4%ige Lösung von Trialkylaminalan in einem Lösungsmittelgemisch aus Aromaten und hochviskosen Aliphaten - in einem Aluminierbad - aufgebracht wird. Vorzugsweise werden Katalysator- und Spülbäder mit hochsiedenden Lösungsmitteln verwendet.
Die erfindungsgemäß verwendeten grenzflächenaktiven Zersetzungskatalysatoren sind wenig feuchtigkeitsempfindlich und sie haben eine hohe katalytische Wirksamkeit hinsichtlich der Zersetzung von Alanen bei niedrigen Temperaturen. Sie gewähren eine gleichmäßige Aktivierung der Substratoberfläche. Die Abscheidung des Aluminium erfolgt gleichzeitig auf der gesamten Substratoberfläche. Sie ziehen festhaftend aus flüssiger Phase auf das Substrat auf, wobei es für viele Fälle von Vorteil ist, daß sie filmartig auf das Substrat aufziehen. Bei Verwendung der grenzflächenaktiven Zersetzungskatalysatoren gemäß der Erfindung erhält man eine homogene Aluminiumbeschichtung.
Geeignete isolierende Materialien sind beispielsweise Glas, Aluminiumoxidkeramik, hydrophobiertes Teflon, Silicium, Siliciumdioxid, Berylliumoxidkeramik.
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Geeignete leitfähige Materialien sind beispielsweise Kupfer, Nickel, Stahl.
Die grenzflächenaktiven Katalysatoren können erfindungsgemäß (a) verdünnte Lösungen von modifizierten Estern oder Acylaten von Titan, Zirkon und Vanadin, die an einem Metallatom durch kurz- und langkettige organische Reste substituiert sind, enthalten. Als besonders geeignet haben sich Ester und Acylate der genannten Übergangsmetalle mit kurzkettigen Alkylgruppen wie Isopropyl und Butyl erwiesen. Langkettige Alkylreste mit mindestens 8, vorzugsweise 16 bis 18 Kohlenstoffatomen, stellen die Schutzkomponente gegen Feuchtigkeitsempfindlichkeit dar. Die Schutzwirkung basiert hierbei auf einer Zunahme der hydrophoben Eigenschaften des Übergangsmetallesters bzw. Acylats.
Die gemischten Ester der Übergangsmetalle von Titan, Zirkon und Vanadin können durch Zugabe der gewünschten Menge des höheren Alkohols zum niedrigkettigen Ester hergestellt sein. Hierbei erfolgt eine teilweise Substitution des niedren Alkohols durch den höheren. Es ist ein besonderer Vorteil des erfindungsgemäßen Verfahrens, daß die langkettigen Alkylreste der modifizierten Ester die Filmbildung fördern, so daß sie haftfest und einheitlich als transparenter Film auf das Substrat aufziehen.
Das entsprechende gilt auch für die Acylate bzw. für die teilweise acylierten Ester. Es ist ein großer Vorteil des erfindungsgemäßen Verfahrens, daß der Kondensationsgrad der Ester und Acylate keinen dominanten Einfluß auf deren katalytische Wirksamkeit hat.
Wenn auch die Verwendung der reinen Ester zur Aktivierung im Prinzip möglich ist, so hat sich dennoch die Verwendung der genannten Katalysatoren in hoher Verdünnung, nämlich in Konzentrationen im Bereich von vorzugsweise 10 bis 2 Gew.% als besonders günstig erwiesen.
Auch die Polarität des Lösungsmittels übt einen signifikanten Einfluß auf die Grenzflächenaktivität der Zersetzungskatalysatoren und damit auf eine einheitliche Plattierung mit Aluminium aus.
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Unpolare Lösungsmittel, vorzugsweise aliphatische Kohlenwasserstoffe mit 5 bis 15 C-Atomen haben sich besonders bewährt.
Als besonders geeignet haben sich beispielsweise bei der Aluminierung von Glas Alkylmetallate der obengenannten Ubergangsmetalle erwiesen. In anderen Fällen zeichneten sich die Acylate oder acylierten Alkylmetallate der oben erwähnten Übergangsmetalle als besonders vorteilhaft aus.
Ein ganz besonderer Vorteil dieser erfindungsgemäß eingesetzten Katalysatoren ist schließlich auch darin zu sehen, daß keine Halogenionen bzw. Alkalimetallionen vorhanden sind, welche die elektrischen Eigenschaften von p-n-Übergängen negativ beeinflussen können. Sie eignen sich daher ganz besonders zur Aluminierung von elektronischen Bauteilen.
Gemäß einer weiteren vorteilhaften Ausbildung der Erfindung kann auf der Oberfläche des zu aluminierenden Materials auch eine festhaftende filmbildende und relativ feuchtigkeitsunempfindliche aktivierend wirkende Schicht erzeugt werden durch (b) Tauchen des Substrats in eine: Lösung von Chloriden der Übergangsmetalle der IV. und V. Nebengruppe des Periodensystems der Elemente, vorzugsweise Titantetrachlorid und wasserhaltigen Metallseifen mehrwertiger Metalle, vorzugsweise Aluminiumseifen.
Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform wird eine ätherische Lösung von wasserhaltigem Aluminiumtripalmitat und Titantetrachlorid zur Aktivierung des Substrats verwendet. Geeignet sind ferner auch beispielsweise wasserhaltiges Aluminiumtristearat, Mono- oder DiStearinsäurederivate und andere wasserhaltige Seifen.
Die Zersetzungskatalysatoren und die Seifen sind in Lösung in variierenden Verhältnissen vorhanden. Stets ist aber der Gehalt des Zersetzungskatalysators größer als der des Seifenmoleküls. Die Lösungen enthalten 10~5 bis 1 Mol, vorzugsweise 0,001 bis 0,006 Mol Aluminiumseife pro Liter Lösung. Die Menge an Zersetzungskatalysator ist entsprechend. Das Verhältnis der Seife zum Zersetzungskatalysator liegt vorzugsweise im Bereich zwischen 0,0005 und 0,005. Der Wassergehalt des Katalysatorsystems liegt zwischen 10" und 3 Gew.%.
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Es war überraschend, daß solche Kombinationen grenzflächenaktive Katalysatoren für die Abscheidung von Aluminium aus Alankomplexen sind. Die Katalysatoren ziehen gleichmäßig aus Lösungen als transparente hauchdünne Filme auf das Substrat auf. Diese Aktiviermethode ist besonders vorteilhaft bei Substraten, die in Kohlenwasserstoffen löslich oder quellbar sind und daher mit dem erstgenannten Aktivierverfahren nicht sensibilisiert werden können.
Durch den nachfolgenden Verfahrensschritt, das erfindungsgemäße intensive Waschen des aktivierten Substrats in aprotischen SoI-ventien werden die lose am Substrat anhängenden Katalysatorteilchen entfernt. Dadurch erreicht man, daß das Aluminierbad beim Eintauchen des aktivierten Substrats nicht zersetzt wird. Durch diesen intensiven Waschvorgang wird es auch möglich, insbesondere Substrate mit Vertiefungen nachfolgend homogen und haftfest durch Tauchen zu aluminieren. Andererseits wird durch den intensiven Waschvorgang in organischen Solventien die Aktivität der Katalysatoren hinsichtlich der Zersetzung von Aluminiumwasserstoffverbindungen nicht geschmälert.
Zur Durchführung des erfindungsgemäßen Verfahrens werden die aktivierten Substrate in hochsiedenden Lösungsmitteln, vorzugsweise solchen mit einem Siedepunkt über 100 ° intensiv gespült. Nach dem Spülen bleibt ein hydrophober Flüssigkeitsfilm auf der aktivierten Substratoberfläche zurück, der den Katalysator zusätzlich gegen Feuchtigkeit schützt.
Anschließend wird erfindungsgemäß das aktivierte und intensiv gespülte Substrat in das Aluminierbad mit einer Temperatur von 40 bis 100 0C, vorzugsweise 60 bis 80 0C getaucht. Dabei scheidet sich während 1 bis 2 Minuten eine dichte Aluminiumschicht homogen und haftfest auf dem Substrat ab.
Das Aluminierbad enthält erfindungsgemäß Trialkylaminalan in einem Lösungsmittelgemisch von Aromaten und hochviskosen Aliphaten. Das Bad ist leicht handhabbar und .nicht selbstentzündlich. Es wird eine 0,2- bis 10#ige, vorzugsweise eine 1- bis 4#ige Alanbadlösung verwendet mit einem Volumenverhältnis von Aromat zu Aliphat im Bereich von 4;1 bis 3:7.
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Nach dem erfindungsgemäßen Verfahren können nach spezieller materialgerechter Vorbehandlung isolierende und leitfähige Materialien und Bauteile homogen und haftfest aluminiert werden, so z.B. Elektronikbauteile und Reflektoren.
Die Erfindung wird durch die folgenden Beispiele näher erläutert.
Beispiel 1
Verschiedene Unterlagen werden bei Raumtemperatur 1 Minute in ein Katalysatorbad, das pro Liter Diäthyläther, 0,045 Mol TiCl^ und 0,0022 Mol wasserhaltiges Aluminiumtristearat enthält, eingetaucht. Das verwendete Aluminiumstearat enthält 0,5 % Wasser. Das aktivierte Substrat wird aus der tiefrotbraungefärbten Katalysatorläsung herausgezogen und bei Raumtemperatur 1/2 Minute lang intensiv in Diäthyläther gespült. Die so behandelte Unterlage wird 1 Minute in ein Tauchbad von 80 0C gesenkt, das 2 g Trimethylaminalan, gelöst in 88 ml eines Lösungsmittelgemisches von Toluol und Praffinöl, DAB 7 im Volumverhältnis 30:70 enthält. Nach Entnahme aus dem Aluminierbad ist das Substrat gleichmäßig mit einem festhaftenden Überzug beschichtet.
Xn der folgenden Tabelle sind einige verwendete Unterlagen und das Aussehen des erhaltenen Überzuges zusammengefaßt:
Unterlage
Glas
Kupfer (poliert) Nickel
Stahlblech (sandgestrahlt) Al2O,-Keramik BeO-Sinterkeramik Teflon (hydrophiliert)
Aussehen des Aluminiumüberzuges
spiegelnd spiegelnd spiegelnd silberhell, matt spiegelnd silberhell, matt silberhell, matt
Beispiel 2
In gleicher Weise wie in Beispiel 1 wird ein Glassubstrat in eine 0,0045 m Katalysatorlösung von TiCl^ in Diäthyläther, der 0,0022 Mol Aluminiumhydroxydistearat zugesetzt worden sind, eingetaucht. Nach intensiver Spülung des aktivierten Substrats in Äther bei Raumtemperatur, scheidet sich im oben beschriebenen, 80 0C warmen Tauch-
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aluminierbad spiegelndes, festhaftendes Aluminitun gleichmäßig auf der Substratoberfläche ab.
Beispiel 5
Ein gleich gutes Ergebnis wird auch erhalten beim Eintauchen eines Kupferbleches in eine 0,045 m Katalysatorlösung von TiCl^ in Butyläther, in der zusätzlich 0,001 Mol Aluminiumoleat gelöst worden sind.
Zum Vergleich zu den vorgenannten Beispielen wird ein Glassubstrat in einer 0,045 m Lösung von TiCl^ in Diäthyläther ohne Zusatz einer der vorgenannten Aluminiumseifen katalysiert. Nach intensivem Spülen der aktivierten Unterlage scheidet sich im Trimethylaminalanbad kaum noch Aluminium auf der Substratoberfläche ab. Nur an einigen Stellen kann man hauchdünnes, nicht kohärentes Aluminium feststellen.
Führt man den gleichen Aluminierversuch ohne Spülen des katalysierten Substrats durch, löst sich der lose auf der Oberfläche der Unterlage anhaftende Katalysator rasch im Aluminierbad ab. Statt eines Aluminiumüberzuges auf dem Substrat tritt eine rasche Zersetzung des Alanbades unter Abscheidung von grauem, pulverigem Aluminium ein. Das gleiche Phänomen tritt auch in anderen Alanbädern auf.
Beispiel 4
Eine hydrophilierte Siliciumscheibe wird in eine 0,045 m Katalysatorlösung von TiCl^ in einem Lösungsmittelgemisch von 60 Vol.% Diäthyläther und 40 Vol.% Hexan, dem 0,002 Mol Aluminiumtristearat zugegeben werden, eingetaucht. Nach intensiver Spülung der aktivierten Scheibe in einem Lösungsmittelgemisch von 50 Vol.% Äther und 50 Vol.% Hexan, überzieht sich das so behandelte Silicium im obengenannten Aluminierbad einheitlich mit spiegelndem Aluminium. Es ist anwendungstechnisch von besonderem Interesse, daß das chemisch abgeschiedene Aluminium wesentlich besser auf dem Silicium haftet als Aluminium, das bei gleicher Substrattemperatur aufgedampft wurde.
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Beispiel 5
Analog der in Beispiel 4 geschilderten Verfahrensweise wird eine Aluminiumplattierung mit Eisentripalmitat als Katalysatorkomponente durchgeführt.
Der glänzende Aluminiumüberzug haftet gut auf der Unterlage.
Beispiel 6
Ein anodisch oxidiertes Aluminiumblech wird in eine 0,045 m Lösung von TiCl^ in Diäthyläther, die zusätzlich 0,001 Mol Stearinsäure enthält, getaucht. Das aktivierte Substrat wird intensiv in Äther gespült. Nach dem Tauchen in ein Aluminierbad der oben beschriebenen Zusammensetzung ist es einheitlich mit Aluminium überzogen.
Beispiel 7
Analog der in Beispiel 6 geschilderten Verfahrensweise wird eine Aluminiumplattierung mit Palmitinsäure als Katalysatorzusatz durchgeführt.
Beispiel 8
Analog der in Beispiel 6 geschilderten Verfahrensweise wird eine Aluminiumplattierung mit Ölsäure als Katalysatorzusatz durchgeführt.
Beispiel 9
Ein Glassubstrat wird nach vorheriger Entfettung in Chromschwefelsäure, Spülen in Wasser und Trocknen in eine Katalysatorlösung eingetaucht, welche 0,0045 Mol TiCl^ und 0,001 Mol des Mono-Aluminiumsalzes der Tetradecandicarbonsäure in 1 1 eines Lösungsmittelgemisches von 60 Vol.% Äther und 40 Vol.% Hexan enthält. Nach intensivem Spülen des aktivierten Substrates in Äther wird das Substrat 1 Minute in das oben beschriebene Aluminierbad bei 80 0C eingetaucht. Nach Entnahme aus dem Aluminierbad ist das Substrat einheitlich mit einem festhaftenden Aluminiumüberzug beschichtet.
Beispiel 10
Ein Teflonstreifen, der zuvor mit EX T-9 behandelt wurde, wird nach intensivem Spälen in THF und Wasser und anschließendem Trocknen in ein Katalysatorbad getaucht, das 0,0005 Mol TiCl^ und 0,0005 Mol 12-Äthoxy-aluminiumtristearat gelöst in 1 1 Hexan enthält. Das akti-
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vierte Material wird in Hexan intensiv gespült und anschließend in das oben beschriebene Aluminierbad getaucht. Das Aluminium scheidet gleichmäßig auf der Substratoberfläche ab.
Beispiel 11
Ein oxidfreier Kupferstreifen wird 30 Sekunden in eine 2,10 J m Katalysatorlösung von Äthyltitanat in Hexan von 20 bis 25 0C getaucht und hernach etwa die gleiche Zelt im gleichen Lösungsmittel gespült. Beim Kontakt mit dem in Beispiel 1 beschriebenen Tauchaluminierbad überzieht sich das Substrat einheitlich mit einem "äußerst festhaftenden Aluminiumüberzug.
Die gleichen Ergebnisse erzielt man auch, wenn anstelle des Äthyltitanats die entsprechenden Verbindungen des Zirkons oder Vanadins eingesetzt werden.
Beispiel 12
In der gleichen Weise wie in Beispiel 11 wird eine Siliciumdioxidscheibe aktiviert und aluminiert, nur mit dem Unterschied, daß das Lösungsmittel des Katalysators und des Spülbades n-Octan ist. Es bleibt hierbei nach den einzelnen Behandlungsschritten das schwerflüchtige Lösungsmittel als flüssiger Film auf dem Substrat zurück und schützt die darunterliegende Katalysatorschicht vor Feuchtigkeit.
Der gleiche Schutzeffekt wird auch erzielt, wenn dem Katalysatorbad, und dem Spülbad, die ein niedriger siedendes Lösungsmittel enthalten, 1-2 Tropfen dickflüssiges Paraffinöl DAB 7 zugesetzt werden.
Zum Vergleich zu den Beispielen 11 und 12 werden als Katalysatorsubstanzen Stearyltitanat oder Octyltitanat verwendet. Obwohl diese Verbindungen Alanverbindungen katalytisch zersetzen, eignen sie sich wegen ihrer Grenzflächeninaktivität nicht als Katalysatoren. Spült man ein Substrat nach dem Eintauchen in das Katalysatorbad in einem organischen Lösungsmittel, so löst sich der Katalysator vollständig im Spülbad. Unterläßt man das Spülen und taucht das mit Katalysator beschichtete Substrat direkt ins Tauchaluminierbad, so löst sich ebenfalls der Katalysator vom Substrat und initiiert augenblicklich die vollständige Selbstz er Setzung der Aluminiersubstanz.
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Beispiel 15
In gleicher Weise wie in Beispiel 11 wird ein profiliertes Glasteil mit Vertiefungen in einer 1Cf"5 m Katalysatorlösung von Stearyläthyltitanat in Octan aktiviert. Nach intensiven Spülen des Substrates in Octan scheidet sich im Aluminierbad haftfest Aluminiua auf der Substratoberfläche ab.
Die Einführung des hydrophoben Stearylrestes anstelle einer Äthylgruppe macht den Katalysator unempfindlicher gegen Feuchtigkeit.
Wird das aktivierte Probestück mit seinen Vertiefungen dagegen ohne intensives Spülen direkt ins Tauchaluminierbad gebracht, so läuft die in den Vertiefungen im Überschuß vorhandene Katalysatorlösung ins Aluminierbad und initiiert die Selbstzersetzung des Trimethylaminalans. Hierdurch wird das Bad rasch unbrauchbar.
Verwendet man zum Vergleich zu den Beispielen 11 bis 13 koordinativ wirkende Lösungsmittel für den Katalysator bzw. das Spülbad, so geht die Grenzflächenaktivität des Katalysators verloren und man erzielt keine Aktivierung bzw. Aluminierung des Substrates.
Beispiel 14
In gleicher Weise wie in Beispiel 11 wird eine Berylliumoxidscheibe in eine 10 m Katalysatorlösung von Äthyltitanatstearat in Hexan getaucht und nachfolgend in dem gleichen Lösungsmittel gespült. Im Aluminierbad scheidet sich dann gleichmäßig Aluminium auf der Substratoberfläche ab. Die silberhelle und matte Aluminiumschicht läßt sich ohne weitere Vorbehandlung galvanisch mit Aluminium verstärken.
Die gleichen Resultate erhält man auch, wenn man als Katalysatorsubstanz statt der in den Beispielen 13 und 14 beschriebenen Titanverbindungen die entsprechenden Verbindungen des Zirkons und Vanadins einsetzt.
15 Patentansprüche
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Claims (14)

Patentansprüche 76 P 7 5 3 6 BRÖ
1. Verfahren zum stromlosen katalytisehen Abscheiden von Aluminium ^aus aprotischen Alankomplexbädern auf Oberflächen von isolierenden und leitfähigen Materialien, dadurch gekennzeichnet, daß die Oberfläche der zu aluminierenden Substrateflzunächst in flüssiger Phase mittels einer verdünnten Lösung eines grenzflächenaktiven Katalysators aktiviert, (2) das aktivierte Substrat in aprotischen Solventien intensiv gewaschen und (3) nachfolgend in eine 1- bis 4<&Lge Lösung von Trialkylaminalan in einem Lösungsmittelgemisch aus Aromaten und hochviskosen Aliphaten getaucht wird.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß als grenzflächenaktiver Katalysator eine verdünnte Lösung von modifizierten Estern oder Acylaten von Titan, Zirkon und Vanadin, die an einem Metallatom durch kurz- und langkettige organische Reste substituiert sind, verwendet wird.
3. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß als grenzflächenaktiver Katalysator eine Lösung von Chloriden der Übergangsmetalle der IV. und V. Nebengruppe des Periodensystems der Elemente und wasserhaltigen Metallseifen mehrwertiger Metalle verwendet wird.
4. Verfahren nach Anspruch 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß der Katalysator in hoher Verdünnung vorliegt.
5. Verfahren nach Anspruch 1, 2 und 4, dadurch gekennzeichnet, daß der Katalysator gelöst in einem unpolaren Lösungsmittel vorliegt.
6. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß als Lösungsmittel aliphatische Kohlenwasserstoffe mit 5 bis 15 Kohlenstoffatomen verwendet werden.
7. Verfahren nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß als Übergangsmetall-chlorid Titantetrachlorid verwendet wird.
8. Verfahren nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß als wasserhaltige Metallseife eine Aluminiumseife verwendet wird.
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OR!G!NAL INSPECTED
9. Verfahren zum katalytischen Abscheiden von Aluminium nach einem der vorangegangenen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das aktivierte Substrat in einem aprotischen Lösungsmittel mit einem Siedepunkt > 100 0C gespült wird.
10. Katalysierbad zur Durchführung des Verfahrens nach Anspruch und 2, dadurch gekennzeichnet, daß es aus einer 2 bis 10 %igen aliphatischen Lösung eines gemischten Esters, Acylats oder teilweise acylierten Esters von Titan, Zirkon oder Vanadin besteht.
11. Katalysierbad zur Durchführung des Verfahrens nach Anspruch und 3, dadurch gekennzeichnet, daß es aus einer ätherischen Lösung des Zersetzungskatalysators und der Seife im Verhältnis 2.103 bis 2-1O2 besteht.
12. Katalysierbad nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß der Vassergehalt 10 bis 3 Gew.% beträgt.
13. Spülbad zur Durchführung des Verfahrens nach einem der Ansprüche 1 bis 10, dadurch gekennzeichnet, daß es ein hochsiedender Aliphat ist.
14. Aluminierbad zur Durchführung des Verfahrens nach einem der Ansprüche 1 bis 10, dadurch gekennzeichnet, daß es eine 1-4%ige Trialkylaminalanlösung von Paraffinöl und Toluol im Volumverhältnis von 4:1 bis 3:7 ist.
.15. Anwendung des Verfahrens nach Anspruch 1 bis 10 zum Beschichten von Bauteilen der Elektrotechnik.
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