DE2630130A1 - Behaelter zum transport von halbleiterplatten - Google Patents

Behaelter zum transport von halbleiterplatten

Info

Publication number
DE2630130A1
DE2630130A1 DE19762630130 DE2630130A DE2630130A1 DE 2630130 A1 DE2630130 A1 DE 2630130A1 DE 19762630130 DE19762630130 DE 19762630130 DE 2630130 A DE2630130 A DE 2630130A DE 2630130 A1 DE2630130 A1 DE 2630130A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
support
arms
container
plates
plate
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
DE19762630130
Other languages
English (en)
Inventor
Douglas Martin Johnson
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fluoroware Inc
Original Assignee
Fluoroware Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Fluoroware Inc filed Critical Fluoroware Inc
Publication of DE2630130A1 publication Critical patent/DE2630130A1/de
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/673—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
    • H01L21/6735—Closed carriers
    • H01L21/67383—Closed carriers characterised by substrate supports
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65D—CONTAINERS FOR STORAGE OR TRANSPORT OF ARTICLES OR MATERIALS, e.g. BAGS, BARRELS, BOTTLES, BOXES, CANS, CARTONS, CRATES, DRUMS, JARS, TANKS, HOPPERS, FORWARDING CONTAINERS; ACCESSORIES, CLOSURES, OR FITTINGS THEREFOR; PACKAGING ELEMENTS; PACKAGES
    • B65D25/00—Details of other kinds or types of rigid or semi-rigid containers
    • B65D25/02—Internal fittings
    • B65D25/10—Devices to locate articles in containers
    • B65D25/107—Grooves, ribs, or the like, situated on opposed walls and between which the articles are located

Description

RAFFAY .™_
2HAMBURG13 26301 3 U
POSTFACH 41O9
PATENTANWALT
DIPL.-ING. VINCENZ ν. RAFFAY
PATENT- und RECHTSANWALT DIPL.-ING. DR. JUR. GERT HELDT
Unsere Akte: 2208/11 Pluoroware, Inc.
Jonathan Industrial Center Chaska, Minnesota 55318 (V. St. v. A.)
Behälter zum Transport von Halbleiterplatten
Die Erfindung betrifft einen Behälter zum Transport von Halbleiterplatten vorzugsweise aus Silikon mit einer obenliegenden öffnung und einer durch Seitenwände und Boden definierten Kammer zur Aufnahme der Platten, wobei Mittel zum Anordnen der Platten und zum Halten in einer bestimmten Lage zueinander und ein die obere Öffnung verschließenderDeckel vorgesehen sind.
Halbleiterplatten, die hauptsächlich aus Silikon hergestellt werden, sind brüchig und empfindlich. Sie müssen aber während der Herstellung schnell und ohne Schwierigkeiten gehandhabt werden. Die Abmessungen dieser Halbleiterplatten liegen im Bereich vom 35 bis 100 mm im Durchmesser und im Bereich von 0,35 bis 12 mm in der Dicke. Während der Herstellung der Platten werden diese gelagert und in entsprechenden Trögen gehandhabt, wobei die Platten auf einer Kante und im geringen Abstand zueinander stehen. Die Körbe oder Tröge zur Handhabung nehmen 25 oder mehr Platten gleichzeitig auf. Derartige Tröge sind beispielsweise aus der US-PS 3 701 558 bekannt.
709839/0624
KANZLEI: 2HAMBURG2O · Q EFFCKENSTR. 6 · TELEFON: C04C0 47 80 23 · TELEGRAMME: PATFAY1 HAMBURG
S 2B3Q13Q
Bei bestimmten Gelegenheiten ist es wünschenswert, diese Platten nach der Herstellung zu transportieren. Wenn ein derartiger Transport über eine entsprechend große Entfernung durch herkömmliche Transportmittel stattfindet, muß der entsprechende Transportbehälter die brüchigen und empfindlichen Platten schützen. Bei der Handhabung derartiger Platten ist es nicht ungewöhnlich die bekannten Tröge einfach in Transportbehälter oder Container zu stellen, so daß die Platten in der gleichen Weise angeordnet sind, wie bei der Herstellung.
Der Erfindung liegt nun grundsätzlich die Aufgabe zugrunde einen Behälter der eingangs genannten Art zum Transport derartiger Halbleiterplatten zu schaffen.
Der Behälter nach der Erfindung steht mit den Kanten der Platten im Eingriff und verhindert eine Bewegung und so eine Beschädigung, während die Platten für eine Weiterverwendung saubergehalten werden.
Der Behälter hält die Platten, die in ihn eingegeben werden genau in der festgelegten Lage, und die Kanten der Platten sind auf federnden Abstützungen gelagert, so daß die Kanten nicht mit starren Rippen der Containerwände in Berührung gelangen.
Zusätzliche federnde Abstützungen drücken die Platten nach unten und klemmen sie fortlaufender Aufrechterhaltung des Federdruckes fest, um eine Bewegung der Platten zu verhindern. Jede federnde Abstützung steht mit einer Platte über eine beträchtliche Länge der Umfangskante in Berührung, um den Greifbereich der Platte durch die Abstützung zu erhöhen und somit die Möglichkeit einer Beschädigung zu vermindern.
709839/0624
Die federnden Abstützungen halten die Platten ungefähr in der Mitte zwischen jeder der starren Rippen an der Behälterwand.
Die federnden Abstützungen oder Einsätze nehmen die Kanten der kreisförmigen Platten auf und übertragen einen Druck auf die Platten im Bereich ihrer stärksten Abmessung, d.h. in der Plattenebene. Die Abstützungen sind gewölbt gestaltet, so daß sie der Kontur der Platten entsprechen. Sie sind durch eine Anzahl von Lagern gewölbter Ausbildung abgestützt, um den Eingriffsbereich zwischen den Kanten der Platten und den gewölbten Abstützungen so groß wie möglich zu machen. Die gewölbten Abstützungen verlaufen über die gesamte Länge des Behälters und an ihren Seiten haben sie nachgiebige Vorsprünge oder Arme, die an dem Container gelagert sind und die Abstützungen fortlaufend fest gegen die Platten drücken. Die Abstützungen sind zusätzlich an dem Behälter zwischen den Vorsprüngen oder den Armen gelagert.
Die federnden Abstützungen sind aus einem weichen, nachgiebigen und flexiblen Material hergestellt, das sowohl nachgiebig als auch flexibel ist. Es ist widerstandsfähig gegen Flocken- und Staubbildung. Es entstehen keine losen Teilchen durch Abrieb oder dgl.. In vorteilhafter V/eise sind die Abstützungen durch Spritzgießen aus einem Polyurethan mit geringem spezifischen Gewicht oder einem ähnlichen Kunststoff hergestellt, der eine hohe Widerstandsfähigkeit gegen Abrieb aufweist wenn er mit den relativ scharfkantigen Platten aus Silikon im Eingriff steht.
Die Abstützungen sind mit Nuten oder dgl. versehen, damit die Platten in dem gewünschten Abstand voneinander gehalten und eine Bewegung quer zur Plattenebene verhindert wird. An dem Boden jeder Nute weist die Abstützung eine aufrechtstehende Rippe auf, die über die Nute verläuft, um mit einer Platte in Eingriff zu gelangen, die eine gewisse Untergröße
709839/0624
263013Q
aufweist und nicht vollständig in die Nut hereinreicht. Eine derartige Rippe ist nachgiebig und zusammendrückbar, damit die Kanten von Platten mit normalen Abmessungen über einen möglichst großen Längenbereich mit der Abstützung am Boden einer entsprechenden Nut in Eingriff gelangen.
Sowohl der Behälter als auch der Deckel können aus Polypropylen hergestellt sein, so daß sie entsprechend starr, steif und hart sind, um für den gewünschten Schutz zu sorgen. Der Deckel drückt von oben auf die federnden Abstützungen, um jegliche Möglichkeit einer Bewegung der Platten in dem Behälter so gering wie möglich zu halten. Der Deckel liegt den Kanten der Platten entlang der in Längsrichtung verlaufenden Mittellinie des Behälters gegenüber und in dem Fall, in dem die Platten mit dem Deckel des Behälters in Eingriff gelangen, kann der Deckel entsprechend flexibel sein und wie eine Feder wirken, so daß er auf die Platten in der gewünschten Weise zum Halten derselben wirkt.
Zusammenfassend ist zu sagen, daß die Erfindung einen Behälter oder Container für Halbleiterplatten aus Silikon oder dergleichen schafft, wobei ein Deckel vorgesehen ist. Innen in dem Behälter sind Rippen zum Lagern der Platten und nachgiebige gewölbte Abstützungen für die Platten neben und über den Kanten der Platten vorgesehen, so daß die Platten federnd in einer festgelegten Stellung gehalten werden.
Weitere Vorteile und Einzelheiten der Erfindung werden im folgenden unter Hinweis auf die Zeichnung anhand von Ausführungsbeispielen näher erläutert.
709839/0624
26.3,013Q
Es zeigt:
Pig. 1 eine perspektivische Ansicht eines Behälters nach der Erfindung,
Fig. 2 einen Schnitt durch einen Teil des Behälters der Pig. 1;
Fig. 3 eine Draufsicht auf den Teil des Behälters der Fig. 2 ebenfalls geschnitten;
Fig. k einen Querschnitt gemäß der Linie IV - IV der Fig. 1;
Fig. 5 einen Schnitt gemäß der Linie V-V der Fig. 1;
Fig. β einen Schnitt im vergrößerten Maßstab gemäß der Linie VI - VI der Fig. 4 und zwar mit gelagerten Platten;
Fig. 7 einen Querschnitt einer anderen Ausführungsform nach der Erfindung ;
Fig. 8 eine teilweise geschnittene Seitenansicht eines Einsatzes für den Behälter;
Fig. 9 eine teilweise gemäß der Linie IX - IX der Fig. geschnittene Seitenansicht;
Fig. 10 einen Querschnitt durch eine andere Ausführungsform und zwar in nicht ganz geschlossenem Zustand; und ·
Fig. 11 einen der Fig. 10 entsprechenden Querschnitt jedoch in vollständig geschlossenem Zustand.
709839/0624
Der in der Zeichnung dargestellte Behälter zum Transportieren von Halbleiterplatten aus Silikon oder dergl. ist in Pig. I dargestellt und mit 10 bezeichnet. Der Behälter besteht aus einem oben offenen Körper 11 mit Seitenwänden 12, Stirnwänden 13 und einem Boden lh. Ein Deckel IS mit einem Plansch 15.1 liegt oben auf dem Behälter auf, wobei der Flansch 15.1 um den gesamten Umfang des Behälters verläuft und nach unten gerichtet ist. Klinkenelemente 15·2 an einander gegenüberliegenden Enden halten den Deckel 15 fest an seinem Platz. Der Behälter einschließlich des Deckels ist aus einem steifen und verhältnismäßig harten Kunststoff hergestellt, so daß er vor Beschädigungen während der Handhabung geschützt ist. Vorzugsweise erfolgt die Herstellung durch Spritzgießen aus Polypropylen.
In den Seitenwände weist der Behälter Absätze 12.1 zur Verstärkung auf. Endlose rechteckige Rippen 1*1.1 sind in dem Boden zur Erhöhung der Steifigkeit und zur Schaffung von Stapelhilfen ausgebildet. Innerhalb der Seitenwände 12 ist der Behälter mit einer Vielzahl aufrechter aber nach innen vorstehender starrer Rippen oder Arme 12.2 versehen, um grobe oder rohe Lagermöglichkeiten für die Platten W zu schaffen, die innen in dem Behälter gelagert werden sollen. Vorzugsweise sind die Rippen 12.2 mit ihren oberen Kanten oder Enden wenig unter den angrenzenden oberen Kanten der Seitenwände 12 angeordnet.
Der Deckel 15 weist eine endlose aufrechtstehende und rechteckige Rippe 15.3 an seiner Aussenseite auf, die mit der Rippe 14.1 an dem Boden des Behälters zusammenarbeitet, um ein leichtes, schnelles und sicheres Stapeln zu erleichtern. Der Deckel 15 ist außerdem mit verschiedenen in Längsrichtung verlaufenden Rippen 15.1I an seiner Innenseite zur Erhöhung der Steifigkeit versehen, so daß sich der Deckel nicht durchbiegt, wenn er beim Befestigen auf den Behälter und zum Halten der Platten nach unten auf diese gedrückt wird.
709839/0624
Der Boden 14 ist mit einer Anzahl von aufrechtstehender Rippen 14.2 versehen, von denen jede angrenzend an ein Paar entsprechender Seitenwandrippen 12.2 vorgesehen ist.
Der Behälter 10 ist mit einem Paar Plattenabstützungen oder Einsätze 16 versehen, von denen einer an den Deckel 15 und der andere an den Boden 14 angrenzt. Die Einsätze 16 sind vorzugsweise durch Spritzgießen aus einem weichen, nachgiebigen Material wie z.B. Polyäthylen mit geringem spezifischem Gewicht hergestellt. ErLe Einsätze 16 dienen der genauen Lagerung der Platten W, so daß die Platten in der Mitte zwischen den angrenzenden Seitenwandrippen 12.2 gelagert und an einer Berührung mit den Rippen gehindert sind. Die Einsätze 16 verhindern sowohl eine Bewegung in Längs- als auch in Querrichtung sämtlicher gelagerter Platten.
Jeder Einsatz 16 ist mit einem langgestreckten Spant 16.1 versehen, der über die gesamte Länge des Innenraums des Behälters verläuft. Der Spant 16.1 hat eine Breite,die der Breite zwischen den unteren Abschnitten der Seitenwände 12 und zwischen den inneren Kanten der aufrechtstehenden Seitenwandrippen 12.2. entspricht. Wie in Fig. 4, 5 und 9 veranschaulicht ist der Spant l6.1 zwischen seinen Seiten gewölbt und zwar entsprechend der Krümmung der Umfangskanten der Platten W, so daß ein beträchtlicher Abschnitt des Umfangs der Platten gehalten wird. Bei der veranschaulichten Ausführungsform stehen die beiden Einsätze 16 oben und unten mit nahezu 50 % des Umfangs der Platten in Eingriff, so daß die Bewegung der Platten in dem Behälter mit entsprechend großer Wirkung beeinflußt wird.
Es ist erkennbar, daß der Spant 16.Leine Wellenform in Übereinstimmung mit der Wellenform der angrenzenden Seitenwand aufweist, so daß eine Anzahl von aneinander angrenzenden Nuten 16.2 und Graten 16.3 entstehen. Die Grate 16.3 sind so angeordnet, daß sie neben entsprechenden Paaren von Seitenwandrippen 16.2 liegen ^ um di^ Lagerung der Platten auf die-
se Weise zu unterstützen. Die Platten werden, wie veranschaulicht, gegen den Einsatz am Roden der Nuten 16.2 gelagert, so daß sie starr zwischen den aneinander angrenzenden Seitenwandrippen 12.2 liegen, wo-durch die Möglichkeit einer Beschädigung entsprechend wesentlich vermindert wird und zwar bedingt durch den Eingriff mit den Rippen 12.2 und den brüchigen Platten VJ.
Die Einsätze haben eine Anzahl von Rippen l6Jt, die über die entsprechenden Nuten 16.2 verlaufen und angrenzend an die Seiten der Spanten 16.-1 ausgebildet sind.
Die Rippen 16.4 sind in der veranschaulichten Form lediglich am Boden der Nuten 16.2 ausgebildet. Diese Rippen 16.H dienen dem anfänglichen Eingriff der Platten die in die Nuten gedrückt werden. Sie werden normalerweise zusammengedrückt, damit die Platten vollständig auf dem Boden der Nuten aufliegen und über einen beachtlichen Längenabschnitt ihres Umfangs mit dem Einsatz 16 am Boden der Nut 16.2 in Eingriff zu gelangen. Wenn jedoch einige Platten geringfügig geringere Abmessungen aufweisen und nicht vollständig auf dem Boden der Nuten aufliegen können, dann sorgen die Rippen 16.4 für einen entsprechenden Eingriff und sie stellen eine ausreichende Haltekraft zur Verfügung.
Die Plattenabstützung 16 ist mi-t zwei Vorsprüngen oder Armen 16.5 versehen, die auch als Flügel bezeichnet werden können und die über die gesamte Länge der Abstützung 16 verlaufen. Die Arme 16.5 sind einstückig mit der Plattenabstützung 16 gegossen und bilden eine nachgiebige Abstützung für die Seitenabschnitte der -Plattenabstützung 16 durch Eingriff mit den angrenzenden Abschnitten des Körpers 11 des Behälters. Die Arme 16.5 weisen eine Außenkante 16.6 verminderter Stärke auf, so daß diese flexibler und nachgiebiger ist, wodurch diese Arme 16.5 zusammendrückbar sind, um mit den angrenzenden Abschnitten des Behälters in Eingriff zu gelangen und einen nach innen gerichteten Druck gegen die Platten W, in dem Behälter auszuüben.
709839/0624
Es ist erkennbar, daß die untere Plattenabstützung 16 mit den unteren Kanten ihrer Arme 16.5 mit dem Roden 14 des Behälters im Eingriff steht. Die obere Abstützung hat entsprechende Arme die mit dem Deckel 15 in Eingriff stehen.
Nachdem die Platten in dem Behälter im richtigen Verhältnis zu den Abstützungen 16 angeordnet sind, erfolgt das endgültige Verschließen des Deckels 15 durch Einschnappen des Klinkenmechanismus 15.2 über den Rand des Körpers 11 des Behälters, wobei der nach unten gerichtete Druck des Deckels die Platten fest in ihrem Sitz in den Nuten der Abstützungen hält und dafür sorgt, daß die Arme 16.5 sich'leicht verbiegen, so daß die Kanten der Platten W in der gewünschten Weise festgehalten und an einer Bewegung sowohl in Richtung ihrer Kanten als auch in Querrichtung gehindert werden. Sowohl der Deckel 15 als auch der Boden 14 stehen mit der PlattenabStützung zwischen den Armen 16.5«in Eingriff.
Der Boden weist eine Vielzahl von aufrechtstehenden Rippen 14.2 auf (Fig. 4 und 6.) die so angeordnet sind, daß im wesentlichen in der gleichen Ebene mit den Seitenwandrippen 12.2 liegen. Wie es am besten beim Betrachten der Fig. 6 deutlich wird, weisen die Rillen der Plattenabstützung 16 den gleichen Abstand auf, wie die Rippen 14.2, so daß die unteren Abschnitte der Rillen die angrenzenden Rippen 14.2 im wesentlichen überbrücken, so daß die Platten W sehr genau an ihrem Platz gehalten werden. Die genaue Anordnung zum Transport ist sehr wichtig, da die brüchigen Platten W von den harten Rippen 12.2 entfernt gehalten werden müssen.
Es ist weiterhin zu bemerken, daß, wenn der Deckel 15 geschlossen wird und einen Druck auf die Platten ausübt, um diese in ihrem Sitz in den Abstützungen lö.zu halten, die Kanten der Platten die Rippen 16.4.zusammendrücken, die dann die Nuten 16.2 überbrücken, wodurch eine maximale Eingriffslänge zwischen der Peripherie der Platten und der gewölbten Nuten im Boden der Plattenabstützung ermöglicht wird. In dem Fall,
709839/0624
daß geringe Größenabweichungen hinsichtlich der Platten bestehen, wird eine Platte mit geringerer Abmessung mit den verschiedenen Rippen 16.4 in Eingriff gelangen, diese aber nicht vollständig zusammendrücken, da die Platte nicht groß genug ist. Auf jeden Fall stellen die Rippen 16.4 aber eine ausreichende Halterung und Lagerung der Platten in der gewünschten Weise sicher.
Bei der Ausführuhgsform nach Fig. 7 ist der Boden 14.3 mit einer glatten Innenfläche versehen, und diese ist ohne vergleichbare Rippen, wie sie in den Fig. 2, 4 und6 veranschaulicht sind. Bei dieser Ausführungsform nach der Erfindung liegt der Mittelabschnitt der Plattenabstützung 16 direkt auf der flachen inneren Oberfläche der Bodenwand 14.3 auf, und die Arme 16.5 werden stärker beim Abstützen der Seiten der Plattenabstützung zusammengedrückt, so daß sie einen nach innen gerichteten Druck auf diese ausüben.
Die aufrechtstehenden Endkragen 16.7 dienen insbesondere der Führung der Plattenabstützung 16 nach unten über die Spitze der Platten W vor dem Schließen des Deckels 15. Die Kragen 16.7 werden an den Stirnwänden 13 des Behälters geführt und stellen eine genaue und richtige Anordnung der Rillen in der Plattenabstützung relativ zu den Platten sicher, die sich bereits in dem Behälter befinden. Gleichzeitig wird für eine richtige räumliche Anordnung im Verhältnis zu den Seitenwandrippen 12.2 gesorgt. An dem einen Ende jedes Einsatzes 16 sind die Kragen 16.7 durch eine Stange 16.8 verbunden, die eine Versteifung und einen Handgriff darstellt, um das Entfernen des Einsatzes- aus dem Behälter zu erleichtern.
709839/0624
Bei der in Fig. 10 dargestellten Ausführungsform sind die Plattenabstützungen 20 in wesentlichen so aufgebaut, wie die Plattenabstützungen lfi die in den anderen Figuren dargestellt sind. Die Plattenabstützungen 20 haben jedoch nach außen vorstehende Arne 20.1, die zwischen den einander gegenüberliegenden Seiten der Plattenabstützung liegen und dem Eingriff mit Zwischenbereichen des Behälterbodens 14.6 und Zwischenabschnitten des Deckels 15.8 dienen. Die Arme 20.1 sind teilweise zusammendrückbar, wenn der Deckel 15.8 in seine endgültige Lage (Fig. 11) gedruckt wird. Es ist zu bemerken, daß der Körper 11.1 des Behälters einen Boden 14.6 mit einem versetztem Abschnitt l'J.7 aufweist, der der Versteifung dient und ein Verbiegen oder ein Verwinden verhindert. In gleicher Weise ist der Deckel 15.8 mit einem versetzten Abschnitt 15.9 zur Versteifung versehen. Die Arme 20.2 an den Seiten der Plattenabstützungen 20 sorgen für eine notwendige Versteifung der Abstützungen 20 über ihre Länge wie die Arme 16.5 der bereits erwähnten ersten Ausführungsform. Es hat sich herausgestellt, daß es bei bestimmten Behältern wünschenswert ist, die Absätze 14.8 angrenzend an die Seitenwandrippen zum Eingriff mit den .unteren Kanten der Arme 20.2 vorzusehen, damit diese Arme verformt werden und so einen zusätzlichen nach innen gerichteten Druck auf die angrenzenden Abschnitte der Platten erzeugen. Bs ist erkennbar, daß die Arme 20.1 und 20.2 über die gesarate Länge der Plattenabstützungen 20 und des Behälters verlaufen. An dem einen Ende jedes Einsatzes 20 ist wiederum eine Stange 20.3 vorgesehen, die von der einen bis zur anderen Seite verläuft.
Der Transportbehälter für Halbleiterplatten aus Silikon oder dgl. ist ein starrer und fester Schutz der mit verhältnismäßig weichen und nachgiebigen Plattenabstützungen ausgerüstet ist, die gewölbt um die Peripherie der Platten verlaufen, wobei die Platten an einer Bewegung in ihrer Ebene und quer dazu gehindert sind, so daß sie vor Beschädigungen geschützt werden.
709839/0624

Claims (12)

  1. Patentansprüche :
    / 1.^Transportbehälter für Halbleiterplatten oder dgl. insbesondere aus Silikon, bestehend aus einem oben offenen Behälterkörper mit Seitenwänden und einen Boden ?;ur Bildung eines Innenraumes, der der Aufnahme und Lagerung der Platten dient und mit einem Lagermittel zum Halten der Platten in einem gewünschten Abstand voneinander, wobei ein entfernbarer Deckel oben aufsetzbar ist, dadurch gekennzeichnet, daß Plattenabstützungen (l6), voneinander entfernt am Umfang des Innenraumes vorgesehen sind und die Umfangskanten der Platten (W) innen nachgiebig lagert, um die Platten an einer Bewegung in dem zu hindern.
  2. 2. Transportbehälter nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Plattenabstützungen in Längsrichtung des Innenraumes verlaufen und aus einem weichen, federnden Kunststoff hergestellt sind, daß jede Plattenabstützung mit nachgiebigen Armen (16.5, I6.2) ausgerüstet ist, die in Längsrichtung des Innenraumes verlaufen und nach außen über die Platten vor und mit dem Behälter im Eingriff stehen und daß die Arme die Plattenabstützungen nach innen in den Innenraum und gegen die Umfangskanten der Platten drücken, um diese an einer Bewegung zu hindern.
  3. 3. Transportbehälter nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß der Innenraum Eckbereiche an der Verbindung zwischen den Seitenwänden (12, 13) und dem Boden (14) und dem Deckel (15) bildet und daß die Arme (16.6) jeder Abstützung an dem Behälter in den Eckbereichen anliegen, um einen nach innen gerichteten Druck auf die Platte auszuüben.
    709839/0624
    ORIGINAL INSPECTED
  4. 4. Transportbehälter nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Plattenabstützungen entsprechend angrenzend an den Deckel (15) und den Boden (I1O angeordnet sind und an diesen anliegen bzw. lagern, daß die Plattenabstützung einander-gegenüberliegende Seiten aufweist und gewölbt von einer Seite zur anderen ist und daß jede der Plattenabstützungen von einer Seite zur anderen um einen beträchtlichen Abschnitt der inneren Peripherie des Innenraumes verläuft, um die Abschnitte der Peripherie der Platten (Vi) in dem Behälter zu umfangen und über einen entsprechend großen Bereich abzustützen, wobei jede Plattenabntützung mit den angrenzenden Abschnitten des Behälters im Eingriff steht, wodurch ein nachgiebiger Druck durch den Behälter nach innen auf die Peripherie der Platten ausgeübt wird.
  5. 5. Transportbehälter nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Plattenabstützung eine Vielzahl von Rillen (16.2, 16.3) aufweist, die von einer Seite zur anderen verlaufen und der Lagerung der Platten unabhängig von den Plattenlagerungen des Behälters dienen.
  6. 6. Transportbehälter nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Rillen aneinander angrenzende- "uten (16.2) und Spitzen oder Firste (16.3) definieren und daß die Plattenabstützung ein Paar voneinander entferntliegender Rippen (16.4) aufweist, die über jede der Muten verlaufen.
  7. 7. Transportbehälter nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Plattenabstützungen nach außen gerichtete steife Arme (16.5) aufweisen, die mit ihnen einstückig und in einem spitzen Winkel ausgebildet sind, um die in Längsrichtung stattfindende Biegung der Abstützung über die Länge des Behälters auf ein Minimum zu vermindern.
    709839/0624
  8. 8. Transportbehälter nach Anspruch H3 dadurch gekennzeichnet, daß die Plattenabstützung.en Mittel (16.5, l6.6, 20.1, 20.2) zum Versteifen und Abstützen der Seiten aufweisen, um für einen festen Eingriff zwischen der Plattenabstützung und den Kanten der angrenzenden Platten zu sorgen und daß die Mittel nachgiebige Arme (16.5, 16.6, 20.1, 20.2) aufweisen, die nach außen relativ über die gewölbte Form vorstehen und an den angrenzenden Abschnitten des Behälters anliegen, um einen fortlaufenden Druck zur Abstützung der Platten an ihrem Umfang zu erzeugen.
  9. 9. Transportbehälter nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß die nachgiebigen Arme (16.5, 16.6) der Plattenabstützung angrenzend an die Ränder der Seiten ausgebildet- sind.
  10. 10. Transportbehälter nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß die nachgiebigen Arme (20.1) zwischen den Seiten der Plattenabstützung ausgebildet sind.
  11. 11. Transportbehälter nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß jede Plattenabstützung mit langgestreckten Armen (16.5) an einander-gegenüberliegenden Seiten versehen ist, die im wesentlichen über die gesamte Länge der Abstützung verlaufen und nach außen über die Abstützung relativ zu der gewölbten Form vorstehen und im Eingriff mit dem angrenzenden Behälter bestehen, wobei die Arme zum zusammendrücken federnd und nachgiebig sind und so einen fortlaufenden Druck erzeugen, um die Plattenabstützung gegen den Umfang der Platten zu drücken.
  12. 12. Transportbehälter nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß die Arme(16.5) einen äußeren Rand (16.6) aufweisen, der von geringerer Dicke ist, um den nachgiebigen und federnden Bereich dieser Arme festzulegen.
    709839/0624
DE19762630130 1976-03-18 1976-07-05 Behaelter zum transport von halbleiterplatten Withdrawn DE2630130A1 (de)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US05/668,204 US4043451A (en) 1976-03-18 1976-03-18 Shipping container for silicone semiconductor wafers

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE2630130A1 true DE2630130A1 (de) 1977-09-29

Family

ID=24681416

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE19762630130 Withdrawn DE2630130A1 (de) 1976-03-18 1976-07-05 Behaelter zum transport von halbleiterplatten

Country Status (4)

Country Link
US (1) US4043451A (de)
JP (1) JPS52113881A (de)
DE (1) DE2630130A1 (de)
IT (1) IT1072692B (de)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN107662744A (zh) * 2017-09-21 2018-02-06 佛山市深研信息技术有限公司 一种便携式生物样品存放装置

Families Citing this family (85)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4135625A (en) * 1976-07-12 1979-01-23 Merrill Kenneth V Multi-compartment container for fragile disks
DE2702464C2 (de) * 1977-01-21 1981-10-15 Wacker-Chemitronic Gesellschaft für Elektronik-Grundstoffe mbH, 8263 Burghausen Verpackung von Halbleiterscheiben
US4176751A (en) * 1977-01-27 1979-12-04 Northern Telecom Limited Container apparatus for handling semiconductor wafers
CH630020A5 (de) * 1978-06-13 1982-05-28 Wez Kunststoff Vorrichtung zur halterung und lagerung von plattenfoermigen gegenstaenden.
US4248346A (en) * 1979-01-29 1981-02-03 Fluoroware, Inc. Shipping container for semiconductor substrate wafers
JPS5870386U (ja) * 1981-11-04 1983-05-13 コニカ株式会社 フオトマスク用包装容器
JPS58185258A (ja) * 1982-04-26 1983-10-28 Silver Seiko Ltd 印字装置
US4450960A (en) * 1982-08-30 1984-05-29 Empak Inc. Package
JPS59199477A (ja) * 1983-04-25 1984-11-12 住友電気工業株式会社 ウエハ−ボツクス
JPS604485U (ja) * 1983-06-21 1985-01-12 富士写真フイルム株式会社 テ−プリ−ル用コンテナ
US4520925A (en) * 1983-08-09 1985-06-04 Empak Inc. Package
US4557382A (en) * 1983-08-17 1985-12-10 Empak Inc. Disk package
US4668484A (en) * 1984-02-13 1987-05-26 Elliott David J Transport containers for semiconductor wafers
JPS60193877A (ja) * 1984-03-13 1985-10-02 信越半導体株式会社 輸送用半導体ウエーハケース
DE3413837A1 (de) * 1984-04-12 1985-10-17 Wacker-Chemitronic Gesellschaft für Elektronik-Grundstoffe mbH, 8263 Burghausen Verpackung fuer halbleiterscheiben
USRE33361E (en) * 1984-06-07 1990-10-02 Substrate and media carrier
US4588086A (en) * 1984-06-07 1986-05-13 Coe Thomas U Substrate and media carrier
USRE34311E (en) * 1984-08-30 1993-07-13 Texas Instruments Incorporated Semiconductor slice cassette transport unit
DE3436489A1 (de) * 1984-10-05 1986-04-10 Riwoplan Medizin-Technische Einrichtungsgesellschaft Mbh, 7134 Knittlingen Behaelter fuer endoskope und zubehoerteile
IT1181778B (it) * 1985-05-07 1987-09-30 Dynamit Nobel Silicon Spa Contenitore per l'immagazzinamento ed il trasporto di dischetti (fette) di silicio
JPS61183883U (de) * 1985-05-10 1986-11-17
AU5983986A (en) * 1985-07-09 1987-01-15 Basf Aktiengesellschaft Container for discs
US4767002A (en) * 1986-01-14 1988-08-30 W. R. Grace & Co. Multiple circuit board carrier/shipper
US4739882A (en) * 1986-02-13 1988-04-26 Asyst Technologies Container having disposable liners
US4721207A (en) * 1986-04-28 1988-01-26 Tensho Electric Industrial Co., Ltd. Hard disk container
US4684021A (en) * 1986-06-23 1987-08-04 Fluoroware, Inc. Bottom loading wafer carrier box
US4817799A (en) * 1986-10-06 1989-04-04 Empak, Inc. Disk package
US4747488A (en) * 1986-12-01 1988-05-31 Shoji Kikuchi Hard disk container
US4718552A (en) * 1986-12-11 1988-01-12 Fluoroware, Inc. Disk shipper and transfer tray
US4752007A (en) * 1986-12-11 1988-06-21 Fluoroware, Inc. Disk shipper
US4793488A (en) * 1987-07-07 1988-12-27 Empak, Inc. Package for semiconductor wafers
US4930634A (en) * 1987-09-29 1990-06-05 Fluoroware, Inc. Carrier for flat panel displays
US4815601A (en) * 1987-09-29 1989-03-28 Fluoroware, Inc. Carrier for flat panel displays
US4949848A (en) * 1988-04-29 1990-08-21 Fluoroware, Inc. Wafer carrier
US5046615A (en) * 1989-04-03 1991-09-10 Fluoroware, Inc. Disk shipper
US5111936A (en) * 1990-11-30 1992-05-12 Fluoroware Wafer carrier
US5207324A (en) * 1991-03-08 1993-05-04 Fluoroware, Inc. Wafer cushion for shippers
US5253755A (en) * 1991-03-20 1993-10-19 Fluoroware, Inc. Cushioned cover for disk container
JPH05188528A (ja) * 1991-06-25 1993-07-30 Eastman Kodak Co 圧力吸収保護層含有写真要素
US5228568A (en) * 1991-08-30 1993-07-20 Shin-Etsu Handotai Co., Ltd. Semiconductor wafer basket
US5255797A (en) * 1992-02-26 1993-10-26 Fluoroware, Inc. Wafer carrier with wafer retaining cushions
US5273159A (en) * 1992-05-26 1993-12-28 Empak, Inc. Wafer suspension box
US5555981A (en) * 1992-05-26 1996-09-17 Empak, Inc. Wafer suspension box
US5472086A (en) * 1994-03-11 1995-12-05 Holliday; James E. Enclosed sealable purgible semiconductor wafer holder
JP2803567B2 (ja) * 1994-05-11 1998-09-24 信越半導体株式会社 半導体ウエーハ収納容器の梱包構造体
CN1112725C (zh) * 1994-07-08 2003-06-25 信越半导体株式会社 半导体晶体包装容器
US5586658A (en) * 1995-06-06 1996-12-24 Fluoroware, Inc. Wafer cushions for wafer shipper
US5816410A (en) * 1994-07-15 1998-10-06 Fluoroware, Inc. Wafer cushions for wafer shipper
US5575394A (en) * 1994-07-15 1996-11-19 Fluoroware, Inc. Wafer shipper and package
US5553444A (en) * 1994-09-15 1996-09-10 Shape Inc. Storage container for a memory device and method of making
JP2796502B2 (ja) * 1994-10-06 1998-09-10 信越ポリマー株式会社 ウェーハ収納容器のウェーハ抑え
US5452795A (en) * 1994-11-07 1995-09-26 Gallagher; Gary M. Actuated rotary retainer for silicone wafer box
TW296361B (de) * 1995-06-26 1997-01-21 Kakizaki Seisakusho Kk
KR100234359B1 (ko) * 1995-07-20 1999-12-15 윤종용 박스기능을 갖는 웨이퍼 카세트
USD383898S (en) * 1995-10-13 1997-09-23 Empak, Inc. Combination shipping and transport cassette
USD378873S (en) * 1995-10-13 1997-04-22 Empak, Inc. 300 mm microenvironment pod with door on side
USD387903S (en) * 1995-10-13 1997-12-23 Empak, Inc. Shipping container
WO1997013710A1 (en) 1995-10-13 1997-04-17 Empak, Inc. 300mm MICROENVIRONMENT POD WITH DOOR ON SIDE
JP3423512B2 (ja) * 1995-11-27 2003-07-07 信越ポリマー株式会社 精密基板用カセットの製造方法および精密基板用カセット
JP3212890B2 (ja) * 1996-10-15 2001-09-25 九州日本電気株式会社 ウェハキャリア
US6267245B1 (en) 1998-07-10 2001-07-31 Fluoroware, Inc. Cushioned wafer container
US6216874B1 (en) 1998-07-10 2001-04-17 Fluoroware, Inc. Wafer carrier having a low tolerance build-up
US6923325B2 (en) 2001-07-12 2005-08-02 Entegris, Inc. Horizontal cassette
TW522448B (en) * 2001-10-22 2003-03-01 Advanced Semiconductor Eng Semiconductor wafer carrying apparatus
TWI290352B (en) * 2001-11-14 2007-11-21 Entegris Inc Wafer carrier with wafer retaining system
KR100927923B1 (ko) * 2001-11-27 2009-11-19 엔테그리스, 아이엔씨. 도어에 의해 구현되는 접지 경로를 포함하는 전방 개방웨이퍼 캐리어
US7175026B2 (en) * 2002-05-03 2007-02-13 Maxtor Corporation Memory disk shipping container with improved contaminant control
TWI239931B (en) * 2003-05-19 2005-09-21 Miraial Co Ltd Lid unit for thin plate supporting container and thin plate supporting container
US7131248B2 (en) * 2003-07-14 2006-11-07 Peak Plastic & Metal Products (Int'l) Limited Wafer shipper with orientation control
US7100772B2 (en) * 2003-11-16 2006-09-05 Entegris, Inc. Wafer container with door actuated wafer restraint
US20070187286A1 (en) * 2006-02-16 2007-08-16 Pylant James D Wafer storage container and apparatus
KR101472145B1 (ko) * 2006-11-07 2014-12-12 신에츠 폴리머 가부시키가이샤 기판 수납 용기
US20080157455A1 (en) * 2006-12-29 2008-07-03 Applied Materials, Inc. Compliant substrate holding assembly
JP2008294274A (ja) * 2007-05-25 2008-12-04 Nec Electronics Corp ウェハ移送容器、その緩衝支持部材
KR20150023941A (ko) * 2008-01-13 2015-03-05 엔테그리스, 아이엔씨. 큰 지름의 웨이퍼를 취급하는 장치 및 방법
TW200933799A (en) * 2008-01-21 2009-08-01 Visera Technologies Co Ltd Wafer cassette
DE102008023456A1 (de) * 2008-05-14 2009-11-26 Siltronic Ag Träger zur Aufnahme von Halbleiterscheiben
TWI348443B (en) * 2008-08-07 2011-09-11 Gudeng Prec Industral Co Ltd Carrier of reticle pod and the fixing element thereof
WO2011113033A2 (en) * 2010-03-11 2011-09-15 Entegris, Inc. Thin wafer shipper
TWI465375B (zh) * 2010-06-02 2014-12-21 Gudeng Prec Industral Co Ltd 一種配置有彈性件模組之晶圓盒
TWM453240U (zh) * 2013-01-10 2013-05-11 Gudeng Prec Ind Co Ltd 具有保護套的限制件
KR20160033910A (ko) * 2014-09-19 2016-03-29 삼성전자주식회사 리테이너 및 이를 포함하는 웨이퍼 캐리어
JP6430195B2 (ja) * 2014-09-29 2018-11-28 株式会社Ｓｃｒｅｅｎホールディングス 基板収納容器
CN113682621B (zh) * 2021-08-20 2023-08-11 湖北隆创经纬机电有限公司 一种方便存放的调节型轮毂放置架
CN116805608A (zh) * 2023-08-29 2023-09-26 芯岛新材料(浙江)有限公司 一种晶圆盒

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2808189A (en) * 1953-11-16 1957-10-01 Keyes Fibre Co Packing material for fragile articles
US2863595A (en) * 1953-11-23 1958-12-09 Keyes Fibre Co Molded pulp packaging members
US3294244A (en) * 1965-02-08 1966-12-27 Flambeau Plastics Corp Storage device for circular objects
US3467242A (en) * 1968-03-04 1969-09-16 Dale E De Rousse Storage unit for wafer-like articles
GB1348133A (en) * 1970-08-24 1974-03-13 Agfa Gevaert Container arrangement for storing and transporting rectangular plates
US3853221A (en) * 1971-03-17 1974-12-10 Packaging Corp America Pad for cushion packing fragile artilces
US3923156A (en) * 1974-04-29 1975-12-02 Fluoroware Inc Wafer basket

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN107662744A (zh) * 2017-09-21 2018-02-06 佛山市深研信息技术有限公司 一种便携式生物样品存放装置

Also Published As

Publication number Publication date
JPS52113881A (en) 1977-09-24
IT1072692B (it) 1985-04-10
JPS5420904B2 (de) 1979-07-26
US4043451A (en) 1977-08-23

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE2630130A1 (de) Behaelter zum transport von halbleiterplatten
DE2411495C3 (de) Behälter mit Stülpdeckel und Schnappverschluß
DE2636525C2 (de) Gepäckträger für Kraftfahrzeuge
DE2449952C3 (de) Zellenschachtel für Eier
DE3306655A1 (de) Behaelter mit einem dichtrand sowie mit einem deckel mit dichtbereich
DE2536424A1 (de) Gegen unbefugtes oeffnen gesicherter laschenverschluss
DE1586791B2 (de) Geformter karton, insbesondere eierkarton
DE2236426C3 (de) Formschachtel zum Aufnehmen von zerbrechlichen Gütern
DE19537193A1 (de) Waferträger mit Polsterungsvorrichtung
DE2649678A1 (de) Koffer
DE2729737C3 (de) Dicht verschließbarer, unterteilbarer Behälter
DE8133613U1 (de) Loesbare Verbindung von zwei Folien aus steifem thermoplastischem Material deren eine den Boden und deren andere den Deckel einer Schachtel bilden
EP1494937B1 (de) Vorrichtung zur positionsfixierten aufnahme eines gebrauchsgegenstands
EP0359903B1 (de) Koffer
DE3734283A1 (de) Griffbuegel fuer akkumulatorbatterien
DE2220274C3 (de) Karton zum Verpacken von Eiern u.dgl.
DE3830792A1 (de) Verschliessbarer behaelter
DE3916668A1 (de) Tragschale fuer obst und gartenbaufruechte
DE202009002891U1 (de) Verpackung für scheibenförmige Produkte, insbesondere Wafer, Solarzellen o.dgl.
DE60016340T2 (de) Behälter mit einer abgewinkelten Dichtung zwischen Unterteil und Deckel
DE202019103410U1 (de) Wandelement eines Paletten-Aufsatzrahmens, und Paletten-Aufsatzrahmen
DE19512823C5 (de) Faltbare Verpackungskiste
EP2767483A2 (de) Stapelbarer Transportbehälter
DE4224217C2 (de) Behälter
EP0471308B1 (de) Flaschenkasten aus Kunststoff

Legal Events

Date Code Title Description
8141 Disposal/no request for examination