DE2552621C3 - Verfahren zum Herstellen von n-dotierten Siliciumeinkristallen mit in radialer Richtung tellerförmigem Profil des spezifischen Widerstandes - Google Patents

Verfahren zum Herstellen von n-dotierten Siliciumeinkristallen mit in radialer Richtung tellerförmigem Profil des spezifischen Widerstandes

Info

Publication number
DE2552621C3
DE2552621C3 DE2552621A DE2552621A DE2552621C3 DE 2552621 C3 DE2552621 C3 DE 2552621C3 DE 2552621 A DE2552621 A DE 2552621A DE 2552621 A DE2552621 A DE 2552621A DE 2552621 C3 DE2552621 C3 DE 2552621C3
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
silicon
rod
silicon single
crystal
jacket
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired
Application number
DE2552621A
Other languages
German (de)
English (en)
Other versions
DE2552621A1 (de
DE2552621B2 (enExample
Inventor
Ernst 8520 Erlangen Haas
Karl Dipl.-Phys. Dr. 8041 Haimhausen Platzoeder
Manfred Dipl.-Chem. Dr. 8041 Haimhausen Schnoeller
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Siemens AG
Original Assignee
Siemens AG
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Siemens AG filed Critical Siemens AG
Priority to DE2552621A priority Critical patent/DE2552621C3/de
Priority to BE170771A priority patent/BE846378A/xx
Priority to US05/731,440 priority patent/US4119441A/en
Priority to SU762419003A priority patent/SU747403A3/ru
Priority to CA266,127A priority patent/CA1082574A/en
Priority to GB48253/76A priority patent/GB1530948A/en
Priority to DK525276A priority patent/DK525276A/da
Priority to FR7635081A priority patent/FR2332055A1/fr
Priority to JP51141082A priority patent/JPS5936819B2/ja
Publication of DE2552621A1 publication Critical patent/DE2552621A1/de
Publication of DE2552621B2 publication Critical patent/DE2552621B2/de
Application granted granted Critical
Publication of DE2552621C3 publication Critical patent/DE2552621C3/de
Expired legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C30—CRYSTAL GROWTH
    • C30B—SINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
    • C30B31/00—Diffusion or doping processes for single crystals or homogeneous polycrystalline material with defined structure; Apparatus therefor
    • C30B31/20—Doping by irradiation with electromagnetic waves or by particle radiation
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10S148/00—Metal treatment
    • Y10S148/165—Transmutation doping

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
DE2552621A 1975-11-24 1975-11-24 Verfahren zum Herstellen von n-dotierten Siliciumeinkristallen mit in radialer Richtung tellerförmigem Profil des spezifischen Widerstandes Expired DE2552621C3 (de)

Priority Applications (9)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE2552621A DE2552621C3 (de) 1975-11-24 1975-11-24 Verfahren zum Herstellen von n-dotierten Siliciumeinkristallen mit in radialer Richtung tellerförmigem Profil des spezifischen Widerstandes
BE170771A BE846378A (fr) 1975-11-24 1976-09-20 Procede de fabrication de silicium a dopage
US05/731,440 US4119441A (en) 1975-11-24 1976-10-12 Method for the production of n-doped silicon with a dish-shaped profile of specific resistance in a radial direction
SU762419003A SU747403A3 (ru) 1975-11-24 1976-11-15 Способ получени кремни -типа проводимости
CA266,127A CA1082574A (en) 1975-11-24 1976-11-19 Method of producing n-doped silicon crystals having a particular radial resistivity profile
GB48253/76A GB1530948A (en) 1975-11-24 1976-11-19 N-doped silicon crystals
DK525276A DK525276A (da) 1975-11-24 1976-11-22 Fremgangsmade til fremstilling af n-doteret silicium med i radial retning skiveformet profil for sa vidt angar den specifikke elektriske modstand
FR7635081A FR2332055A1 (fr) 1975-11-24 1976-11-22 Procede pour fabriquer du silicium dope du type n, dont la resistance electrique specifique possede, suivant une direction radiale, un profil en forme de soucoupe
JP51141082A JPS5936819B2 (ja) 1975-11-24 1976-11-24 ｎ型ド−ピングされたシリコン単結晶の製造方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE2552621A DE2552621C3 (de) 1975-11-24 1975-11-24 Verfahren zum Herstellen von n-dotierten Siliciumeinkristallen mit in radialer Richtung tellerförmigem Profil des spezifischen Widerstandes

Publications (3)

Publication Number Publication Date
DE2552621A1 DE2552621A1 (de) 1977-05-26
DE2552621B2 DE2552621B2 (enExample) 1979-01-11
DE2552621C3 true DE2552621C3 (de) 1979-09-13

Family

ID=5962486

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE2552621A Expired DE2552621C3 (de) 1975-11-24 1975-11-24 Verfahren zum Herstellen von n-dotierten Siliciumeinkristallen mit in radialer Richtung tellerförmigem Profil des spezifischen Widerstandes

Country Status (5)

Country Link
US (1) US4119441A (enExample)
BE (1) BE846378A (enExample)
CA (1) CA1082574A (enExample)
DE (1) DE2552621C3 (enExample)
SU (1) SU747403A3 (enExample)

Families Citing this family (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2753488C2 (de) * 1977-12-01 1986-06-19 Wacker-Chemitronic Gesellschaft für Elektronik-Grundstoffe mbH, 8263 Burghausen Verfahren zur Herstellung von n-dotiertem Silicium durch Neutronenbestrahlung
US4348351A (en) * 1980-04-21 1982-09-07 Monsanto Company Method for producing neutron doped silicon having controlled dopant variation
JPS5958866A (ja) * 1982-09-28 1984-04-04 Mitsubishi Electric Corp サイリスタ
DE3511363A1 (de) * 1985-03-28 1986-10-09 Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München Verfahren zum herstellen von bereichen mit einstellbarer, gleichfoermiger dotierung in siliziumkristallscheiben durch neutronenbestrahlung sowie verwendung dieses verfahrens zur herstellung von leistungsthyristoren
WO2004027122A1 (en) * 2002-09-19 2004-04-01 Showa Denko K.K. Silicon carbide single crystal and method and apparatus for producing the same
JPWO2004073057A1 (ja) * 2003-02-14 2006-06-01 株式会社Sumco シリコンウェーハの製造方法
US10468148B2 (en) 2017-04-24 2019-11-05 Infineon Technologies Ag Apparatus and method for neutron transmutation doping of semiconductor wafers
RU2646411C1 (ru) * 2017-06-09 2018-03-05 Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Национальный исследовательский университет "Московский институт электронной техники" Способ получения кремния с изотопическим составом 28Si, 30Si
CN117107364A (zh) * 2023-07-26 2023-11-24 上海核工程研究设计院股份有限公司 一种用于大尺寸单晶硅的径向匀照装置及方法

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3255050A (en) * 1962-03-23 1966-06-07 Carl N Klahr Fabrication of semiconductor devices by transmutation doping
DE2433991A1 (de) * 1974-07-15 1976-02-05 Siemens Ag Verfahren zum dotieren einer halbleiterschicht

Also Published As

Publication number Publication date
CA1082574A (en) 1980-07-29
BE846378A (fr) 1977-01-17
DE2552621A1 (de) 1977-05-26
SU747403A3 (ru) 1980-07-23
US4119441A (en) 1978-10-10
DE2552621B2 (enExample) 1979-01-11

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE2552621B2 (enExample)
DE1544211A1 (de) Verfahren zum Herstellen von Halbleitervorrichtungen
DE2341311C3 (de) Verfahren zum Einstellen der Lebensdauer von Ladungsträgern in Halbleiterkörpern
DE2753488C2 (de) Verfahren zur Herstellung von n-dotiertem Silicium durch Neutronenbestrahlung
DE2362264B2 (de) Verfahren zum herstellen von homogen n-dotierten siliciumeinkristallen durch bestrahlung mit thermischen neutronen
DE102018109361A1 (de) Einrichtung und Verfahren zur Neutronentransmutationsdotierung von Halbleiterwafern
DE1648614C2 (de) Verfahren zum Herstellen eines mechanoelektrischen Wandlers
DE2438710C3 (de) Vorrichtung zum gezielten Einbringen von Dotierungsmaterial in einen Halbleiterkristallstab auf radiogenem Wege
DE1489685C3 (de) Verfahren zur Unterscheidung von kugelförmigen Betriebselementen von Kernreaktoren nach ihren Neutronenwechselwirkungseigenschaften
DE1039143B (de) Kompensierte Ionisierungskammer
DE2617320A1 (de) Verfahren zum herstellen von homogen phosphordotierten siliciumkristallen durch neutronenbestrahlung
DE1933671A1 (de) Verfahren zum Bestimmen der Neutronenabsorptions- und Multiplikationsparameter fuer buendelartige Brennstoffelemente und zur Stabilisierung der Neutronenaequivalenz von Buendeln unterschiedlichen Aufbaues
DE112017003487B4 (de) Verfahren zum Produzieren eines neutronenbestrahlten Siliziumeinkristalls
DE2820754C2 (de) Radioaktive ↑5↑↑7↑ Co-Quelle
DE1190918B (de) Verfahren zur gezielten Dotierung von stabfoermigen Koerpern waehrend des Zonenschmelzens
DE2364015B2 (de) Verfahren zum Herstellen von n-dotierten Siliciumeinkristallen mit einem einstellbaren Dotierungsprofil
DE2362320A1 (de) Verfahren zum herstellen von homogendotierten siliciumeinkristallen durch neutronenbestrahlung
DE1214789B (de) Verfahren zum Herstellen eines homogen dotierten Siliziumkristallkoerpers
DE3511363A1 (de) Verfahren zum herstellen von bereichen mit einstellbarer, gleichfoermiger dotierung in siliziumkristallscheiben durch neutronenbestrahlung sowie verwendung dieses verfahrens zur herstellung von leistungsthyristoren
DE1954825C3 (de) Verfahren und Vorrichtung zur zerstörungsfreien Analyse von Kernbrennstoffen
Filss Non-destructive method of determining thermally fissile nuclides in large volume samples
DE2407697C3 (de) Verfahren zum Herstellen eines homogen Ga-dotierten Siliciumeinkristalls
Lanore et al. Analysis of the Development of Vacancy Populations in Aluminum by the Monte-Carlo Method
DD146193A1 (de) Verfahren zur aktivierung fester stoffe in inhomogenen neutronenstrahlungsfeldern
DE1298649B (de) Szintillationsanordnung fuer ein Szintillationsspektrometer

Legal Events

Date Code Title Description
C3 Grant after two publication steps (3rd publication)
Q161 Has additional application no.

Ref document number: 2553362

Country of ref document: DE

AG Has addition no.

Ref country code: DE

Ref document number: 2553362

Format of ref document f/p: P

8320 Willingness to grant licences declared (paragraph 23)
8339 Ceased/non-payment of the annual fee