DE2526861A1 - Verfahren und vorrichtung zur bildung eines gleichmaessigen filmes auf einem ebenen traeger - Google Patents

Description

Patentanwälte Dipl.-Ing. F. "WkICKMAn₁N, 2526861

Dipl.-Ing. H. Weickmann, Dipl.-Phys. Dr. K. Fincke Dipl.-Ing. F. A.Weickmann, Dipl.-Chem. B. Huber

XI

8 MÜNCHEN 86, DEN

POSTFACH 860 820

MDHLSTRASSE 22, RUFNUMMER 98 3921/22

DECCA LIMITED

Decca House, 9 Albert Embankment

London, SE1 7SW, England

Verfahren und Vorrichtung zur Bildung eines gleichmäßigen Filmes auf einem ebenen Träger

Die Erfindung bezieht sich auf eine Vorrichtung zur Ablagerung gleichmäßiger Filme bzw. Schichten und insbesondere zur Ablagerung eines gleichmäßigen flachen Filmes, dessen Dicke in der Größenordnung von 10 Mikrometer liegt, auf der Oberfläche einer relativ dicken Scheibe.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zu Grunde, einen Weg zu zeigen, wie auf besonders einfache und sichere Weise gleichmäßige Filme auf der Oberfläche einer relativ dicken Scheibe bzw. Platte abgelagert werden können.

Gelöst wird die vorstehend aufgezeigte Aufgabe gemäß einem Aspekt der vorliegenden Erfindung.durch eine Vorrichtung

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zur Bildung eines gleichmäßigen Filmes auf einem ebenen Träger; diese Vorrichtung ist dadurch gekennzeichnet, daß eine äntreibbare Drehscheibe vorgesehen ist, daß Einrichtungen zur lösbaren Feststellung eines ebenen Trägers auf der Drehscheibe vorgesehen sind, derart, daß die ebenen Oberflächen des betreffenden Trägers senkrecht zur Rotationsachse der Drehscheibe verlaufen, daß ein Verteiler vorgesehen ist, der zur Drehung mit der Drehscheibe entsprechend angeordnet ist und von dem zumindest ein Teil axial von der Drehscheibe absteht und der ein fließendes Material radial nach außen auf der oberen Fläche der ebenen Oberfläche des Trägers zu verteilen imstande ist, daß eine Verkleidung vorgesehen ist, die die Drehscheibe und den Träger umgibt, und daß eine Abgabeeinrichtung zur Abgabe einer Charge des fließenden Materials an den Verteiler und Einrichtungen zur Unterbringung der Abgabeeinrichtung in dem Behälter vorgesehen ist, derart, daß der Abgabeauslaß der Abgabeeinrichtung über dem Verteiler angeordnet ist.

Derjenige Teil des Verteilers, der von der nachstehend auch als Drehtisch bezeichneten Drehscheibe aus axial absteht, kann als Kegel ausgebildet sein, dessen Spitze von der Drehscheibe axial in Abstand vorgesehen ist. Alternativ dazu kann der betreffende Verteiler mit einer kegeistumpfförmigen Seite und mit einem mittleren Aufnahmebehälter für die Aufnahme des fließenden bzw. flüssigen Materials ausgebildet sein.

Der Verteiler kann an der Drehscheibe lösbar angebracht und so dimensioniert sein, daß der ebene Träger an der Ausführung einer axialen Bewegung von dem Drehtisch weg gehindert ist, wenn der Verteiler auf dem Drehtisch angebracht ist.

Bei der bevorzugten Ausführungsform ist die Verkleidung

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durch einen optisch durchlässigen Oberteil, einen Bodenteil und einen Seitenwandteil gebildet.

Bei der bevorzugten Ausführungsform ist die Einrichtung zur Feststellung der Abgabeeinrichtung in dem Oberteil bzw. Deckelteil der Verkleidung untergebracht.

Der Drehtisch kann eine in seinem Bodenteil gebildete ringförmige Nut aufweisen. Dabei kann ein erster hochstehender ringförmiger Plansch vorgesehen sein, der an der Bodenseite der Verkleidung befestigt ist und der koaxial zu dem Drehtisch verläuft. Dieser ringförmige Flansch kann einen Durchmesser besitzen, der größer ist als der Durchmesser des Drehtischs. Ferner kann an der Bodenseite der Verkleidung ein zweiter, nach oben abstehender ringförmiger Flansch befestigt sein; dieser Flansch kann so angeordnet sein, daß er innerhalb der genannten Nut liegt, Jedoch mit dieser nicht in Kontakt ist. Ferner kann eine Reihe von kleinen Luftöffnungen vorgesehen sein, die sich durch die Bodenseite der Verkleidung hindurch_ziehen und die zwischen den Flanschen angeordnet sind.

Es können ferner Einrichtungen vorgesehen sein, die gasförmiges Material durch die Verkleidung hindurchströmen lassen; diese Einrichtungen können einen Einlaßdurchgang aufweisen, der in dem Körper einer Spindel für den Drehtisch gebildet ist, und ferner können sie einen Ausgangsdurchgang aufweisen.

Ferner können Einrichtungen zur Erwärmung des gasförmigen Materials vorgesehen sein; diese Einrichtungen können ein

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flexibles Heizband aufweisen, welches an der Außenseite der Verkleidung befestigt ist.

Der Drehtisch kann durch einen Motor über eine Magnetkupplung angetrieben werden.

Gemäß einem weiteren Aspekt der Erfindung ist ein Verfahren zur Bildung eines gleichmäßigen Filmes auf einem ebenen Träger geschaffen, der auf einem Drehtisch festgelegt ist. Dieses Verfahren ist dadurch gekennzeichnet, daß eine Charge eines flüssigen bzw. fließenden Materials auf einem Verteiler abgelagert wird, der von einem ebenen Träger umgeben ist, daß der Träger auf den Drehtisch gedreht wird, wobei die Rotationsachse des Drehtisches durch den Verteiler derart hindurchläuft, daß eine Verteilung des flüssigen bzw. fließenden Materials als Film über dem Träger erfolgt, daß anschließend der Träger, wie zuvor, gedreht wird, jedoch mit einer erheblich höheren Geschwindigkeit, derart, daß von dem Träger Material abgeführt wird, welches die für die benötigte Filmdicke erforderliche Materialmenge übersteigt, und daß dem dünneren Film ermöglicht wird, sich abzusetzen.

Das Verfahren kann ferner dadurch gekennzeichnet, sein, daß dem abgelagerten Material ermöglicht wird, sich auf dem Träger zwischen dem Schritt der Drehung und dem Schritt der anschließenden Drehung abzusetzen.

Der Träger kann langsam gedreht werden, währenddessen dem abgelagerten Material ermöglicht wird, sich abzusetzen.

Das Verfahren kann in einer staubfreien Umgebung ausgeführt werden. In dem Fall, daß das fließende bzw. flüssige Material

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einen in einem Lösungsmittel gelösten Stoff enthält, kann das Verfahren in einer gesättigten Atmosphäre ausgeführt werden.

Gemäß einem weiteren Aspekt der Erfindung ist ein Verfahren zur Herstellung eines Filmes aus einem thermoplastischen Material mit einer Dicke in der Größenordnung von 10 Mikrometer auf einer flachen Oberfläche einer leitenden Scheibe geschaffen. Dieses Verfahren ist erfindungsgemäß dadurch gekennzeichnet,

a) daß die leitende Scheibe auf einer Drehscheibe in einer weitgehend staubfreien Schutzumkleidung abgelagert wird,

b) daß einer Charge eines Lösungsmittels eines thermoplastischen Materials ermöglicht wird, eine gesättigte Atmosphäre in der Schutzverkleidung zu erzeugen,

c) daß über dem mittleren Bereich der Scheibe eine flüssige Charge des thermoplastischen Materials in dem Lösungsmittel abgelagert wird,

d) daß die Scheibe um ihre Hauptachse derart gedreht wird, daß die flüssige Charge veranlaßt wird, über die obere Fläche der S dieibe zu fließen,

e) daß die Scheibe mit einer höheren Geschwindigkeit bzw. Drehzahl gedreht wird, derart, daß das Material, welches das für die geforderte Dicke benötigte Material überschreitet, abgeführt wird, und

f) daß dem Film ermöglicht wird, sich abzusetzen.

An Hand von Zeichnungen wird die Erfindung nachstehend beispielsweise näher erläutert.

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Fig. 1 zeigt eine Vorrichtung zur Ablagerung von dünnen " · Filmen auf einer Scheibe.

Fig. 2 zeigt eine alternative Ausführungsform eines Verteilers für die Verwendung in Verbindung mit der Vorrichtung nach Fig. 1.

Fig. 3 zeigt eine Spindel für die Verwendung in Verbindung mit der Vorrichtung nach Fig. 1.

Gemäß Fig. 1 besteht die Vorrichtung zur Ablagerung von dünnen Schichten bzw. Filmen aus einer Ablagerungsanordnung und einer Antriebseinheit 2, die auf einer hochliegenden Grundplatte 3 angeordnet ist. Die Antriebseinheit 2 ist mit der Ablagerungsanordnung 1 über schwach beanspruchte Kettenräder und 5 und ein Zahnband 6 verbunden. Die Antriebseinheit 2 kann aus einem mit konstanter Geschwindigkeit laufenden Einphaseninduktionsmotor und einer Magnetkupplungseinheit bestehen.

Eine Spindel 6, die mit den Zahnrädern antriebsmäßig verbunden ist, dreht sich mit einer Drehzahl, die dem Maß der Erregung der Magnetkupplung proportional ist. Der Bereich von Drehzahlen, die der Ablagerungsanordnung 1 erteilt werden können, kann dadurch verändert werden, daß die entsprechenden Durchmesser der Räder 4 und 5 und die Länge des Bandes bzw. Riemens 6 geändert werden.

Die Spindel 7 ist in einem Lagergehäuse 8 untergebracht; sie wird von Ring- bzw. Scheibenrillenlagern 9 und 10 getragen. Die betreffenden Lager 9 und 10 sind derart angeordnet, daß sie unter einer schwachen Druckbelastung eine ringförmige Kontaktkonfiguration zeigen. Das Rad bzw. die Scheibe 5 ist an dem unteren Ende der Spindel angebracht.

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An dem oberen Ende der Spindel 7 ist eine zylindrische Drehscheibe 11 mittels Schrauben 12 befestigt. In der Mitte der Drehscheibe 11 ist eine kreisförmige Ausnehmung 13 vorgesehen, um eine Scheibenmittelnabe 14 aufzunehmen. Die betreffende Nabe 14 ist so angeordnet, daß sie einen ebenen Träger, in diesem Fall eine Scheibe 15, auf der Drehscheibe seitlich festhält. Die Scheibe 15 kann durch einen ebenen Träger gebildet sein, der so angeordnet ist, daß er auf· der drehscheibe 11 festgelegt ist.

Die Drehscheibe 11 ist von einer Verkleidung umgeben, die ein Bodenteil 16, eine ringförmige Seitenwand 17 und ein Oberteil bzw. einen Deckel 18 umfaßt. Das Bodenteil' bzw. der Boden 16 besitzt eine Ringform mit einem Außendurchmesser, der 50 mm größer ist als der der Scheibe. Der Boden 16 ist koaxial an dem Lagergehäuse 8 angebracht. Die Seitenwand 17 besteht aus einem Stahlblech; sie weist einen Innenflansch 19 auf, mit dem die Seitenwand 17 in bezug auf den Boden 16 festgelegt ist. Der Flansch 19 ist an dem Boden mittels Schrauben 20 befestigt. Zwischen dem Flansch 19 und dem Boden 16 kann eine Papierdichtung (nicht gezeigt) vorgesehen sein, um eine gasdichte Abdichtung an der Trennstelle sicherzustellen. Ein Kreisring 21, der an der Seitenwand 17 angeschweißt ist, trägt den Deckel bzw. die Oberseite 18, die lichtdurchlässig sein kann. Der Kreisring 21 weist eine ringförmige Nut 22 auf, die eine Ölabdichtungsringschnur enthält, um eine Dichtung zwischen dem Deckel 18 und der Seitenwand 18 zu bewirken. Der Festlegungsflansch weint einen ringförmigen, nach oben stehenden Flansch 23 auf, der an dessen Oberseite angebracht ist. Ein zweiter ringförmiger Flansch 24 ist an dem Boden angebracht und so gelegt,

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daß er innerhalb der im Boden des Drehtisches gebildeten ringförmigen Nut 25 liegt, diese jedoch nicht berührt. Eine Reihe von Luftdurchlaßlöchern 26 ist zwischen diesen Flanschen vorgesehen. Diese Löcher 26 verlaufen durch den Boden der Verkleidung hindurch.

In der Oberseite 18 ist eine Filterspritze 27 koaxial untergebracht, und zwar mittels eines Metallanpassungsgliedes 28, das als Flanschring ausgebildet und in einer Öffnung 29 in dem Deckel 18 untergebracht ist. Das Anpassungsglied 28 ist so bemessen, daß die Austrittsstelle 30 der Spritze 27 an einer Stelle liegt, die in geringem Abstand über einem kegelförmigen Verteiler 31 liegt. Der kegelförmige Verteiler 31 ist an der Stelle 7 lösbar angebracht; er besitzt eine Gleitpassung in der Nabe 14. Die Spitze des durch die Oberseite des Verteilers 13 gebildeten Kegels weist einen Schlitz 32 für die Aufnahme eines Schraubenantriebsblattes bzw. Flügels auf. Eine alternative Ausführungsform des Verteilers 31 ist in Fig. 2 gezeigt. Gemäß Fig. 2 weist der Verteiler 31 eine kegelstumpfförmige Fläche und eine mittlere Ausnehmung 33 für die Aufnahme der Gebervorrichtung auf.

Nach der in Fig. 3 dargestellten Ausführungsform weist die Spindel 7 ein axiales Rohr 34 auf, das zur Luft hin offen ist und das mit in gleichen Abständen vorgesehenen radialen Löchern 35 verbunden ist, die um den Kopf der Spindel herum angeordnet sind.

Eine Pumpe (nicht dargestellt) kann an der Öffnung so angeschlossen sein, daß Luft durch das Spindelrohr 34, die Löcher 35 und die Luftdurchtrlttslöcher 26 über der Oberfläche der Scheibe zu dem Pumpeneinlaß an der Öffnung 29 geführt werden kann.

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Eine (nicht dargestellte) Heizeinrichtung in Form eines flexiblen Heizbandes ist tun die Außenseite der Seitenwände herum angeordnet und ummantelt, um Wärmeverluste zu minimieren. Die Heizeinrichtung ist mit einem Thermostat (nicht dargestellt) verbunden, der als Sicherheits-Abschalteinrichtung dient; die Heizeinrichtung wird von einem einstellbaren Speisegerät her gespeist. Die Speiseleistung kann zur Aufrechterhaltung einer konstanten Temperatur verändert werden. Ein Thermometer oder ein Thermoelement (nicht dargestellt) kann oberhalb der Oberfläche der Scheibe 15 in einem Behälter (nicht dargestellt) untergebracht sein, der an der Verkleidungswand befestigt ist.

Im Betrieb wird das Material, aus dem der Film zu bilden ist, in einem Lösungsmittel gelöst. So wird z.B. Polystyrol in Iso-Oktan gelöst.

Die Scheibe 15 wird dann auf der Drehscheibe 11 in Stellung gebracht, und der Verteiler 31 wird so befestigt, daß die Scheibe 15 an der Drehscheibe 11 gesichert ist. Sodann wird das Thermometer an der Oberseite der Verkleidung 18 in Stellung gebracht.

Die Verkleidungsoberseite 18 wird sodann in entsprechende Stellung gebracht, und die Anpassungseinrichtung 28 wird in der Öffnung 29 untergebracht. Eine Lösungsmittelmenge wird dann in die Verkleidung abgegeben, um eine gesättigte Atmosphäre zu erzeugen. Sodann wird die Spritze 27 mit einer geeigneten Menge des flüssigen Materials geladen, und die gefüllte Spritze 27 wird in der Aufnahmeeinrichtung 28 untergebracht.

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Die Scheibe 15 wir sodann langsam gedreht, und das flüssige" bzw. fließende Material wird langsam aus der Spritze an den Verteiler 31 herausgedrückt, der das flüssige bzw. fließende Material radial über die Oberfläche der Scheibe 15 verteilt. Wenn das flüssige Material herausgeführt worden ist, wird die Drehung der Scheibe 18 für eine Dauer von fünf Minuten angehalten, um der Lösung zu ermöglichen, sich selbst gleichmäßig über die Scheibenoberfläche zu verteilen. Während dieser Setzperiode werden die Spritze 27 und die Anpassungseinrichtung weggenommen, und an der Verkleidung wird über die Öffnung 29 eine (nicht dargestellte) Pumpe angeschlossen, die vorzugsweise eine Schlauchradpumpe ist.

Am Ende der Setzperiode wird der ebene Träger etwa eine
Minute lang mit einer hohen Drehzahl gedreht. Während dieser Drehzeitspanne wird überschüssiges Material von der Scheibe abgeführt, so daß die gewünschte Materialdicke erzielt werden kann. Der größte Anteil des fließenden bzw. flüssigen Materials, das abgeführt wird, wird durch den ersten hochstehenden ringförmigen Flansch 23 zurückgehalten.

Der zweite hochstehende ringförmige Flansch 24 wirkt mit der Nut 25 als Labyrinthdichtung, um jegliches Material, welches von dem ersten hochstehenden Flansch 23 nicht zurückgehalten worden ist, am Erreichen des Lagergehäuses 8 zu hindern. Die kleinen Luftlöcher 26 dienen als Abflüsse für jegliches
Material, das zwischen den beiden Flanschen aufgenommen
worden ist.

Nach dem schnellen Drehvorgang wird die Scheibe während
einer Dauer von etwa 30 Minuten angehalten, uui dem flüssigen Material zu ermöglichen, sich abzusetzen. Danach werden die

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Pumpe und die Heizeinrichtung eingeschaltet, und der Film wird gehärtet. Der Verteiler 31 sollte unmittelbar nach Beendigung des Aushärtens ausgespannt werden, um ein Einreißen der dünnen Schicht zu vermeiden. Im Falle von Polystyrol dauert das Aushärten drei Stunden.

Die beschriebene Vorrichtung kann zur Ablagerung des Filmes aus thermoplastischem Material auf einem leitenden Trägerteil verwendet werden, wie es in der GB-PS 1 373 511 beschrieben ist.

Bei einem Alternatiwerfahren kann während der ersten Setzperiode die Scheibe 15 langsam gedreht werden.

Die Oberseite 18 der Verkleidung kann mit einer elektrisch leitenden und lichtdurchlässigen Substanz, wie Zinnoxid, überzogen sein, um die Möglichkeit einer statischen Aufladung zu beseitigen, durch die Teilchen an die Unterseite des Deckels angezogen werden, welche Teilchen anschließend auf die Scheibe herabfallen, wenn die Ladung während des Aushärtens abklingt. Alternativ dazu kann der Deckel aus einem polierten rostfreien Stahl bestehen.

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Claims (18)

Patentansprüche

1. Verfahren zur Bildung eines gleichmäßigen Filmes auf einem ebenen Träger, der auf einer Drehscheibe untergebracht ist, dadurch gekennzeichnet, daß eine Charge eines flüssigen Materials an einen von einem ebenen Träger (15) umgebenen Verteiler (31) abgegeben wird, daß der Träger (15) auf der Drehscheibe (11) bei durch den Verteiler (31) hindurchlaufender Rotationsachse derart gedreht wird, daß das flüssige Material als Film über dem betreffenden Träger (15) verteilt wird, daß anschließend der Träger (15) in entsprechender Weise, jedoch mit einer wesentlich höheren Drehzahl derart gedreht wird, daß das Material von dem Träger (10) abgeführt wird, welches das für die geforderte Filmdicke benötigte Material übersteigt, und daß dem dünnen Film ermöglicht wird, sich abzusetzen.

2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Absetzen des abgelagerten Materials zwischen dem Drehen des Trägers (15) und dem anschließenden Drehen des Trägers (15) vorgenommen wird.

3. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß der Träger (15) während des Absetzens des abgelagerten Materials langsam gedreht wird.

4. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet daß in einer staubfreien Umgebung gearbeitet wird.

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5. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß als flüssiges Material ein in einem Lösungsmittel aufgelöster Stoff verwendet wird und daß in einer gesättigten Atmosphäre des Lösungsmittels gearbeitet wird.

6. Verfahren zur Herstellung eines Filmes aus einem thermoplastischen Material mit einer Dicke in der Größenordnung von 10 Mikrometer auf einer flachen Oberfläche einer leitenden Scheibe, insbesondere nach einem der Ansprüche bis 5, dadurch gekennzeichnet,

a) daß die leitende Scheibe (15) auf einer Drehscheibe (11) in einem weitgehend staubfreien Behältnis angeordnet wird,

b) daß eine Charge eines Lösungsmittels eines thermoplastischen Materials unter Bildung einer gesättigten Atmosphäre in dem betreffenden Behältnis abgegeben wird,

c) daß über dem mittleren Bereich der genannten Scheibe (15) eine flüssige Charge des thermoplastischen Materials in einem Lösungsmittel für dieses Material abgelagert wird,

d) daß die Scheibe (15) um ihre Hauptachse derart gedreht wird, daß die flüssige Charge über die Oberseite der betreffenden Scheibe (15) geleitet wird,

e) daß die Scheibe (15) mit einer derart höheren Drehzahl gedreht wird, daß dasjenige Material abgeführt wird, welches das für die geforderte Dicke benötigte Material übersteigt, und

f) daß dem Film ermöglicht wird, sich abzusetzen.

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7. Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens nach einem der Ansprüche 1 bis 6, zwecks Bildung eines gleichmäßigen Filmes auf einem ebenen Träger, der eine drehbare Drehscheibe enthält, dadurch gekennzeichnet, daß Einrjditungen (14, 31) zur lösbaren Anordnung eines ebenen Trägers (15) auf der Drehscheibe (11) vorgesehen sind, wobei die Anordnung so getroffen ist, daß die ebenen Oberflächen des Trägers (15) senkrecht zur Rotationsachse der Drehscheibe (11) verlaufen, daß ein Verteiler (31) vorgesehen ist, der so angeordnet ist, daß er sich mit der Drehscheibe (11) zu drehen vermag, daß zumindest ein Teil des Verteilers (31) axial von der Drehscheibe (11) absteht, derart, daß der Verteiler (31) flüssiges Material radial nach außen an die obere ebene Oberfläche des Trägers (15) zu verteilen imstande ist, daß ein Behältnis (16, 17, 18) vorgesehen ist, welches die Drehscheibe (11) und den Träger (15) umgibt, daß eine Abgabeeinrichtung (27) vorgesehen ist, die eine Charge des flüssigen Materials an den Verteiler (31) abzugeben vermag, und daß eine Einrichtung (28) vorgesehen ist, die die Abgabeeinrichtung (27) in dem Behältnis (16,17,18) derart festzulegen gestattet, daß eine Abgabe-Auslaßöffnung (30) der Abgabeeinrichtung (27) über dem Verteiler (31) angeordnet ist.

8. Vorrichtung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß der axial von der Drehscheibe (11) weglaufende Teil des Verteilers (31) die Form eines Kegels besitzt, dessen Spitze in axialem Abstand von der Drehscheibe (11) liegt.

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9. Vorrichtung nach Anspruch 7t dadurch gekennzeichnet, daß derjenige Teil des Verteilers (31), der von der Drehscheibe (11) axial wegläuft, mit einer kegelstumpf-' förmigen Fläche ausgebildet ist und einen mittleren Aufnahmebehälter (33) für die Aufnahme von flüssigem Material enthält.

10. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 7 bis 9, dadurch gekennzeichnet, daß der Verteiler (31) lösbar an der Drehscheibe (11) angebracht und so dimensioniert ist, daß der ebene Träger (15) an einer axialen Bewegung von der Drehscheibe (11) weg in dem Fall gehindert ist, daß der Verteiler (31) an der Drehscheibe (11) angebracht ist.

11. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 7 bis 10, dadurch gekennzeichnet, daß das genannte Behältnis (16, 17, 18) ein lichtdurchlässiges Oberteil (18), einen Boden (16) und einen Seitenwandteil (17) aufweist.

12. Vorrichtung nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß die Einrichtung (28) zur Festlegung der Abgabeeinrichtung (27) koaxial zu der Drehscheibe (11) in dem lichtdurchlässigen Oberteil (18) angeordnet ist.

13. Vorrichtung nach Anspruch 11 oder 12, dadurch gekennzeichnet, daß in der Unterseite der Drehscheibe (11) eine ringförmige Nut (25) gebildet ist, daß das genannte Behältnis (16, 17, 18) einen ersten hochstehenden ringförmigen Flansch (23) aufweist, der an dem Boden (16) des betreffenden Behältnisses koaxial zu der Drehscheibe (11) angeordnet ist und der einen Durchmesser besitzt, welcher

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größer ist als der Durchmesser der Drehscheibe (11), daß am Boden (16) des genannten Behältnisses (16,17,18) ein zweiter hochstehender ringförmiger Flansch (24) befestigt ist, der so angeordnet ist, daß er innerhalb der genannten Nut (25) liegt, ohne diese zu berühren, und daß eine Reihe von Durchgangslöchern (26) vorgesehen ist, die durch den Boden (16) des genannten Behältnisses (16,17,18) hindurch..J.aufen und die zwischen den genannten Flanschen (23, 24) vorgesehen sind.

14. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 7 bis 13, dadurch gekennzeichnet, daß Einrichtungen vorgesehen sind, die gasförmiges Material durch das Behältnis (16,17,18) über die Stelle des Trägers (15) strömen lassen, und daß Einrichtungen vorgesehen sind, die das gasförmige Material erwärmen.

15. Vorrichtung nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, daß die Einrichtungen, die das gasförmige Material strömen lassen, einen im Körper einer Antriebsspindel (7) der Drehscheibe (11) gebildeten Einlaßdurchgang und einen Auslaßdurchgang aufweisen.

16. Vorrichtung nach Anspruch 14 oder 15, dadurch gekennzeichnet, daß die Einrichtungen zur Erwärmung des gasförmigen Materials ein flexibles Heizband enthalten, das an der Außenseite des Behältnisses (16,17,18) befestigt ist.

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17. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 7 bis 16, dadurch gekennzeichnet, daß die Drehscheibe (11) über eine Magnetkupplung (2) antreibbar ist.

18. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 7 bis 17, dadurch gekennzeichnet, daß der Verteiler (31) eine Filterspritze (27) umfaßt.

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