DE2424482A1 - Auf eine foerdereinrichtung synchronisierte bewegliche spruehkoepfe - Google Patents
Auf eine foerdereinrichtung synchronisierte bewegliche spruehkoepfeInfo
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05B—SPRAYING APPARATUS; ATOMISING APPARATUS; NOZZLES
- B05B13/00—Machines or plants for applying liquids or other fluent materials to surfaces of objects or other work by spraying, not covered by groups B05B1/00 - B05B11/00
- B05B13/02—Means for supporting work; Arrangement or mounting of spray heads; Adaptation or arrangement of means for feeding work
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05B—SPRAYING APPARATUS; ATOMISING APPARATUS; NOZZLES
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- Spray Control Apparatus (AREA)
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Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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ID=23426859
Family Applications (1)
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DE2424482A Pending DE2424482A1 (de) | 1973-05-21 | 1974-05-20 | Auf eine foerdereinrichtung synchronisierte bewegliche spruehkoepfe |
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5000207A (en) * | 1986-12-19 | 1991-03-19 | U.S. Philips Corporation | Apparatus suitable for processing semiconductor slices |
CN108636672A (zh) * | 2018-05-30 | 2018-10-12 | 常州铭赛机器人科技股份有限公司 | 称重修正运行速度的喷胶方法和流体涂布装置 |
Families Citing this family (3)
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JPS59215729A (ja) * | 1983-05-21 | 1984-12-05 | Ulvac Corp | 半導体もしくは磁気記録媒体等の基板の洗浄装置 |
JP2906156B2 (ja) * | 1989-09-22 | 1999-06-14 | 横河電機株式会社 | シリコンウエハーの洗浄装置 |
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1974
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- 1974-05-20 DE DE2424482A patent/DE2424482A1/de active Pending
- 1974-05-20 FR FR7417470A patent/FR2230420B3/fr not_active Expired
- 1974-05-21 JP JP49056182A patent/JPS5020571A/ja active Pending
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Also Published As
Publication number | Publication date |
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FR2230420A1 (enrdf_load_stackoverflow) | 1974-12-20 |
JPS5020571A (enrdf_load_stackoverflow) | 1975-03-04 |
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