DE2414221C3 - Ionenoptisches Gerät zur Untersuchung der Oberfläche einer Probe durch IonenbeschuB und Analyse der vom beschossenen Oberflächenbereich ausgehenden Ionen - Google Patents

Ionenoptisches Gerät zur Untersuchung der Oberfläche einer Probe durch IonenbeschuB und Analyse der vom beschossenen Oberflächenbereich ausgehenden Ionen

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Manfred Dipl.-Phys. 7507 Pfinztal Grundner
Werner Dr. 8046 Gauting Heiland
Edmund Dr. 8000 Muenchen Taglauer
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