DE2403054A1 - Lichtempfindliches schichtuebertragungsmaterial - Google Patents

Description

• Beschreibung Lichtempfindliches Schichtübertragungsmaterial Die Erfindung betrifft ein lichtempfindliches Schichtübertragungsmaterial, >insbesondere für die Übertragung von Photoresistschichten in trockenem Zustand.
• Derartige Schichtübertragungsmaterialien sind z B.
• aus der deutschen Auslegeschrift 1 522 515 bekannt geworden. Die dort beschriebenen Kopierschichten sind lichtvernetzbar oder photopolymerisierbar, arbeiten also negativ und eignen sich aufgrund ihres normalen Gehalts an thermoplastischen polymeren Substanzen besonders gut für eine trockene Übertragung der Kopierschicht unter Druck und Erwärmen auf den endgültigen Träger.
• Für viele Zwecke wäre es erwünscht, auch positiv arbeitende Kopierschichten in gleicher Weise übertragen zu können. Materialien und Schichtübertragungsverfahren, die positive Obertragungsbilder liefern, sind ebenfalls bekannt. Diese Rlaterialien und Verfahren haben jedoch bestimmte Nachteile, Bei einem bekannten Verfahren werden z. B. positive Übertragungsbilder bzw. -masken mittels einer negativ arbeitenden Schicht hergestellt, indem die Schicht bildmäßig gehärtet wird und Träger- und Deckfolie derart getrennt werden, daß an der einen die gehärteten, an der anderen die ungehärteten Schichtteile haften, die dann jeweils auf eine andere Unterlage übertragen werden können.
• In der DOS 2 028 903 wird ein positiv arbeitendes Schichtübertragungsmaterial beschrieben, das aus Polymeren mit seitenständigen Hydroxygruppen besteht, die zum Teil mit o-Chinondiazidgruppen substituiert sind. Die reproduzierbare Herstellung derartiger hochmolekularer lichtempfindlicher Substanzen ist schwierig und umständlich.
• In der DOS 2 046 115 ist ein ähnliches Material beschrieben, das jedoch niedermolekulare Chinondiazide enthält Dieses Material enthält zusätzlich Zwischenschichten und gegebenenfalls Haftschichten, um ein einwandfreies Aufbringen der Photoresistschicht auf die zu bearbeitende Unterlage und eine einwandfreie Abtrennung des Zwischenträgers zu ermöglichen.
• Ein ähnliches Material wird in der DOS 2 106 574 beschrieben.
• Alle diese Positivmaterialien sind komplizierter aufgebaut als für den gleichen Zweck geeignete NegativS materialien und bzw. oder erfordern zusätzliche Behand-1 ungsschritte.
• Aufgabe der Erfindung war es, ein einfach aufgebautes Schichtübertragungsmaterial für trockene Übertragung, insbesondere von Photoresistschichten, vorzuschlagen, das positiv arbeitet und die bekannten Vorteile der Positivschichten mit guter Obertragbarkeit und Haftung auf der endgültigen Unterlage verbindet.
• Gegenstand der Hauptanmeldung ist ein lichtempfindliches Schichtübertragungsmaterial mit einem Träger, einer lichtempfindlichen Schicht, die ein o-Naphthochinondiazid und ein alkalilösliches Phenolharz enthält, und gegebenenfalls einem abziehbaren Deckblatt auf der anderen Seite der lichtempfindlichen Schicht, das dadurch gekennzeichnet ist, daß die lichtempfindliche Schicht einen Ester oder ein Amid einer o-Naphthochinondiazidsulfonsäure sowie ferner mindestens ein Acrylharz enthält.
• Gegenstand der vorliegenden Zusatzanmeldung ist ein lichtempfindliches Schichtübertragungsmaterial mit einer Kunststoffolie als Träger, einer lichtempfindlichen Schicht, die einen Ester oder ein Amid einer o-Naphthochinondiazidsulfonsäure, ein alkalilösliches Phenolharz und mindestens ein Acrylharz enthält, und gegebenenfalls einem abziehbaren Deckblatt auf der anderen Seite der lichtempfindlichen Schicht gemäß Hauptanmeldung, das dadurch gekennzeichnet ist, daß als Träger eine Polyesterfolie verwendet wird, deren Oberfläche, auf die die lichtempfindliche Schicht aufgebracht wird, zuvor mit einer wäßrigen Lösung, die eine gesättigte Halogenfettsäure, ein Netzmittel und ein wasserlösliches Polymerisat enthält, das mit der Halogenfettsäure verträglich ist, behandelt und dann durch Erwärmen getrocknet worden ist.
• Die Trägerfolie für das erfindungsgemäße Schichtübertragungsmaterial muß so beschaffen sein, daß sie sich nach der trockenen Übertragung der Schicht auf die endgültige, zu bearbeitende Unterlage leicht und ohne Beschädigung der Schicht von dieser abziehen läßt.
• Die als Träger verwendeten Polyesterfolien werden auf ihrer Oberfläche, auf die die lichtempfindliche Schicht aufgebracht werden soll, mit einer Lösung vorbehandelt, die für ihre die Haftung erhöhende Wirkung bekannt ist. Es wurde nun gefunden, daß diese Behandlung in überraschender Weise gegenüber den erfindungsgemäß verwendeten positiv arbeitenden lichtempfindlichen Schichten die Haftung vermindert, so daß eine leichte und sichere Abtrennung der Trägerfolie nach dem Aufbringen der Schicht auf die endgültige Unterlage ermöglicht wird. Wenn eine unbehandelte Polyesterfolie verwendet wird, ist ein Abziehen der Folie von der lichtempfindlichen Schicht in den meisten Fällen nicht ohne Beschädigung derselben möglich.
• Die hier angewendete Vorbehandlung ist zur Verbesserung der Haftung von Schichten auf Polyesterfolien bekannt und z. B. in der DT-OS 1 694 534 beschrieben.
• Als Halogenfettsäuren werden insbesondere halogenierte Alkansäuren mit 2 bis 4 Kohlenstoffatomen, vorzugsweise chlorierte Essigsäuren, verwendet. Es können auch z. B, 2,2,3-Trichlorpropionsäure oder Trifluoressigsäure verwendet werden. Die bei weitem bevorzugte Säure ist Trichloressigsäure. Die Konzentration der Säure in der Behandlungslösung liegt im allgemeinen zwischen 5 und 20 Gew.-%, vorzugsweise zwischen 5 und 10 Gew.-%. Das Gewichtsverhältnis von Polymerisat zu Halogenfettsäure liegt im allgemeinen zwischen 1:1 und 1:20.
• Als mit der Halogenfettsäure in wäßriger Lösung verträgliche Polymerisate sind Substanzen zu verstehen, die mit der Säure keine Ausfällungen ergeben. Beispiele für geeignete Polymerisate sind Polyvinylalkohol bzw. teilverseifte Polyvinylacetate, Celluloseäther wie Hydroxyäthylcellulose oder Carboxymethylcellulose und Polyacrylamid.
• Die Polymerisate können auch durch Zusatz von Vernetzungsmitteln zu der wäßrigen Lösung nach dem Aufbringen gehärtet und damit wasserunlöslich gemacht werden.
• Als Netzmittel können insbesondere übliche anionische oder nichtionische Netzmittel verwendet werden, anionische Netzmittel werden bevorzugt.
• Das vorzugsweise zum Schutz der lichtempfindlichen Schicht verwendete Deckblatt kann ebenfalls eine Kunststoffolie sein, wie es in der deutschen Auslegeschrift 1 522 515 näher beschrieben ist. Sie soll eine geringere Haftung an der Kopierschicht haben als die Trägerfolie. Geeignete Folien sind z. B. solche aus Polyolefinen, insbesondere Polyäthylen.
• Als Acrylharze, die wesentlicher Bestandteil der lichtempfindlichen Schicht sind, kommen Homo- und Mi schpolymerisate von Derivaten der Acryl- und Methacrylsäure in Betracht, insbesondere von deren Estern. Die Alkoholkomponente des Esters wird vorzugsweise von niederen aliphatischen Alkoholen mit etwa 1 bis 6 Kohlenstoffatomen gebildet. Besonders gut lassen sich Schichten übertragen und verarbeiten, die außer dem Acrylharz noch einen Polyvinyläther oder ein Polyglykol, insbesondere ein Polyäthylenglykol, das ein Molekulargewicht von etwa 800 bis 10,000 hat, enthalten. Zusätzlich zu diesen Polymeren oder an deren Stelle können der Schicht weiterhin Mischpolymerisate mit Einheiten zugesetzt werden, die saure Gruppen enthalten, insbesondere Carboxylgruppen. Bevorzugte Vertreter hierfür sind Mischpolymerisate von Alkylestern der Acryl- oder Methacrylsäure mit den freien Säuren oder Mischpolymerisate von Vinylacetat mit ungesättigten Carbonsäuren, z. B. Crotonsäure.
• o-Naphthochinondiazidsulfonsäureester und -amide sind als Bestandteile positiv arbeitender Kopierschichten bekannt und z. B. in den deutschen Patentschriften 854 890, 865 109, 900 172, 907 738, 938 233 und 1 195 166, der deutschen Auslegeschrift 1 543 721 und der deutschen Offenlegungsschrift 2 047 816 beschrieben.
• Als alkalilösliche Phenolharze kommen in bekannter Weise im wesentlichen die Phenol-Formaldehyd-Novolake in Betracht, deren Verwendung in Positiv-Kopierschichten ebenfalls in den genannten Druckschriften beschrieben ist.
• Die erfindungsgemäßen Schichten sind dadurch ausgezeichnet, daß sie nicht die sonst von Positivlack-Schichten bekannte Sprödigkeit besitzen, sondern geschmeidig sind. Trotzdem können sie sauber und sicher wäßrig-alkalisch entwickelt und mit den für Negativ-Trockenresists üblichen Walzen-Laminiergeräten in Schichtdicken von etwa 4 - 601u übertragen werden.
• Durch die Kombination der Zusatzharze mit den üblichen Bestandteilen der Positiv-Kopierschicht, Naphthochinondiazid und Phenolharz, wird kein Haftvermittler zum Empfänger gebraucht. Die Schicht wird vorzugsweise nicht durch die Trägerfolie hindurch, sondern nach deren Abziehen, vorzugsweise nach einem kurzen zusätzlichen Nachtrocknen, belichtet, ohne daß die Vorlage nach dem Belichten mit kaltem UV-Licht z. B. mit einer #etall-Halogen-Lampe, an der Schicht hängenbleibt.
• Durch mehrmaliges Laminieren übereinander werden Schichtdicken bis 601u und mehr erreicht. Zur Erreichung größerer Schichtdicken ist dies Verfahren, z. B. 30/ u aus 2 x außerdem sicherer und weniger staubanfällig als die Verwendung von Trockenresist der Enddicke z. B. 30/u. Mit nur 2 Typen z. B. 7,5 und 20/ u können leicht zahlreiche Schichtdicken durch Aufeinander-Laminieren erzeugt werden.
• Ein weiterer Vorteil der Kopierschichten der erfindungsgemäßen Materialien ist, daß sie auch auf der Trägerfolie sauber und sicher entwickelt und dann als fertiges Bild auf den Empfangsträger laminiert werden können. Auf diese Weise ist es möglich, mit verschieden angefärbten Schichten z. B. auch einen Farbsatz auf Druckpapier zu laminieren und so einen Andruckersatz zu erhalten. illit dem erfindungsgemäßen Material und Verfahren ist es auch möglich, belichtete, aber nicht entwickelte Positiv-Trockenresistschichten übereinander zu laminieren und dann diesen tlehrschichten-Resist bildmäßig zu einem Relief mit verschieden tiefen Stufen zu entwickeln. Durch unterschiedliche Färbung der einzelnen Schichten kann diese Möglichkeit, die mit Negativschichten im allgemeinen nicht durchführbar ist, sichtbar demonstriert werden. Da nach dem Belichten bereits das Bild zu sehen ist, kann passergenau laminiert werden.
• Sowohl die Polyvinylalkyläther und Polyglykole als auch die Methacrylate, bevorzugt Acrylate, geben der Schicht haftklebende und weichmachende Eigenschaften und ermöglichen die einwandfreie Übertragung vom Träger auf das Empfangsmaterial. Ohne die Acrylate sind die Entwicklungseigenschaften, insbesondere die Entwicklerresistenzen unbefriedigend. Völlig ohne Polyvinylalkyläther und Polyglykole ist dagegen die Entwicklung langsamer und kann im allgemeinen nicht ohne mechanische Unterstützung durchgeführt werden. Bis zu einem gewissen Maße können die Polyvinyläther und Polyglykole durch die genannten sauren Mischpolymerisate, insbesondere saure Acrylat-Mischpolymerisate, ersetzt werden. Außerdem kann der Zusatz von Polyvinylpyrrolidon-Harzen vorteilhaft sein.
• Bezogen auf den Feststoff der Schicht mit einem Gehalt an Diazoverbindung von etwa 12 - 30 % und an Novolak von etwa 25 - 40 % liegen die gUnstigsten Mengen der übrigen Harzzusä.tze bei etwa 5 - 30 % Acrylharz und 5 - 35 % Polyvinylalkyläther oder Polyglykol. Die günstigsten Anteile an sauren Mischpolymerisaten betragen etwa 5 - 15 %. Die praktisch verwendeten Zusatzmengen hängen innerhalb dieser allgemeinen Bereiche stark von der Natur der einzelnen Polymeren ab. Die Grenzen der Brauchbarkeit liegen z, B. bei den meisten Schichtkombinationen für Polyvinylmethyläther (z.B, Lutonal M 40) bei ca. 0-20 %, Polyvinyläthyläther, niedrigviskos (z.B. Lutonal A 25) bei ca. 0-30 X, Polyvinyläthyläther, hochviskos (z.B. Lutonal A 50) bei ca. 0-10 X, Polyvinylisobutyläther (z.B. Lutonal J 30) bei ca. 0-15 X, Polyvinylisobutyläther, höher viskos (Z.B. Lutonal J 60) bei ca. 0-10 X, Polyäthylenglykol (Molgewicht etwa 2000) bei ca. 0-20 X.
• Die folgenden Mengenbereiche bei bestimmten Acrylat-Harzen beziehen sich auf den Feststoffgehalt der Handelsprodukte. Die besten Ergebnisse werden erzielt unit: Polyäthylacrylat, niedrigvlskos (z.B Plexisol B 574) bei ca. 5-30 X, Pofyäthylacrylat, hochviskos (z.B. Plexisol B 372) bei ca. 5-10 X, Ebenfalls, aber mit etwas geringerem Effekt brauchbar sind Polybutylacrylat (z.B. Plexisol D 592) bei ca. 5-10 %, Polybutylmethacrylat (z,B, Plexisol P 550) bei ca. 8-15 %, Mischpolymerisat von Butylmethacrylat und (z.B Plexisol PM 709) bei ca. 5 - 8 % Methylmethacrylat ) Herstellung und Verarbeitung des erfindungsgemäßen Materials erfolgen in der für Trockenresistmaterialien üblichen Weise.
• Die Bestandteile der lichtempfindlichen Schicht werden in einem geeigneten Lösungsmittel gelöst, und die Lösung wird auf die gegebenenfalls vorbehandelte Trägerfolie aufgestrichen und getrocknet. Dann wird die freiliegende Seite der Kopierschicht gegebenenfalls mit der Deckfolie unter leichtem Druck kaschiert. Das Material wird aufgerollt und in dieser Form gelagert.
• Zur Verarbeitung wird ein geeignetes Stück des Schichtübertragungsmaterials abgeschnitten, von der Deckfolie befreit und unter Druck und Erwärmen auf die zu behandelnde, meistens zu ätzende Unterlage aufgebracht. Das Abziehen der Deckfolie und Aufbringen auf die Unterlage kann mit einem handelsüblichen Laminiergerät mit heizbaren Walzen oder einem Heizschuh erfolgen.
• Belichten und Entwickeln werden dann wie oben beschrieben durchgeführt. Die mit dem Resistbild versehene Oberfläche kann in üblicher Weise geätzt oder galvanisiert werden.
• Das erfindungsgemäße Material wird insbesondere zur Herstellung von kopierten Schaltungen nach dem bekannten subtraktiven oder additiven Verfahren durch Ätzen und/ oder Galvanisieren, zur Herstellung von integrierten Schaltkreisen, Tief- oder Hochdruckplatten, zum Formteilätzen oder als Andruckersatz im Mehrfarbandruck verwendet.
• Die erfindungsgemäßen Materialien können auch zur Herstellung von Siebdruckschablonen verwendet werden. Man erhält so erstmals ein negativ arbeitendes, vorbeschichtbares Siebdruckmaterial. Es ist möglich, die Schicht auf den Schablonenträger zu laminieren und dann auf den Siebdruckrahmen zu spannen oder das Schichtübertragungsmaterial auf das im Rahmen aufgespannte Gewebe aufzulegen und unter Druck und Wärme aufzupressen. In beiden Fällen haftet die elastische Schicht ausreichend auf bzw. teilweise in der strukturierten Gewebeoberfläche. Dies Siebdruckmaterial kann sowohl nach dem Abziehen der Trägerfolie als auch vorher durch diese hindurch belichtet werden.
• Die folgenden Beispiele erläutern Herstellung und Verarbeitung bestimmter Ausführungsformen des erfindungsgemäßen Materials. Alle Prozentangaben sind Gewichtsprozente und beziehen sich bei den Angaben zur Zusammensetzung der Schichten auf Festsubstanz.
• Beispiel 1 Eine 251u dicke, biaxial verstreckte und thermofixierte Polyäthylenterephthalatfolie wird in eine wäßrige Lösung getaucht, die 10 % Trichloressigsäure, 1 % Polyvinylalkohol und 0,1 X Netzmittel enthält, und dann 2 Minuten bei 1401 C getrocknet.
• Auf die vorbehandelte Folie wird eine lichtempfindliche Schicht durch Aufstreichen und Trocknen einer lösung in AthylenglykolmonoäthylUther aufgebracht. Die trockene Schicht ist 10#u stark und hat die folgende Zusammensetzung: 30 % Kresol-Formaldehyd-Novolak, 22 % Naphthochinon-(1,2)-diazid-(2)-4-sulfonsäure-(p-cumylphenyl)ester, 8 % Polyäthylacrylat, niedrigviskos (Plexisol B 574, Röhm & Haas).
• 8 % Polybutylmethacrylat (Plexisol P 550), 13 % Polyvinylmethyläther (Lutonal ti 40, BASF), 13 % Polyvinyläthyläther, niedrigviskos (Lutonal A 25), 6 % Pigmentfarbstoff Imperongelb KG.
• Auf die getrocknete Schicht wird eine 25/ u dicke Polyäthylenfolie als Deck- bzw. Schutzfolie aufkaschiert, und das erhaltene Schichtgebilde wird aufgerollt.
• Ein Stück des materials wird unter einer positiven Vorlage durch die Trägerfolie hindurch 3 Minuten mit einer 5 KW Netall-Halogen-Lampe belichtet. Dann wird die Schutzfolie abgezogen und die Schicht durch Tauchen und schwaches Oberwischen mit 15 Xiger wäßriger Trinatriumphosphatlösung in etwa 1 Minute entwickelt, mit Wasser abgewaschen und getrocknet. Es wird ein gelbes seitenverkehrtes Bild der Vorlage erhalten. Das entwickelte Bild wird durch Anpressen bei etwa 120-1300 C mittels eines handelsüblichen Walzen-Laminiergeräts bei einer Durchfahrgeschwindigkeit von etwa 30 cm je Minute auf Druckpapier übertragen. Anschließend wird die Trägerfolie abgezogen, und das gelbe seitenrichtige Bild haftet fest auf dem Papier.
• Anschließend werden in gleicher Weise ein blaues und dann ein rotes Teilfarbenbild passergenau auf das gelbe Teilfarbenbild übertragen. Es wird in gleicher Weise wie bei dem gelben Bild gearbeitet, nur wird jeweils der gelbe Farbstoff in der Schicht durch die halbe Gewichtsmenge Imperonblau KB bzw. zwei Drittel seiner Gewichtsmenge an Imperonrot KB ersetzt. Die letzte Trägerfolie kann zum Schutz auf dem Dreifarbenbild verbleiben. Um ein tonwertechteres Ergebnis zu erhalten, können die Schichtdicken und Pigmentkonzentrationen noch feiner abgestimmt und die Teilbilder nach dem Übertragen ohne Vorlage nachbelichtet werden.
• Beispiel 2 Auf den gleichen Träger wie in Beispiel 1 werden aus Methyläthylketon Schichten folgender Zusammensetzung aufgetragen: 30,8 % Novolak, 7,7 % Vinylacetat-Crotonsäure-Mischpolymerisat (Molekulargewicht etwa 100.000, Säurezahl bis etwa 35), 20,5 % Estergemisch aus 2,3,4-Trihydroxybenzophenon und Naphthochinon-(1,2)-diazid-(2)-5-sulfonsSure, 15,4 % Plexisol B 574 (vgl. Beispiel 1), 25,6 % Lutonal A 25 (vgl. Beispiel 1).
• Auf die getrockneten Schichten werden Deckfolien wie in Beispiel 1 aufgebracht. In verschiedenen Versuchen werden mit Schichtgewichten von 8 - 40 g/m2 bezüglich Kopie und Übertragen auf gereinigte Kupferplatten zur Herstellung von kopierten Schaltungen gute Ergebnisse erzielt. Dazu wird nach dem Abziehen der Polyäthylen-Deckfolie die Schicht bei 120-130° C auf das Werkstück laminiert, die Trägerfolie abgezogen, ca. 10 Minuten bei 1000 C nachgetrocknet, belichtet und mit 20 %iger Trinatriumphosphatlösung in einer Schale oder in einem Sprühgerät durch Spritzen mit 2 - 6 atü entwickelt. Die Schicht ist hervorragend geeignet als Resist für Xtzprozesse, z. B. für das Wegätzen des freigelegten Kupfers mit Ferrichlorid-Lösung, und als Galvanoresist. Bei der Kopie mit 40Xu dicker Schicht können die freigelegten Bildteile geradwandig mit Metall, z. B. Kupfer oder Blei/Zinn-Legierung, galvanisch verstärkt und die Metallschicht dann noch galvanisch vernickelt und vergoldet werden. Dann kann mit Lösungsmitteln, z. B. Aceton, oder durch Nachbelichten ohne Vorlage und Behandeln mit dem Entwickler der Resist entschichtet und das freigelegte Basiskupfer weggeätzt werden. Beim galvanischen Verkupfern kann verwendet werden das saure ~Feinkorn-Kupferplasticbad MStt oder das alkalische Kupferpyrophosphat-Bad, zum Vernickeln das Nickelbad Norma, alle von Fa, Schlötter, Geislingen/ Steige, und zum Vergolden das Goldbad "Antronex Nl der Fa. Blasberg, Solingen.
• Zur Herstellung durchkontaktierter Schaltungen ist dieser Positiv-Trockenresist ebenfalls gut geeignet, da beim Laminieren die Bohrlöcher überdeckt werden und die unbelichtete freitragende Schicht die Entwicklung und auch Atz- und Galvanoprozesse aushält.
• Beispiel 3 Auf eine entsprechend Beispiel 1 vorbehandelte 12/ u dicke Polyesterfolie wird eine etwa 15/u dicke Schicht folgender Zusammensetzung aufgebracht: 30,8 % Novolak, 20,5 X Diazoverbindung wie in Beispiel 2, 5,1 X Plexisol B 574 (vgl. Beispiel 1-), 5,1 % Polyäthylacrylat, hochviskos (Plexisol 372), 12,8 % Polyvinylmethyl äther, 25,6 % Lutonal A 25 (vgl. Beispiel 1).
• Die Schicht kann auch angefärbt werden, z. B. mit 0,3 % Kristallviolett. Durch ein-, zwei- oder dreimaliges Laminieren dieser Schicht aufeinander nach Abziehen der vorhergehenden Trägerfolie können Schichtdicken von 15/ u und dem flehrfachen von 15/ u aus einem einzigen Positiv- Trockenresist aufgebaut werden. Die Belichtungszeit nimmt in erster Näherung proportional zur Schichtdicke zu. Vor dem Belichten wird vorzugsweise kurz nachgetrocknet, damit die Vorlage nicht an der etwas haftklebenden Schicht hängenbleibt. Es wird mit dem folgenden wäßrig-alkalischen Entwickler (pH ca. 11): 7,5 g Na3PO4 t 12 H2O, 3,5 g Natriummetasilikat, 2,0 g NaH2P 04 t H2O, 1,0 g Natriumhexametaphosphat, 1,0 g wasserlösliche Methylcellulose, 985,0 g destilliertes Wasser entwickelt und je nach Schichtdicke und Werkstück geätzt oder galvanisiert.
• Beispiel 4 Auf eine 50tu dicke, wie in Beispiel 1 vorbehandelte Polyesterfolie wird aus Xthylenglykolmonoäthyläther die folgende 8/ u dicke Schicht aufgetragen: 30 % Novolak, 7,7 % Vinylacetat-Mischpolymerisat wie in Beispiel 2, 20 % der in Beispiel 2 verwendeten Diazoverbindung, 10,2 % Plexisol B 574 (vgl. Beispiel 1), 5,1 % Polyvinylmethyläther, 25,6 % Lut~nal A 25 (vgl. Beispiel 1), 1,3 % Kristallviolett.
• Dann wird, wie in Beispiel 1 beschrieben, eine Deckfolie aufgebracht.
• Nach dem Abziehen der Deckfolie wird diese gefärbte Resistschicht auf eine mit dünner Weißpigment-Schlcht versehene Polyesterfolie auflaminiert und entweder vor oder nach dem Abziehen der Trägerfolie belichtet. Zur Erzeugung eines Bildes der Vorlage auf diesem Träger braucht die gleichmäßige glatte Schicht dann nur noch wäßrig-alkalisch entwickelt und getrocknet zu werden.
• Belichten bzw. Belichten und Entwickeln auf der Trägerfolie und Laminieren der belichteten bzw. schon entwickelten Schicht ist ebenfalls möglich.
• Beispiel 5 Auf 100/ u dicke, wie in Beispiel 1 vorbehandelte Polyesterfolien wird je eine 12/ u dicke gelbe, blaue und rote Positiv-Resistschicht folgender Zusammensetzung aus Athylenglykolmonomethyläther aufgetragen: 30 % Novolak, 7 % Vinylacetat-tlischpolymerisat wie in Beispiel 2, 20 % der in Beispiel 2 verwendeten Diazoverbindung, 15 % Plexisol B 574 (vgl, Beispiel 1), 25 % Lutonal A 25 (vgl. Beispiel 1), 3 % Farbstoff.
• Als Farbstoff für die gelbe Farbfolie wird Auramin D (C.I. 41 000), für die blaue Folie Victoriareinblau FGA (C*It Basic Blue 81) und für die rote Folie Grasolechtrubin 2 BL (C.I. Solvent Red 128) verwendet.
• Diese Farbfolien werden wie die von Beispiel 1 mit einer Deckfolie versehen und verarbeitet. Es ist jedoch auch möglich, die auf der Folie belichteten Schichten vor dem Entwickeln passergenau aufeinander zu laminieren und dabei jeweils vor dem Laminieren die Deckfolie und danach die Trägerfolie abzuziehen. Abschließend können dann alle Schichten übereinander gleichzeitig vorsichtig mit ca. 16 % Trinatriumphosphat-Lösung entwickelt werden.
• Beispiel 6 Auf eine 36/ dicke, wie in Beispiel 1 beschriebene vorbehandelte Polyesterfolie wird eine 20/u dicke Schicht aus Methyläthylketon als Lösungsmittel aufgetragen, die folgende Zusammensetzung hat: 35 % Novolak, 8,8 % Vinylacetat-Mischpolymerisat wie in Beispiel 2, 23 % der im Beispiel 2 verwendeten Diazoverbindung, 11,8 % des in Beispiel 8 beschriebenen Mischpolymerisats, 17,6 % Plexisol B 574 (vgl. Beispiel 1), 3 % Polyvinylisobutyläther, höherviskos (Lutonal I 60), 0,8 % Kristallviolett.
• Auf die getrocknete Schicht wird eine Deckfolie wie in Beispiel 1 aufkaschiert.
• Diese Schicht wird bei 1350 C von beiden Seiten auf einen doppelseitig mit einer Kupferhaut versehenen Isolierstoffträger aufgebracht und dann von beiden Trägerfolien befreit, nachgetrocknet, beidseitig belichtet, an den nach der Belichtung erkennbaren Stellen gebohrt und dann mit dem in Beispiel 3 beschriebenen Entwickler entwickelt.
• Zur Herstellung durchkontaktierter Leiterplatten kann anschließend durch stromloses Verkupfern der Lochwandungen, galvanisches Verstärken und ätzen nach einem der bekannten Verfahren weiter gearbeitet werden.
• Beispiel 7 Auf eine 25/ u dicke Folie aus biaxial verstrecktem und thermofixiertem Polyäthylenterephthalat wurde die folgende Lösung aufgebracht: 100 g Trichloressigsäure 797 g Wasser 3 g handelsübliches Reinigungsmittel, dessen aktive Bestandteile aus Fettalkoholsulfaten, Alkylarylsulfonaten und Alkylphenolpolyglykoläther bestehen 100 g 10 %ige wäßrige Lösung von Polyvinylalkohol (1,5 Mol-% Restacetylgruppen, Viskosität 20 cP nach DIN 53 015, gemessen in 4 %iger wäßriger Lösung bei 20°C).
• Die Folie wurde zum Trocknen auf etwa 1300 C erwärmt. Die Schichtdicke betrug nach dem Trocknen etwa 0,5,u.
• Auf die so behandelte Folie wurde aus einer Lösung in Methyläthylketon eine Schicht der folgenden Zusammensetzung aufgebracht: 30,8 % Novolak 7,7 % Vinylacetat-Crotonsäure-Mischpolymerisat wie in Beispiel 2 20,5 % Naphthochinon-(1 ,2)-diazid-(2)-5-sulfonsäuren-butylamid, 15,4 % Plexisol B 574 (vgl. Beispiel 1) 25,6 % Lutonal A 25 (vgl. Beispiel 1).
• Auf die getrocknete Schicht, die ein Gewicht von etwa 15 g/m­ hatte, wurde eine Deckfolie wie in Beispiel 1 aufgebracht.
• Bei der Verarbeitung wie in Beispiel 2 wurden ähnlich gute Ergebnisse erhalten.
• Beispiel 8 Auf eine 25 u dicke Polyesterfolie wie in Beispiel 7 wurde die folgende Lösung aufgebracht; 100 g Trichloressigsäure 770 g Wasser 30 g 10 %ige wäßrige Lösung von AlkylbenzoIsulfonat 100 g 10 %igetPolyvinylalkohol wie in Beispiel 7.
• Die Folie wurde auf etwa 1300 C erwärmt. Die Schichtdicke betrug 0,5/u.
• Auf die vorbehandelte Folie wurde aus einer Lösung in Methyläthylketon eine Schicht der folgenden Zusammensetzung aufgebracht: 40,2 % Novolak 11,7 % der in Beispiel 1 angegebenen Diazoverbindung 10,0 % Vinylacetat-Crotonsäure-Mischpolymerisat wie in Beispiel 2 3,5 % Mischpolymerisat aus n-Hexylinethacrylat-Methylmethacrylat-Methacrylsäure (Gewichtsverhältnis 5 ; 1 ; 2; Säurezahl 158) 16,1 % Polyäthylacrylat, niedrigviskos (Plexisol B 574, Röhm & Haas) 16,8 % Polyäthylenglykol (Molgewicht um 2000) 1,7 % Naphthochinon-(1,2)-diazid-(2)-4-sulfonsäurechlori.1 0,2 % Kristallviolett Bei der Verarbeitung des Materials wie in Beispiel 2 und Entwickeln im Sprühgerät wird ein ähnlich guter Potoeist erhalten.
• Beispiel 9 Eine Polyathylenterephthalatfolie wurde mit der folgenden Lösung behandelt und bei 1300 C getrocknet: 100 g Trichloressigsäure 670 g Wasser 30 g Laurylpolyglykoläther-sulfonsaures Natrium, 10 %ige wäßrige Lösung 200 g 5 %ige wäßrige Lösung von Polyacrylamid mit einem Molekulargewicht von etwa 2(0.000 und geringen Mengen freier Säuregruppen.
• Die vorbehandelte Folie wurde mit der in Beispiel 2 beschriebenen lichtempfindlichen Schicht überzogen und wie dort beschrieben verarbeitet. Es wurde ein Ätzresist mit guter Atzfestiqkeit erhalten.
• Ähnliche Ergebnisse wurden erhalten, wenn die Polyesterfolie statt mit der oben beschriebenen Lösung mit der folgenden Lösung vorbehandelt wurde: 100 g Trichloressigsäure 750 g Wasser 50 g des oben angegebenen Netzmittels 100 g 5 %ige wäßrige Lösung von Carboxyinethylcellulose, die als 2 %ige wäßrige Lösung bei 200 C eine Viskosität von 30 cP hat.
• Beispiel 10 Eine Polyäthylenterephthalatfolie wurde mit der folgenden Lösung behandelt und bei 1300 C getrocknet; 100 g Trichloressigsäure 750 g Wasser 50 g des in Beispiel 9 angegebenen Netzmittels 100 g 5 %ige wäßrige Lösung von Hydroxyäthylcellulose mit dem Molekulargewicht 40.000.

Claims (10)

P a t e n t a n s p r ü c h e

1. Lichtempfindliches Schichtübertragungsmaterial mit einer Kunststoffolie als Träger, einer lichtempfindlichen Schicht, die einen Ester oder ein Amid einer o-Naphthochinondiazidsulfonsäure, ein alkalilösliches Phenolharz und mindestens ein Acrylharz enthält, und gegebenenfalls einem abziehbaren Deckblatt auf der anderen Seite der lichtempfindlichen Schicht, dadurch gekennzeichnet, daß als Träger eine Polyesterfolie verwendet wird, deren Oberfläche, auf die die lichtempfindliche Schicht aufgebracht wird, zuvor mit einer wäßrigen Lösung, die eine gesättigte Halogenfettsäure, ein Netzmittel und ein wasserlösliches Polymerisat enthält, das mit der Halogenfettsäure verträglich ist, behandelt und dann durch Erwärmen getrocknet worden ist.

2. Material nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Träger mit einer Lösung einer Halogenfettsäure mit 2 bis 4 C-Atomen behandelt worden ist.

3, Material nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Träger mit einer Lösung behandelt worden ist, die als Polymerisat Polyvinylalkohol oder einen Celluloseäther enthält.

4, Material nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Träger mit einer Lösung einer chlorierten Essigsäure behandelt worden ist.

5. Material nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Acrylharz ein Polyacryl- oder -methacrylsäureester ist.

6. Material nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die lichtempfindliche Schicht ferner mindestens einen Polyvinyläther oder ein Polyglykol enthält.

7. Material nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die lichtempfindliche Schicht ferner ein Mischpolymerisat mit sauren Gruppen enthält.

8. Material nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die lichtempfindliche Schicht 12 - 30 Gew.-% Naphthochinondiazid, 25 - 40 Gew.-% Phenolharz, 5 - 30 Gew.-% Polyacryl- oder -methacrylsäureester und 5 - 35 Gew.-% Polyvinyläther enthält.

9. Material nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß das Mischpolymerisat mit sauren Gruppen ein Polymerisat von Alkylacrylat und -methacrylat mit Acryl- oder Methacrylsäure ist.

10. Material nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß das Mischpolymerisat mit sauren Gruppen ein Polymerisat von Vinylacetat und einer ungesättigten Carbonsäure ist.