DE2362023B2 - Vorrichtung zum Schneiden von sprödem Material mit Hilfe eines Schneiddrahtes - Google Patents
Vorrichtung zum Schneiden von sprödem Material mit Hilfe eines SchneiddrahtesInfo
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Description
Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Schneiden von sprödem Materia! mit Hilfe eines Schneiddrahtes,
der von einer Zuführvorrichtung kontinuierlich zuführbar und nach dem Gebrauch durch eine
Aufnahmevorrichtung abführbar ist, und zwischen der Zuführvorrichtung und der Aufnahmevorrichtung einen
kontinuierlichen, durch eine Vielzahl von Drahtführungen festgelegten Verlauf hat, wobei die Drahtführungen
mehrere axial gestreckte Rollenzylinder einschließen, zwischen denen sich der Draht in einer Vielzahl im
Abstand parallel zueinander verlaufender Drahtabschnitte erstreckt und einen geschlossenen Bereich
eingrenzt, von dem eine Seile eine im wesentlichen horizontal gelegene Schneidebene bildet, wobei ein das
Schneidgut tragendes Schneidbrett vertikal auf die Schneidebene zu und von dieser weg beweglich ist,
wobei ferner eine hin- und hergehende Bewegung zwischen dem Draht der Schneidebene und dem
Schneidgut erzeugbar ist und wobei während des Schneidvorgangs ein kleine Partikel eines Schneidmaterials
in einem flüssigen Trägermaterial enthaltendes Schneidmittei zur Schneidebene führbar ist.
Eine derartige Vorrichtung ist aus der US-PS 31 55 087 bekannt. Bei dieser bekannten Vorrichtung
liegt das Schneidgut auf einem von einem Hebelarm getragenen Schneidbett auf, welches unterhalb der
Schneidebene und innerhalb des von drei Rollenzylindern begrenzten Dreiecks angeordnet ist. Diese
Anordnung leidet unter dem Nachteil, daß es nicht möglich ist, das Schneidbett mit der erforderlichen
Genauigkeit vertikal verschieblich zu führen, ohne daß die Qualität der Schnitte nachteilig beeinträchtigt wird.
Weiterhin ist aus der US-PS 21 91 962 eine Anordnung
bekannt, bei welcher Sand zum Polieren von Glasflächen verwendet wird. Dabei wird eine große
Anzahl von Sandkörnern zerteilt, so daß sich eine Mischung aus Sandkörnern unterschiedlicher Größe
und aus Eisenpartikeln ergibt, die von den Schleifköpfen herrühren. Um den Sand wieder verwenden zu können,
werden zunächst die Eisenpartikeln entfernt, und es werden dann die Sandkörner nach Größe sortiert.
Weiterhin ist aus der FR-PS 9 55 610 eine Anordnung bekannt, bei welcher das Schleifmaterial nach Partikelgröße
sortiert wird. Dies ist bei Schleifvorrichtungen deshalb wesentlich, weil das Schleiiergebnis von der
Größe der Schleifkörner abhängt.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Vorrichtung zum Schneiden von sprödem Material der
eingangs näher erläuterten Art zu schaffen, welche Schnitte mit außerordentlich hoher Genauigkeit gewährleistet.
Zur Lösung dieser Aufgabe sieht die Erfindung vor,
daß das starr geführte Schneidbett oberhalb und außerhalb des geschlossenen, durch die Schneidebene
begrenzten Bereichs angeordnet ist, daß das Schneidmittel in konstantem Fluß mit einer während des
Schneidbetriebs relativ konstanten Durchsdinittsgröße
zuführbar ist und daß Einrichtungen vorhanden sind, die dafür sorgen, daß das Schneidmittel zur Aufrechterhaltung
einer relativ konstanten Durchschnittsgröße der Partikel einmal pro Schneidvorgang benutzt wird.
Vorteilhafte Weiterbildungen und bevorzugte Ausführungsformen des Erfindungsgegenstandes ergeben
sich aus den Unteransprüchen.
Wenn ein Schneidgut bearbeitet werden soll, welches einen unregelmäßigen Querschnitt aufweist, erweist es
sich als besonders vorteilhaft, daß der Anpreßdruck des Schneiddrahtes an das Schneidgut bei sich ändernder
Schnittfläche durch eine Steuer- bzw. Regeleinrichtung konstant gehalten wird.
Da der Anpreßdruck zwischen den Schneiddrähten und dem Schneidgut dem Materialabtrag proportional
ist, wird durch eine Zunahme des Anpreßdruckes auch die Schneidgeschwindigkeit oder der Materialabtrag
erhöht. Da weiterhin durch eine unterschiedliche Schneidgeschwindigkeit die Gleichförmigkeit der
Schnittfläche beeinträchtigt wird, ist es vorteilhaft, im Hinblick auf eine möglichst gleichmäßige Schnittfläche
die Schneidgeschwindigkeit praktisch konstant zu halten.
Weiterhin ist gemäß einer besonders bevorzugten Ausführungsform des Erfindungsgegenstandes vorgesehen,
daß eine Hubeinrichtung vorgesehen ist, durch welche das Schneidgut nach dem Erreichen einer
vorgegebenen Schnitt-Tiefe bei weiterlaufenden Srhneiddrähten anhebbar ist, wobei die Schneiddrähte
beim Zurücklaufen der Schneidebene eine fortgesetzte Schneidfunktion ausüben. Beim Zurücklaufen der
Schneidebene werden Schmutzpartikel entfernt, und es werden kleinere Oberflächenunregelmäßigkeiten abgetragen.
Auf diese Weise werden die Schnittflächen weiter verbessert.
Die erfindungsgemäße Vorrichtung erweist sich insbesondere zur Bearbeitung für Materialien vorteilhaft,
die zur Herstellung von Halbleitern dienen. Da derartige Materialien nicht nur verhältnismäßig spröde
und schwer zu bearbeiten sind, sondern darüber hinaus auch außerordentlich teuer sind, trägt die erfindungsgemäße
Vorrichtung dazu bei, den Ausschuß zu verringern, welcher zwangsläufig entsteht, wenn die bearbeiteten
Flächen den Genauigkeitsanforderungen nicht genügen.
Ausführungsbeispiele zur Erläuterung des Erfindungsgegenstandes werden nachfolgend anhand der
Zeichnung beschrieben; in dieser zeigen
F i g. 1 eine schematische Darstellung einer Schneidvorrichtung für sprödes bzw. zerbrechliches Material,
Fig.2 eine in Verbindung mit der Schneidvorrichtung gemäß Fig. 1 verwendbare Ausführungsform
eines Schneidbettes,
F i g. 3 einen vergrößerten Schnitt durch einen Teil eines Materialblocks mit fehlerhaften Schnitten einer
ersten Art,
F i g. 4 einen vergrößerten Schnitt durch einen Teil eines Materialblocks mit fehlerhaften Schnitten einer
zweiten Art,
F i g. 5 einen vergrößerten Schnitt durch einen Teil eines Materialblocks mit fehlerhaften Schnitten einer
dritten Art, wobei die Fehler gemäß F i g. 3 und F i g. 4 kombiniert sind, und
Fig. 6 einen Schnitt durch einen Teil eines Materialblockes
mit fehlerfreien Schnitten, wie sie mit der in der F i g. 1 dargestellten Schneidvorrichtung erreicht werden
können.
Gemäß Fig. 1 ist die Schneidvorrichtung mit einer Abwickelvorrichtung 10 versehen, die einen Antriebsmotor
11 und eine Vorratsspule 12 für den Schneiddraht 13 umfaßt, wobei die Vorratsspule auf der Welle des
Antriebsmotors angeordnet ist. Die einfache Anordnung des Antriebsmotors 11 mit der Vorratsspule 12 ist
für die Darstellung der Erfindung verwendet, da diese Anordnung verhältnismäßig einfach zu handhaben und
zu steuern ist. Es ist selbstverständlich, daß der Schneiddraht auch in anderer Weise kontinuierlich von
einem Vorratsträger aus zugeführt werden kann. Entsprechend ist die Schneidvorrichtung mit einer
Aufwickelvorrichtung 15 versehen, die ebenfalls einen Antriebsmotor 16 und eine auf der Welle des Motors
angeordnete Aufnahmespule 17 umfaßt. Die beiden Antriebsmotoren 11 und 16 werden derart erregt, daß
sie einen im wesentlichen konstanten Transport des Schneiddrahtes während des Schneidvorgangs gewährleisten.
Dabei ist es wünschenswert, daß eine im wesentlichen konstante Spannung des Schneiddrahtes
13 zwischen der Vorratsspule 12 und der Aufnahmespule 17 herrscht. Sowohl die Aufrechterhaltung des
konstanten Transports des Schneiddrahtes als auch die Aufrechterhaltung einer im wesentlichen konstanten
Spannung des Schneiddrahtes werden nachfolgend im
iu einzelnen erläutert.
Der Schneiddraht 13 wird über zwei in einem Abstand voneinander angebrachte Leerlaufrollen 20 und 21
gewickelt und von diesen zu einer Mehrfachrolle 22 geführt, die drehbar in einer feststehenden Position
jri montiert ist. Eine weitere Mehrfachrolle 23 ist in einem
Wagen 24 drehbar montiert, der seinerseits eine horizontale Verschiebebewegung in Richtung auf die
Mehrfachrolle 22 und von dieser weg ausführen kann. Der zur Mehrfachrolle 22 geführte Schneiddraht 13
■to wird mehrfach um die Rollen 22 und 23 in der Art wie bei einem Flaschenzug herumgeführt und verläuft von
hier aus über eine Leerlaufrolle 25 nach unten zu weiteren Leerlaufrollen 26 und 27. Von der Leerlaufrolle
27 aus wird der Schneiddraht 13 zu einer Vorrichtung 35 zur Erzeugung einer Schneidbahn mit mehreren
parallel zueinander verlaufenden Schneiddrähten weitergeführt.
Diese Vorrichtung 35 umfaßt drei langgestreckte parallel zueinander angeordnete Rollenzylinder 36, 37,
38, die in etwa in den Scheitelpunkten eines Dreiecks angeordnet sind, so daß der über diese Rollenzylinder
mehrfach geführte Schneiddraht eine Schneidbahn bildet, deren oberste Seite näherungsweise in einer
Horizontalen liegt. In jedem Rollenzylinder 36, 37 und 38 sind eine Vielzahl von Rillen angebracht, in welchen
der Schneiddraht geführt ist, so daß durch das mehrfache Aufwickeln des Schneiddrahtes auf die
Rollenzylinder die gewünschte Schneidbahn, entsteht. Der horizontal verlaufende Teil dieser Schneidbahn
wi zwischen den Rollenzylindern 36 und 37 stellt die
eigentliche Schneidebene 40 dar. Selbstverständlich können auch die beiden anderen Schneidbahnen
zwischen den Rollen 36 und 38 bzw. 37 und 38 als Schneidebene Verwendung finden. Der Rollenzylinder
h) 38 ist fest auf der Welle eines Antriebsmotors 41
angebracht, der durch entsprechende Erregung den Rollenzylinder 38 antreibt und bewirkt, daß der
Schneiddraht 13 insbesondere in dem Bereich der
Schneidebene 40 im wesentlichen mit einer gleichförmigen Geschwindigkeit läuft.
Der die Vorrichtung zur Erzeugung einer Schneidbahn verlassende Schneiddraht 13 wird über zwei
weitere nebeneinander angeordnete Leerlaufrollen 45 und 46 geführt, die in einer Vorrichtung 47 zum
Abstreifen vom am Schneiddraht 13 hängenden Schneidmittel angeordnet sind. Von dieser Abstreifvorrichtung
47 aus läuft der Schneiddraht über eine Leerlaufrolle 48 zu zwei weiteren Mehrfachrollen 50
und 51, um welche der Schneiddraht mehrfach geführt ist. Die Mehrfachrolle 50 ist drehbar am Wagen 24
montiert, wogegen die Mehrfachrolle 51 drehbar in einer feststehenden Position im Bereich des einen Endes
der Bewegungsbahn des Wagens 24 positioniert ist. Dabei liegt die Mehrfachrolle 51 bezogen auf den
Wagen 24 auf einer zur Mehrfachrolle 22 gegenüberliegenden Seite. Der Schneiddraht 13 ist um die Rollen 50
und 51 in Form eines Flaschenzuges gewickelt, so daß sich für die Vorrichtung eine entsprechende Funktion
ergibt. Von der Mehrfachrolle 51 aus läuft der Schneiddraht schließlich über zwei weitere Leerlaufrollen
52 und 53 zur Aufnahmespule 17. Die Führung des Schneiddrahtes gemäß der vorausstehenden Beschreibung
ist lediglich als beispielsweise Führung anzusehen und kann in vielfacher Weise geändert werden, ohne
daß dadurch der Grundgedanke der Erfindung verlassen wird.
In der Nähe der Mehrfachrolle 23 sowie der Mehrfachrolle 51 ist jeweils ein Umkehrschalter 55 bzw.
56 angebracht. Diese Umkehrschalter 55 und 56 sind in die Erregerschaltung für den Antriebsmotor 41
eingefügt und bewirken eine Antriebsumkehr, wenn immer einer der Schalter durch das Auflaufen des
Wagens 24 betätigt wird. Der erregte Antriebsmotor 41 bewirkt, daß der Schneiddraht 13 im Bereich der
Schneidbahn angetrieben wird, um den Wagen 24 von der Mehrfachrolle 22 in Richtung auf die Mehrfachrolle
51 bzw. umgekehrt, wenn die Drehrichtung des Motors umgekehrt ist, zu verschieben. Wenn der Antriebsmotor
41 den Schneiddraht um die Rollenzylinder so lange transportiert hat, bis der Wagen 24 am Umkehrschalter
55 anschlägt, wird durch die Betätigung dieses Umkehrschalters der Drehsinn des Motors 41 umgeschaltet
und damit auch die Wickelbewegung im Bereich der Vorrichtung 35 für die Schneidbahn. Diese Umkehr
bewirkt, daß der Wagen 24 sich in Richtung auf die Mehrfachrolle 51 verschiebt und bei der Kontaktgabe
am Umschalter 56 erneut eine Umschaltung des Motordrehsinnes auslöst. Damit wird auch die Transportrichtung
des Schneiddrahtes 13 im Bereich der Schneidbahn umgekehrt. Aufgrund dieses Mechanismus
läßt sich die Transportrichtung des Schneiddrahtes 13 im Bereich der Schneidebene 40 periodisch umkehren,
um eine Sägewirkung auszulösen. Während dieses Vorganges wird der Schneiddraht 13 kontinuierlich von
der Vorratsspule 12 abgewickelt und auf die Aufnahmespule 17 aufgewickelt. Dies erfolgt mit im wesentlichen
konstanter Geschwindigkeit, obwohl sich die Richtung der Schneiddrahtverschiebung im Bereich der Schneidbahn
periodisch umkehrt. Damit wird es möglich, die Schncidebcnc 40 kontinuierlich mit neuen, unbenutztem
Schneiddraht zu verschen.
Kin Schneidbett 60, an dem ein Materialstück bzw. Materialblock fest über der Schncidebcnc 40 gehalten
werden kann, umfaßt eine Basisplalte 61, die mit dem
nicht dargestellten Rahmengestell der Schneidvorrichtung verbunden ist, sowie eint· an der Uasisplatte 61 mit
Hilfe einer Schwalbenschwanzführung gehalterten und vertikal verschiebbaren Montageplatte 62. An dem
unteren Ende dieser Montageplatte 62 ist ein Montagebett 63 angebracht, an dem ein Materialstück 64 nach
r> unten weisend mit herkömmlichen Mitteln derart
befestigt ist, daß es nach dem Schneidvorgang wieder entfernt werden kann. Die Basisplatte 61 ermöglicht
eine vertikale Verschiebung des Montagebettes 63 in die Schneidebene 40 und damit des Materialblockes 64,
der zu zerschneiden ist. Obwohl die als Ausführungsbeispiel beschriebene Ausführungsform eine vertikale
Verschiebung des Montagebettes vorsieht, ist es selbstverständlich, daß das Schneidbett 60 auch derart
ausgebildet sein kann, daß der Materialblock grundsätzlieh an irgendeine der aus vielen parallel geführten
Schneiddrähten gebildeten Schneidbahnen zum Zerschneiden herangeführt werden kann, wobei auch die
gleichzeitige Ausnutzung mehrerer Schneidbahnen möglich ist.
Die Montageplatte 62 ist über ein Seil, das um Rollen 67 und 68 geführt ist, mit einem Gegengewicht 65
verbunden. Dieses Gegengewicht sorgt dafür, daß die Montageplatte 62 und das Montagebett 63 von der
Schneidebene 40 mit geringer Kraft weggezogen wird.
Ein mit der Basisplatte 61 verbundener Hydraulikzylinder 70 wirkt mit seinem Kolben auf die Montageplatte
62, um diese gegen die Schneidebene 40 zu verschieben, wenn der Hydraulikzylinder über die Druckleitung 71
betätigt wird. Diese Verschiebung kann mit einer im wesentlichen konstanten Geschwindigkeit erfolgen.
Sobald der Flüssigkeitsdruck nachläßt, wirkt das Gegengewicht 65 auf die Montageplatte 62 und beendet
die Verschiebung der Montageplatte in Richtung auf die Schneidebene, um anschließend die Verschiebungsrich-
Jr) tung umzukehren und die Montageplatte von der
Schneidebene wegzuverschieben. Es hat sich im Betrieb der beschriebenen Schneidvorrichtung ergeben, daß
Materialblöcke mit unterschiedlichen Schnittkonfigurationen bei unterschiedlichen Schneidgeschwindigkeiten
bearbeitet werden können. So wird z. B. ein zylindrischer Materialblock mit Schnittflächen senkrecht zur
Längsachse in der Schneidvorrichtung an den oberen und unteren Randabschnitten mit verhältnismäßig
hoher Geschwindigkeit und im mittleren Bereich mit verhältnismäßig niedriger Geschwindigkeit zerschnitten.
Der Schneiddraht hat die Tendenz, einen schmalen Schnitt bei rascher Schneidgeschwindigkeit und einen
breiten Schnitt bei langsamer Schneidgeschwindigkeit auszuführen. Eine Schneidvorrichtung, die mit konstan-
V) tem Druck arbeitet, führt somit aufgrund der unterschiedlichen
Schneidgeschwindigkeit zu Schnitten, wie sie in F i g. 3 dargestellt sind. Um derartige Schnittkonfigurationen
auszuschalten, ist eine weitere, in Fig. 2 dargestellte Vorrichtung vorgesehen, die diese Schnitt-
"i"> fehler kompensiert.
Obwohl es eine Vielzahl von Möglichkeiten gibt, um einen Materialblock zu halten und gegen eine
Schneidebene 40 zu führen, wird angenommen, daß ein auf der Außenseite der Schneidbahnen angebrachtes
ι·" Schneidbett 60 wesentliche Vorteile bietet. Es ist
bekannt, das Schneidbett bzw. den Materialblock innerhalb des von den Schneidbahnen umgebenen
Bereiches anzuordnen und nach oben in eine Schneidebene zu verschieben. Wenn jedoch das Schneidbett 60
■ ■ außerhalb des von den Schneidbahnen umschlossenen
Bereiches angeordnet wird, kann die Vorrichtung für die Ausbildung der Schneidbahnen 35 wesentlich kleiner
ausgeführt werden und möglicherweise nur zwei
Rollenzylinder umfassen. Ferner ist es möglich, die Gesamtkonstruktion sowohl der Rollenzylinder 36 bis
38 als auch des Schneidbettes 60 wesentlich kräftiger auszuführen, womit unerwünschte und unkontrollierbare
sowie auf die Schnittbildung einwirkende Verschiebungen im wesentlichen ausschaltbar sind. Ein weiterer
Vorteil in der Anordnung des Schneidbettes 60 sowie des Montagebettes 63 über der Schneidebene 40 wird
auch in der Tatsache gesehen, daß der Schneiddraht beim Abheben des zerschnittenen Materials von der
Schneidebene in den Schnittfugen angesammelte Materialrückstände entfernt. Auf diese Weise werden
die Schnittflächen sehr viel sauberer und glatter, so daß weniger Nachbearbeitung notwendig ist.
Zwei Leitungen 75 und 76, die jeweils im Bereich der Schnittebene 40 enden und am Ende mit einer Düse
versehen sein können, sind am anderen Ende mit einem Versorgungsbehälter für das Schneidmittel verbunden.
Dieses Schneidmittel umfaßt relativ feine Teilchen, wie z. B. Karborund bzw. Siliciumkohlenstoff od. dgl. in
einem flüssigen Trägermaterial wie Glyzerin und Propylenglykol oder Wasser bzw. ähnlichen Trägermaterialien.
Das Glyzerin erhöht die Viskosität des flüssigen Trägermaterials, so daß das Schneidmittel am
Schneiddraht hängenbleibt und die feinen Teilchen vom Schneiddraht 13 mitgeführt am Materialstück 64
wirksam werden. Die Viskosität des flüssigen Trägermaterials ist nicht kritisch, jedoch sollte sie ausreichend
hoch sein, um einerseits den Transport der Teilchen mit dem Schneiddraht 13 zu gewährleisten, jedoch sollte das
Trägermaterial auch eine ausreichend niedrige Viskosität haben, um andererseits zu gewährleisten, daß die
Teilchen kontinuierlich vom Schneiddraht in die Schnittfuge eingeführt -werden. Daraus folgert, daß die
Viskosität des Schneidmittels an die Art des zu schneidenden Materialstückes, an die Art des flüssigen
Trägermaterials und die Geschwindigkeit des Schneiddrahtes usw. anzupassen ist.
Aus Versuchen ergibt sich, daß selbst verhältnismäßig harte Schneidpartikelchen während der Anwendung des
Schneidmittels abgenutzt werden. Wenn, wie dies bei bekannten Maschinen der Fall ist, das Schneidmittel zu
rasch zirkuliert und wiederverwendet wird, nimmt die Breite der Schnittfuge, wie aus Fig.4 hervorgeht,
graduell ab. Die Schneidpartikelchen haben für einen üblichen Schneidvorgang einen Durchmesser von etwa
22 μιτι, wobei die Schnittfugen etwa 0,15 mm voneinander
entfernt sind, wobei Toleranzen von ± 1,3 χ 10-2 mm üblich sind. Wenn somit der mittlere
Durchmesser der Schneidpartikelchen um 10% durch so Abnutzung verringert wird, beträgt dieser mittlere
Durchmesser weniger als etwa 20 μιτι, wodurch die
Schnittfuge so schmal wird, daß der Abstand bzw. die Dicke der geschnittenen Teilchen 0,16 mm übersteigen
kann. Es ist daher notwendig, daß die mittlere Teilchengröße während des gesamten Schneidvorganges
relativ konstant gehalten werden kann. Dies ist bei einem Rezirkulationssystem durch eine genügend
reichhaltige Versorgung des flüssigen bzw. breiförmigen Schneidmittels möglich, wodurch die Abnutzung der e>o
einzelnen Schneidpartikelchen unter eine bestimmte Größe im Verlauf eines einzelnen Schneidvorgangs
vermieden werden kann. So können z. B. die Leitungen 75 und 76 an einen Versorgungsbehälter mit etwa 201
breiartigem Schneidmittel angeschlossen sein, wobei diese Menge des Schneidmittels ausreicht, um die
Schneidvorrichtung für etwa drei Stunden zu betätigen, ohne daß die mittlere Größe der Schneidpartikelchen
um mehr als 1% verringert wird. Selbstverständlich können die Leitungen 75 und 76 auch an einen
Versorgungsbehälter angeschlossen sein, von dem immer frisches Schneidmittel zugeführt wird, ohne dies
erneut zu verwenden. Auch damit läßt sich die mittlere Größe der Schneidpartikelchen während des Schneidvorgangs
verhältnismäßig konstant halten. In diesem Zusammenhang wird unter dem Begriff »frisches
Schneidmittel« ein solches verstanden, das entweder überhaupt noch nicht benutzt wurde oder zumindest
noch nicht in ein und demselben Schneidvorgang. Während des Fortgangs des Schneidvorgangs fließt das
Schneidmittel in einen etwa V-förmig ausgebildeten Sinkbehälter 80, der unterhalb der Schneidbahnen 35
angeordnet ist. Dieser Sinkbehälter 80 kann entweder direkt über eine Leitung mit einer Rezirkulationspumpe
verbunden oder ausreichend groß gestaltet sein, um während eines Schneidvorganges das gesamte abfallende
Schneidmittel aufzunehmen. Der Ausgang der Rezirkulationspumpe ist über eine Leitung mit einem
Versorgungstank oder direkt mit den Leitungen 75 und 76 verbunden.
In die Schneidebene 40 wird über eine Düse 81 aus einem Versorgungstank frisches Wasser in die Schneidebene
40 gerichtet, um die Schneidbahn und das zerschnittene Materialstück abzuwaschen. Wenn die
Schneiddrähte der Schneidbahn durch den Materialblock 64 bis zu einer bestimmten Tiefe vorgedrungen
sind, wird die Zufuhr des Schneidmittels über die Leitungen 75 und 76 unterbrochen und das im
Sinkbehälter aufgefangene Schneidmittel für den Fall einer Wiederverwendung abgeführt. Erst anschließend
wird über die Düse 81 das Wasser zum Reinigen zugeführt. Nach dem Reinigungsvorgang wird das
Montagebett 63 langsam angehoben, so daß die Schneidbahnen beim Zurücklaufen noch eine Schneidfunktion
ausüben und das über die Düse 81 zugeführte Wasser das zerschnittene Materialstück 64 von
restlichen Teilchen reinigt. Da die Rollenzylinder 36, 37 und 38 im Betrieb eine beträchtliche Menge des
Schneidmittels tragen, sind diese Rollenzylinder im Preßsitz auf Wellen aufgesetzt, die innerhalb des
Rahmengestelles der Schneidvorrichtung drehbar montiert sind. Durch diese Preßsitz-Anordnung der Rollenzylinder
36, 37 und 38 auf im Rahmengestell drehbar gelagerten Wellen besteht wenig oder keine Gefahr,
daß das Schneidmittel zwischen die Welle und die Rollenzylinder eindringt und eine Abnutzung auf der
Innenfläche der Rollenzylinder auslöst.
Die Abstreifvorrichtungen 30 und 47 sind im wesentlichen gleichartig ausgebildet, so daß nachfolgend
nur die Abstreifvorrichtung 30 näher erläutert wird. Der Schneiddraht 13 verläuft vom Rollenzylinder
38 aus über die Leerlaufrolle 27 unter die Leerlaufrolle 26. Wenn der Wagen 24 sich in Richtung auf die
Mehrfachrolle 51 verschiebt und den Umschalter 56 betätigt, wird der Schneiddraht 13 von dem Rollenzylinder
38 aus durch die Abstreifvorrichtung 30 gezogen. In dieser Abstreifvorrichtung ist eine erste Leitung 85
vorgesehen, über welche Gas, Luft od. dgl. unter Druck zugeführt wird, und die am Ende mit einem Behälter 86
ein Druckpolster versehen ist. In diesem Behälter ist ein Schlitz 87 vorgesehen, der den Gasstrom auf den
Schneiddraht 13 quer zu dessen Längsachse richtet. Durch diesen aus dem Schlitz austretenden Gasstrom
wird ein wesentlicher Teil des am Schneiddraht 13 hängenden Schneidmittcls entfernt, so daß dieses in den
Sinkbehälter 18 fallen kann. Bei der richtiRen Ausrich-
tung des Gasstromes und der Verwendung eines richtig
eingestellten Druckes ist es möglich, in der Größenordnung von 90% des Schneidmittels vom Schneiddraht 13
zu entfernen.
Eine zweite Leitung 88, die an ihrem Ende ebenfalls mit einem Behälter 89 für ein Gaspolster versehen ist,
führt ein weiteres Gas zu, das über einen Schlitz 90 als Gasstrom auf den Schneiddraht 13 gerichtet ist. Diese
zweite Leitung ist nach der ersten Leitung in Richtung der Drahtbewegung angeordnet, jedoch weit genug
davon entfernt, um sicherzustellen, daß die durch den aus dem Schlitz 90 austretenden Gasstrom vom
Schneiddraht 13 abfallende Teile nicht mehr in den Sinkbehälter 80 fallen. Die beiden Behälter 86 und 89
sind zwischen dem Rollenzylinder 38 und der Leerlaufrolle 27 angebracht. Die Wirkungsweise des Behälters
89 mit dem ihm zugeordneten Schlitz 90 wird später erläutert.
Die Leerlaufrolle 27 ist im wesentlichen von einem Gehäuse 91 umgeben, das lediglich soviel Durchgang
frei läßt, daß der Schneiddraht 13 von dem Rollenzylinder 38 zur Leerlaufrolle 27 und weiter zur Leerlaufrolle
26 geführt werden kann. Das Innere dieses Gehäuses ist über eine auf der Oberseite angebrachte Leitung 92 mit
einem nicht dargestellten Behälter für eine Flüssigkeit verbunden, die eine wesentlich niedrigere Viskosität hat
als die Viskosität des flüssigen Trägermaterials im .Schneidmittel. Diese Flüssigkeit kann Wasser sein. Eine
zweite Leitung 93 ist auf der Unterseite des Gehäuses 91 angebracht und steht mit einem Sink in Verbindung.
Wenn somit die Flüssigkeit, z. B. das Wasser, in das Gehäuse 91 einfließt, wird der Schneiddraht 13
abgewaschen, wodurch auch die Viskosität der am Schneiddraht hängenden Gemische wesentlich verringert
wird. Ein weiterer Behälter 94, der über eine Leitung 95 mit einem nicht dargestellten Gasdruckbehälter
versehen ist, richtet einen Gasstrom durch einen nicht dargestellten Schlitz auf den Schneiddraht, der das
Gehäuse 91 verläßt, bevor dieser mit der Leerlaufrolle 26 in Berührung kommt. Da die Viskosität des am
Schneiddraht hängenden Gemisches durch das Abwaschen mit der Flüssigkeit mit niedriger Viskosität
wesentlich verringert wurde, kann dieser Gasstrom aus dem Behälter 94 im wesentlichen alle noch am
Schneiddraht hängenden Teilchen des Schneidmittels entfernen. Auf diese Weise wird erreicht, daß der
Schneiddraht 13 kein Schneidmittel mit sich trägt und die übrigen Komponenten der Schneidvorrichtung nicht
verschmutzt werden; dadurch wird sowohl die Lebensdauer des Schneiddrahtes als auch die der Maschinenteile
wesentlich erhöht.
Wenn der Wagen 24 seine Verschiebebewegung umkehrt und in Richtung auf die Mehrfachrolle 22 sowie
den Umschalter 25 wandert, wird der Schneiddraht 13 von den Leerlaufrollen 26 und 27 in Richtung auf den
Rollenzylinder 38 verschoben. Dabei verläuft der Schneiddraht erneut durch das Gehäuse 91 und damit
den Behälter 98 sowie durch den aus dem Schlitz austretenden Gasstrom, der in der Verschiebungsrichtung
des Schneiddrahtes auf diesen auftrifft und dafür sorgt, daß die Flüssigkeit mit niedriger Viskosität von
dem Schneiddraht weitgehendst entfernt wird, so daß diese Flüssigkeit nicht bis zu den Schneidbahnen
mitgenommen wird, wodurch die Viskosität des Schneidmittels in der Schneidebene verringert wird.
in F i g. 2 ist eine weitere Ausführungsform eines Schneidbettes 60' gemäß der Erfindung dargestellt.
Dieses Schneidbett 60' umfaßt eine Basisplatte 61', die mit einer Montageplatte 62' über eine Schwalbenschwanzführung
verbunden ist und in senkrechter Richtung gegenüber der Basisplatte verschoben werden
ίο kann. Ein Montagebett 63' ist mit dem unteren Ende der
Montageplatte 62' verbunden und dient dazu, den zu zerschneidenden Materialblock an seiner Unterseite
aufzunehmen. Ein an der Basisplatte angebrachter Hydraulikzylinder 70' ist mit seinem Kolben an der
Montageplatte 62' befestigt und wird über ein Rohr 7Γ mit der Hydraulikflüssigkeit versorgt, die über ein
Druckregulierventil 78' zugeführt wird. An der Seite der Montageplatte 62' ist ein Teil 73' mit einer Nockenfläche
74' befestigt. Diese Nockenfläche 74' ist entsprechend dem Querschnitt des Materialblockes sowie der
Art des zu zerschneidenden Materials, der Geschwindigkeit des Schneiddrahtes usw. geformt. Über einen
Hebelmechanismus 77' steht die Nockenfläche 74' mit einem Steuerglied in Verbindung, wobei dieses Steuerglied
ein Teil des Druckregulierventils sein kann. Wenn die Nockenfläche 74' an dem Hebelmechanismus 77'
entlangläuft, wird das Steuerglied entsprechend geändert, um den Druck der in der Leitung 7Γ fließenden
Hydraulikflüssigkeit entsprechend zu variieren. Dadurch wird die Verschiebebewegung der Montageplatte
62' gesteuert und relativ konstant gehalten. Die dargestellte Vorrichtung zur Steuerung der Verschiebebewegung
der Montageplatte 62' kann entsprechend dem Wissen des Fachmanns Variationen und Abänderungen
erfahren. Es ist z. B. möglich, daß die Einrichtung elektronische oder lichtelektrische Abtastelemente
enthält, um die Verschiebung der Montageplatte festzustellen. Ferner können Fühler für die Position
und/oder die Verschiebegeschwindigkeit des Materialblockes in der Schneidebene vorhanden sein. Wenn die
Geschwindigkeit der Verschiebung des Materialblockes in die Schnittebene gesteuert wird, können Schnittfehler,
wie sie durch die Darstellung gemäß Fig.3 angedeutet werden, weitgehend eliminiert werden.
Damit ist mit einer Schneidvorrichtung gemäß der Erfindung möglich, Materialblöcke oder Materialstücke
sehr genau zu zerschneiden, wobei glatte und einwandfreie Schnittflächen und Schnittfugen entstehen. Als
besonders vorteilhaft wird angesehen, daß die Schnittfuge im wesentlichen in ihrer Breite konstant gehalten
werden kann, wie dies in Fig.6 angedeutet ist. Damit
verlaufen auch einander gegenüberliegende Flächen der abgeschnittenen Materialteile im wesentlichen parallel
zueinander. Die Schneidvorrichtung bietet auch den Vorteil, daß das Schneidmittel von den Teilen der
Maschine ferngehalten wird, die nicht im Bereich der Schnittebene liegen. Dadurch läßt sich die Lebensdauer
wesentlicher Teile der Schneidvorrichtung erheblich verlängern, was als weiterer Vorteil neben der Erzielung
präziserer und gleichmäßigerer Schnitte angesehen wird.
Hierzu 2 Blatt Zeichnungen
Claims (6)
1. Vorrichtung zum Schneiden von sprödem Material mit Hilfe eines Schneiddrahtes, der von
einer Zuführvorrichtung kontinuierlich zuführbar und nach dem Gebrauch durch eine Aufnahmevorrichtung
abführbar ist, und zwischen der Zuführvorrichtung und der Aufnahmevorrichtung einen
kontinuierlichen, durch eine Vielzahl von Drahtführungen festgelegten Verlauf hat, wobei die Drahtführungen
mehrere axial gestreckte Rollcnzylinder einschließen, zwischen denen sich der Draht in einer
Vielzahl im Abstand parallel zueinander verlaufender Drahtabschnitte erstreckt und einen geschlossenen
Bereich eingrenzt, von dem eine Seite eine im wesentlichen horizontal gelegene Schneidebene
bildet, wobei ein das Schneidgut tragendes Schneidbrett vertikal auf die Schneidebene zu und von dieser
weg beweglich ist, wobei ferner eine hin- und hergehende Bewegung zwischen dem Draht der
Schneidebene und dem Schneidgut erzeugbar ist und wobei während des Schneidvorgangs ein kleine
Partikel eines Schneidmaterials in einem flüssigen Trägermaterial enthaltendes Schneidmittel zur
Schneidebene führbar ist, dadurch gekennzeichnet, daß das starr geführte Schneidbett (60)
oberhalb und außerhalb des geschlossenen, durch die Schneidebene (40) begrenzten Bereichs angeordnet
ist, daß das Schneidmiuel in konstantem Fluß mit einer während des Schneidbetriebs relativ konstan- jo
ten DurchschnittsgröÜe zuführbar ist und daß Einrichtungen vorhanden sind, die dafür sorgen, daß
das Schneidmittel zur Aufrechterhaltung einer relativ konstanten Durchschnittsgröße der Partikel
einmal pro Schneidvorgang benutzt wird. »
2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß Abstreifvorrichtungen (30,47) vorhanden
sind, die auf beiden Seiten der Schneidebene (40) längs dem kontinuierlichen Drahtverlauf angeordnet
sind und das Schneidmittei von dem aus der -io Schneidebene ablaufenden Schneiddraht entfernen,
und daß die Abstreifvorrichtungen eine Gasströmung abgeben, die im wesentlichen senkrecht zur
Verschiebungsbewegung des Schneiddrahtes gerichtet ist.
3. Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß unter der Schneidebene (40) ein
Sinkbehälter (80) angeordnet ist, in welchen das benutzte Schneidmittel fällt, und daß zumindest ein
Teil der Abstreifvorrichtungen sich über diesem Sinkbehälter befindet, so daß die von der Gasströmung
vom Schneiddraht gelösten Partikeln in den Sinkbehälter fallen.
4. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß eine Spülvorrichtung
vorhanden ist, mit der ein Teil des Schneiddrahtes nach der Behandlung mit der Gasströmung mit
einem Spülmittel abw^^schbar ist, daß das Spülmittel
eine Viskosität aufweist, die geringer ist als die Viskosität des flüssigen Trägermaterials, und daß der wi
Spülvorrichtung eine Einrichtung zum Zuführen einer Gasströmung auf den Schneiddraht nachgeordnet
ist, welche die verbleibenden Teile des Spülmittels und des mit dem Spülmittel weiterverdünnten
Schneidmittels von dem Schneiddraht entfernt.
5. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der Anpreßdruck
des Schneiddrahtes an das Schneidgut bei sich ändernder Schnittfläche durch eine Steuer- bzw.
Regeleinrichtung (70' bis 78') konstant gehalten wird.
6. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß eine
Hubeinrichtung vorgesehen ist, durch welche das Schneidgut nach dem Erreichen einer vorgegebenen
Schnitt-Tiefe bei weiterlaufenden Schneiddrähten anhebbar ist, wobei die Schneiddrähte beim
Zurücklaufen der Schneidebene eine fortgesetzte Schneidfunktion ausüben.
Priority Applications (7)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US00377672A US3831576A (en) | 1971-11-22 | 1973-07-09 | Machine and method for cutting brittle materials using a reciprocating cutting wire |
GB5564273A GB1397676A (en) | 1971-11-22 | 1973-11-30 | Machine and method for cutting brittle materials |
NLAANVRAGE7317041,A NL171031C (nl) | 1971-11-22 | 1973-12-12 | Inrichting voor het snijden van broze materialen. |
DE2362023A DE2362023C3 (de) | 1971-11-22 | 1973-12-13 | Vorrichtung zum Schneiden von sprödem Material mit HiUe eines Schneiddrahtes |
FR7345266A FR2254947A5 (en) | 1971-11-22 | 1973-12-18 | Machine for cutting brittle materials - has drive motor with spool of new wire fixed to its shaft |
HK511/78A HK51178A (en) | 1971-11-22 | 1978-09-07 | Machine and method for cutting brittle materials |
MY373/84A MY8400373A (en) | 1971-11-22 | 1984-12-30 | Machine and method for cutting brittle materials |
Applications Claiming Priority (6)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US20094371A | 1971-11-22 | 1971-11-22 | |
US00377672A US3831576A (en) | 1971-11-22 | 1973-07-09 | Machine and method for cutting brittle materials using a reciprocating cutting wire |
GB5564273A GB1397676A (en) | 1971-11-22 | 1973-11-30 | Machine and method for cutting brittle materials |
NLAANVRAGE7317041,A NL171031C (nl) | 1971-11-22 | 1973-12-12 | Inrichting voor het snijden van broze materialen. |
DE2362023A DE2362023C3 (de) | 1971-11-22 | 1973-12-13 | Vorrichtung zum Schneiden von sprödem Material mit HiUe eines Schneiddrahtes |
FR7345266A FR2254947A5 (en) | 1971-11-22 | 1973-12-18 | Machine for cutting brittle materials - has drive motor with spool of new wire fixed to its shaft |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE2362023A1 DE2362023A1 (de) | 1975-06-26 |
DE2362023B2 true DE2362023B2 (de) | 1978-05-03 |
DE2362023C3 DE2362023C3 (de) | 1979-01-04 |
Family
ID=41581168
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE2362023A Expired DE2362023C3 (de) | 1971-11-22 | 1973-12-13 | Vorrichtung zum Schneiden von sprödem Material mit HiUe eines Schneiddrahtes |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US3831576A (de) |
DE (1) | DE2362023C3 (de) |
FR (1) | FR2254947A5 (de) |
GB (1) | GB1397676A (de) |
HK (1) | HK51178A (de) |
MY (1) | MY8400373A (de) |
NL (1) | NL171031C (de) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3209164A1 (de) * | 1982-03-13 | 1983-09-22 | Messner, Caspar O.H., Prof.Dr.sc.techn., Zürich | Drahtsaege |
FR2632661A1 (de) * | 1988-02-17 | 1989-12-15 | Mueller Georg Nuernberg |
Families Citing this family (37)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR2234753A5 (de) * | 1973-06-25 | 1975-01-17 | Labo Electronique Physique | |
JPS6112373B2 (de) * | 1974-09-04 | 1986-04-08 | Hitachi Ltd | |
US4160439A (en) * | 1975-11-07 | 1979-07-10 | Sotarem S.A. | Cutting-off machine for hard bodies |
GB2000055B (en) * | 1977-06-14 | 1982-03-03 | Inoue Japax Research Incorporated | Method of and apparatus for shaping workpieces |
US4193852A (en) * | 1977-06-14 | 1980-03-18 | Inoue-Japax Research Incorporated | Method and apparatus for electrical machining with a multi-guided travelling electrode |
US4134384A (en) * | 1977-09-16 | 1979-01-16 | Motorola, Inc. | Wire saw with rotatable guide sleeve |
US4393450A (en) * | 1980-08-11 | 1983-07-12 | Trustees Of Dartmouth College | Three-dimensional model-making system |
JP2673544B2 (ja) * | 1988-06-14 | 1997-11-05 | 株式会社日平トヤマ | 脆性材料の切断方法 |
JP2516717B2 (ja) * | 1991-11-29 | 1996-07-24 | 信越半導体株式会社 | ワイヤソ―及びその切断方法 |
DE19510625A1 (de) * | 1995-03-23 | 1996-09-26 | Wacker Siltronic Halbleitermat | Drahtsäge und Verfahren zum Abtrennen von Scheiben von einem Werkstück |
JP3427956B2 (ja) * | 1995-04-14 | 2003-07-22 | 信越半導体株式会社 | ワイヤーソー装置 |
US5564409A (en) * | 1995-06-06 | 1996-10-15 | Corning Incorporated | Apparatus and method for wire cutting glass-ceramic wafers |
JP3107143B2 (ja) * | 1995-07-14 | 2000-11-06 | 株式会社東京精密 | ワイヤソーのワイヤトラバース装置 |
JPH0985737A (ja) * | 1995-09-22 | 1997-03-31 | Toray Eng Co Ltd | ワイヤ式切断装置 |
CZ283541B6 (cs) * | 1996-03-06 | 1998-04-15 | Trimex Tesla, S.R.O. | Způsob řezání ingotů z tvrdých materiálů na desky a pila k provádění tohoto způsobu |
MY120514A (en) * | 1996-03-26 | 2005-11-30 | Shinetsu Handotai Kk | Wire saw and method of slicing a cylindrical workpiece |
JPH09290358A (ja) * | 1996-04-25 | 1997-11-11 | Komatsu Electron Metals Co Ltd | 半導体ウェハの製造方法および半導体インゴットの面 取り加工装置 |
EP0803336B1 (de) * | 1996-04-27 | 2003-07-02 | Nippei Toyama Corporation | Drahtsäge und Abschneideverfahren |
CH690907A5 (fr) * | 1996-05-23 | 2001-02-28 | Hct Shaping Systems Sa | Dispositif de sciage par fil |
DE19642908A1 (de) * | 1996-10-17 | 1998-04-23 | Wacker Siltronic Halbleitermat | Sägesuspension und Verfahren zum Abtrennen von Scheiben von einem Kristall |
JP3810170B2 (ja) * | 1997-01-29 | 2006-08-16 | 信越半導体株式会社 | ワイヤーソーによるワークの切断方法およびワイヤーソー |
DE19717379A1 (de) * | 1997-04-24 | 1998-10-29 | Wacker Siltronic Halbleitermat | Drahtsäge und Montagestation für eine Drahtführungsrolle einer Drahtsäge sowie Verfahren zum Auswechseln einer Drahtführungsrolle |
JP4049900B2 (ja) * | 1998-08-20 | 2008-02-20 | 株式会社スーパーシリコン研究所 | ワイヤソー切断装置 |
US6357433B1 (en) | 2000-06-01 | 2002-03-19 | Motorola, Inc. | Machine for cutting brittle materials |
KR20070004073A (ko) * | 2004-03-30 | 2007-01-05 | 솔라익스 인코퍼레이티드 | 초박형 실리콘 웨이퍼 절단방법 및 장치 |
CN101284402B (zh) * | 2008-05-30 | 2011-08-17 | 大连连城数控机器股份有限公司 | 多线切割机 |
JP5540072B2 (ja) * | 2009-04-01 | 2014-07-02 | キャボット マイクロエレクトロニクス コーポレイション | 自浄式ワイヤソー装置および方法 |
WO2010125085A1 (en) | 2009-04-29 | 2010-11-04 | Nv Bekaert Sa | A sawing wire with abrasive particles partly embedded in a metal wire and partly held by an organic binder |
CN103180236B (zh) | 2010-05-04 | 2015-07-08 | 贝卡尔特公司 | 带有可移除保护涂层的固定磨料锯线 |
EP2643118B1 (de) | 2010-11-22 | 2017-05-17 | Bekaert Binjiang Steel Cord Co., Ltd. | Strukturierter sägedraht |
CN104210040B (zh) * | 2014-07-03 | 2016-03-16 | 开封恒锐新金刚石制品有限公司 | 树脂金刚线用钢线的预处理清洗方法及设备 |
CN104493982A (zh) * | 2014-12-30 | 2015-04-08 | 南京铭品机械制造有限公司 | 一种数控丝锯加工机 |
CN105082380B (zh) * | 2015-09-09 | 2016-09-07 | 江西赛维Ldk太阳能高科技有限公司 | 硅片切割后的取出方法 |
CN105480667A (zh) * | 2016-01-26 | 2016-04-13 | 赵晓波 | 一种皮带式上下胶辊结构装置 |
US10882126B2 (en) * | 2017-01-13 | 2021-01-05 | ESCO Group, Inc. | Take-up and payoff system for vertical profiling cutting saw (VPX) |
KR102037745B1 (ko) | 2017-12-14 | 2019-10-29 | 에스케이실트론 주식회사 | 잉곳 클램프 및 그를 구비한 잉곳 절단용 와이어 쏘잉 장치 |
CN110948046B (zh) * | 2019-11-14 | 2021-08-24 | 乌鲁木齐市亚欧稀有金属有限责任公司 | 可调间距式锂锭切割装置 |
Family Cites Families (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US1812942A (en) * | 1929-02-09 | 1931-07-07 | Atlas Mfg Company | Process of cleaning power meat saws |
DE1138353B (de) * | 1953-02-18 | 1962-10-18 | Siemens Ag | Vorrichtung zum Zerteilen von Kristallen, insbesondere zum Zerschneiden von Halbleiterkristallen |
US2780038A (en) * | 1954-09-08 | 1957-02-05 | Glaceries Sambre Sa | Glass grinding and polishing method and apparatus |
GB771622A (en) * | 1954-12-08 | 1957-04-03 | British Thomson Houston Co Ltd | Improved apparatus for cutting crystal |
US2831476A (en) * | 1957-04-09 | 1958-04-22 | Henry A Wilson | Crystal cutting saw |
GB863878A (en) * | 1957-10-25 | 1961-03-29 | British Thomson Houston Co Ltd | Improvements in apparatus for slicing metallic and other bodies |
CH349533A (fr) * | 1958-07-14 | 1960-10-15 | Miniati Louis | Installation pour le sciage de blocs de pierre |
US2994314A (en) * | 1958-08-22 | 1961-08-01 | Ty Sa Man Machine Company | Stone cutting apparatus |
FR1282144A (fr) * | 1960-12-07 | 1962-01-19 | Electronique & Automatisme Sa | Machine perfectionnée pour le sciage par rodage d'échantillons en matériaux fragiles, notamment cristallins |
FR1291784A (fr) * | 1961-03-18 | 1962-04-27 | Emile Cebe Ets | Dispositif régulateur de l'avance du fil, pour machine à scier la pierre ou les matériaux similaires |
US3435815A (en) * | 1966-07-15 | 1969-04-01 | Micro Tech Mfg Inc | Wafer dicer |
FR1512501A (fr) * | 1966-12-27 | 1968-02-09 | Electronique & Automatisme Sa | Perfectionnements apportés aux machines à scier des éléments en matériaux fragiles, notamment cristallins |
FR1591125A (de) * | 1968-10-17 | 1970-04-27 | ||
CH500749A (it) * | 1969-09-03 | 1970-12-31 | D Agostini Marcello | Dispositivo automatico di separazione dei fanghi e di alimentazione di acqua e abrasivo negli impianti a filo e a telaio per il taglio di granito, marmo e pietra |
US3750847A (en) * | 1972-05-03 | 1973-08-07 | Master Chemical Corp | Method of supplying an aqueous cutting fluid to machine tools |
-
1973
- 1973-07-09 US US00377672A patent/US3831576A/en not_active Expired - Lifetime
- 1973-11-30 GB GB5564273A patent/GB1397676A/en not_active Expired
- 1973-12-12 NL NLAANVRAGE7317041,A patent/NL171031C/xx not_active IP Right Cessation
- 1973-12-13 DE DE2362023A patent/DE2362023C3/de not_active Expired
- 1973-12-18 FR FR7345266A patent/FR2254947A5/fr not_active Expired
-
1978
- 1978-09-07 HK HK511/78A patent/HK51178A/xx unknown
-
1984
- 1984-12-30 MY MY373/84A patent/MY8400373A/xx unknown
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3209164A1 (de) * | 1982-03-13 | 1983-09-22 | Messner, Caspar O.H., Prof.Dr.sc.techn., Zürich | Drahtsaege |
FR2632661A1 (de) * | 1988-02-17 | 1989-12-15 | Mueller Georg Nuernberg |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
NL171031B (nl) | 1982-09-01 |
NL7317041A (en) | 1975-06-16 |
FR2254947A5 (en) | 1975-07-11 |
DE2362023C3 (de) | 1979-01-04 |
US3831576A (en) | 1974-08-27 |
GB1397676A (en) | 1975-06-18 |
HK51178A (en) | 1978-09-15 |
NL171031C (nl) | 1983-02-01 |
MY8400373A (en) | 1984-12-31 |
DE2362023A1 (de) | 1975-06-26 |
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