DE2359558B1 - Verfahren zum Verhindern der Bildung von Stickstoffmonoxid bei der Ausätzung eines Molybdänkernes aus einer Wolframdrahtwendel - Google Patents

Verfahren zum Verhindern der Bildung von Stickstoffmonoxid bei der Ausätzung eines Molybdänkernes aus einer Wolframdrahtwendel

Info

Publication number
DE2359558B1
DE2359558B1 DE19732359558 DE2359558A DE2359558B1 DE 2359558 B1 DE2359558 B1 DE 2359558B1 DE 19732359558 DE19732359558 DE 19732359558 DE 2359558 A DE2359558 A DE 2359558A DE 2359558 B1 DE2359558 B1 DE 2359558B1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
molybdenum
etching
formation
wire
tungsten wire
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
DE19732359558
Other languages
English (en)
Other versions
DE2359558C2 (de
Inventor
Misao Ishikawa
Rokuro Chiba Tsuji
Norihisa Mobara Yoshimori
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Ltd filed Critical Hitachi Ltd
Priority to DE19732359558 priority Critical patent/DE2359558C2/de
Publication of DE2359558B1 publication Critical patent/DE2359558B1/de
Application granted granted Critical
Publication of DE2359558C2 publication Critical patent/DE2359558C2/de
Expired legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23FNON-MECHANICAL REMOVAL OF METALLIC MATERIAL FROM SURFACE; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL; MULTI-STEP PROCESSES FOR SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL INVOLVING AT LEAST ONE PROCESS PROVIDED FOR IN CLASS C23 AND AT LEAST ONE PROCESS COVERED BY SUBCLASS C21D OR C22F OR CLASS C25
    • C23F1/00Etching metallic material by chemical means
    • C23F1/10Etching compositions
    • C23F1/14Aqueous compositions
    • C23F1/16Acidic compositions
    • C23F1/26Acidic compositions for etching refractory metals

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • ing And Chemical Polishing (AREA)
  • Resistance Heating (AREA)

Description

Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zum Verhindern der Bildung von Stickstoffmonoxid bei der Ausätzung eines Molybdänkernes aus einer Wolframdrahtwendel mit Salpetersäure oder einem hauptsächlich aus Salpetersäure und Schwefelsäure bestehenden Säuregemisch unter Verwendung einer anorganischen Peroxyverbindung.
Eine in Elektronenröhren, wie z. B. Kathodenstrahlröhren oder Vakuumröhren, verwendete Heizwendel wurde bisher hergestellt, indem man einen Wolframdraht als Heizdraht um einen Molybdändraht als Kern mit einem bestimmten Schlag herumwickelt, um eine Drahtwendel zu erzeugen, den gewendelten Draht durch Schneiden und Formen auf bestimmte Abmessungen und Gestalt bringt, auf die Oberfläche des wendeiförmigen Drahtes einen Aluminiumoxidisolierstoff aufbringt, diesen Aluminiumoxidisolierstoff sintert und schließlich den nicht benötigten Molybdändraht lediglich durch Säurebehandlung auflöst. Wenn der Aluminiumoxidüberzug bei dem vorstehend erläuterten Verfahren ausgelassen wird, läßt sich eine für elektrische Lampen, Leuchtstofflampen, Vakuumröhren usw. verwendbare Drahtfadenwendel erhalten.
Für die Säurebehandlung des Molybdändrahtes kann man allgemein eine Mischung von Salpetersäure und Schwefelsäure, wie z. B. eine Mischung von 171 67prozentiger HNO3 und 7,5 1 98prozentiger H2SO4 verwenden. Eine durch Aufwickeln eines Wolframdrahtes um einen Molybdänkern erhaltene Heizwendel wird in dieses Säuregemisch gegeben, und man erhitzt das Säuregemisch dann zwecks selektiven Auflösens nur des Molybdändrahtes. Bei diesem Verfahren wird durch die Reaktion nach der Formel
Mo+ 2 HNO3+ 3 H2SO4
->- Mo (SO4)3 + 4 H2O + 2 NO
(1)
bei der Auflösung von Molybdän erzeugtes farbloses NO-Gas an die Luft abgegeben und bei Berührung mit Luft zu NO2 und N2O4 oxydiert, wobei es braun wird.
Diese gasförmigen Stickstoffoxide sind schädliche Gase und schädigen die Arbeitsplatzumgebung sowie verursachen eine Umweltverschmutzung. Daher wird dieser Verfahrensschritt in einer Abzugskammer durchgeführt, und man leitet die gasförmigen Stickstoffoxide mittels Saugens unter Verwendung einer leistungsstarken Absaugvorrichtung nach außerhalb der Kammer, so daß die gasförmigen Stickstoffoxide nicht in den Arbeitsraum gelangen, und diese Stickstoffoxide werden anschließend mit Wasser oder einer wäßrigen Alkalilösung gewaschen, um sie durch Absorption zu beseitigen. Daher sind eine große Anlage und ein großer Aufwand zur völligen Beseitigung der Stickstoffoxide erforderlich.
Unabhängig von dem speziellen Verfahren des Ausätzens eines Molybdänkerns aus einer Wolframdrahtwendel ist es nun bekanntgeworden (US-PS
ίο 28 76 144), zum Verhindern der Bildung von Stickstoffmonoxid beim Ätzen oder Beizen von Metallen, insbesondere Titan, Zikonium und deren Legierungen mit Salpetersäure oder einem Salpetersäure entnaltenden Säuregemisch einen Zusatz von Wasserstoffperoxid zu verwenden. Da sich jedoch Wasserstoffperoxid relativ leicht zersetzt und unter Sauerstoffabgabe in Wasser umwandelt, verliert es seine die Bildung von Stickstoffmonoxid verhindernde Eigenschaft, so daß der Zusatz von Wasserstoffperoxid für den genannten Zweck nur eine zeitlich begrenzte Wirkung hat und im Fall langer andauernder Ätzreaktionen nur im Anfangsstadium befriedigend ist. Ein etwa während der Reaktion erfolgender weiterer Wasserstoffperoxidzusatz bringt die Gefahr eines stoßweisen Siedens mit sich und ist daher nachteilig. Andererseits ist ein Verfahren zur Auflösung des Molybdändornes einer Wolframfadenwendel bekannt (DT-OS 22 34 494), bei dem als Inhibitor der Erzeugung von gasförmigen Stickstoffoxiden der zur Auflösung dienenden Salpetersäure oder Mischung von Salpetersäure und wenigstens einer anderen Säure ein Oxydationsmittel zugesetzt wird, das sich aus anorganischen Perverbindungen (in der DT-OS irrtümlich mit »Peroxyverbindungen« bezeichnet), wie Salzen der Permangansäure oder Perchlorsäure zusammensetzt, wofür in den Beispielen Kaliumpermanganat bzw. dieses in Verbindung mit Kaliumperchlorat genannt sind. Bei Verwendung von Kaliumpermanganat fallen jedoch unter Umständen Manganverbindungen aus, die, falls die nicht aufzulösende Wolframwendel mit Aluminiumoxid überzogen ist, was für in Röhren verwendete Heizwendeln üblicherweise zutrifft, im Aluminiumoxidüberzug festgehalten werden und die Durchschlagfestigkeit des Heizwendelgeräts verschlechtem, falls nicht eine aufwendige Nachbehandlung zur Reinigung des Aluminiumoxidüberzuges erfolgt.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, das Verfahren der eingangs genannten Art so auszugestalten, daß die Bildung von Stickstoffmonoxid über erheblich längere Reaktionszeiten als die Zeitdauer der Schutzwirkung von Wasserstoffperoxid verhindert werden kann und daß sich keine Niederschläge bilden, die die Durchschlagfestigkeit eines auf der WoIframdrahtwendel vorgesehenen Aluminiumoxidüberzuges beeinträchtigen können.
Diese Aufgabe wird erfmdungsgemäß dadurch gelöst, daß der Ätzflüssigkeit Ammoniumperoxidsulfat zugesetzt wird.
Wie noch durch Vergleichsbeispiele belegt wird, hat sich gezeigt, daß Ammoniumperoxidsulfat, obwohl es auch eine gewisse Zersetzlichkeit aufweist, über relativ lange Reaktionszeiten, wie sie praktisch beim Ausätzen eines Molybdänkernes aus einer WoIframdrahtwendel auftreten, zur Verhinderung der Bildung von Stickstoffmonoxid wirksam bleibt. Außerdem fallen keine Niederschläge im Behandlungsgemisch aus, die die Qualität eines Aluminiumoxid-
Überzuges auf der Wolframdrahtwendel beeinträchtigen könnten. Schließlich wird festgestellt, daß bei Verwendung des erfindungsgemäßen Zusatzes ein geringerer Angriff des Behandlungsgemisches auf die Wolframdrahtwendel als bei Verwendung von Wasserstoffperoxid auftritt.
Die folgenden Beispiele erläutern die Erfindung unter Bezugnahme auf die einzige Figur, die Auflösungsgeschwindigkeitskurven von Molybdän in einem Säuregemisch veranschaulicht.
Beispiel 1
In eine Ätz- oder Korrosionsflüssigkeit, die aus einer Mischung von 43 g Ammoniumperoxodisulfat und 200 cm3 eines durch Vermischen von 171 67prozentiger HNO3 mit 7,5 1 98prozentiger H2SO4 erhaltenen Säuregemisches bestand, wurden 1000 durch Aufwickeln eines Wolframdrahtes um einen Molybdänkern (Gewicht des Molybdäns 6,1 g) erhaltene Heizwendeln gegeben. Der Molybdändraht wurde in etwa 10 bis 15 min ohne Bildung von gasförmigen Stickstoffoxiden völlig aufgelöst. In der einzigen Figur veranschaulicht die Kurve 3 den Auflösungsgeschwindigkeitsverlauf von Molybdän in diesem Versuch. Zum Vergleich sind die Auflösungsgeschwindigkeitsfunktion von Molybdän für den Fall, daß eine bekannte, nur aus dem gleichen Säuregemisch wie im vorstehend erläuterten Beispiel bestehende Korrosionsangriffsflüssigkeit unter Erhitzen verwendet wurde, und die Aufiösungsgeschwindigkeitsfunktion von Molybdän, als das Oxydationsmittel im vorstehend angegebenen Beispiel durch 12 g Kaliumpermanganat ersetzt wurde, durch die Kurven 1 bzw. 2 veranschaulicht.
Wie diese Figur klar zeigt, steigt die Auflösungsgeschwindigkeit in der Reihenfolge von der nur aus dem Säuregemisch bestehenden Korrosionsangriffsflüssigkeit über die erfindungsgemäß Ammoniumperoxodisulfat enthaltende Korrosionsangriffsflüssigkeit bis zu der das Kaliumpermanganat enthaltenden Korrosionsangriffsflüssigkeit an. Somit steigert der Zusatz eines Oxydationsmittels die Auflösungsgeschwindigkeit. Außerdem wird, da der Zusatz eines Oxydationsmittels die Erzeugung von Wärme hervorruft, das bei Verwendung der bekannten Korrosionsangriffsflüssigkeiten erforderliche Erhitzen überflüssig. Die Auflösungsgeschwindigkeit wird somit mindestens um die Zeit des früher üblichen Erhitzens des Säuregemisches beschleunigt. Dabei ist es auf einen Unterschied der Lösungswärme und auf die niedrigere Lösungstemperatur zurückzuführen, daß die das Ammoniumperoxodisulfat enthaltende Korrosionsangriffslösung der das Kaliumpermanganat enthaltenden Korrosionsangriffslösung hinsichtlich der Auflösungsgeschwindigkeit unterlegen ist.
Im Fall des Zusatzes von Kaliumpermanganat fallen jedoch Manganverbindungen aus, wenn die Kaliumpermanganatmenge groß ist. Daher bleiben, wenn eine Metallwendel mit Aluminiumoxid überzogen ist, wie es bei der obenerwähnten Heizwendel zutrifft, die Manganverbindungen im Aluminiumoxid festgehalten, und die Durchschlagfestigkeit des Heizgerätes ist verschlechtert. Deshalb müßten die Manganverbindungen völlig entfernt werden. Hierdurch würde, obwohl eine Kaliumpermanganat enthaltende Korrosionsangriffsflüssigkeit die Anforderungen beim Auflösen eines Molybdänkerns zu erfüllen vermag, wenn eine Wolframfadenwendel für gewisse Vakuumröhren ohne Aluminiumoxidüberzug, elektrische Lampen, Leuchtstofflampen usw. hergestellt wird, im Fall der Herstellung einer Heizwendel mit Aluminiumoxidüberzug ein Verfahrensschritt zum Entfernen der Manganverbindungen erforderlich, und es ist nicht leicht, die Manganverbindungen völlig zu entfernen. Die Kaliumpermanganat enthaltende Korrosionsangriffsflüssigkeit ist vom Gesichtspunkt der Qualität des Erzeugnisses und der benötigten Arbeitsstunden
ίο nicht ratsam.
Aus ähnlichen Gründen ist es nötig, die Verwendung eines Oxydationsmittels zu vermeiden, das aus einem Metallsalz oder einem Oxydationsmittel besteht, das seinerseits ein schädliches Gas abgibt.
Andererseits bildet eine Ammoniumperoxodisulfat enthaltende Korrosionsangriffsflüssigkeit auch bei Zusatz einer großen Menge keine Niederschläge. Daher bleibt kein Stoff in der Aluminiumoxidüberzugsschicht einer Heizwendel zurück, so daß die Qualität des Erzeugnisses hoch ist, das Waschen nach dem Auflösen leicht wird und sich die Arbeitsstunden verringern lassen. Außerdem ist die Ammoniumperoxodisulfat enthaltende Korrosionsangriffsflüssigkeit insofern vorteilhaft, als keine Vorrichtung zum Behandein einer ausgefällte Manganverbindungen enthaltenden Abfallflüssigkeit erforderlich ist, was im Gegensatz zum Arbeiten mit der Kaliumpermanganat enthaltenden Korrosionsangriffsflüssigkeit steht. Selbstverständlich ist die Ammoniumperoxodisulfat enthaltende Korrosionsangriffsflüssigkeit ebenfalls auf eine Fadenwendel ohne Aluminiumoxidüberzug anwendbar.
Die Wirksamkeit des Ammoniumperoxodisulfats als Oxydationsmittel beruht auf der Tatsache, daß Sauerstoff nach der Reaktionsformel
2(NH4)2S2O8
Erwärmen
4 NH4HSO4 + 2 H2O + O2 (5)
gebildet wird, wenn eine wäßrige Lösung von Ammoniumperoxodisulfat erwärmt wird, und dieser O2NO oxydiert. Außerdem enthält das Ammoniumperoxodisulfat kein solches Metallelement, das Mederschläge bildet.
Beispiel 2
In einer Ätzflüssigkeit, die aus einer Mischung von
27 g Ammoniumperoxodisulfat und 100 cm3 eines durch Vermischen von 171 67prozentiger HNO3 mit
7,5 1 98prozentiger H2SO4 erhaltenen Säuregemisches bestand, wurden 3,85 g eines Molybdändrahtes eines Durchmessers von 0,6 mm und 32,625 mg eines Wolframdrahtes eines Durchmessers von 0,103 mm geworfen. Der Molybdändraht wurde in etwa 7 min ohne Entwicklung gasförmiger Stickstoffoxide völlig aufgelöst. Der Auflösungsverlust von Wolfram betrug nur 0,46 Gewichtsprozent.
Vergleichsbeispiel
In eine Ätzflüssigkeit, die aus einer Mischung von
28 cm3 30gewichtsprozentigen Wasserstoffperoxids und 100 cm3 des gleichen Säuregemisches wie im Beispiel 2 bestand, wurden 3,80 g eines Molybdändrahtes eines Durchmessers von 0,6 mm und 32,625 mg eines Wolframdrahtes eines Durchmessers von 0,103 mm geworfen. Die Entwicklung von gasförmigen Stickstoffoxiden wurde etwa ab 5 min nach Be-
ginn der Molybdändrahtauflösung beobachtet und dauerte bis zum Ende des Auflösungsvorganges nach etwa 7 min. Der Auflösungsverlust von Wolfram betrug 0,77 Gewichtsprozent.
Aus dem Beispiel 2 und dem Vergleichsbeispiel ergibt sich, daß sich im letzteren Fall das Wasserstoffperoxid vorzeitig zersetzt und seine Wirksamkeit als Oxydationsmittel bereits vor Abschluß der Auflösung des Molybdändrahtes verliert, auch wenn die theoretisch erforderliche Menge Wasserstoffperoxid zugesetzt wird. Außerdem stellt man fest, daß hierbei der Wolframdraht-Auflösungsverlust mit 0,77 Gewichtsprozent erheblich höher als der Wert 0,46 Gewichtsprozent im Fall des Ammoniumperoxodisulfatzusatzes nach Beispiel 2 ist.
Da im Beispiel 2 und im Vergleichsbeispiel jeweils ein unbedeckter Molybdändraht eingesetzt wurde, dauerte dessen Auflösung nur etwa 7 min. Im praktischen Fall einer Heizwendel, wobei ein Wolframdraht um den Molybdändraht gewickelt und anschließend Aluminiumoxid auf die Oberfläche der Drahtwendel aufgebracht wird, steigt jedoch die Auflösungsdauer üblicherweise auf 10 bis 15 min, wie auch im Beispiel 1 erwähnt ist. Daher würde man in diesem Fall die Entwicklung von Stickstoffoxiden
ίο während mehr als der Hälfte der Auflösungszeit beobachten, d. h. nur einen geringen Effekt erzielen, wenn man Wasserstoffperoxid statt Ammoniumperoxodisulfat zusetzte. Dies gilt natürlich ebenso für andersartige relativ langzeitige Ätzvorgänge, bei
ig denen nach Zersetzung des Wasserstoffperoxids wieder eine Entwicklung von Stickstoffoxiden auftritt.
Hierzu 1 Blatt Zeichnungen

Claims (1)

  1. Patentanspruch:
    Verfahren zum Verhindern der Bildung von Stickstoffmonoxid bei der Ausätzung eines Molybdänkernes aus einer Wolframdrahtwendel mit Salpetersäure oder einem hauptsächlich aus Salpetersäure und Schwefelsäure bestehenden Säuregemisch unter Verwendung einer anorganischen Peroxyverbindung, dadurch gekennzeichnet, daß der Ätzflüssigkeit Ammoniumperoxodisulfat zugesetzt wird.
DE19732359558 1973-11-29 1973-11-29 Verfahren zum Verhindern der Bildung von Stickstoffmonoxid bei der Ausätzung eines Molybdänkernes aus einer Wolframdrahtwendel Expired DE2359558C2 (de)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19732359558 DE2359558C2 (de) 1973-11-29 1973-11-29 Verfahren zum Verhindern der Bildung von Stickstoffmonoxid bei der Ausätzung eines Molybdänkernes aus einer Wolframdrahtwendel

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19732359558 DE2359558C2 (de) 1973-11-29 1973-11-29 Verfahren zum Verhindern der Bildung von Stickstoffmonoxid bei der Ausätzung eines Molybdänkernes aus einer Wolframdrahtwendel

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE2359558B1 true DE2359558B1 (de) 1975-03-27
DE2359558C2 DE2359558C2 (de) 1975-11-13

Family

ID=5899444

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE19732359558 Expired DE2359558C2 (de) 1973-11-29 1973-11-29 Verfahren zum Verhindern der Bildung von Stickstoffmonoxid bei der Ausätzung eines Molybdänkernes aus einer Wolframdrahtwendel

Country Status (1)

Country Link
DE (1) DE2359558C2 (de)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0082210A1 (de) * 1981-12-18 1983-06-29 Mta Müszaki Fizikai Kutato Intezete Verfahren zum selektiven Lösen von Molybdän in Gegenwart von Wolfram

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0082210A1 (de) * 1981-12-18 1983-06-29 Mta Müszaki Fizikai Kutato Intezete Verfahren zum selektiven Lösen von Molybdän in Gegenwart von Wolfram

Also Published As

Publication number Publication date
DE2359558C2 (de) 1975-11-13

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP1955335B1 (de) Verfahren zur dekontamination einer eine oxidschicht aufweisenden oberfläche einer komponente oder eines systems einer kerntechnischen anlage
DE2364162B2 (de) Saure waessrige metallbehandlungsloesung
DE2701927A1 (de) Verfahren zur oberflaechenbehandlung von aluminium oder aluminium-legierungen
DD147116A5 (de) Verfahren zur kontinuierlichen behandlung von stahlblechen
DE2428380B2 (de) Wässrige Lösung zum Entfernen von Nickelabscheidungen
DE2430501C3 (de) Beizverfahren für metallische Gegenstände, insbesondere für die kontinuierliche Behandlung von band- oder drahtförmigem Material, insbesondere aus rostfreiem Stahl
DE2531163C2 (de) Verfahren zur Verbesserung der Lötbarkeit elektrischer Leiterplatten
DE1042847B (de) Verfahren zum trennscharfen AEtzen von Glas
DE2425684A1 (de) Verfahren zum aetzen von silicium enthaltenden materialien
DE2359558B1 (de) Verfahren zum Verhindern der Bildung von Stickstoffmonoxid bei der Ausätzung eines Molybdänkernes aus einer Wolframdrahtwendel
DE3435799C2 (de)
EP0230903B1 (de) Verfahren zur Reinigung von Aluminiumbehältern
DE2715291B2 (de) Verfahren zur Herstellung eines amorphen, leichten, fest haftenden Phosphatüberzugs auf Eisenmetalloberflächen
DE1220699B (de) Beizbad fuer rostfreien Stahl
DE1621454B2 (de) Bad und verfahren zum partiellen aetzen von kupfergegen staenden
DE2234494C3 (de) 27.03.72 Japan 29698-72 Verfahren zur Auflösung des insbesondere aus Molybdän bestehenden Drahtkerns bzw. -dorns einer Fadenwendel
DE3111331A1 (de) "verfahren zur verhinderung von korrosion und wasserstoff-versproedung von aus tantal hergestellten einrichtungen, in denen heisse konzentrierte schwefelsaeure gehandhabt wird"
DE2202494A1 (de) Quarzglaselemente mit verringerter Deformation bei erhoehter Temperatur und Verfahren zu ihrer Herstellung
DE2234494A1 (de) Verfahren zur aufloesung des drahtdorns einer fadenwendel
DE102004054471B3 (de) Reinigungsverfahren zur Entfernung von Magnetit enthaltenden Ablagerungen aus einem Druckbehälter eines Kraftwerks
EP0082210B1 (de) Verfahren zum selektiven Lösen von Molybdän in Gegenwart von Wolfram
DE596645C (de)
DE559242C (de) Verfahren zur Herstellung von Oxydkathoden
AT229665B (de) Beizbad für rostfreien Stahl
DE2724707C3 (de) Verfahren zur Regenerierung eines Katalysators

Legal Events

Date Code Title Description
EF Willingness to grant licences
8339 Ceased/non-payment of the annual fee