DE2352113B2 - Maschine zum automatischen Befestigen von Verbindungsdrähten an den Anschlußstellen eines Halbleiterkristalls - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft eine Maschine zum automatischen Befestigen von Verbindungsdrähten an den Anschlußstellen eines Halbleiterkristalls und des den Kristall tragenden Leiterrahmens mit einem höhenverstellbaren Arbeitskopf, der eine Einrichtung zum Anbringen der Verbindungsdrähte an dem Kristall und dem Leiterrahmen aufweist, mit einer ersten, programmgesteuerten Antriebseinrichtung für das Verfahren des Arbeitskopfes zu den Arbeitspunkten auf dem Kristall, einer zweiten, programmgesteuerten Antriebseinrichtung tür das Verfahren des Arbeitskopfes zu den Arbeitspunkten auf dem Leiterrahmen und einer Kristall-Jusliereinrichtung zum Einstellen der relativen Seitenlage zwischen der ersten Antriebseinrichtung und dem Kristall.

Aus der DT-OS 21 14 496 ist eine Maschine zum Befestigen der Verbindungsdrähte an den Anschlußstellen eines Halbleiterbauelementes und des das Halbleiterbauelement aufnehmenden Gehäuses mit einer gegenüber dem Halbleiterbauelement und dem Gehäuse höhenverstellbaren Drahtführung, durch die ein Draht vorgeschoben wird, und mit einem parallel zur Ebene des Halbleiterbauelementes in zwei Dimensionen verstellbaren Träger, der entweder das Gehäuse mit dem Halbleiterbauelement oder die Drahlführung trägt, bekannt, die Rekennzeichnet ist durch einen schrittweise in aufeinanderfolgende Raststellungen fortschaltbaren Programmträger, der Führungsteile aufweist, die mit einem komplementären Führungsteil an einem mit dem verstellbaren Träger verbundenen Mitnehmer zusammenwirken und so angeordnet sind, daß in jeder Raststellung ein Führungsteil des Programmirägers von einem ortsfesten Bezugspunkt in einem Abstand liegt, der nach Größe und Richtung in einer bestimmten Be-

ziehung zu dem Abstand einer Anschlußstelle von einem Bezugspunkt des Gehäuses des Halbleiterbauelementes steht. Die Programmträger bei dieser Maschine sind starre Lochscheiben, in die die Führungsteile in Form von Kegelbohrungen eingearbeitet sind. Diese Programmscheiben bilden zusammen mit je einem Schrittschaltwerk die Antriebseinrichtung für das Verfahren des Arbeitskopfes (Drahtführung) zu den Arbeitspunkten auf dem Kristall bzw. für die Antriebseinrichtung für das Verfahren des Arbeitskopfes zu den Arbeitspunkten auf dem Leiterrahmen (Gehäuse). Die Einstellung eines Bezugspunktes auf dem Halbleiterelement (Kristall) auf den Ausgangspunkt der Antriebseinrichtung für die Bewegung der Drahtführung zu den Arbeitspunkten auf dem Kristall erfolgt dadurch, daß das Halbleiterelement mit dem Gehäuse auf einem Kreuztisch montiert ist, so daß die beiden Punkte zur Deckung gebracht werden können. Nach dieser justierung läuft das Programm für die Arbeitspunkte auf dem Halbleiterelement sowie das Programm für die Arbeitspunkte auf dem Gehäuse selbsttätig ab.

Der Hauptsächliche Mangel dieser bekannten Maschine liegt in der Verwendung der Programmscheiben, um die Drahtführung nach dem vorgegebenen Programm zu bewegen. Eine bestimmte Programmscheibe ist nur für einen einzigen vorgegebenen Typ von Halbleiterelementen verwendbar. Dies bedeutet, daß für jeden Typ von Halbleiterelement, der auf der Maschine verarbeitet werden soll, und auch für geringfügig abgeänderte Varianten eines Types von Halbleiterelement jeweils eine eigene Programmscheibe angefertigt werden muß, was mühsam und kostspielig ist. Die Verwendung der Programmscheiben in den Antriebseinrichtungen ist ferner ein Grund dafür, daß eine Justierung der Winkellage des Halblciterelements in bezug auf den durch die Programmschaltung vorgegebenen Bewegungsablauf bei dieser Maschine nicht oder nur mit einem erheblichen konstruktiven Mehraufwand möglich ist. Da die Möglichkeit für die Einstellung der Winkellage zwischen Halbleiterelement und Antriebseinrichtung fehlt, ergibt sich entweder ein großer Prozentsatz an Ausschuß, da größere Halbleiterelemente (Durchmesser etwa 2 mm) bereits bei einer winkelmäßigen Fehlausrichtung von etwa einem halben Grad und kleinere Halbleiterelemente (Durchmesser etwa 1 mm) bei einer winkelmäßigen Fehlausnchtung von mehr als ein Grad nicht mehr bearbeitet werden können, oder es muß eine verhältnismäßig aufwendige Einrichtung vorgesehen sein, um die Halbleiterelemente innerhalb der angegebenen Grenzen winkelmäßig genau auf dem Gehäuse zu befestigen, bevor die Verdrahtung durchgeführt wird. Schließlich besteht noch ein Nachteil der Verwendung von Programmscheiben in den Antriebseinrichtungen darin, daß allein zur Darstellung des Programms eine verhältnismäßig große Masse durch Druckluft-Stellmotoren bewegt werden muß, was sich nachteilig auf die Arbeitsgeschwindigkeit der Maschine auswirkt.

Durch die Erfindung soll eine verbesserte Maschine der eingangs genannten Art geschaffen werden, die insbesondere in einem größeren Bereich der winkelmäßigen Fehlausrichtung zwischen Kristall und Leiterrahmen noch verwendbar ist, ohne daß dieser Vorteil durch einen übermäßigen Konstruktionsaufwand in der Mechanik erkauft wird.

Die erfindungsgemäße Maschine ist dazu dadurch gekennzeichnet, daß eine Leiterrahmen-Justiereinrichtung zur Einstellung der relativen Winkellage zwischen der ersten Antriebseinrichtung und dem Kristall sowie zwischen der zweiten Antriebseinrichtung und den Leiterrahmen vorgesehen ist, und daß die Programm steuerung der Antriebseinrichtungen numerische Steuerungen mit umprogrammierbaren Festwertspei ehern aufweisen. Da bei der erfindungsgemäßen Ma schine die Programmsteuerung von der Antriebsein richtung getrennt vorgesehen ist, ist es in vorteilhafter Weise möglich, die Leiterrahmeii-Justiereinrichtung

ίο ohne übermäßigen Bauaufwand vorzusehen.

Es ist vorteilhaft, wenn die erste Antriebseinrichtung zwei Schrittmotoren aufweist, die nach dem zugehörigen Programm der numerischen Steuerung den beweg liehen Teil eines Kreuztisches antreiben, wobei der bewegliche Teil des Kreuztisches während der Arbeit·, phasen, in denen Verwindungen zwischen Draht und Kristall hergestellt werden, mit dem Arbeitskopf gekoppelt ist. Vorzugsweise ist zur Kopplung des beweglichen Teiles des Kreuztisches an dem Arbeitskopf an dem beweglichen Teil ein Schwenkarm mit einem Führungsteil befestigt, der bei Verschwenkung des Schwenkarmes in eine entsprechende Führung an den Arbeitskopf eingreift. In einer einfachen Ausführung kann der Führungsteil ein Kegel und die Führung eine Kegelbohrung sein. Durch diese Ausgestaltung der Antriebseinrichtung ergibt sich eine besonders günstige Möglichkeit, die Programminformation der Programmsteuerung in eine mechanische Bewegung des Arbeitskopfes umzusetzen. Dabei ist ferner vorteilhaft, daß die Bewegungen des Arbeitskopfes auf Grund des Schrittmotor-Antriebs und der geringen, zu bewegenden Masse schnell und exakt durchgeführt werden können (nur 0,5 see für ein Arbeitsspiel).

Aus entsprechenden Gründen ist es weiter bcvorzugt, daß die zweite Arbeitseinrichtung ebenfalls zwei Schrittmotoren aufweist, die nach dem zugehörigen Programm der numerischen Steuerung den beweglichen Teil eines zweiten Kreuztisches antreiben, wobei der bewegliche Teil des zweiten Kreuztisches während der Arbeitsphasen, in denen Verbindungen zwischen Draht und Leiterrahmen hergestellt werden, mit dem Arbeitskopf gekoppelt ist. Zur Kopplung des beweglichen Teils des zweiten Kreuztisches an dem Arbeitskopf ist an dem beweglichen Teil vorzugsweise ein Schwenkarm mit einem Führungsteil mechanisch gekoppelt, der bei Verschwenkung des Schwenkarmes in eine entsprechende Führung an dem Arbeitskopf eingreift. Auch hier können in einer einfachen Ausführung der Führungsteil ein Kegel und die Führung eine Kegelbohrung sein. Da die zweite Antriebseinrichtung mit Ausnahme einer noch zu erwähnenden Modifikation wie die erste Antriebseinrichtung aufgebaut ist, werden im wesentlichen die gleichen Vorteile erzielt.

Bei der zweiten Antriebseinrichtung ist bevorzugt, daß die mechanische Kopplung zwischen dem beweglichen Teil des zweiten Kreuztisches und dem Schwenkarm einen dritten Kreuztisch aufweist, dessen bewegli eher Teil den Schwenkarm trägt und von dem beweglichen Teil des zweiten Kreuztisches mitgenommen wird.

Durch diese Ausgestaltung ist es in vorteilhafter Weise möglich, den in der zweiten Antriebseinrichtung vorgesehenen Schwenkarm genauso klein zu halten wie den in der ersten Antriebseinrichtung vorgesehenen Schwenkarm Ohne die Zwischenschaltung des dritten Kreuztisches müßte nämlich der der zweiten Antriebseinrichtung vorgesehene Schwenkarm aus baulichen Gründen, die noch im Zusammenhang mit der Leiterrahmen Justiereinrichtung beschrieben werden, größer

ausgeführt werden als der in der erster' Antnebsemrichtung vorgesehene Schwenkarm Ein grolSerer Schwenkarm könnte sich jedoch wieder aul die Ar beitsgeschwindigkeit der Maschine auswirken.

Um die programmgesteuerte Bewegung in einer horizontalen Ebene ausführen zu können, ist der Arbe.tskopf vorzugsweise an einer an einem, hprizonialen Kreuztisch montieitcn Trägerplatte angeordnet die flic Fühiungcn bzw. Kegeibohrungen eninat. Um den Arbeitskopf auf den Kristall bzw. den Leiterrahmen ab- ,0 senken und von diesen wieder abheben zu können, ist vorzugsweise zwischen der Trägerplatte und dem Arbeitskopf eine vertikale Führung, vorzugsweise eine Längsführung mit Kugellagerung, vorgesehen. Zur Verschwenkung der Schwenkarme und zur Aus

führung der aufwärts- und abwärtsgehenden Arbe.tsbewegung des Arbeitskopfes ,st in der bevorzugten Ausführungsform der erfindungsgemäßen Maschine eine Nockensteuerung vorgesehen. lenkbar

Die Nockensteuerung kann zwei erste, schwenkbar gelagerte Doppelarmhebel aufweisen, deren einen En den mit je einer von einem Motor angetriebenen Nokkenscheibe zusammenwirken, während die anderen En den der Doppelarmhebel die Arbe.tsbewegung von je einem der Schwenkarme steuern. Vorzugsweise we z₅

den die Schwenkarme durch ^^PP⁰'⁸^ aus solch einer Richtung bewegt, daß die Fuhrungsteile aus den Führungen herausgehoben werden, wah,end die Schwenkarme in die entgegengesetzte Bewegungsnch tune bei der die Führungsteile in Eingriff mit den huh run^ggen gebracht werden, durch Federn vorgespannt sind Die Schwenkarme sind, w.e bereits erwähnt der ersten bzw. der zweiten Antriebse.nnchtung zugeord net Sie werden durch die Doppelarmhebel abwecn send η der Weise betätigt, daß die Kopplung zwischen de ieweUigen Antriebseinrichtung und dem Arbe.tskopf heSlt brw aufgehoben wird. Be. dieser ab^ wi S Ankopplung der Antnebseinnchtungen

^ ₈

Teil des Arbeitskopfes, mit dem dieser Doppelarmhe_zusammenwirk,. eine Stellschraube vorgesehen. _{dem Ende des Doppe}i_armhebels zum N.eder- *. . ^ _Arbeitskopres ist vorzugswe.se eine Feder vorgesehen die bei der Herstellung einer Verbindung £ _{dem Drahl und dem} Leiterrahmen zusätzlich ζ „ _{ic)n des Arbe}itskopfcs wirksam ist.

zu _M*_{rste|lung einer} Verbindung zwischen dem

^ ^^ .^ _{dcmgegenüber im} wesentli-

Eigengewicht des Arbeilskopfes wirksam, ehe nur B^ _{hal daher den} vorteil, daß ent-

U.e^ _{verschiedencn} mechanischen Belastbarsp _UUcrrahmens und des Kristalls die Verbinkei ^ _unterschiedlicher Kraft, d.h. mit einer ge- » _{t feei dem Krista|1} hergestellt werden

bevorzugten Ausführungsform der erf.n_{aßen Maschine} weist die Kristall-lust.ereinuü..^ ^ _Einste„_{ung des} ßezugs-Nullpunktes des programmierten Bewegungsablaufs der ersten An- ^ _{auf einen de}fi_niertcn Bezugspunkt

mto _{fünf(en Kreuztlsch auf}, dessen be-

da. K ^^ _einen ^ , „and ver-

_{und fcstl ausgebildet} ,st und die Schritl·

^ ^^ _{Antriebseinnchtung lra}gt j nach ^_{n VerseUung des} Kristalls wird daher an den, Schrittmotoren der ersten Antnebse.nnchtung _echende Vorgabe eingestellt. Der Kristall _{diesem )ustiervorgang} nicht bewegt _{Festlegen des beweglche}n Teiles de ,un fen _{def Einste}|]_Ung der Kristall-Just.er-K^zJ ^ _{yorzugsweise e}, Ha.temagne, vorgese- ^ _{cjnem an dem mechanische}n Verb.ndungs- ^_n ^ _{fjjnf(en Kreuzllsch und dem} Manipu- ι, · _Brernsteil zusammenwirkt.

**™™%J_{r weiteren} vorteilhaften Ausgestaltung der Nach ^ _{dje Leilerrahmen}._lusUereinrlchtung

E, ['« _{der winkellage} des Kr.stalles derart,

zu. E ^^^,, _{des Kris},_{alles mlt} den,Bezugs-

S CnTr^rb^eeits_Pu kt uf dem Kristall anzufahren.

Vozu^we e sL mischen den Doppetarmhebeln und den Schwenkarmen Stellschrauben vorgesehen^

SSSSHÖ

S^Änd zugehörige Sch) ««r _{winke]betrage mil dem Drehtisc}h mitdreh. _{Be(atigung der} Kristall-!ustiereinnchtung und

Kristall- bzw. Leiterrahmentyp ab Durch schrauben wird dieser Tatsache .n vorierihafter

_{e]nem Man u ator} durch e,„ Gestäng ^^ Hebelpla.te befest.gt. d,e ihre e.ts m.t ^

wie der Leiterrahmen auf dem Drehtisch mitgedreht wird.

Zum Festlegen der Leiterrahmen-Justiereinrichtung nach dem entsprechenden Justiervorgang ist vorzugsweise ein Haltemagnet vorgesehen, der mit einem an dem mechanischen Verbindungszug zwischen dem zweiten Kreuztisch und dem Manipulator befestigten Bremsteil zusammenwirkt.

Das Gestänge zwischen Manipulator und Hebelplatte weist vorzugsweise einen Hebel an dem Manipulator und eine an diesem und an der Hebelplatte drehbar angelenkten Stange auf. während das Gestänge zwischen der Hebelplatte und dem an der Drehsäule befestigten Hebel eine an ihren beiden Enden drehbar angelenkte Stange aufweist.

Der Manipulator für die Kristall Justiereinrichtung und der Manipulator für die Leiterrahmen-Justierein richtung ist vorzugsweise zu einem einzigen Manipulator zusammengefaßt. Dieser Manipulator kann eine an dem dem Griff entgegengesetzten Ende dreh- und schwenkbar gelagerte Stange aufweisen, wobei zwischen den Enden der Stange der Hebel für die Verbindung zur Hi-belplatte drehfesi montiert und das eine Ende einer Fuhrungsstange dreh- und schwenkbar ge lagert ist, die drehfest über eine Führungsäule mit dem beweglichen Teil des fünften Kreuznsches verbunden ist. Es ist so in einfacher Weise möglich, die Kristall-Justiereinrichtung und die Leiierrahmen-Justiereinrichtung von einem Manipulator aus zu bedienen.

Vorzugsweise weist die Programmsteuerung ein Kodiersteckfeld auf, das die Information über die Schrittzahl und Drehrichtung jedes der Schrittmotoren enthält und durch Impulse abgefragt wird, die von einer Programmwelle ausgelöst werden. Das Kodiersteckfeld kann eine an sich bekannte, aus kodierbaren Schaltkörpern zusammengesetzte Verdrahtungsmatrix aufweisen, in der durch Einsetzen von Programmsteckern ein festes Programm einstellbar ist. Solche Kodiersteckfelder eignen sich besonders für numerische Steuerungen, weil sie einfach zu handhaben, robust aufgebaut und leicht umprogrammierbar sind. Bei Änderung des Programms, beispielsweise bei Verlegung eines Arbeitspunktes auf dem Kristall, ist es lediglich erforderlich, die Schaltkörper für die Schrittzahlen deⁿ Schrittmotoren auszutauschen, mit denen der neue \rbeitspunkt sowie der dem neuen Arbeitspunkt in d.,n Programm folgende Arbeitspunkt angefahren werden.

Die Programmstecker eines festen Programmes können in an sich bekannter Weise auf einer Speicherfolie enthalten sein, wobei das Programm als ganzes abnehmbar und austauschbar ist. Mit solchen durch die Programmstecker programmierten Speicherfolien kann ein Vorrat von Festwertprogrammen zusammengestellt werden, wobei jedes Programm einem bestimmten Typ von Halbleiterelement entspricht. Durch einfaches Austauschen der Speicherfolien wird die Maschine auf einen anderen Halbleiterelementtyp umprogrammiert. Dieses Programmiersystem ist ersichtlich wesentlich besser zu handhaben und variabler als die Programine^;nnchtung bei der oben erwähnten, bekannten Maschine (DT-OS 21 14 696).

Vorzugsweise trägt die Programmwelle Schaltstük-Ice, die bei Drehung der Programmwelle mit Näherungsschaltern zusammenwirken, deren Signale in tinem elektronischen Impulsgeber in Impulse, die dte Weiterschaltung beim Abfragen des Kodierstückfeldes auslösen, umgesetzt werden und im übrigen zur Steuerung weiterer elektrischer Einrichtungen der Maschine verwendbar sind. Vorzugsweise wird die Programm welle von dem Schrittmotor angetrieben, der auch zurr Antrieb der Nockensteuerung dient. Damit ist eine ge naue Synchronisierung zwischen dem Programm d?.· numerischen Steuerung, der Steuerung weiterer elek trischer Einrichtungen der Maschine, z. B. der Haltemagnete in den Justiercinrichtungen, und der Nockensteuerung für die Ankopplung der Antriebseinrichtungen an den Arbeitskopf sowie die Bewegung des Arbeitskopfes sichergestellt.

Ein Ausführungsbeispiel der Erfindung wird nun an Hand der Zeichnungen beschrieben. Es zeigt

F i g. 1 eine ^um Teil schematische Seitenansicht der :rfindungsgemäßen Maschine, wobei zur Vereinfachung einige Teile weggelassen sind,

F i g. 2 eine teilweise schematische Frontansicht der erfindungsgemäßen Maschine in teilweise demontiertem Zustand,

F1 g. 3 eine Draufsicht auf die erfindungsgemäße

<₀ Maschine,

F i g. 4 eine Draufsicht auf die wesentlichen Teile der Kristall-Justiereinrichtung und der Leiterrahmen-Justiereinrichtung,

F i g. 5a und 5b Blockschaltbilder der numerischen Steuerung der erfindungsgemäßen Maschine, wobei die Figuren an den Punkten A. B, C und D aneinander anschließen,

Fig. 6 eine perspektivische Darstellung eines Teils des Kodiersteckfeldes, das in der numerischen Steuerung verwendet wird, und

F i g. 7 einen Abschnitt einer Speicherfolie mit den Schaltkörpern zur Steuerung von Schrittzah! und Bewegungsrichtung der Schrittmotoren in der erfindungsgemäßen Maschine.

Nach Fig. 1 weist die erfindungsgemäße Maschine eine Grundplatte C und eine Montageplatte M auf. die auf Säulen 5 auf der Grundplatte G montiert ist. Auf der Montageplatte ist die erste Antriebseinrichtung bestehend aus den Schrittmotoren 2, 4 und den ersten Kreuztisch 6. 8 angeordnet. Die Schrittmotoren 2. 4 treiben den beweglichen Teil 8 des ersten Kreuztisches in aufeinander senkrecht stehenden Richtungen an. während der feste Teil 6 des Kreuztisches auf der Montageplatte befestigt ist. Die Schrittmotoren 2. 4 sind an senkrechten Platten 10. 12 respektive aufgehängt, die mit dem beweglichen Teil 14 eines Kreuztisches befestigt sind, dessen fester Teil 16 an der Unterseite der Montageplatte montiert ist. Die Platten 10. 12 greifen durch Öffnungen 18. 20 bzw. durch die Montageplatte

so hindurch. Die Betätigung des Kreuztisches 14, 16 wird noch im Zusammenhang mit der Kristall-Justiereinrichtung beschrieben.

Xn dem beweglichen Teil 14 ist ferner eine Platte 22 befestigt, die durch eine Aussparung 24 in der Monta-

geplatte M nach oben ragt und an einem horizontalen Träger 26 eine Spule 28 für den Golddraht und eine Bildpunktprojektoreinrichtung trägt, von der nur der Projektorkopf 30 dargestellt ist. während die Lichtquelle zur Vereinfachung weggelassen wurde. Der Projek-

torkopf 30 wird somit bei einer Bewegung des beweglichen Teiles 14 des Kreuztisches 14.16 mitgenommen.

Auf den beweglichen Teil 8 des Kreuztisches 6. 8 ist ein um eine horizontale Achse schwenkbarer Schwenkarm 40 angeordnet. Zwischen dem Schwenkanr 40 und

dem beweglichen Teil 8 ist eine Feder 42 vorgesehen, die das äußere Ende (rechts in Fig. 1) nach unten druckt. An dem äußeren Ende des Schwenkarmes 40 ist ein nach unten spitz zulaufender Führungskegel 42 be-

festigt, der in eine entsprechende Kegelbohrung 44 eingreift, die in einer Platte 46 liegt, welche den beweglichen Teil eines Kreuztisches 46, 48 aufweist. Der feste Teil des Kreuztisches 48 ist mit der Montageplatte verbunden. Der Führungskegel 42 und die Kegelbohrung 44 bilden eine Führungs- und Ankopplungseinrichtung zwischen dem beweglichen Teil 8 des Kreuztisches 6, 8 und einem Arbeitskopf 48, der an der Platte 46 befe- »tigt ist.

Die Montageplatte M trägt ferner die zweite Antriebseinrichtung bestehend aus den Schrittmotoren 52, 54 (F i g. 3) und einem Kreuztisch 56, 58 (F i g. 2 und 3). Der bewegliche Teil 56 des Kreuztisches 56, 58 wird von den Schrittmotoren 52, 54 in aufeinander senkrecht stehenden Richtungen angetrieben. Der feste Teil 58 des Kreuztisches 56, 58 ist auf einer Platte 60 montiert, die in der Montageplatte M durch ein Kugellager 62 drehbar gelagert ist.'Die Platte 60 trägt über senkrechte Platten 64. 66 die Schiutmotoren 52 bzw. 54. Somit ist die gesamte zweite Antriebseinrichtung in dem Kugellager 62 drehbar gelagert.

Die Ankopplung der Bewegung des Kreuztisches 5b, 58 an den Arbeitskopf erfolgt über einen weiteren Kreuztisch 68. der schematisch in F i g. 2 gezeigt ist. Der bewegliche Teil des Kreuztisches 68 ist über ein Verbindungsstück 70 mit dem beweglichen Teil 56 des Kreuztisches 56,58 verbunden, wobei das Verbindungsstück 70 starr an dem beweglichen Teil des Kreuztisches 68 und über einen mittigen Drehzapfen 72 mit dem beweglichen Teil 56 verbunden ist.

Der Kreuztisch 68 trägt einen zweiten Schwenkarm 80 (F i g. 3), der wie der Schwenkarm 40 ausgebildet ist und durch eine Feder (nicht gezeigt) derart vorgespannt wird, daß sein vorderes Ende (unteres Ende in F i g. 3) in eine Lage gc^i-kt wird. daP -1er an dem Schwenkarm 80 befestigte rührungskege. in eine entsprechende Kegelbohrung in der Platte 46 gedruckt wird. Da die Anordnung des Führiingskegels an dem Schwenkarm 80 und der zugehörig·:» K egelbohrung η der Platte 46 der Anordnung bei dem Hebel 40 entspricht, wurde diese Führung nicht gezeigt. Der Arbeitskopf 48 weist eine senkrechte Rahmenplatte 90 auf, die über eine Längsführung mit Kugellagerung an einer zu ihr parallelen Platte 92 geführt ist, die ihrerseits mit der Trägerplatte 46 verbunden ist. An der Rahmenplatte 90 ist eine Drahtführung 94 mit Kapillare 96 sowie eine durch einen Haltemagneten betätigbare Klemmvorrichtung 98 für den Gold- oder Aluminiumfaden angeordnet. Ferner hat der Arbeitskopf einen schwenkbaren Brenner (nicht gezeigt) mit einer Wasserstoffflamme, um den Draht nach Herstellung einer Verbindung zwischen einem Arbeitspunkt aut dem Kristall und dem Leiterrahmen abzuflammen. Der Golddraht ist von der Spule 28 über ein Führungsrad 100 und eine Wippe 102 zu der Klemmvorrichtung geführt Der hier beschriebene Arbeitskopf 48 befestigt den Goldfaden an den Anschlußstellen auf dem Kristall und dem Leiterrahmen durch Verschweißen mit Thermokompression. Es ist jedoch zu beachten, daß auch andere Arbeitsköpfe vorgesehen sein können, beispielsweise ein Arbeitskopf bei dem das Befestigen des Fadens durch Ultraschall erfolgt.

Die Verschwenkung der Schwenkarme 40.80 und die Ausführung der aufwärts- und abwärtsgehenden Ar beitsbewegung des Arbeitskopfes 48 erfolgt durch eine Nockensteuerung. Die Nockensteuerung weist zwei erste schwenkbar gelagerte Doppelarmhebel 110.112 auf. deren einen Enden mit je einer von einem Motor angetriebenen Nockenscheibe 116, 118 bzw. zusammenwirken, während die anderen Enden der Doppelarmhebel die Arbeitsbewegung von je einem der Schwenkarme 40, 80 steuern. In F i g. 2 ist der eine Doppelarmhebel 110 in Draufsicht gezeigt. Er greift mit einer Rolle 120 an der Nockenscheibe 116 an. In Fig ι ist ebenfalls der Doppelarmhebel 110 gezeigt, wobei dargestellt ist, wie ein seitlicher Ansät/ 122 an dem oberen Ende des Doppelarmhebels 110 an einer Stellschraube 124 angreift, die in den Schwenkarm 40 eingeschraubt ist. Der Doppelarmhebel 112 ist entsprechend aufgebaut und greift mit einer Rolle (nicht gezeigt) an der Nockenscheibe 118 (F i g. 1) an, während sein anderes Ende 126 (Fig. 3) ebenfalls über eine Stellschraube an dem Schwenkarm 80 angreift. Wie bereits erwähnt wurde, werden die Schwenkarme 40, 80 durch eine Feder in der Weise vorgespannt, daß die Führungsteile an den Schwenkarmen in Eingriff mit den Führungen auf der Trägerplatte 46 gebracht werden. Die Doppelarmhebel 110, 112 greifen zeitlich abwechselnd an den Schwenkarmen 40 bzw. 80 derart an, daß die Führungsteile aus den Führungen herausgehoben werden. Daher ist abwechselnd entweder die erste Antriebseinrichtung (Kristall) oder die zweite Antriebseinrichtung (Leiterrahmen) mit dem Arbeitskopf 48 gekoppelt.

Die Nockensteuerung weist zwei weitere, schwenkbar gelagerte Doppelarmhebel (130, 132 (F i g. 3) auf. deren einen Enden mit je einer von dem Motor 114 angetriebenen Nockenscheibe 134 bzw. 136 zusammenwirken, während die anderen Enden der Doppelarmhebel 130, 132 die aufwärts- bzw. die abwärtsgehende Bewegung des Arbeitskopfes 48 steuern. Die Doppelarmhebel 110 und 130 sowie 112 und 132 sind auf Drehzapfen 150, 152 gelagert, die durch Halterungen 154 bzw. 156 an der Montageplatte M befestigt sind. Zwischen dem Ende des Doppelarmhebels 130 zum Anheben des Arbeitskopfes 48 und einem Anschlag 138 an dem Arbeilskopf 48 ist eine Stellschraube (nicht gezeigt) vorgesehen, mit deren Hilfe die maximale Anhebung des Arbeitskopfes eingestellt werden kann. Zwischen dem Ende des Doppelarmhebels 132 zum Niederdrücken des Arbeitskopfes 48 und einem Anschlag 140 des Arbeitskopfes, mit dem dieser Doppelarmhebel 132 zusammenwirkt, ist eine Feder 142 (Fig. 1) eingesetzt, die bei der Herstellung einer Verbindung zwischen dem Draht und dem Leiterrahmen zusätzlich zu dem Eigengewicht des Arbeitskopfes 48 wirksam wird.

Es ist erwünscht, daß die Befestigung des Drahtes an dem Kristall durch Thermokompression mit einer geringeren Kraft erfolgt als die Befestigung des Drahtes an dem Leiterrahmen. Die Kraft bei dem Anbringer des Drahtes auf dem Leiterrahmen wird durch das Gewicht des Arbeitskopfes 48 plus der Kraft der Fedei 142 bestimmt. Die Kraft, mit der die Verbindung zwischen Draht und dem Kristall hergestellt wird, kanr durch Einstellung des Abstandes zwischen dem End« des Hebels 132 und dem Anschlag 140 am tiefster Punkt der Arbeitsbewegung des Doppelarmhebels 13: eingestellt werden. Wenn dieser Abstand so gewähl ist, daß die Feder praktisch keine nach unten gerichtet« Kraft ausübt, ist nur das Gewicht des Arbeitskopfes wirksam. Wenn dieser Abstand größer ist. so daß dii Feder eine nach oben gerichtete Kraft ausübt, ist di< resultierende Kraft geringer als die durch das Gewich des Arbeitskopfes 48 erzeugte Kraft. Auf diese Weisi kann der Arbeitsdruck beim Herstellen der Verbindunj zwischen Draht und Kristall durch eine entsprechend*

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Formgebung der Nockenscheibe 136 auf einen geeigneten Wert eingestellt werden.

Die Kristall-Justiereinrichtung zur Einstellung des Bezugs-Nullpunktes des programmgesteuerten Bewegungsablaufes der ersten Antriebseinrichtung (Schrittmotoren 2, 4 und Kreuztisch 6, 8) auf einen definierten Bezugspunkt des Kristalls weist, wie bereits erwähnt, üen Kreuztisch 14, 16 auf. Der bewegliche Teil 14 des Kreuztisches ist mit einer Führungsäule 160 verbunden, die durch eine Bohrung 162 mit entsprechendem Spiel durch die Grundplatte G hindurchgeführt ist. Am unteren Ende der Führungssäule ist drehfest eine Führungsstange 164 befestigt, die über ein Kugelgelenk 166 dreh- und schwenkbar mit der Stange 168 eines Manipulators 170 verbunden ist. Die Stange 168 des Manipulators ist an dem dem Griff entgegengesetzten Ende in einem Kugelgelenk 172 dreh- und schwenkbar gelegen. Durch Verkippen des Manipulators 170 kann daher die Führungssäule 160 parallel zu ihrer Längsachse verschoben werden, bis der Bezugspunkt auf dem Kristall mit dem Bezugs-Nullpunkt der programmierten Bewegung der ersten Antriebseinrichtung zusammenfällt. Die lustierbewegung kann mit dem von dem Projektor 30 erzeugten Lichtpunkt auf dem Kristall verfolgt werden. Der Lichtpunkt trifft an der Stelle auf den Kristall auf die der Nullage der Kapillare 96 des Arbeitskopfes entspricht. Damit der Arbeitskopf 48 die Projektion des Lichtpunktes nicht behindert, wird während der Betätigung der Kristall-Justiereinrichtung der Arbeitskopf 48 mit Hilfe des Schrittmotors 4 aus dem Strahlengang des Lichtpunktes nach links (Blickrichtung wie in Fig. 1) zurückgezogen. Nach beendeter Justierung wird der Arbeitskopf 48 wieder in seine Ruhelage zurückbewegt.

Zum Festlegen der Kristall-justiereinrichtung bzw. des beweglichen Teiles 14 des Kreuztisches 14, 16 nach Beendigung der Justierung ist ein Haltemagnet 180 vorgesehen, der mit einem an der Führungssäule 160 befestigten Bremsteil 182, beispielsweise einem Metallstreifen, zusammenwirkt.

Zur Einstellung der Winkellage des Kristalls derart, daß die Bezugsachsen des Kristalls mit den Bewegungsrichtungen der Schrittmotoren 2, 4 zusammenfallen, und zur Einstellung der Drehlage der zweiten Antriebseinrichtung (Schrittmotoren 52, 54 und Kreuzlisch 56, 58) auf die bei Verdrehung des Kristalls ebenfalls verdrehte Winkellage des Leiterrahmens ist ein Drehtisch 200, der die Halterung für den mit dem Kristall versehenen Leiterrahmen trägt und in einem Kugellager 202 drehbar gelagert ist, und ein mechanisches Verbindungsgestänge zwischen dem Manipulator 170. dem Drehtisch 200 und der zweiten Antriebseinrichtung vorgesehen, das die zweite Antriebseinrichtung um gleiche Winkelbeträge mit dem Drehtisch 200 mitdreht. Dieses Gestänge weist einen an dem Manipulator drehfest befestigten Hebel 210 auf, der über eine in Kugelgelenken 212 und 214 gelagerte Stange 218 mit einer Hebelplatte 216 verbunden ist. Die Hebelplatte 216 ist fest mit der Drehachse 220 des Drehtisches 200 verbunden. Mit diesem Teil des Gestänges kann daher der Drehtisch solange gedreht werden, bis der Kristall winkelgerecht zu der ersten Antriebseinrichtung steht. Das Gestänge weist ferner eine an der Hcbclplattc 216 und an einem Hebel 222 durch Kugelgelenke 224 bzw. 226 befestigte Stange 228 auf. Der Hebel 222 ist seiner- 6s seits drehfest mit einer Drehsäule 230 verbunden, die an ihrem unteren Ende (F i g. 2) in einem Kugelgelenk 232 gelagert und an ihrem oberen Ende mit der Platte 60 verbunden ist. Damit die zweite Antriebseinrichtung um gleiche Winkelbeträge wie der Drehtisch 200 mitgedreht wird, sind die wirksamen Längen der Hebelarme an der Hebelplatte 216 und des Hebels 222 gleich groß. Zum Festlegen der Drehsäule 230 (d. h. zum Arretieren der Leiterrahmen-Justiereinrichtung) ist ein Haltemagnet 240 vorgesehen, der mit einem an der Drehsäule 230 befestigten Bremsteil 242 (beispielsweise einem Blechstreifen) zusammenwirkt. Auf dem Drehtisch 200 wird die Halterung (nicht gezeigt) aufgesetzt, die den Leiterrahmen mit dem Kristall trägt. Der Arbeitsbereich der Maschine auf dem Kristall und dem Leiterrahmen kann mit einem Stereomikroskop, von dem in F i g. 3 lediglich der Aufstecksockel 250 gezeigt ist, in an sich bekannter Weise beobachtet werden.

Die numerische Programmsteuerung enthält als Kernstück ein Kodiersteckfeld 300 (F i g. 5a und 6), das die Information über die Schrittzahl und Drehrichtung jedes der Schrittmotoren 2, 4 und 52, 54 (F i g. 3) enthält und durch Impulse abgefragt wird, die von einer Programmwelle 301 ausgelöst werden. Die Programmwelle 302 ist in Fig. 5b schemalisch und in F i g. 1 in Seitenansicht dargestellt. Die Programmwelle 302 weist Schaltstücke 304 (Fig. I) auf, die bei Drehung der Programtnwelle mit Näherungsschaltern NS\ bis /VS5 (F 1 g. 1 und 5b) zusammenwirken, deren Signale in einem elektronischen Impulsgeber 306 in Impulse, die die Weiterschaltung beim Abfragen des Kodiersteckfeldes 300 auslösen, umgesetzt werden und im übrigen zur Steuerung weiterer elektronischer Einrichtungen der Maschine z. B. des Haltemagnetes 308 für die Gold faden-Klemmeinrichtung, des Drehmagnetes 310 für die Bewegung der Wasserstoffflamme, verwendbar sind. Wie aus F i g. 1 zu ersehen ist, sitzt die Programmwelle 302 auf der Abtriebswelle des Schrittmotors 114, der auch zum Antrieb der Nockensteuerung 110. 112, 116,118,130.132,134,136 dient.

Im folgenden werden an Hand der F i g. 5a und 5b, die an den Stellen A, B, C und D zu einer einheitlichen Figur zusammenzusetzen sind, die Betriebsarten der erfindungsgemäßen Maschine erläutert. Bei der Betriebsart »Automatik« wird ein Betriebsartenwahlschalter 312 A-HlR in die Position 3124 gebracht. Durch Betätigung der Starttaste 314 ziehen die beiden Haltemagnete 180 und 240 zum Arretieren der Kristall- Justiereinrichtung b/w. der Leiterrahmen-Justiereinrichtung an und bleiben in diesem Zustand bis zum Loslassen der Starttaste 314. Durch Betätigen der Starttaste 314 wird ferner über die Logikschaltung Li 14 und die Ansteuereinheit /4114 der Schrittmotor 114 in Gang gesetzt und damit die Programmwelle 302 gedreht. Bei Drehung der Programmwelle 302 gibt der Näherungsschalter Λ/53 ein Signal an den elektronischen Impulsgeber 306 ab, der die spaltenweise Abfragung des Kodiersteckfeldes 300 steuert. Die Information des Kodiersteckfeldes 300 wird an die den Schrittmotoren 52, 54, 2, 4 zugeordneten Zähler Z52, 254, Zl und ZA respektive zugeführt. In der Betriebsart »Automatik« geben die Logikschaltungen L52, IM, L2 bzw. LA Sipnalc an die Ansteuereinheiten -452. /154, A2 bzw. Λ der Schrittmotoren ab, die die in dem Kodiersteckfeld i00 gespeicherten Schrittzahlen und Drehrichtungen für die entsprechenden Motoren darstellen. Die zeitliche Abfolge der Verstellung der einzelnen Schrittmotoren ist mit der Nockensteuerung z. B. 110, 112 und 130, 132 so abgestimmt, daß die Schrittmotoren 2. 4 für die erste Antriebseinrichtung (Kristall) betätigt werden, während eine Verbindung zwischen Draht und Leiterrah-

nen hergestellt wird und umgekehrt. Nach Ablauf ;iner in einem Dekadenschalter 316 einstellbaren Anzahl von Arbeitsspielen, die der Gesamtzahl der auf iem Kristall und dem Leiterrahmen herzustellenden «vnschlüsse entspricht, erfolgt ein automatischer Rücklauf der Schrittmotoren 2, 4, 52, 54 in eine durch Endschalter definierte Ausgangsstellung. Die Haltemagnete 180, 240 werden über zugehörige Ansteuereinheiten Λ180 und A2A0 gelöst und der Antrieb der Programm-Ober einen Dekaaenschalter 318 das gewünschte Arbeitsspiel aus der für die Herstellung des Halbleiterelementes erforderlichen Serie der Arbeitsspiele ausgewählt, worauf die Schrittmotoren 2,4,52,54 bis zu dem vorgewählten Arbeitsspiel ohne Lauf der Programmwelle 302 durchlaufen. Dann wird die zu repetierende Verbindung durch Betätigung der »REP«-Taste 320 in Verbindung mit de·· Einstellung der Position 312Λ an den Betriebsartenwahlschalter 312 ausgeführt. Nach

welle 302 unterbrochen. Außer der Abstimmung der i₀ Beendigung des Arbeitsspiels wird die Maschine selbst-

Arbeitsbewegungen der Schrittmotoren auf die Nok- tätig stillgesetzt. Durch Betätigung der »Indenx«-Taste

kensteuerung werden auch die übrigen Funktionen in 322 werden die Schrittmotoren in ihre Ausgangsstel-

einem Arbeitsspiel der Maschine durch die Programm- lung zurückgebracht.

welle 302 gesteuert. Eine Umdrehung der Programm- Schließlich ist noch eine Betriebsart »Einrichtung«

welle 302 entspricht einem Arbeitsspiel, das die folgen- i₅ möglich, bei der Abweichungen zwischen dem errech-

den Arbeitsschritte einschließt: neten Programm in dem Kodiersteckfeld und den tat-

A) Über den Näherungsschalter NSi wird der Dreh- sächlichen Arbeitspunkten auf dem Kristall bzw. dem magnet 310 für das Verschwenken des Halters mit Leiterrahmen experimentell bestimmt und ausgeglider Wasserstofflamme geschaltet, der den Gold- chen werden können. Die Betriebsart »Einrichtung« draht nach Fertigstellung eines Anschlußpaares 20 wird durch Umschalten des Betriebsartenwahlschalters am Kristall und am Leiterrahmen abflammt. 312 in die Position 312/ eingestellt. Die Haltemagnete

B) Über den Näherungsschalter Λ/52 wird der Halte- 180 und 240 sind in dieser Betriebsart nicht angezogen.

magnet 308 in der Goldfaden-Klemmeinrichtung geschaltet, so daß der Faden während des Abreikönnen jedoch durch den »Magnet«-Taster 324 arretiert werden. Nach Umschaltung in die Betriebsart

Bens bzw. Abflammens nicht aus der Kapillare 96 25 »Einrichten« läßt sich jeder der vier Schrittmotoren 2,

herausgezogen wird.
Der Näherungsschalter Λ/53 gibt, wie bereits erwähnt, den Anlaufbefehl für die Schrittmotoren 2, 4,52, M.

4, 52, 54 für die Kreuztische einzeln vorwärts- und rückwärts im Schleichgang über einen entsprechenden Taster oder Zwei-Koordinaten-Knebelschalter steuern. Die beim »Einrichten« erforderliche Schrittzahl und

D) Der Näherungsschalter NSA gibt den Haltebefehl 30 Bewegungsrichtung der Schrittmotoren kann dann zur

für die Programmwelle über die Logikschaltung Ll 14. Der Näherungsschalter NSA kann auch dazu verwendet werden, die Beendigung des Arbeitsspiels an dem Dekadenschalter 316 zu melden. E) Der Näherungsschalter Λ/55 gibt in der Betriebsart »Halblautomatik«, die noch beschrieb η wird, nach der Herstellung einer Verbindung zwischen Draht und Leiterrahmen den Haltemagnet 180 für die Kristall-Justiereinrichtung frei. Die Näherungsschalter sind mit einem Rückmelder 318 an die Programmwelle 302 verbunden, der eine Anzeigeeinrichtung aufweisen kann, um das jeweils laufende Arbeitsspiel anzuzeigen.
In der Betriebsart »Halbautomatik« wird der BeKorrektur des Programms ausgewertet werden.

F i g. 6 zeigt einen Teil einer Einrichtung, die bei der erfindungsgemäßen Maschine als Kodiersteckfeld verwendet wird. Das Kodiersteckfeld 300 besteht demnach aus einer Schaltungsplatte 350, auf die kodierbare Schaltkörper 352 aufgesteckt sind. Die Schaltkörper 352 werden durch Einsetzen von Programmsteckern 354 programmiert. In F i g. 6 sind beispielsweise in der ersten Spalte die Ziffern »9« und »2« und in der zweiten Spalte die Ziffern »4« und »5« programmiert. Durch Austauschen der Pro|;rammstecker 354 gegen andere Programmstecker können die Schaltkörper beliebig umprogrammiert werden. Die Schaltkörper 352 stehen über Leiterbahnen (nicht gezeigt) mit Lotfahnen

triebsartenwahlschalter in die Stellung 312H gebracht. 45 256 in Verbindung, die als Eingänge oder Ausgänge der Bei Betätigung der Starttaste 312 ziehen die beiden Verdrahtungsmatrix dienen. Solche Kodiersteckfelder

sind an sich bekannt und werden beispielsweise von der

Haltemagnete 180 und 240 an. Nach Beendigung der Herstellung einer Verbindung zwischen dem Draht und dem Leiterrahmen wird der Haltemagnet 180 für die Kristall-Iustiereinrichtung über den Näherungsschalter NSS gelöst. Die Programmwelle hält auch nach jedem vollendeten Arbeitsspiel an. Die Einstellung des Kreuztisches der ersten Antriebseinrichtung, die für die Arbeitspunkte auf dem Kristall zuständig ist, erfolgt dann manuell. Wie aus dem Blockschaltbild von F i g 5a ersichtlich ist, werden die Logikschaltungen L2 und LA nicht in Gang gesetzt, weil sie an ihrem dritten Eingang keine Signale über den Betriebsartenwahlschalter 312 erhalten wie bei der Betriebsart »Automatik«.

Firma Ghielmetti AG unter der Bezeichnung »Data-Modul-System« vertrieben.

Wie ebenfalls bekannt ist, können die Programmstekker 354 in einem festen Programm auf einer Speicherfolie 260 aufgesteckt sein, wobei das Programm als Ganzes abnehmbar und austauschbar ist. In F i g. 7 isl ein Teil solch einer Speicherfolie 360 gezeigt, die in dre Spalten je drei Programmstecker für die Schrittzahler nach Zehnern und Einern und die Bewegungsrichtun gen der Schrittmotoren trägt. Die Zeilenlänge sole! eines Programmsteckerfeldes richtet sich im vorliegen den Fall nach der Zahl der erforderlichen Arbeitsspiele

Eine weitere Betriebsart ist das »Repetieren« eines 60 Da die Programmstecker 354 in entsprechende öffnun

Arbeitsspieles, d. h. die erneute Herstellung einer Drahtverbindung zwischen Kristall und Leiterrahmen. Diese Betriebsart wird durch Betätigen der Starttaste 314 eingeleitet. Wie bei der Betriebsart »Automatik« ziehen die Haltemagnete 180 und 240 für die Dauer des Niederdrückens der Starttaste 314 an. Sodann wird

gen, ζ. B. 362, eingesteckt sind, kann das Programm au einer Speicherfolie ebenfalls geändert werden uni steht dann aber als Ganzes zur Verfügung, um die er findungsgemäße Maschine von dem Arbeitsablauf eine Halbleiterelementes auf den Arbeitsablauf bei einei anderen Halbleiterelement umzustellen.

Hierzu 7 Blatt Zeichnungen 509 533/2

Claims (28)

Patentansprüche:

1. Maschine zum automatischen Befestigen von Verbindungsdrähten an den Anschlußstellen eines Halbleiterkristalls und des den Kristall tragenden Leiterrahmens, mit einem höhenverstellbaren Arbeitskopf, der eine Einrichtung zum Anbringen der Verbindungsdrähte an dem Kristall und an dem Leiterrahmen aufweist, mit einer ersteii, programmgesteuerten Antriebseinrichtung für das Verfahren des Arbeitskopfes zu den Arbeitspunkten auf dem Kristall, einer zweiten, programmgesteuerten Antriebseinrichtung für das Verfahren des Arbeitskopfes zu den Arbeitspunkten auf dem Leadframe und einer Kristall-Justiereinrichtung zur Einstellung der relativen Seitenlage zwischen der ersten Antriebseinrichtung und dem Kristall, dadurch gekennzeichnet, daß eine Leiterrahmen-Justiereinrichtung (/. B. 170, 216. 230, 62) zur Einstellung der relativen Winkellage zwischen der ersten Antriebseinrichtung (2, 4, 6, 8) und dem Kristall sowie zwischen der zweiten Antriebseinrichtung (52, 54, 56, 58) und dem Leiterrahmen vorgesehen ist, und daß die Programmsteuerung für die Antriebseinrichtungen numerische Steuerungen mit umprogrammierbaren Festwertspeichern (300) aufweisen.

2. Maschine nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die erste Antriebseinrichtung zwei Schrittmotoren (2. 4) aufweist, die nach dem zügehörigen Programm der numerischen Steuerung den beweglichen Teil (8) eines Kreuztisches (6,8) antreiben, wobei der bewegliche Teil (8) des Kreuztisches während der Arbeitsphasen, in denen Verbindungen zwischen Draht und Kristall hergestellt werden, mit dem Arbeitskopf (48) gekoppelt ist.

3. Maschine nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß zur Kopplung des beweglichen Teils (8) des Kreuztisches an den Arbeitskopf (48) an dem beweglichen Teil (8) ein Schwenkarm (40) mit einem Führungsteil (42) befestigt ist, der bei Verschwenkung des Schwenkarmes (40) in eine entsprechende Führung (44) an dem Arbeitskopf (48) eingreift.

4. Maschine nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß der Führungsteil ein Kegel (42) und die führung eine Kegelbohrung (44) ist.

5. Maschine nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die zweite Antriebseinrichtung zwei Schrittmotoren (52, 54) aufweist, die nach dem zugehörigen Programm der numerischen Steuerung den beweglichen Teil (56) eines zweiten Kreuztisches (56, 58) antreiben, wobei der bewegliche Teil (56) des zweiten Kreuztisches während der Arbeitsphasen in denen Verbindungen zwischen Draht und Leiterrahmen hergestellt werden, mit dem Arbeitskopf (48) gekoppelt ist.

6. Maschine nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß zur Kopplung des beweglichen Teils (56) des zweiten Kreuztisches (56, 58) an den Arbeitskopf (48) an den beweglichen Teil (56) ein Schwenkarm (80) mit einem Führungsteil mechanisch gekoppelt (68, 70) ist, der bei Verschwenkung des Schwenkarmes in eine entsprechende Führung an den Arbeitskopf (48) eingreift.

7. Maschine nach Anspruch 6, dadurch gekenn- *5 zeichnet, daß der Führungsteil ein Kegel und die Führung eine Kegelbohrung ist.

8. Maschine nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß die mechanische Kopplung zwischen dem beweglichen Teil (56) des zweiten Kreuztisches und dem Schwenkarm (80) einen dritten Kreuztisch (68) aufweist, dessen beweglicher Teil den Schwenkarm (80) trägt und von dem beweglichen Teil (56).des zweiten Kreuztisches starr (70) mitgenommen wird.

9. Maschine nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Arbeitskopf (48) an einer auf einem vierten, horizontalen Kreuztisch (46, 48) montierten Trägerplatte (46) angeordnet ist, die die Führungen (z. B. 44) bzw. Kegelbohrungen enthält.

10. Maschine nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen der Trägerplatte (46) und dem Arbeitskopf (48) eine vertikale Führung, vorzugsweise eine Längsführung mit Kugellagerung, vorgesehen ist.

11. Maschine nach Anspruch 3, 6 oder 10, dadurch gekennzeichnet, daß zur Verschwenkung der Schwenkarme (40, 80) und zur Ausführung der aufwärts- und abwärtsgehenden Arbeitsbewegung des Arbeitskopfes (48) eine Nockensteuerung vorgesehen ist.

12. Maschine nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß die Nockensteuerung zwei erste, schwenkbar gelagerte Doppelarmhebel (110. 112) aufweist, deren einen Enden mit je einer von einem Motor (114) angetriebene Nockenscheibe (116 bzw. 118) zusammenwirken, während die anderen Enden der Doppelarmhebel (UO. 112) die Arbeitsbewegung von je einem der Schwenkarme (40 bzw. 80) steuern.

13. Maschine nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß die Schwenkarme (40, 80) durch die Doppelarmhebel (110, 112) in solch einer Richtung bevegt werden, daß die Führungsteile (z. B. 42) aus den Führungen (z. B. 44) herausgehoben werden, und daß die Schwenkarme (40, 80) in die entgegengesetzte Bewegungsrichtung, bei der die Führungsteile in Eingriff mit den Führungen gebracht werden, durch Federn (z. B. 42) vorgespannt sind.

14. Maschine nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen den Doppelarmhebeln (110, 112) und den Schwenkarmen (40. 80) Stellschrauben (z. B. 124) zur Einstellung der Anhebung der Schwenkarme vorgesehen sind.

15. Maschine nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß die Nockensteuerung zwei zweite, schwenkbar gelagerte Doppelarmhebel (130, 132) aufweist, deren einen Enden mit je einer von dem Motor (114) angetriebenen Nockenscheibe (134, 136) zusammenwirken, während die anderen Enden der Doppelarmhebel (130, 132) die aufwärts- bzw. die abwärtsgehende Bewegung des Arbeilskopfes (48) steuern.

16. Maschine nach Anspruch 15, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen den Enden des Doppelarmhebels (130) zum Anheben des Arbeitskopfes (48) und einem Anschlag (138) des Arbeitskopfes (48), mit dem dieser Doppelarmhebel (130) zusammenwirkt, eine Stellschraube vorgesehen ist.

17. Maschine nach Anspruch 15, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen dem Ende des Doppelarmhebels (132) zum Niederdrücken des Arbeit ^.kopfes (48) und einem Anschlag (140) des Arbeitskopfcs (48), mit dem dieser Doppelarmhebel (132) zusammenwirkt, eine Feder (142) vorgesehen ist, die bei der Herstellung einer Verbindung zwischen Hern

Oraht und dem Leadframe zusätzlich zu dem Eigengewicht des Arbeitskopfes (48) wirksam ist.

18. Maschine nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Kristall-Justiereinrichtung; zur Einstellung des Bezugs-Nullpunktes des rrogrammgesteuerten Bewegungsablaufes der ersten Antriebseinrichtung (2, 4,6,8) auf einen definierten Rezugspunkt des Kristalls einen fünften Kreuztisch (14,16) aufweist, dessen beweglicher Teil (14) durch einen Manipulator (170) von Hand verschiebbar und festlegbar (180) ausgebildet ist und die Schrittmotoren (2,4) der ersten Antriebseinrichtung trägt.

19. Maschine nadi Anspruch 18. dadurch gekennzeichnet, daß zum Festlegen des beweglichen Teils (14) des fünften Kreuztisches (14,16) nach der Einstellung der Kristall-justiereinrichtung ein Haltemagnet (180) vorgesehen ist, der mit einem an dem· mechanischen Verbindungszug zwischen ^em fünften Kreuztisch (14, 16) und dem Manipulator (170) befestigten Bremsteil (182) zusammenwirkt.

20. Maschine nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Leiterrahmen-|ustiereinrichtung zur Einstellung der Winkellage des Kristalls derart, daß die Bezugsachsen des Kristalls mit den Bewegungsrichlungen der Schrittmotoren (2, 4) der ersten Antriebseinrichtung zusammenfallen, und zur Einstellung der zweiten Antriebseinrichtung (52, 54, 56) auf die bei Verdrehung des Kristalls ebenfalls verdrehte Winkellage des Leiterrahmens einen Drehtisch (200) für den mit dem Kristall versehenen Leiterrahmen und eine Einrichtung (216, 228. 222, 230) aufweist, die die als Ganzes drehbar gelagerte (62), zweite Antriebseinrichtung (52, 54, 56) um gleiche Winkelbeträge mit dem Drehtisch (200) mitdreht.

21. Maschine nach Anspruch 20, dadurch gekennzeichnet, daß zum Festlegen der Leiterrahmen· justiereinrichtung nach dem entsprechenden Justiervorgang ein Haltemagnet (240) vorgesehen ist, der mit einem an dem mechanischen Verbindungszug zwischen dem zweiten Kreuztisch (56, 58) und dem Manipulator (170) befestigten Bremsteil (242) zu immenwirkt.

22. Maschine nach Anspruch 20, dadur 1 gekennzeichnet, daß an dem Drehtisch (200) eine .nit einem Manipulator (1/0) durch ein Gestänge verbundene Hebelplatte (216) befestigt ist, die ihrerseits mit einem Gestänge mit einem Hebel (222) verbunden ist, der drehfest an einer drehbar gelagerten Drehsäule (230) befestigt ist, die die zweite Antriebseinrichtung (52, 54, 56,58) trägt, wobei die wirksamen Längen der Hebelarme an der Hebelplatte (216) und dem an der Drehsäule befestigten Hebel (222) gleich groß sind.

23. Maschine nach Anspruch 22, dadurch gekennzeichnet, daß das Gestänge zwischen Manipulator (170) und Hebelplatte (216) einen Hebel (210) an dem Manipulator und eine an diesem und an der Hebelplatte (216) drehbar angelenkte Stange (218) aufweist.

24. Maschine nach Anspruch 22, dadurch gekennzeichnet, daß das Gestänge zwischen der Hebelplatte (216) und dem an der Drehsäule (230) befestigten Hebel (222) eine an ihren beiden Enden drehbar angelenkte Stange (228) aufweist. ^(l5

25. Maschine nach Anspruch 18, 19 oder 23, dadurch gekennzeichnet, daß der Manipulator für die Kristall-lustiereinrichtung und der Manipulator für die Leiterrahmen-Justiereinrichtung zu einem einzigen Manipulator (170) zusammengefaßt sind.

26. Maschine nach Anspruch 25, dadurch gekennzeichnet, daß der Manipulator (170) eine an dem dem Griff entgegengesetzten Ende drehbar und schwenkbar gelagerte Stange (168) aufweist daß zwischen den Enden der Stange (168) der Hebel (210) für die Verbindung zur Hebelplat'e (216) drehlest montiert und das eine Ende einer Führungsstange (164) dreh- und schwenkbar gelagert ist, die drehfest über eine Führungssäule (160) mit dem beweglichen Teil (14) des fünften Kreuztisches (14.16) verbunden ist.

27 Maschine nach Anspruch 1. dadurch gekennzeichnet daß die Information der Festwertspeicher (Kodiersteckfeld [300]) durch Impulse abgefragt wird die von einer Programmwelle (302) ausgelöst werden und daß die Programmwelle (302) Schaltstücke (304) trägt, die bei Drehung der Programmwelle mit Näherungsschaltern (NSl, Λ/2 ... NS) zusammenwirken, deren Signale in einem elektronischen Impulsgeber (306) in Impulse, die die Weiterschaltung beim Abfragen des Kodiersteckfeldes (300) auslösen, umgesetzt werden und im übrigen zur Steuerung weiterer elektrischer Einrichtungen der Maschinen verwendbar sind.

28 Maschine nach Anspruch 27, dadurch gekennze.chnet. daß die Programmwelle (302) von dem Schrittmotor (114) angetrieben ist und auch zum Antrieb der Nockensteuerung dient.