DE2148088C2 - Bondvorrichtung zum Bonden von Drähten an Halbleiterbauelementen - Google Patents

Description

gekennzeichnet durch folgende Merkmale:

e) parallel zur ersten Welle (34) ist eine am Trägergestell (12, 14, 16, 20, 22) drehbar gelagerte zweite Welle (88) angeordnet, die durch eine Drehantriebsvorrichtung (98) angetrieben wird,

f) auf der zweiten Welle (88) sind mehrere Nokkenscheiben (100,102,104, 106), von denen je eine für eine der Operationsstellungen zuständig ist, im Abstand voneinander fest angebracht,

g) es ist für jede Nockenscheibe (100, 102, 104, 106) ein Hebelgestänge vorgesehen, das eine Steuerbewegung der jeweiligen Nockenscheibe (100,102,104,106) zur Erreichung der jeweiligen Operationsstellung auf die erste Welle (34) oder das Werkzeug (72) überträgt

h) in der Nähe einer bestimmten Nockenscheibe (106) ist ein Anschlag (180) mit einer Führungsfläche (178) angeordnet, längs der das zugeord- nete Hebelgestänge während der zur Erreichung der zugeordneten Operationsstellung nötigen Bewegung geführt wird,

i) das der bestimmten Nockenscheibe (106) zugeordnete Hebelgestänge enthält einen Kniehebei, dessen erster Arm (168) drehfest mit der ersten Welle (34) und dessen zweiter Arm (164) gelenkig mit dem ersten Arm (168) und mit einer ersten Stange (172) verbunden ist, die mit ihrem freien Ende an der bestimmten Nocken-Scheibe (106) und der Führungsfläche (178) des Anschlags (180) anliegt

2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die erste Stange (172) unter Vorspannung an der bestimmten Nockenscheibe (106) anliegt

3. Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Führungsfläche (178) des Anschlags (180) schräg zu der ersten Stange (172) geneigt ist, und daß der Anschlag (180) drehbar im Trägergestell (12,14,16,20,22) angeordnet und zur Einstellung des Neigungswinkels der Führungsfläche (178) in seiner Winkellage verstellbar ist.

4. Vorrichtung nach einem der vorstehenden An-Sprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Umfangsform der bestimmten Nockenscheibe (106) so ausgebildet ist, daß auf die erste Stange (172) eine sinusför

mige Bewegung ausübbar ist.

5. Vorrichtung nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die erste Stange (t72) an ihrem freien Ende zwei koaxial nebeneinander liegende Rollen (174,176) besitzt, von denen jeweils eine die bestimmte Nockenscheibe (106) und die andere die Führungsfläche (178) abtastet.

6. Vorrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Achse der Rollen (174, 176) der ersten Stange (172) außerhalb der Drehachse des Anschlags (180) liegt, wenn der Schlitten (24) eine durch die bestimmte Nockenscheibe (106) festgelegte Operationsstellung einnimmt.

Die Erfindung betrifft eine Bondvorrichtung nach dem Oberbegriff des Anspruchs 1.

Eine derartige Vorrichtung ist aus der US-PS 33 14 582 bekannt, bei welcher eine Nockenscheibe einen Schlitten in Abhängigkeit vom Drehwinkel der ersten Welle nacheinander in mehrere Operationsstellungen bringt Da alle Operationsstellungen !ediglich von einer Nockenscheibe festgelegt werden, lassen sich die Operationsstellungen des Schlittens nicht unabhängig voneinander justieren.

Aufgabe det Erfindung ist es demgegenüber, die Vorrichtung der eingangs genannten Art derart weiterzubilden, daß die verschiedenen Operationsstellungen des Schlittens einzeln einjustierbar sind und ohne Erschütterungen des Schlittens erreicht bzw. verlassen werden können.

Diese Aufgabe wird bei einer Vorrichtung nach dem Oberbegriff des Anspruchs 1 erfindungsgemäß durch die im kennzeichnenden Teil des Anspruchs 1 angegebenen Merkmale gelöst

Die Vorteile der Erfindung liegen insbesondere darin, daß je eine Operationsstellung des Schlittens von je einer Nockenscheibe festgelegt wird und dadurch einzeln einjustierbar ist und daß insbesondere das freie Ende der den Kniehebel betätigenden Stange in Anlage an ihrer Nockenscheibe und dem zugehörigen Anschlag verbleibt, während die erste Welle von einer anderen Nockenscheibe über eine andere Hebelverbindung gedreht wird. Dadurch werden Erschütterungen des Schlittens und des Werkzeugs vermieden, weil das betreffende Hebelgestänge mit seinem freien Ende nicht von der Führungsfläche seines Anschlages abhebt und später wieder dagegenschlägt.

Vorteilhafte Weiterbildungen der Erfindung sind durch die Merkmale der Unteransprüche gekennzeichnet.

Im folgenden wird ein Ausführungsbeispiel der Erfindung anhand der Zeichnung näher erläutert. Es zeigt

F i g. 1 eine Vorderansicht einer Bondvorrichtung;

F i g. 2 eine Draufsicht auf die Bondvorrichtung der Fig. 1;

F i g. 3 einen Querschnitt durch die Vorrichtung von F i g. 1 und 2 mit dem Werkzeug in einer ersten Operations-Stellung·,

F i g. 4 einen Teilschnitt durch die Vorrichtung von F i g. 1 und 2 mit zur besseren Übersicht teilweise abgebrochen gezeichneten Bauteilen;

F i g. 5 das gleiche Schnittbild wie in F i g. 4, jedoch in einer anderen Operations-Stellung;

F i g. 6 eine Teil-Seitenansicht von links auf die Vor-

richtung der F i g. 1 und 2;

Fig.7 und 8 schematische Funktionsdarstellungen von Einzelheiten der Vorrichtung, aus denen sich die Btrvegung des Werkzeuges aus einer Suchstellung in eine Verbindungsstellung entnehmen läßt;

Fig.9 bis 12 schematische Funktionsdarstellungen der Vorrichtung, aus denen die Schrittfolge entnommen werden kann, welche zur Bewegung des WerKzeuger: in verschiedene Operations-Stellungen erforderlich ist;

Fig. 13 eine grafische Darstellung über die gegenseitige Zuordnung der verschiedenen Nockenscheiben, mit deren Hilfe das Werkzeug in seine verschiedenen Operations-Stellungen bewegt wird.

In F i g. 1 ist eine Bondvorrichtung 10 dargestellt. Hierzu gehört eine Grundplatte 12 mit einer frontseitigen Stirnfläche (siehe F i g. 6), an der zwei erste Seitenplatten 14 und 16 so befestigt sind, daß sie im wesentlichen senkrecht nach oben ragen. Parallel zu diesen ersten Seitenplatten 14 und 16 sind zwei zweite Seitenplatten 20 und 22 so an den Seiten der Grundplatte 12 befestigt, daß sie parallel zu den ersten Seitenplatten aufwärts ragen.

Innerhalb der beiden ersten Seitenplatten 14 und 16 ist mit Hilfe von Lagerelementen 26 und 28 (siehe Fig. 1) ein vertikal beweglicher Schlitten 24 gelagert. Wie sich am besten aus F i g. 3 entnehmen läßt, ist der Schlitten 24 mit einem Durchbruch 30 versehen, in den ein vierter Arm 32 eingreift, welcher seinerseits an einer im wesentlichen horizontal verlaufenden ersten Welle 34 (siehe F i g. 2) befestigt ist. Diese erste Welle 34 erstreckt sich zwischen den beiden ersten Seitenplatten 14 und 16. Mit seinem äußeren Ende liegt der vierte Arm 32 am unteren Ende einer Schraube 36 an, welche in ein Oberteil 38 des Schlittens 24 eingeschraubt ist Mit Hilfe dieser Schraube 36 läßt sich die Höhenlage des Schlittens 24 gegenüber dem vierten Arm 32 justieren.

Gemäß F i g. 3 ist unterhalb des Durchbruches 30 im Schlitten 24 eine erste Buchse 42 befestigt, in der ein hin- und herbeweglicher Stößel 40 gelagert ist. Mit seinem in F i g. 3 linken äußeren Ende liegt der Stößel 40 an einem Stift 44 an, der seitwärts aus dem unteren Ende eines ersten Balkens 46 hervorsteht, welcher mit seinem oberen Ende drehbar auf einem Stift 48 gelagert ist, welcher sich zwischen zwei in einem Abstand zueinander angeordneten seitlichen ersten Vorsprüngen 50 und 52 (siehe F i g. 2) befindet, welche nach vorn aus dem Oberteil 38 des Schlittens 24 herausstehen. Gemäß Fig.3 verbindet eine siebte Schraubenfeder 54 den Schlitten 24 mit dem ersten Balken 46, um diesen in einem der Uhrzeigersinne entgegengerichteten Drehsinne vorzuspannen. Diese siebte Schraubenfeder 54 ist zwischen einem Stift 56 am Schlitten 24 und einem Stift 44 (F i g. 2) am ersten Vorsprung 50 aufgehängt.

Ein zweiter Balken 58 ist gemäß F i g. 3 auf einem Stift 60 drehbar gelagert, welcher sich auf zwei unteren seitlichen zweiten Vorsprüngen 62 und 64 (Fi g. 1) befindet. Die Drehachse des zweiten Balkens 58 liegt somit im wesentlichen horizontal und parallel zur Achse des Stiftes 48. In den ersten Balken 46 ist eine erste Justierschraube 65 mit einer konischen oder abgerundeten ersten Justierschraubenspitze 66 (F i g. 3) eingeschraubt, welche normalerweise eine Außenfläche 68 des zweiten Balkens 58 berührt, um dessen Relativbewegung gegenüber dem Schlitten 24 zu begrenzen. Unterhalb der ersten Justierschraube 65 ist eine zweite Justierschraube 67 in den zweiten Balken 58 eingeschraubt, dessen konische oder abgerundete zweite Justierschraubenspitze 69 normalerweise auf der Vorderseite des Schlittens 24 aufliegt.

F i g. 3 läßt erkennen, daß am zweiten Balken 58 ein auslegerförmiger Werkzeugträger 70 nach vorn herausragend und lösbar befestigt ist. An diesem Werkzeugträger 70 läßt sich ein herkömmliches Bondwerkzeug 72 befestigen, welches mit einer Kapillare zur Zuführung eines Drahtes 74 versehen ist, der mit dem Halbleiterbauelement verbunden werden soll.
Nach vorn ragt aus dem ersten Balken 46 eine Säule

ίο 76 heraus, auf der verschiebbar eine zweite Buchse 78 befestigt ist.

Zwischen dieser zweiten Buchse 78 und einem Ansatz am Werkzeugträger 70 ist eine erste Schraubenfeder 80 unter Vorspannung so eingenängt, daß der Werkzeugträger 70 gemäß Fi g. 3 in eine entgegen dem Uhrzeigersinne gerichtete Drehbewegung vorgespannt ist. Bei sauber eingestellter Vorspannung dieser ersten Schraubenfeder 80 überträgt das Bondwerkzeug 72 eine vorbestimmte Kraft auf eine am unteren Ende des Drahtes 74 befindliche Perle, und diese Perle verbindet sich mit dem Halbleiterbauelement.

Die Bondvorrichtung 10 bewegt das Drahtschweiß-Bondwerkzeug 72 in einen Bereich, in dem der Draht 74 ausgeschweißt werden soll. Angenommen, der Schlitten 24 ist in seine ordnungsgemäße Stellung abgesenkt worden, Stößel 40 ist gemäß F i g. 3 in seine linke Stellung gefahren, so daß der erste Balken 46 im Uhrzeigersinne um den Stift 48 verdreht und dadurch die Justierschraubenspitzen 66 und 69 der Balken 46 und 58 jeweils nach links bewegt werden, so daß der zweite Balken 58 sich entgegen dem Uhrzeigersinn um den Stift 60 dreht, weil sich ein Ausgleich zwischen dem Gewicht des Werkzeugträgers 70 und der Gegenkraft einstellt, welche aus dem Gewicht der zweiten Buchse 78 und der Federkraft der ersten Schraubenfeder 80 herrührt. Somit wird das Bondwerkzeug 72 in die Nähe des Halbleiterbauelements abgesenkt und drückt den Draht 74 gegen dasselbe. Anschließend wird dem Draht 74 Wärme zugeführt, damit dieser sich mit dem Halbleiterbauelement verbinden kann. Obwohl sich der zweite Balken 58 um den Stift 60 verdreht, verläuft doch die Werkzeugbewegung im wesentlichen auf einer annähernd geraden Linie, weil der Werkzeugliub relativ klein ist, und zwar in der Größenordnung von nur ein paar Hundertstel Millimetern.

Die Kraft, mit der der Draht 74 gegen das Halbleiterbauelement gedrückt wird, wird durch die Kraft der ersten Schraubenfeder 80 und das Gewicht der zweiten Buchse 78 bestimmt. In F i g. 7 und 8 sind die Stellungen der beiden drehbaren Balken 46 und 58 während des

so Bondvorgangs schematisch dargestellt; und zwar zeigt F i g. 7 das Bondwerkzeug 72 in Suchstellung, und F i g. 8 in seiner Bondstellung. Kehren die beiden Balken 46 und 58 in ihre Stellung entsprechend F i g. 3 bzw. F i g. 7 zurück, so hebt das Bondwerkzeug 72 seine AusgangssH-lung ab und die Justierschraubenspitzen 66 und 69 gehen in ihre Ausgangslage gegenüber dem zweiten Balken 58 bzw. dem Schlitten 24 zurück. Die Justierschrauben 65 und 67 dienen für die beiden Balken 46 und 58 als Anschlag, wenn sie sich in ihrer Stellung gemäß F i g. 3 bzw. F i g. 7 befinden. Das Bondwerkzeug 72 liegt also fest am Schlitten 24 an, ausgenommen, wenn es sich auf dem Wege zu bzw. von seiner Bondstellung befindet.

Gemäß F i g. 1 und 6 ist zwischen einem Stift 84 am unteren Ende der ersten Seitenplatte 14 und einem aus dem Schlitten 24 herausragenden anderen Stift 86 einer zweiten Schraubenfeder 82 eingespannt. Dadurch liegt der Schlitten 24 ständig unter Vorspannung am vierten Arm 32 an, so daß dieser dessen Operationsstellung be-

stimmen kann.

Der Schlitten 24 hat folgende Operations-Stellungen: Eine Ausgangsstellung, in der sich das Bondwerkzeug 72 an seinem höchsten Punkt befindet; eine erste Suchstellung, wo sich das Bondwerkzeug 72 in der Nähe, jedoch noch entfernt von einer ersten Oberfläche befindet, mit der ein erstes Ende des Drahtes 74 verbunden werden soll; eine Zwischen-Suchstellung oberhalb der ersten Suchstellung; und eine zweite Suchstellung unterhalb der Zwischen-Suchstellung. Diese zweite Suchstellung befindet sich entweder über oder unter der ersten Suchstellung, was davon abhängt ob eine zweite Oberfläche, mit der ein zweites Ende des Drahtes 74 verbunden werden soll, sich oberhalb oder unterhalb der ersten Oberfläche befindet. Befindet sich der Schlitten 24 entweder in der ersten oder in der zv/eiten Suchstellung, so wird über den Stößel 40 eine Drehbewegung auf die Balken 46 und 58 übertragen, welche eine Absenkung des Bondwerkzeuges 72 in seine Bondstellung bewirkt Folgende Bewegungen führt der Schlitten 24 dabei aus: Aus der Ausgangsstellung heraus erfolgt eine Bewegung in die erste Suchstellung, wo der Schlitten 24 verbleibt, während das Bondwerkzeug 72 sich in seine Bondstellung und wieder heraus bewegt Anschließend wird der Schlitten 24 aufwärts in seine Zwischen-Suchstellung bewegt und sodann wieder nach unten in seine zweite Suchstellung, wo es verbleibt bis das Bondwerkzeug 72 wieder in seine Bondstellung hinein und aus dieser heraus bewegt worden ist. Darauf kehrt der Schlitten 24 in seine Ausgangsstellung zurück. Die genaue Position des Schlittens 24 in seiner ersten Suchstellung, Zwischen-Suchstellung und zweiten Suchstellung kann in nachfolgend beschriebener Weise justiert werden. Außerdem läßt sich die Verweilzeit des Bondwerkzeuges 72 in seinen beiden Bondstellungen genau bemessen, damit ohne schädlichen Wärmeüberschuß eine saubere Drahtverbindung mit dem Halbleiterbauelement hergestellt werden kann.

Zur Bondvorrichtung 10 gehört eine Anzahl von Nokkenscheiben 100,102,104,106 (siehe F i g. ί und 2), welche die Bewegung des Schlittens 24 und des Stößels 40 bewirken und auf einer zweiten Welle 88 befestigt sind, weiche zwischen den beiden zweiten Seitenplatte;: 20 und 22 gelagert ist Eine an einem Ende der zweiten Welle 88 befestigte erste Riemenscheibe 90 ist über einer. Zahnriemen 92 und eine zweite Riemenscheibe 94 mit einer Antriebswelle 96 eines Motors 98 gekoppelt welcher in einer bestimmten Arbeitsfolge so angeschaltet wird, daß der Schlitten 24 seine verschiedenen Operationsstellungen im Verlaufe einer einzigen Umdrehung der zweiten Welle 88 einnehmen kann. Die Arbeitsfolge, nach der der Motor 9S angeschaltet wird, läßt sich verändern, wobei sich gleichzeitig die Bewegungsfolge des Schlittens 24 in seine Operationsstellungen mitverändert

Zu den bereits erwähnten Nockenscheiben gehört eine erste Nockenscheibe 100 zur Steuerung der Zwischen-Suchstellung des Schlittens 24, eine zweite Nokkenscheibe 102 zur Steuerung der Ausgangsstellung, eine dritte Nockenscheibe 104 zur Steuerung der Bewegung des Stößels 40, und eine vierte Nockenscheibe 106 zur Steuerung der zweiten Suchstellung des Schlittens 24. Dagegen wird die erste Suchstellung des Schlittens 24 mit Hilfe der Schraube 36 einjustiert, mit deren Hilfe sich der Schlitten 24 gegenüber dem vierten Arm 32 (F i g. 3) entweder anheben oder absenken läßt. Diese Justierung kann nur erfolgen, wenn sich der Schlitten 24 in seiner ersten Suchstellung befindet. Auf diese Weise läßt sich die Höhe des Bondwerkzeuges 72 gegenüber dem Halbleiterbauelement einstellen, bevor das Bondwerkzeug die erste Bondverbindung herstellt.

Zusätzlich zu den bereits erwähnten Nockenscheiben 100 bis 106 sind außerdem Steuerscheiben iO8,110,112 und 114 in Abständen verteilt auf der zweiten Welle 88 befestigt Diese vier Steuerscheiben iO8 bis 114 wirken auf elektrische Schalter 115,116,118 und 120 ein, welche in geeigneter Weise in der Nähe ihrer zugeordneten Steuerscheibe auf stangenartigen ersten Trägern 122 im freien Zwischenraum zwischen den zweiten Seitenplatten 20 und 22 befestigt sind. Über den ersten Schalter 115 wird die Bondzeit, über den zweiten Schalter 116 der Motor 98, über den dritten Schalter 118 der Betrieb eines Brenners zum Drahtschneiden, und über den vierten Schalter 120 ein Vorschub gesteuert.

Gemäß F i g. 1 und 2 ist eine dritte Welle 124 direkt unterhalb und parallel zur ersten Welle 34 drehbar zwischen den beiden ersten Seitenplatten 14 und 16 gelagert Nahe den ersten Seitenplatten 14 und 16 ist ein dritter Kurbelarm 126 (siehe F i g. 6) so mit der dritten Welle 124 verbunden, daß er nach oben hervorragt. Das obere Ende dieses dritten Kurbelarmes 126 ist drehbar an einem Ende einer zweiten Stange 128 gelagert. Das entgegengesetzte Ende dieser zweiten Stange 128 trägt eine erste Rolle 130, welche auf der Umfangsfläche der ersten Nockenscheibe 100 (siehe Fig. 1) abrollt. Eine zweite Rolle 132, von gleicher Größe wie die erste Rolle 130 und koaxial zu dieser gelagert, liegt gemäß F i g. 6 an einer ebenen zweiten Steuerkurve 134 eines mondförmigen zweiten Anschlags 136 an, welcher innerhalb eines ersten Zylinderlagers 138 innerhalb der zweiten Seitenplatte 20 (siehe F i g. 1, 2 und 6) drehbar gelagert ist Dieses erste Zylinderlager 138 trägt einen ersten Verstellstift 140, mit dessen Hilfe sich das erste Zylinderlager 138 und damit der zweite Anschlag 136 von Hand verstellen läßt Gemäß F i g. 9 bis 12 liegt die zweite Steuerkurve 134 des zweiten Anschlags 136 außerhalb der Rotationsachse des ersten Zylinderlagers 138.

Mit Hilfe einer zwischen einem Stift 143 an der zweiten Seitenplatte 20 sowie einem Stift 144 an einer zweiten Stange 128 (siehe F i g. 2 und 6) ausgespannten dritten Schraubenfeder 142 wird die erste Rolle 130 mit einer bestimmten Vorspannung gegen die erste Nockenscheibe 100 gedrückt. Während die erste Nockenscheibe 100 umläuft, rollt somit die erste Rolle 130 auf dessen Oberfläche ab, verschiebt sich dabei gegenüber der zweiten Welle 88, so daß gleichzeitig die an der zweiten Steuerkurve 134 liegende zweite Rolle 132 auf dieser Steuerkurve entlangrollt Abhängig von der Winkelstellung dieser zweiten Steuerkurve 134 führt dadurch der dritte Kurbelarm 126 eine Drehbewegung um die Rotationsachse der dritten Welle 124 aus. Bewegt beispielsweise die erste Nockenscheibe 100 die zweite Rolle 132 nach unten, und ist die ebene zweite Steuerkurve 134 so geneigt wie in den F i g. 9— 12 dargestellt, so muß sich die zweite Stange 128 gleichzeitig in der Ansicht von F i g. 6 nach rechts bewegen, was eine Drehbewegung des dritten Kurbelarmes 126 im Uhrzeigersinne zur Folge hat.

Da dieser dritte Kurbelarm 126 fest auf der dritten Welle 124 befestigt ist, wird auch diese Welle im Uhrzeigersinne verdreht. Der Sinn dieser Verdrehung von der dritten Welle 124 wird nachfolgend eingehend erläutert Es sei hier nur bemerkt, daß der dritte Kurbelarm 126 und die zweite Stange 128 ein Hebelgetriebe zur Verdrehung der dritten Weile 124 in Abhängigkeit einer Drehbewegung der zweiten Welle 88 bilden.
Ein erster Kurbelarm 146 (siehe F i g. 2, 3 und 6) ist

mit seinem einen Ende zwischen den beiden ersten Seitenplatten 14 und 16 an der dritten Welle 124 befestigt. An seinem oberen Ende (F i g. 3) trägt dieser erste Kurbelarm 146 eine dritte Rolle 148, welche auf der zweiten Nockenscheibe 102 abrollt. Wird diese zweite Nockenscheibe 102 verdreht, so wird über den ersten Kurbelarm 146 auch die dritte Welle 124 verdreht

Aus Fig.3 läßt sich entnehmen, daß der Stößel 40 von einem Mitnehmer 150 bewegt wird, an dessen erste ebene Fläche 152 der Stößel 40 mit seiner verrundeten Rückseite anliegt Dieser Mitnehmer 150 ist auf geeignete Weise an einem dritten Arm 154 befestigt, welcher mit seinem einen Ende drehbar auf der ersten Welle 34 gelagert ist und an seinem entgegengesetzten Ende eine vierte Rolle 156 trägt. Diese vierte Rolle 156 liegt normalerweise am Umfang der dritten Nockenscheibe 104 an, die an ihrem Umfang verteilt zwei Nocken (siehe F i g. 7 und 8) besitzt, welche bei umlaufender dritter Nockenscheibe 104 dafür sorgen, daß der dritte Arm 154 nacheinander Schwenkbewegungen im Uhrzeigersinne um die erste Welle 34 ausführt. Bei jeder dieser Schwenkbewegungen wird der Stößel 40 durch den Mitnehmer 150 in F i g. 3 nach links gedrückt, wodurch wiederum der erste Balken 46 um den Stift 48 verdreht wird, so daß sich ebenfalls der zweite Balken 58 um den Stift 60 verdreht und das Bondwerkzeug 72 in seine Bondstellung absenkt. Durch die siebte Schraubenfeder 54 wird der Stößel 40 jeweils wieder in seine Ausgangsstellung zurückgeholt, wenn sich einer der beiden Nokken auf der dritten Nockenscheibe 104 unter der vierten Rolle 156 hinwegbewegt hat

Ein zweiter Kurbelarm 158 (siehe F i g. 1,2,4 und 5) ist mit seinem einen Ende auf der dritten Welle 124 nahe der ersten Seitenplatte 16 befestigt d. h. nahe dem Ende dieser dritten Welle 124 gegenüber dem dritten Kurbelarm 126. In den F i g. 4 und 5 ist dieser zweite Kurbelarm 158 nur aus Gründen der Übersichtlichkeit abgerückt gezeichnet. Der zweite Kurbelarm 158 ragt von der dritten Welle 124 nach oben und besitzt einen Querzapfen 160, welcher der ersten Seitenplatte 16 zugekehrt ist. Dieser Querzapfen 160 ist so gelegt daß er eine zweite ebene Fläche 162 am oberen Ende eines zweiten Armes 164 berührt, welcher an zwei Stellen drehbar gelagert ist Einer der beiden Drehpunkte des zweiten Armes Ϊ64 Hegt in seiner Mitte und wird durch einen Stift 166 gebildet, welcher in einem benachbarten ersten Arm 168 befestigt ist Der zweite Drehpunkt des zweiten Armes 164 liegt an seinem unteren Ende und wird durch einen Stift 170 am Vorderende einer ersten Stange 172 gebildet, welche in F i g. 4 und 5 nach rechts herausgeführt ist Mit seinem oberen Ende ist der erste Arm J68 auf der ersten Welle 34 festgeklemmt und bewirkt deren Verdrehung, sobald sich der zweite Arm 164 gegenüber der ersten Seitenplatte 16 verdreht Die Arme 164 und 168 bilden zusammen einen Kniehebel.

Eine Verdrehung des zweiten Armes 164 kann zwei verschiedene Ursachen haben. Die erste Ursache ist eine Verdrehung des zweiten Kurbelarmes 158 entgegen dem Uhrzeigersinne gemäß F i g. 4 und 5, in deren Verlauf der Querzapfen 160 den zweiten Arm 164 entgegen dem Uhrzeigersinne um den Stift 170 verdreht. Daraus resultiert eine Schwenkbewegung der ersten Welle 34 über ihren ersten Arm 168 im Uhrzeigersinne gemäß F i g. 4. Weil der vierte Arm 32 fest auf der ersten Welle 34 montiert ist, wird auch dieser im Uhrzeigersinne mitverdreht und bewirkt dabei eine Anhebung des Schlittens 24. Das heißt, der Schlitten 24 wird immer dann angehoben, wenn sich in der Darstellung von F i g. 4 und 5 der zweite Kurbelarm 158 entgegen dem Uhrzeigersinne verdreht. Dies geschieht, wenn die erste Nockenscheibe 100 für die Zwischen-Suchstellung die zweite Rolle 132 veranlaßt, auf der ebenen zweiten Steuerkurve 134 abwärts zu rollen, so daß sich die zweite Stange 128 in Fig.6 nach rechts bewegt und die dritte Welle 124 im Uhrzeigersinne verdreht.

Befindet sich der Schlitten 24 in seiner Zwischen-Suchstellung, so läßt sich diese Stellung in der Weise justieren, daß man durch Verdrehung des ersten Zylinderlagers 138 den ersten Verstellstift 140 entweder hebt oder senkt. Damit wird eine Neigungsänderung der ebenen zweiten Steuerkurve 134 erreicht und somit gleichzeitig die zweite Stange 128 entweder vor oder zurück bewegt abhängig von der Verdreh-Richtung des ersten Zylinderlagers 138. Der Grund hierfür ist darin zu sehen, daß die zweite Rolle 132 radial außerhalb der Achse des ersten Zylinderlagers 138 (siehe Fig. 11) liegt, so daß eine Neigungsänderung der zweiten Steuerkurve 134 eine Bewegung der zweiten Rolle 132 entweder nach rechts oder nach links mit sich bringt. Eine Justierung der Position des Schlittens 24 in dieser Weise bestimmt die Schleifenhöhe des Drahtes nach Herstellung seiner ersten Verbindung.

Am hinteren Ende der ersten Stange 172 sind koaxial zueinander die fünfte Rolle 174 und die sechste Rolle 176 von im wesentlichen gleichen Abmessungen angebracht. Während über die fünfte Rolle 174 normalerweise der Umfang der vierten Nockenscheibe 106 abgetastet wird, läuft die sechste Rolle 176 auf einer ebenen Führungsfläche 178 eines mondförmigen ersten Anschlags 180, welcher innen auf einem zweiten Zylinderlager 182 angebracht ist Dieses zweite Zylinderlager 182 ist koaxial zum ersten Zylinderlager 138 in der zweiten Seitenplatte 22 untergebracht Zur manuellen Justierbarkeit der Neigung der FUhrungsflache 178 ist das zweite Zylinderlager 182 mit einem zweiten Versteüstift 184 ausgerüstet Mittels einer vierten Schraubenfeder 186 (siehe Fig.4 und 5) wird die fünfte Rolle 174 mit bestimmter Vorspannung gegen die vierte Nockenscheibe 106 gedrückt; diese vierte Schraubenfeder 186 hängt mit einem Ende an einem Stift 188 in der zweiten Seitenplatte 22, und mit ihrem anderen Ende an einem Stift i9ö, weicher an der ersten Stange 172 beiestigi ist.

Die zweite Möglichkeit für eine Drehbewegung des zweiten Armes 164 um den Stift 170 ergibt sich durch eine Verdrehung der vierten Nockenscheibe 106, wodurch die sechste Rolle 176 auf der Führungsfläche 178 des ersten Anschlags 180 abläuft, und zwar abhängig von der Stellung der vierten Nockenscheibe 106 und der Neigung der ebenen Führungsfläche 178. Drückt die vierte Nockenscheibe 106 die sechste Rolle 176 abwärts, so wird gemäß F i g. 4 und 5 die erste Stange 172 nach links verschoben, so daß sich die beiden Stifte 170 und 166 im Uhrzeigersinne ein Stück um die erste Welle 34 herumbewegen. Damit wird gleichzeitig die erste Welle 34 im "Uhrzeigersinne verdreht, so daß der vierte Arm 32 den Schlitten 24 anhebt. Andererseits wird durch eine Neigungsänderung der ebenen Führungsfläche 178 die sechste Rolle 176 so abgelenkt, daß sich die erste Stange 172 nach rechts bewegt, worauf sich der Schlitten 24 unter der Einwirkung des vierten Armes 32 senkt Indem man also durch Heben oder Senken des zweiten Verstellstiftes 184 die Neigung der Führungsfläche 178 verändert, kann man die Lage der zweiten Suchstellung des Schlittens 24 gegenüber den beiden ersten Seitenplatten 14 und 16 justieren.
Nachfolgend soll die Arbeitsweise der Bondvorrich-

twig 10 beschrieben werden.

Aus den Fig.9 bis 12 läßt sich entnehmen, wie die Nockenscheibe 100,102 und 106 mit den Kurbelarmen 126, 146 und 158 zusammenwirken. Diese Elemente steuern nämlich die Operations-Stellungen des Schlittens 24 über den vierten Arm 32. In den genannten Fig.9 bis 12 ist jeweils die Stellung dieser Elemente dargestellt, wenn sich der Schlitten 24 in seiner Ausgangsstellung, der ersten Suchstellung, der Zwischen-Suchstellung und schließlich in der zweiten Suchstellung befindet.

In der Ausgangsstellung gemäß F i g. 9 steht der erste Kurbelarm 146 an der zweiten Nockenscheibe 102 in einer Stellung, in der der vierte Arm 32 den Schlitten 24 in einer relativ hohen Stellung hält und der zweite Kurbelarm 158 gekippt ist, so daß der zweite Arm 164 sich in geneigter Stellung befindet Die sechste Rolle 176 liegt an der Führungsfläche 178 an, und die Rotationsachse der sechsten Rolle 176 befindet sich jetzt etwa koaxial zur Achse des zweiten Zylinderlagers 182.

Wird jetzt die zweite Welle 88 durch den Motor 98 angetrieben, so dreht sich die zweite Nockenscheibe 102 gemäß Fig.9 und 10 im Uhrzeigersinne weiter, so daß jetzt die dritte Rolle 148 vom Nocken auf die zweite Nockenscheibe 102 abgleitet und dabei mit seinem ersten Kurbelarm 146 die dritte Welle 124 gemäß F i g. 4 und 5 im Uhrzeigersinne verschwenkt Dabei geschieht folgendes: der zweite Kurbelarm 158 bewegt sich gemäß F i g. 4 und 5 im Uhrzeigersinne und läßt damit in F i g. 5 den Querzapfen 160 wieder nach rechts in seine aufrechte Stellung zurückschwenken, während durch eine Schwenkbewegung des zweiten Armes 164 der Stift 166 im Uhrzeigersinne um den Stift 170 so geschwenkt wild, daß die erste Welle 34 entgegen dem Uhrzeigersinne (gemäß Fig.4), und der vierte Arm 32 gemäß Fi g. 9 und 10 im Uhrzeigersinne so verdreht wird, daß der Schlitten 24 in seine erste Suchstellung abgesenkt wird. In dieser ersten Suchstellung liegt die sechste Rolle 176 an der ersten Stange 172 noch an der Führungsfläche 178 des ersten Anschlags 180 an und ist außerdem koaxial mit der Achse des zweiten Zylinderlagers 182 ausgerichtet. Abgesehen von einer kleinen Abwärtsbewegung behält der Stift 170 seine Lage bei, und die Arme 164 und 168 bilden dabei einen durchgedrückten Kniehebel, weil sich der Querzapfen 160 jetzt koaxial zur ersten Welle 34 befindet und der Querzapfen 160 den zweiten Arm 164 so weit bewegt, bis seine zweite ebene Fläche 162 gemäß F i g. 5 die erste Welle 34 berührt. Die Annäherung der zweiten ebenen Fläche 162 an die erste Welle 34 erfolgt sinusförmig, und zwar zunächst mit einer relativ großen Annäherungsgeschwindigkeit und im letzten Teil der Bewegung mit einer gegen Null gehenden Annäherungsgeschwindigkeit an die erste Weile 34 selbst. Diese Annäherung wird durch die Gestaltung der Außenfläche der zweiten Nockenscheibe 102 erreicht Gemäß F i g. 10 richtet sich in der ersten Suchstellung der dritte Kurbelarm 126 unter der Drehung der dritten Welle 124 im wesentlichen aufrecht auf, und die zweite Rolle 132 kommt jetzt in Berührung mit der zweiten Steuerkurve 134 des zweiten Anschlags 136. Gleichzeitig wird die zweite Rolle 132 koaxial zum ersten Zylinderlager 138 ausgerichtet. Aufgrund der koaxialen Ausrichtung zwischen den Rollen 132 bzw. 176 gegenüber den Zylinderlagern 138 bzw. 182 hat die Verdrehung dieser Zylinderlager keinen Einfluß auf die jeweilige Stange 128 bzw. 172. Vielmehr wird die erste Suchstellung durch Verdrehung der Schraube 36 justiert.

In der ersten Suchstellung wird die Drehbewegung der zweiten Welle 88 gewöhnlich durch Abschalten des Motors 98 unterbrochen, um diese Operationsstellung justieren zu können oder um das Halbleiterbauelement zum Bondwerkzeug 72 ausrichten zu können. Eine Verdrehung der Schraube 36 bewirkt immer entweder ein Heben oder Senken des Schlittens 24 gegenüber dem vierten Arm 32.
Befindet sich der Schlitten 24 in seiner ersten Suchstellung, so bewirkt eine Verdrehung der zweiten Welle 88 um einen vorbestimmten Winkel von beispielsweise 62°, daß der Werkzeugträger 70 mit dem Bondwerkzeug 72 seine Ruhelage verläßt und nach unten in seine Bondstellung schwenkt, um anschließend wieder in seine Ruhelage zurückzuschwenken. Dieser Vorgang ist in den F i g. 7 und 8 dargestellt, wovon F i g. 7 die relativen Stellungen des Schlittens 24 und des Bondwerkzeugs 72 zeigt, bevor einer der beiden Nocken der dritten Nokkenscheibe 104 die vierte Rolle 156 am dritten Arm 154 erreicht hat In F i g. 8 hat dieser Nocken den dritten Arm 154 verschwenkt, und der daran befestigte Mitnehmer 150 drückt den Stößel 40 nach rechts, so daß der erste Balken 46 eine Schwenkbewegung um seinen Stift 48 ausführt, wodurch wiederum der zweite Balken 58 eine Folgebewegung um seinen Stift 60 ausführt und dabei das Bondwerkzeug 72 absenkt Das durch eine elektrische Heizeinrichtung beheizte Bcndwerkzeug 72 drückt die am unteren Ende des Drahtes 74 gebildete Wulst auf ein beheiztes Halbleiterbauelement mit einer vorbestimmten Kraft, welche durch die Vorspannung der ersten Schraubenfeder 80 bestimmt wird, so daß eine eutektische Schweißverbindung hergestellt wird. Der Nocken auf der dritten Nockenscheibe 104 ist so geformt daß dem Bondwerkzeug 72 bei seiner Absenkbewegung eine sinusförmige Bewegung erteilt wird, während die Wulst des Drahtes 74 das Halbleiterbauelement berührt. In der nicht dargestellten Steuereinrichtung für die Bondvorrichtung 10 befindet sich auch eine einstellbare Zeitvsrzögerungs-Einheit, welche nach Ablauf einer vorbestimmten Zeit, in der sich das Bondwerkzeug 72 in der in F i g. 8 dargestellten Stellung befunden hat, den Motor 98 abschaltet. Nach Ablauf dieses vorbestimmten Zeitraumes setzt sich die dritte Nockenscheibe ίΟ4 wieder in Bewegung, die vierte Rolle !56 gleitet vom Nocken ab, die siebte Schraubenfeder 54 zieht den ersten Balken 46 in seine Ausgangslage von F i g. 7 zurück, so daß das Bondwerkzeug 72 wieder angehoben wird, da der erste Balken 46 den zweiten Balken 58 wieder an den Schlitten 24 zurückdrückt Jetzt liegt also das Bondwerkzeug 72 wieder fest am Schlitten 24 an.

Eine Weiterdrehung der zweiten Weile 88 läßt die drei Kurbelarme 126,146 und 158 in Betriebsstellungen schwenken, welche der in F i g. 11 dargestellten Zwischen-Suchstellung des Schlittens 24 entsprechen. In dieser Stellung befindet sich der Schlitten 24 oberhalb seiner ersten Suchstellung, weil der einzige Nocken an der ersten Nockenscheibe 100 die zweite Rolle 132 erfaßt, während diese an der ebenen zweiten Steuerkurve 134 des zweiten Anschlags 136 anliegt, so daß die zweite Rolle 132 jetzt an dieser zweiten Steuerkurve 134 abwärts gleitet. Dadurch wird auf den dritten Kurbelarm 126 eine Schwenkbewegung im Uhrzeigersinne übertragen, so daß gemäß F i g. 11 auch der zweite Kurbelarm 158 eine Schwenkbewegung in dieser Richtung ausführt. Gleichzeitig wird über den Querzapfen 160 auf den zweiten Arm 164 eine Schwenkbewegung in eine Schieflage entgegen dem Uhrzeigersinne um Stift 170

gemäß Fig.4 übertragen. Mit dieser Schwenkbewegung des zweiten Armes 164 ist eine Verdrehung des ersten Armes 168 im Uhrzeigersinne verbunden, wobei in F i g. 4 die erste Welle 34 im Uhrzeigersinne verdreht wird, der daran befestigte vierte Arm 32 nach oben auswandert und der Schlitten 24 in seine Zwischen-Suchstellung befördert Der einzige Nocken der vierten Nockenscheibe 106 läßt gleichzeitig die sechste Rolle 176 an der Führungsfläche 178 des ersten Anschlags 180 entlanggleiten, so daß wegen der Neigung dieser Führungsfläche 178 die sechste Rolle 176 sich nicht mehr koaxial zum zweiten Zylinderlager 182 befindet. Somit hat sich die Stellung des Stiftes 170 gemäß F i g. 11 nach rechts verändert

Der von dem ersten Arm 168 und dem zweiten Arm 164 gebildete Kniehebel gestattet es, daß die sechste Rolle 176 während der Aufwärtsbewegung des Schlittens 24 von seiner ersten Suchstellung in seine Zwischen-Suchstellung gemäß F i g. 11 ständig an der Führungsfläche 178 anliegt Damit wird erreicht, daß während des Überganges des Schlittens 24 von seiner Zwischen-Suchstellung in die zweite Suchstellung die sechste Rolle 176 nicht gegen die Führungsfläche 178 an- - schlägt, wodurch unerwünschte Erschütterungen vermieden werden.

Befindet sich der Schlitten 24 in seiner Zwischen-Suchstellung, so wird der Motor 98 abgeschaltet, um entweder die Neigung der zweiten Steuerkurve 134 am zweiten Anschlag 136 zur Justierung der Stellung des Schlittens 24 oder die Lage des Werkstückes gegenüber dem Bondwerkzeug 72 zu ändern, falls erwünscht Diese Stellung bestimmt die Schleifenhöhe des Drahtes 74. Hebt oder senkt man das Bondwerkzeug 72 gegenüber dem Halbleiterbauelement, während der zweite Anschlag 136 von Hand verdreht wird, so verbleibt die zweite Rolle 132 im Eingriff mit der zweiten Steuerkurve 134, weil die Vorspannung der zweiten Schraubenfeder 82 (F i g. 1) dafür sorgt

Eine Weiterdrehung von der zweiten Welle 88 läßt den einzigen Nocken der ersten Nockenscheibe 100 unter der zweiten Rolle 132 in oben beschriebener sinusartiger Weise hinweggleiten, so daß der dritte Kurbelarm 126 wieder seine im wesentlichen aufrechte Lage von Fi g. 12 einnimmt und dabei die dritte Welle 124 entgegen dem Uhrzeigersinne verdreht und den zweiten Kurbelarm 158 so weit verschwenkt, daß die zweite ebene Fläche 162 am zweiten Arm 164 an der ersten Welle 34 zur Anlage koi. mt. Die Bewegung des zweiten Kurbelarmes 158 ist dabei ebenfalls sinusförmig. Die erste Welle 34 führt dabei gemäß F ι g. 5 eine Drehbewegung entgegen dem Uhrzeigersinne aus, und der über den vierten Arm 32 betätigte Schlitten 24 senkt sich in seine zweite Suchstellung ab. Man bemerke insbesondere, daß die sechste Rolle 176 in Fig. 12 die gleiche Lage einnimmt wie in Fig. 11, wo sich der Schlitten 24 in seiner Zwischen-Suchstellung befindet. Daraus ergibt sich, daß unter dem Einfluß des aus den beiden Armen 164 und 168 gebildete Kniehebel die erste Stange 172 sorgfältig für die zweite Suchstellung bereitgestellt werden kann, bevor der Schlitten 24 in die zweite Suchstellung einfährt, also sich noch in der Zwischen-Suchstellung befindet. Daraus folgt, daß die erste Stange 172 keine Bewegung mehr ausführt, während sich der Schlitten 24 in seine Suchstellung bewegt, so daß Erschütterungen vermieden werden, wie sie durch ein »Gegenknallen« der sechsten Rolle 176 gegen die Führungsfläche 178 auftreten könnten. Würde man die Arme 164 und 168 durch einen einzigen starren Arm ersetzen, so würde dieser um die erste Welle 34 gemäß F i g. 5 im Uhrzeigersinne verdreht werden und dabei die sechste Rolle 176 von der Führungsfläche 178 fortbewegen, während der Schlitten 24 in seine Zwischen-Suchstellung einfährt.

(n der zweiten Suchstellung kann man die Neigung der Führungsfläche 178 verändern und damit die Betriebsstellung des vierten Armes 32 und somit die Höhe des Schlittens 24 bzw. die Arbeitshöhe des Bondwerkzeugs 72 über dem Halbleiterbauelement einstellen. Diese Einstellung kann so erfolgen, daß sich das Bondwerkzeug 72 in seiner zweiten Suchsteliung entweder oberhalb oder unterhalb der ersten Suchsteliung befindet. In jedem Falle befindet sich das Bondwerkzeug 72 bzw. der Schlitten in seiner zweiten Suchstellung immer unterhalb der Zwischen-Suchstellung.

Nach Abschluß der Justierarbeiten für die zweite Suchstellung bewegt sich das Bondwerkzeug 72 in bereits in Verbindung mit F i g. 7 und 8 beschriebener Weise in seine Bondstellung, indem das Bondwerkzeug 72 aus seiner Ausgangsstellung, wo es am Schlitten 24 anliegt, abgesenkt wird, indem der zweite Balken 58 um den Stift 60 herum vom Schlitten 24 abschwenkt Die vorgenannte Zeitverzögerungs-Einheit setzt den Motor 98 für einen vorbestimmten Zeitraum außer Betrieb, während sich das Bondwerkzeug 72 in seiner Bondstellung befindet Nach Ablauf dieses Zeitintervalls läßt der Motor 98 die zweite Welle 88 wieder anlaufen und dabei das Bondwerkzeug 72 in seine Aussgangsstellung zurückschwenken, wo es am Schlitten 24 anliegt. Gleichzeitig wird die zweite Nockenscheibe 102 so weit verdreht daß ihr einziger Nocken über die dritte Rolle 148 den ersten Kurbelarm 146 in die Stellung gemäß Fi g. 9 verschwenkt, so daß der Schlitten 24 in seine Ausgangsstellung zurückkehrt, wo der Motor 98 wieder abgeschaltet wird.

Die zuvor beschriebene Schrittfolge, in deren Verlauf das Bondwerkzeug 72 aus seiner Ausgangsstellung in die erste Suchstellung, wo die erste Verbindung hergestellt wird, in die Zwischen-Suchstellung, in die zweite Suchstellung, wo die zweite Verbindung hergestellt wird, und schließlich in seine Ausgangsstellung zurückfährt werden sämtlich aufeinanderfolgend während einer einzigen Umdrehung der zweiten Weiie SS ausgeführt Das Anlaufen und Stoppen der zweiten Welle 88 wird durch die vorgenannte und nicht dargesielite Steuereinrichtung ausgeführt, zu der auch die bereits erwähnte Zeitverzögerungs-Einheit gehört. In Fig. 13 ist grafisch die funktioneile Abhängigkeit der Kurven dargestellt, mit denen die verschiedenen Nockenscheiben 100,102, !04 und 106 sowie die Steuerscheiben 108, 110, 112 und 114 versehen sind. So entspricht eine sogenannte Ausgangs-Kurve 280 in F i g. 13 dem Oberflächen-Verlauf der zweiten Nockenscheibe

102. Die zwischen 70° und 290° befindliche horizontale Strecke entspricht dem Teil auf der Oberfläche der zweiten Nockenscheibe 102, wo sich die dritte Rolle 148 am ersten Kurbelarm 146 in der Nähe befindet

Eine als Schleifen-Kurve bezeichnete Kurve 281 gibt den Kurververlauf der ersten Nockenscheibe 100 wieder; die einzige Erhebung dieser Kurve zwischen 140° und 220° entspricht dem einzigen Nocken auf der ersten Nockenscheibe 100, die dieser während einer Umdrehung der zweiten Welle 88 einmal zum Einsatz bringt. Der Verlauf der dritten Nockenscheibe 104, der für den Bondvorgang verantwortlich ist, ist durch eine Bondkurve 284 mit zwei Erhebungen in ihrem Verlauf dargestellt. Danach erfolgt der erste Bondvorgang,

während sich die zweue Welle 88 im Bereich zwischen 82° und 144° dreht, und der zweite Bondvorgang wird zwischen 228° und 290° im Verlauf einer Umdrehung der zweiten Welle 88 ausgeführt

Di 3 für die zweite Suchsf?!lung verantwortliche vierte Nockenscheibe 106 v/ird durch eine zweite Suchstellung-Kurve 286 dargestellt, weiche bezogen auf die Umdrehung der zweiten Welle 88 eine einzige Erhebung zwischen 144° und 346" besitzt.

Die übrigen vier Kurven 288,290,292 und 294 geben die Winkelbereiche (bezogen auf eine Umdrehung der zweiten Welle 88) an, in denen über die Steuerscheiben 108,110,112 und 114 der elektrische erste Schalter 115 für das Gebläse, der zweite Schalter 116 für die Schweißeinrichtung, der dritte Schalter 118 für die Schweißzeit und schließlich der vierte Schalter 120 für den Vorschub geschaltet werden.

Bezugszeichenhste	Bondvorrichtung
10	Grundplatte
12	erste Seitenplatten
14,16	Stirnfläche
18	zweite Seitenplatten
20,22	Schlitten
24	Lagerelements
26,28	Durchbruch
30	vierter Arm
I 32	erste Welle
3 34	Schraube
1 36	Oberteil
I 38	Stößel
I 40	erste Buchse
I 42	Stift
I 44	erster Balken
1 46	Stift
48	erste Vorsprünge
50,52	siebte Schraubenfeder
54	Stift
56	zweiter Balken
58	Stift
59	Stift
60	zweite Vorsprünge
62,64	erste Justierschraube
65	erste Justierschraubenspitze
66	zweite Justierschraube
67	Außenfläche
68	zweite Justierschraubenspitze
69	Werkzeugträger
B 70	Bondwerkzeug
! 72	Draht
74	Säule
76	zweite Buchse
78	erste Schraubenfeder
80	zweite Schraubenfeder
82	Stift
84	Stift
86	zweite Welle
88	erste Riemenscheibe
90	Zahnriemen
92	zweite Riemenscheibe
94	Antriebswelle
96	Motor
98	erste Nockenscheibe
100	zweite Nockenscheibe
102	dritte Nockenscheibe
104	vierte Nockenscheibe
106

108 110 112 114

5 115 116 118 120 122

to 124 126 127 128 130

15 132 134 136 138 140

20 142 143 144 146 148

25 150 152 154 156 158

30 160 162 164 166 168

35 170 172 174 176 178

40 180 182 184 186 187

45 188 190 280 281 282

so 284 286

14

erste Steuerscheibe zweite Steuerscheibe dritte Steuerscheibe vierte Steuerscheibe erster Schalter zweiter Schalter dritter Schalter vierter Schalter erster Träger dritte Welle dritter Kurbelarm

zweite Stange erste Rolle zweite Rolle zweite Steuerkurve zweiter Anschlag erstes Zylinderlager erster Verstellstift dritte Schraubenfeder

erster Kurbelarm dritte Rolle Mitnehmt r erste ebene Fläche dritter Arm vierte Rolle zweiter Kurbelarm Querzapfen zweite ebene Fläche zweiter Arm

erster Arm

erste Stange fünfte Rolle sechste Rolle Führungsfläche erster Anschlag zweites Zylinderlager zweiter Verstellstift vierte Schraubenfeder

Ausgangskurve Schleifenkurve Drahtende Bondkurve zweite Suchstellungskurve

Hierzu 9 Blatt Zeichnungen

Claims (1)

Patentansprüche:

1. Vorrichtung zum Bonden von Drähten an Halbleiterbauelemente od. dgl., bestehend aus: r>

a) einem Trägergestell (12,14,16,20,22),

b) einem längs einer vertikalen Bahn am Trägergestell (12, 14, 16, 20, 22) verschiebbar angebrachten Schlitten (24), ι ο

c) einem gemeinsam mit dem Schlitten (24) beweglichen und an diesem verschiebbar befestigten Werkzeugträger (70) mit einem Werkzeug (72) zum Bonden der Drähte an die Halbleiterbauelemente,

d) einer am Trägergestell (12, t4,16,20,22) drehbar gelagerten ersten Welle (34), die in Abhängigkeit von ihrem Drehv.'inkel dem Werkzeug (72) nacheinander eine Anzahl von Operationsstellungen verleiht,