DE2324497A1 - Auf einem transparenten traeger, insbesondere einer frontglasplatte, angeordnetes lichtempfindliches halbleiter-target - Google Patents

Description

HEIMANN GMBH 6200 Wiesbaden-Dotzheim, den 15.MAf 1973

73/8061

Auf einem transparenten Träger, insbesondere einer Frontglasplatte, angeordnetes lichtempfindliches Halbleiter-Target

Die Erfindung betrifft ein auf einem transparenten Träger, insbesondere einer Frontglasplatte, angeordnetes lichtempfindliches Target, insbesondere für Farbfernsehkamera, bestehend aus einer auf dem Träger angebrachten transparenten elektrisch leitenden Schicht als Signalelektrode mit darauf angeordneter lichtempfindlicher Halbleiterschicht.

Sie hat besondere Bedeutung für den Aufbau einer lichtdurchlässigen Frontglasplatte für Fernsehkameraröhren vom Vidikontyp und wird insbesondere dann angewendet, wenn die Frontglasplatte zusätzlich eine scharfkantige Struktur aufweist. Solche Strukturen können z.B. aus in die Frontglasplatte eingeätzte oder eingeritzte Strichmarken, wie Maßstab, Fadenkreuz oder dergleichen oder aber auch aufgedampfte erhabene Gebilde, Muster geringer Tiefe bzw. Dicke, insbesondere Interferenz-Streifenfilter sein.

Da grundsätzlich kein Unterschied in der Wirkung einer aufgedampften oder eingeätzten, bzw. eingeritzten Struktur besteht, betrifft die der Erfindung zugrundeliegende Aufgabe die Beseitigung der mit der unmittelbaren Anbringung der Streifenfilter auf der Trägerplatte und der darauf angeordneten als Signalelektrode dienenden transparenten elektrisch leitenden Schicht verbundenen Schwierigkeiten.

VPA 9/980/3004 Sii/Fck - 2 -

409849/0460

Farbstreifenfilter bestehen z.B. aus aufgedampften Interferenzstreifen, die in regelmäßiger Form zueinander mit besonderem Vorteil innen auf· der Frontglasplatte einer Kameraröhre angeordnet sind. Die Dicke der Streifen beträgt einige /um. Sie werden z.B. mittels eines gängigen Fotoätzverfahrens hergestellt. Auf diese Streifen muß dann in üblicher Form eine leitfähige transparente Elektrodenschicht aus z.B. SnO« und darauf eine lichtempfindliche Halbleiterschicht aus z.B. Sb₂S, aufgebracht werden.

Das besondere Merkmal des im ersten Absatz beschriebenen, auf einem transparenten Träger, insbesondere einer Frontglasplatte, angeordneten lichtempfindlichen Target, insbesondere für Farbfernsehkamera, bestehend aus einer auf dem Träger angebrachten transparenten elektrisch leitenden Schicht als Signalelektrode mit darauf angeordneter lichtempfindlicher Halbleiterschicht besteht nach der Erfindung darin, daß bei einer scharfkantigen Struktur der tragenden Oberfläche des Trägers, insbesondere bei einem zusätzlich aufgebrachten Interferenz-Streifenfilter, darauf zur Abrundung der scharfen Kanten eine Zwischenschicht als Unterlage für die elektrisch leitende Elektrodenschicht angeordnet ist.

Mit besonderem Vorteil besteht die Zwischenschicht aus einer vakuumbeständigen Lackschicht.

Dabei kann die Lackschicht vorteilhafterweise wesentlich aus einer Silicon-Verbindung bestehen.

Nähere Einzelheiten der Erfindung sollen anhand des in der Zeichnung rein schematisch dargestellten Ausführungsbeispiels erläutert werden. Teile, die nicht unbedingt zum Verständnis der Erfindung beitragen, sind darin unbezeichnet oder fortgelassen.

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Während die Figur 1 eine perspektivische Teilansicht einer Trägerglasplatte mit z.B. dem darauf angeordneten Interferenz-Streif enfilter in einem Herstellungsstadium darstellt, gibt die Figur 2 einen Teilquerschnitt durch eine erfindungsgemäße Targetanordnung wieder.

In Figur 1 ist mit 1 eine Trägerplatte z.B. in Form einer Frontglasplatte einer Aufnahmekameraröhre bezeichnet, wie sie u.a. in Einröhren-Farbfernsehkameras Anwendung finden. Auf der dem Inneren der betreffenden Röhre zugewandten Oberfläche 2 der Trägerglasplatte sind zueinander parallel Filterstreifen 3 von einigen /um Dicke angeordnet. Sie werden beispielsweise durch Aufdampfen und mittels eines Fotoätzverfahrens hergestellt. Auf die Streifen muß dann in üblicher Form eine leitfähige lichtdurchlässige Elektrode, aus z.B. SnOg, und darauf eine lichtempfindliche Halbleiterschicht in bekannter Weise aufgebracht werden.

Im Betrieb der Kameraröhre baut sich nun zwischen der lichtempfindlichen Schichtoberfläche und der- elektrisch leitenden Unterlage ein elektrisches Feld auf, das bekanntermaßen an den scharfen Kanten der Filterstreifen am größten ist und deshalb dort Störeffekte hervorruft, indem es z.B. zu einem erhöhten Dunkelstrom führt. Dieser Nachteil wird erfindungsgemäß dadurch vermieden, daß gemäß Figur 2 zwischen die Trägeroberfläche mit den Filterstreifen 3 und der leitfähigen Elektrodenschicht eine Zwischenschicht 5 gelegt wird, die die scharfen Kanten der zusätzlichen Struktur auf der Oberfläche 2 der Frontglasplatte 1 abrundet. Für diese Zwischenschicht kann eine vakuumbeständige Lackschicht vorgesehen werden, die insbesondere wesentlich aus einer Silicon-Verbindung besteht. An den auf diese Weise abgerundeten Kanten können nun zwischen der lichtempfindlichen Schicht 6 und der darunter befindlichen elektrisch leitenden Unterlage 3 keine Störeffekte auftreten.

VPA 9/980/3004 - 4 -

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Die beschriebene Maßnahme ist keinesfalls auf das dargestellte Ausführungsbeispiel beschränkt, sondern kann überall dort Anwendung finden, z.B. bei elektrischen Entladungsgefäßen, wo beiübereinander angeordneten elektrisch halbleitenden und leitenden Schichten das sich ausbildende elektrische Feld an scharfen Kanten zu Störungen infolge von Feldemission führt.

3 Patentansprüche
2 Figuren

VPA 9/980/3004 - 5 -

4 09849/0460

Claims (3)

Patentan sp rüche

1. Auf einem transparenten Träger, insbesondere einer Frontglasplatte, angeordnetes lichtempfindliches Target, insbesondere für Farbfernsehkamera, bestehend aus einer auf dem Träger angebrachten transparenten elektrisch leitenden Schicht als Signalelektrode mit darauf angeordneter lichtempfindlichen Halbleiterschicht, dadurch gekennzeichnet, daß bei einer scharfkantigen Struktur der tragenden Oberfläche (2) des Trägers (1), insbesondere bei einem zusätzlich aufgebrachten Interferenz-Streifenfilter 3,darauf zur Abrundung der scharfen Kanten eine Zwischenschicht (5) als Unterlage für die elektrisch leitende Elektrodenschicht (4) angeordnet ist.

2. Halbleiter-Target nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Zwischenschicht aus einer vakuumbeständigen Lackschicht besteht.

3. Halbleiter-Target nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Lackschicht wesentlich aus einer Silicon-Verbindung besteht.

VPA 9/980/3004

40984 9/046

L e e r s e i t e