DE2315130A1

DE2315130A1 - Elektronenoptische vorrichtung zur aufzeichnung ausgewaehlter beugungsmuster

Info

Publication number: DE2315130A1
Application number: DE19732315130
Authority: DE
Inventors: Karel Jan Van Oostrum
Original assignee: Philips Gloeilampenfabrieken NV
Current assignee: Koninklijke Philips NV
Priority date: 1972-04-12
Filing date: 1973-03-27
Publication date: 1973-10-18
Also published as: SE386770B; IT983000B; CA984524A; FR2179978B1; GB1424224A; NL7204859A; CH569275A5; FR2179978A1

Description

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g vom: 2" _c £^Τ;ΪΓΖ 1973

Elektronenoptische Vorrichtung zur Aufzeichnung ausgewählter Beugungsmuster.

Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Erzeugung und Aufzeichnung von Beugungsmustern eines zu wählenden verhältnismässig kleinen Teiles eines Präparates.

Bei bekannten in Elektronenmikroskopen angewandten

Verfahren wird zu diesem Zweck mit einer sogenannten "selected area"-Blende, (Ausgewähltes-Feld-Blende) ein Teil eines von einem Elektronenbündel durchstrahlten Präparates ausgewählt. Wie nachstehend nachgewiesen wird, können die Querabmessungen des zur Bilderzeugung beitragenden Teiles des Präparates nicht unter allen Umständen ausreichend klein gewählt werden.

Die Erfindung bezweckt, ein Verfahren und eine Vorrichtung zu schaffen, bei denen auch für verhältnismässig grosse

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2 3 1 B 1 3 CJ

Beugungswinkel eine erhebliche Verringerung der Querabmessungen des gesondert zu untersuchenden Teils des Präparates mit einer -vereinfachten Bedienung einhergeht.

Zu diesem Zweck ist ein eingangs erwähntes Verfahren gemäss der Erfindung dadurch gekennzeichnet, dass das Präparat mit einem Elektronenbündel beleuchtet wird, dessen Einfallsrichtung während der Aufzeichnung eines Beugungsmusters geändert wird, und dass ein vom Präparat in einer festen Richtung gestreuter Teil des Elektronenbündels für die Abbildung des Objektes in einer Eildebene ausgewählt wird.

Beim Verfahren gemäss der Erfindung werden für die Bilderzeugung nur die Elektronen benutzt, die sich nach Streuung durch das Präparat in einer festen Richtung bewegen. Dadurch, dass man bei einer bevorzugten Ausführungsform diese Sichtung mit einer optischen Achse einer elektronenoptischen Abbildungsvorrichtung zusammenfallen lässt, haben Linsenfehler nur einen verhälinismässig kleinen Einfluss auf die Bilderzeugung. Auf diese Weise wird mit einer Blende in der elektronenoptischen Vorrichtung ein beschränkter Richtungsbereich von aus dem Präparat austretenden Elektronen ausgewählt. Bei einer weiteren bevorzugten Ausführungsform der Erfindung wird die Aenderung der Einfallsrichtung des beleuchtenden Elektronenbündels mit der Abtastung eines schreibenden Elektronenbündels in einer Wiedergabevorrichtung synchronisiert. Als Modulation des Schreibbündels in der Wiedergabevorrichtung wird zur Aufzeichnung eines Beugungsmusters das Signal eines Detektors benutzt, der aus dem Endbild den zu studierenden Teil auswählt.

Dadurch, dass beim erfindungsgemässen Verfahren das

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Beugungsmuster als ein zeitlich veränderliches Signal aus dem Detektor erhalten wird, ergibt sich die Möglichkeit, digitale Datenverarbeitung anzuwenden. Unter Verwendung einer Fernsehaufnahmeröhre zur Aufzeichnung eines Endbildes werden bei einer bevorzugten Ausführungsform die Ablenkung des beleuchtenden Elektronenbündels und des abtastenden Elektronenstrahles in der Fernsehaufnahmeröhre miteinander synchronisiert. Dabei ist es einfach, bestimmte Richtungsgebiete auszuwählen und durch aufeinanderfolgende Wiedergabe von Teilbildern eine Wiedergabe eines Bildes in Farben zu erhalten, die je einem ausgewählten Beugungswinkel entsprechen.

Bekannte Elektronenmikroskope sind meistens mit einer Ablenkrichtung für das beleuchtende Elektronenbündel versehen. Dadurch ist es möglich, ein solches Mikroskop ohne eingreifende bauliche Aenderungen für die Anwendung des Verfahrens gemäss der Erfindung zu benutzen.

An Hand der Zeichnung werden nachstehend bevorzugte Ausführungsformen der Erfindung näher erläutert. Es zeigen

Fig. 1 skizzenhaft einen Strahlengang bei einem bekannten Verfahren,

Fig. 2 skizzenhaft einen Strahlengang bei einem erfindungsgemässen Verfahren,

Fig. 3 skizzenhaft einen Strahlengang eines beleuchtenden Elektronenbündels gemäss einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung,

Fig. 4 skizzenhaft einen Strahlengang eines beleuchtenden Elektronenbündels für Ortsabtastung des Präparates,

Fig. 5 ein Blockschaltbild einer bevorzugten Ausfüh-

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rungsform einer Vorrichtung zur Anwendung des Verfahrens gemäss der Erfindung.

Fig. 1 stellt eine Präparatebene 1, eine schematisch dargestellte Objektivlinse 2, eine paraxiale Abbildungsebene 3»eine zonale Abbildungsebene 4 und eine selected-area-Blende 5 eines bekannten Abbildungssystems dar. Ein Elektronenbündel 6, das einen Teil des Beleuchtungsbündels bildet, trifft auf einen Objektpunkt P in der Präparatebene 1. Vom Objekt in P wird ein Teil des auffallenden Elektronenbündels in vom Objekt und von der Lage des Objektes in bezug auf das einfallende Bündel 6 abhängigen Vorzugsrichtungen gestreut. Einfachheitshalber werden nachstehend ein nichtgestreutes, d.h. längs einer optischen Achse 7 des Systems verlaufendes, Bündel 8 und ein unter einem Winkel θ gestreutes ringförmiges Bündel 9> das z.B. von einem polykristallinen Objekt herrührt, betrachtet. Das Objektiv erzeugt eine Abbildung P¹ des Objektpunktes P im geradeaus verlaufenden Bündel 8 in der paraxialen Bildebene 3· Im gestreuten ringförmigen Bündel 9 wird der Punkt P von der Objektivlinse in einem Punkt P" der zonalen Bildebene 4 abgebildet. Die zonale Bildebene fällt infolge sphärischer Aberration der Objektivlinse, die eine Funktion des Winkels O ist, nicht mit der paraxialen Bildebene 3 zusammen. In der paraxialen Bildebene bildet das Bündel einen Ring um den Punkt P¹ herum. Die selected-area-Blende 5» dem ein Objektbezirk in der Präparatebene entspricht, lässt diesen Ring in Abhängigkeit von Winkel θ entweder durch oder nicht durch.

Elektronen, die auf entsprechende Weise von einem Objektpunkt Q in der Präparatebene gestreut werden, können, wie dies in der Figur durch eine gestrichelte Linie 10 angegeben ist, über einen zonalen Abbildungspunkt Q" auch in P¹ gelangen. Das Beugungsmuster, das das

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Elektronenmikroskop auf einem Endschirm erzeugt, rührt somit nicht nur von der paraxialen, der selected-area-Blende zugeordneten, den Objektpunkt P umgebenden Scheibe, sondern auch von einem Objektpunkt Q her, der ausaerhalb dieses Bezirkes liegt. Bei einem üblichen Beugungswinkel θ von 0,1 rad is infolgedessen bei diesem Verfahren mit Hilfe einer selected-area-Blende eine Auswahl eines Bezirkes im Präparat mit einer Abmessung von weniger als etwa 1 /um nicht möglich.

In Fig. 2 sind entsprechende Elemente mit den gleichen Ziffern und Buchstaben wie in Pig. 1 bezeichnet. Während der Aufnahme des Beugungsmusters wird die Einfallsrichtung eines auf P gerichteten Teiles 12 des beleuchtenden Elektronenbündels beim Objektpunkt P stetig variiert. In Kugelkoordinaten θ und φ ausgedrückt, wobei 0 durch den Winkel zwischen dem Hauptstrahl des einfallenden Elektronenbündels in P und der optischen Achse 7 des Systems gegeben wird, kann die Aenderung in der Einfallsrichtung z.B. in einem Muster durchgeführt werden, bei dem jeweils bei einem festen Wert von θ der Winkel Φ einen Bereich von 360° durchläuft. Auch kann eine Spiralbewegung gewählt werden, bei der bei jedem Bereich von 360° für φ der Winkel θ eine verhältnismässig geringe Aenderung erfährt. Das beleuchtende Bündel kann auch gemäss einem üblichen Fernsehrastermuster abgelenkt werden. Für die eingangs erwähnte Wiedergabe von Teilbildern mit ausgewählter Beleuchtung kann die Stromstärke im Bündel z.B. so gesteuert werden, dass nur bei vorher gewählten Einfallsrichtungen eine Beleuchtung erfolgt. Die Stromstärkensteüerung hat dabei vorzugsweise binären Charakter, es ist jedoch auch möglich, gewählte Richtungen mit einem weniger intensiven Elektronenbündel zu beleuchten als andere Richtungen. Auch kann zum gleichen Zweck bei

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der Aufzeichnung nach bestimmten Vorzugsxiehtungen diskriminiert werden. Ein Teil 13 des Bündels 12 wird in einer Richtung längs der optischen Achse 7 gestreut. Der Streuwinkel ist dabei in der Figur wieder mit O bezeichnet. Mit den sich längs der optischen Achse 7 bewegenden Elektronen wird von der Objektivlinse eine Abbildung P' von P in der paraxialen Bildebene 3 erzeugt. Nichtgestreute Elektronen, die ein Bündel 14 bilden, werden von einer in der hinteren Brennebene des Objektives angeordneten Blende 15 abgefangen.

Tatsächlich wird durch diese Winkelwahl Dunkelfeldbeleuchtung in einer zeitlich variierenden Richtung durchgeführt. Von der Blende 15 werden nur Elektronen, die unter einem Winkel O im Objektpunkt gestreut worden sind, durchgelassen. Elektronen aus einem Objektpunkt Q, können dabei nicht in den Bildpunkt P^! gelangen. In den Punkt P¹ kommen ungeachtet der Einfallsrichtung nur Elektronen, die das elektronenoptische System hinter der Präparatebene paraxial durchlaufen. Wird die Einfallsrichtung des Bündels 12 geändert, so ändert sich auch die Intensität des in P' einfallenden Elektronenbündels, denn der gestreute Teil des Bündels 12 ist eine Funktion der Richtungskoordinaten φ und 0. Die Form dieser Funktion hängt von der Natur des Objektes in P ab. Dadurch, dass nur paraxiale Strahlen zur Bilderzeugung beitragen, ist der Einfluss von Aberrationen des Objektives auf die Bilderzeugung verhältnismässig gering. Die Objektscheibe um P herum, die einer empfindlichen Fläche einer Detektorvorrichtung 16 in der Bildebene entspricht, kann denn auch erheblich kleiner sein als beim bekannten Verfahren. Bei Verwendung üblicher Objektivlinsen können die Querabmessungen der Objektscheibe unter etwa 10 A liegen. Mittels des Detektors 16 wird die Intensität des

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in den Bildpunkt P¹ einfallenden Elektronenbündels als ein zeitlich veränderliches Signal gemessen.

Bei einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung zur Steuerung der Richtung des beleuchtenden Bündels, wie sie in Fig. 3 skizzenhaft dargestellt ist, findet ein elektronenoptisches Linsensystem 17 Verwendung, für das jede übliche Objektivlinse benutzt werden kann. Im Schnitt betrachtet wird ein Teil AB, das Ge-„sichtsfeld, eines Präparates als A¹B¹ in der Bildebene 5 abgebildet. Zu diesem Zweck wird ein engster Querschnitt des Elektronenbündels in einem Punkt Q von einem Kondensorteil 19 des Linsensystems 17 in einem virtuellen Punkt 18 abgebildet, aus dem das Gesichtsfeld AB beleuchtet wird. Der engste Querschnitt im Punkt Q wird auf bekannte Weise durch ein vorhergehendes nichtdargestelltes Kondensorsystem gebildet. Der Punkt Q wird mittels eines Ablenksystems 20 in einer horizontalen Ebene, d.h. quer zur optischen Achse 7 cLee Systemes, verschoben. Das beleuchtende Elektronenbündel wird mittels des Ablenksystemes 20 um einen virtuellen Kippunkt R gekippt. Infolgedessen wird der Winkel Θ, unter dem das Gesichtfeld beleuchtet wird, variiert, ohne dass sich das Gesichtsfeld selbst ändert. Zu diesem Zweck ist als Kippunkt der Punkt R gewählt, der von der Kondensorlinse 19 einen Zentralpunkt C des Gesichtsfeldes AB virtuell zugeordnet ist. C ist somit der reelle Kippunkt. Mit der Blende 15 wird die Bilderzeugung durch eine Objektivlinse -21 auf die Elektronen beschränkt, die längs der optischen Achse 7 vom Präparat gestreut werden. Elektronen, die z.B. aus einem virtuellen Punkt 22 stammend am Objekt ohne Streuung vorbeigehen, werden von der Blende 15 abgefangen. Dies ist durch ein gestricheltes Elektronenbündel 24 darge-

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stellt. Mit Hilfe des Ablenksystems 20 lässt sich der Punkt 18 in einer Ebene 25 z.B. zwischen den Punkten 23 und 22 verschieben. Diese Verschiebung kann z.B. in einem Muster aus konzentrischen Kreisen um die Achse 7 des Systemes erfolgen. Dabei ist es einfach, nach Streuungsrichtungen auszuwählen. Die Beleuchtung eines Objektes unter variierendem Einfallswinkel θ und Azimut φ erfolgt somit in . dieser Ausführungsform durch Verschiebung eines engsten Querschnitts des beleuchtenden Elektronenbündels in einer Ebene quer zur optischen Achse.

Zum Vergleich ist in Fig. 4 ein Strahlengang für

Ortsabtastung eines Präparates dargestellt. Ein Elektronenbündel 26 wird von einem nichtdargestellten Kondensorsystem in einem virtuellen Punkt 27 fokussiert und mit einem Ablenksystem 28 abgelenkt, mit einem Punkt 29 als Kippunkt. Ein Kondensorteil 30 der Linse 17, die hier die Form einer Ruska-Kondensorobjektivlinse gebildet wird, siehe Riecke and Ruska, Proceedings VIth Intern. Congress for Electron Microscopy, Kyoto, Japan 1966, Band I, Seite 19> bildet vom virtuellen engsten Querschnitt in 27 einen reellen Punkt 31 in der Präparatebene 1, die bei dieser Linse in der Linsenmitte liegt. Durch Bewegen des Elektronenbündels 26 um den Kippunkt 29 wird ein Präparat ortsmässig abgetastet. Als Kippunkt 29 wird der Brennpunkt der Kondensorlinse 30 gewählt, so dass das Präparat in jedem Punkt unter der gleichen Einfallsrichtung getroffen wird. Es ist ein Einfallswinkel von dargestellt. Eine Objektivlinse 32 der Ruska-Linse 17 bildet in der hinteren Brennebene 33 dieser Linse ein Beugungsmuster, das somit bei der Bewegung des Elektronenbündels 26 in der Präparatebene seine La^re behält. In der hinteren Brennebene oder in einer vergrösserten Abbil-

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dung, die durch nichtdargestellte nachfolgende Linsen gebildet wird, kann nunmehr, beispielsweise mit einem Ringdetektor, das Beugungs-

muster vermessen werden.

Der Uebergang von einer Richtungsabtastung gemäss der Erfindung zu einer Ortsabtastung ist in einem Linsensystem durch Anpassung des Strahlenganges des beleuchtenden Elektronenbündels erzielbar. Dabei muss eine richtige Lage des Kippunktes u'nd des engsten Querschnittes des Bündels gewählt werden. Dies ist mit geeigneten Einstellungen der unterschiedlichen elektronenoptischen Linsen und Ablenksysteme erzielbar. Bei einem Elektronenmikroskop wie z.B. dem Philips EM 300 lässt sich das erfindungsgemässe Verfahren ohne eingreifende bauliche Aenderungen anwenden, denn ein derartiges Elektronenmikroskop ist mit einem Wobbler (Ablenksystem) mit einem Bereich in β von etwa 0,1 rad ausgestattet. Ein derartiger Bereich genügt reichlich zur Anwendung des Verfahrens gemäss der Erfindung. Als Vorteil ergibt sich ausser der Möglichkeit, einen kleineren Teil des Präparates zu untersuchen, eine bequemere Bedienung. Ein Endbild und ein Beugungsmuster lassen sich gemäss der Erfindung mit den gleichen Linseneinstellungen^ studieren. Mit dem- erfindungagemässen Verfahren werden nacheinander für verschiedene Beleuchtungsrichtungen aufzeichenbare Endbilder erzeugt, in denen ein gewünschter Teilbereich auf einfache Weise mit einem Detektor in der Bildebene gewählt werden kann, um das Beugungsmuster des entsprechenden Teiles des Präparates aufzuzeichnen.

Ein anderes Verfahren zur Herstellung eines Beugungsmusters eines kleinen Bezirkes ist im Artikel "Beugungsexperimente mit sehr feinen Elektronenstrahlen¹¹ in der Zeitschrift für Angewandte

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Physik, 27, No. 3, 1969, Seiten 155-155 beschrieben worden. Dabei findet eine Kondensorobjektivlinse Verwendung, wie sie an Hand der Fig. 4 beschrieben worden. Die Wahl des zu studierenden Bezirkes wird dabei nicht mittels einer in der paraxialen Bildebene des Objektivlinses angeordneten Blende, sondern durch Beschränkung der Beleuchtung auf den gewählten Teil des Präparates erhalten-. Weil der Kondensorteil der dabei verwendeten Linse sehr stark ist und eine geringe sphärische Aberration aufweist, kann das beleuchtende Bündel auf dem Präparat einen kleinen Querschnitt haben und ist auch bei diesem Verfahren die Wahl eines verhältnismässig kleinen Teiles des Präparates möglich. Im Gegensatz zu diesem Verfahren ist beim erfindungsgemässen Verfahren die erzielbare Mindestgrösse des ausgewählten Bezirkes nicht von Aberrationen im Ablenk- und Kondensorsystem abhängig und somit auch nicht an die Anwendung der speziellen Linse mit einem starken Kondensorfeld gebunden.

Ein Verfahren zur Abbildung eines Präparates mit ausgewählter Dunkelfeldbeleuchtung ist in dem Artikel "Selected-zone darkfield Electron Microscopy", Appl. Phys. Lett. 20 No. 3» February 1, 1972, pages 122-125» beschrieben worden. Bei diesem Verfahren wird der Streuwinkel 0 durch Verwendung einer ringförmigen Blende in der hinteren Brennebene der Objektivlinse ausgewählt. Dieses Verfahren liefert ein Endbild eines Objektes mit Hilfe von Elektronen, die innerhalb eines durch die Blende ausgewählten Richtungsbereiches gestreut werden. Die Justierung einer solchen Ringblende ist schwierig. Ausserdem muss für jede Streurichtung eine eigene Blende verwendet werden.

Das Blockschaltbild der Fig. 5 zeigt eine Elektronenstrahlquelle 40 zur Erzeugung des beleuchtenden Elektronenbündels,

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zwei Ablenkspulensätze 41 und 42 zur Ablenkung des Elektronenbündels, die je in zwei zueinander senkrechten Richtungen wirksam sind, wodurch eine Ablenkung in allen Richtungen θ und φ in bezug auf eine Achse 7 möglich ist, eine Präparatebene 45» ein Objektiv 44 und einen Endschirm 45· Biese Elenente sind sämtlich Teile eines üblichen Elektronenmikroskops, z.B. des erwähnten Philips EM 500. Am Endschirm 45 befindet sich ein Detektor 46 zur Registrierung der 'Intensität des Elektronenbündels. Die Anlage enthält weiter eine elektronische Steuerschaltung 48» eine Erregungsvorrichtung 49 für die Ablenkspulen, einen Signalwandler 50 und eine x-y-Wiedergabevorrichtung 51· Ein Ausgangssignal des Detektors 46 wird den Signalwandler 50 zugeführt. Im Signalwandler wird das der gemessenen Intensität analoge Signal in ein Modulationssignal umgewandelt, das der x-y-Wiedergabevorrichtung als z-Modulation zugeführt wird. Der Signalwandler ist ebenso wie die x-y-Wiedergabevorrichtung mit der Steuerschaltung 48 gekoppelt. Die Steuerschaltung steuert über die Erregungsvorrichtung 49 die Ablenkung des Beleuchtungsbündels synchron mit einem Schreibbündel in der x-y-Wiedergabevorrichtung. Auf dem Schirm der Wiedergabevorrichtung wird das Beugungsmuster desjenigen Teiles des Präparates, der der Detektorfläche entspricht, dargestellt. Wenn das Elektronenmikroskop mit einer Fernsehaufnahmeröhre für Bildaufzeichnung versehen ist, kann als Detektorsignal derjenige Teil des Videosignales benutzt werden, der vom ausgewählten Teil in der Bildebene herrührt.

Bei einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung wird die Elektronenstrahlquelle 40 von der Steuerschaltung derart gesteuert, dass nur während einer erwünschten bzw. zuvor eingestellten

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Reihe von Einfallsrichtungen, in θ und φ gemessen, ein Elektronenbündel erzeugt wird. Ein Endbild, das dabei von einer Fernsehaufnahmeröhre 52 registriert wird, zeigt nur Strukturen mit einem ausgewählten Beugungsmuster. Dabei ist der Detektor mit einem Leuchtschirm versehen, an den die Fernsehröhre, vorzugsweise mittels einer Glasfaserplatte, angeschlossen ist. Eine ähnliche Auswahl lässt sich dadurch durchführen, dass das Videosignal nur dann .registriert wird, wenn bei kontinuierlicher Aenderung der Einfallsrichtung das beleuchtende Bündel sich in einem gewählten Richtungsbereich befindet. Dadurch, dass abwechselnd mehrere Messreihen gewählt und jeder dieser Reihen gemäss bekannten Farbfernsehverfahren mittels eine Chromatisierungsvorrichtung 55 eine Farbe zugeordnet wird, lässt sich auf einem Farbmonitor 54 ein Bild erzeugen, in dem jede Farbe eine im Präparat auftretende Struktur mit eigenem Beugungswinkel kennzeichnet. Selbstverständlich muss dabei zur einwandfreien Synchronisierung die Chromatisierungsvorrichtung mit der Steuerschaltung gekoppelt sein. Bei einem durch Kreise für verschiedene Werte von θ gegebenen Abtastmuster lässt sich dabei die Beugung nullter Ordnung einfach aus dem Farbfernsehsignal beseitigen und gegebenenfalls gesondert auf einem Schwarz-Weiss-Monitor darstellen. Aue dem geschilderten Blockschaltbild geht deutlich hervor, dass das Verfahren an jedem Elektronenmikroskop durchgeführt werden kann, das mit einer Wobbelvorrichtung zur Ablenkung des Elektronenbündels gemäss bekannten Fernsehverfahren versehen ist. Durch Zusatz von an sich bekannten elektronischen Schaltungen und aus der Fernsehtechnik bekannten Systemen zur Aufnahme und Wiedergabe von Bildern lässt sich eine Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens gemäss der Erfindung bauen.

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Claims

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1. j Verfahren zur Erzeugung und Registrierung von Beugungsmustern eines zuwählenden vernaltniemäseig kleinen Teiles eines Präparates, dadurch gekennzeichnet» dass das Präparat mit einem Elektronenbündel beleuchtet wird, dessen Einfallsrichtung während der Aufnahme eines Beugungsmusters geändert wird, während ein vom Präparat in einer festen Richtung gestreuter Teil des Elektronenbündels für die Abbildung des Objektes in einer Bildebene ausgewählt wird.

2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass in der Bildebene ein Detektor zur Registrierung eines zeitabhängigen Signals für ein Beugungsmuster eines vom Detektor gewählten Teiles des Präparates angeordnet ist.

3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass in der Bildebene ein Detektor, vorzugsweise eine Fernsehaufnahmerohre, zur Aufzeichnung der ganzen Präparatabbildung angeordnet ist.

4. Verfahren nach Anspruch 1, 2 oder 3» dadurch gekennzeichnet, dass die Aenderung ,der Einfallsrichtung in Kugelkoordinaten θ und Φ durchgeführt wird und bei bestimmten wenigstens nahezu festen Werten des Winkels θ und des Winkels Φ über einen Bereich von 360° variiert.

5. Verfahren nach Anspruch 4t dadurch gekennzeichnet, dass der Winkel θ schrittweise variiert wird, während der Winkel φ zwischen aufeinanderfolgenden Schritten in θ über 360° geändert wird.

6. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass die Ablenkung des beleuchtenden Elektronenbündels synchron mit einer Aufzeichnung des Fernsehsignals des Detektors durchgeführt wird.

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7. Verfahren nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass eine Steuervorrichtung das beleuchtende Elektronenbündel mittels eines elektronenoptiachen Ablenksystems gemäss einem Fernsehrastermuster ablenkt und synchron dazu eine Aufzeichnungsvorrichtung steuert, wobei nur bei voreingestellten Einfallsrichtungen des beleuchtenden Elektronenbündels ein Signal aufgezeichnet wird.

8. Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass sie ein mit einem Ablenksystem (Wobbler) versehenes Elektronenmikroskop und eine Steuerschaltung zur synchronen Steuerung des Ablenksystems und einer Wiedergabevorrichtung für das Detektionssignal enthält.

9. ,Vorrichtung nach Anspruch Θ, dadurch gekennzeichnet, dass ein Detektor zur Detektierung eines Signals einen mit einer Fernsehaufnahmeröhre gekoppelten Leuchtschirm enthält und das Abtastsystem der Fernsehaufnahmerohre mit der Steuerschaltung für das Ablenksystem des beleuchtenden Elektronenbündels gekoppelt ist.

10. Vorrichtung nach Anspruch 8 oder 9» dadurch gekennzeichnet, dass die Steuervorrichtung einstellbare Reihen in Richtungskoordinaten diskriminiert, indem sie die Stromstärke eines Elektronenbündels steuert, das zur Bildung des Detektionssignals beiträgt, und dass eine Farbfernsehkette vorgesehen ist, durch die die in diesen Reihen erhaltenen Detektionssignale nacheinander in verschiedenen Farben wiedergegeben werden.

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