SE386770B - Forfarande och anordning for avbildning av en jemforelsevis liten del av ett prov i ett bildplan - Google Patents

Forfarande och anordning for avbildning av en jemforelsevis liten del av ett prov i ett bildplan

Info

Publication number
SE386770B
SE386770B SE7304969A SE7304969A SE386770B SE 386770 B SE386770 B SE 386770B SE 7304969 A SE7304969 A SE 7304969A SE 7304969 A SE7304969 A SE 7304969A SE 386770 B SE386770 B SE 386770B
Authority
SE
Sweden
Prior art keywords
imaging
sample
procedure
small part
comparatively small
Prior art date
Application number
SE7304969A
Other languages
English (en)
Swedish (sv)
Inventor
Oostrum K J Van
Original Assignee
Philips Nv
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Philips Nv filed Critical Philips Nv
Publication of SE386770B publication Critical patent/SE386770B/xx

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/02—Details
    • H01J37/22—Optical or photographic arrangements associated with the tube
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/26—Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes
    • H01J37/295—Electron or ion diffraction tubes
    • H01J37/2955—Electron or ion diffraction tubes using scanning ray

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
SE7304969A 1972-04-12 1973-04-09 Forfarande och anordning for avbildning av en jemforelsevis liten del av ett prov i ett bildplan SE386770B (sv)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
NL7204859A NL7204859A (xx) 1972-04-12 1972-04-12

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SE386770B true SE386770B (sv) 1976-08-16

Family

ID=19815829

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SE7304969A SE386770B (sv) 1972-04-12 1973-04-09 Forfarande och anordning for avbildning av en jemforelsevis liten del av ett prov i ett bildplan

Country Status (8)

Country Link
CA (1) CA984524A (xx)
CH (1) CH569275A5 (xx)
DE (1) DE2315130A1 (xx)
FR (1) FR2179978B1 (xx)
GB (1) GB1424224A (xx)
IT (1) IT983000B (xx)
NL (1) NL7204859A (xx)
SE (1) SE386770B (xx)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4210806A (en) * 1979-01-18 1980-07-01 International Business Machines Corporation High brightness electron probe beam and method
DE3636506A1 (de) * 1986-10-27 1988-04-28 Atomika Tech Physik Gmbh Spiralabtastverfahren
JPH0233843A (ja) * 1988-07-25 1990-02-05 Hitachi Ltd 走査電子顕微鏡

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB1248201A (en) * 1967-07-03 1971-09-29 Nat Res Dev Electron microscopes
GB1284061A (en) * 1970-01-21 1972-08-02 Cambridge Scientific Instr Ltd Electron beam apparatus

Also Published As

Publication number Publication date
GB1424224A (en) 1976-02-11
CH569275A5 (xx) 1975-11-14
DE2315130A1 (de) 1973-10-18
IT983000B (it) 1974-10-21
FR2179978B1 (xx) 1978-02-10
FR2179978A1 (xx) 1973-11-23
CA984524A (en) 1976-02-24
NL7204859A (xx) 1973-10-16

Similar Documents

Publication Publication Date Title
SE7614395L (sv) Sett och anordning for ultraljudsundersokning
SE393017B (sv) Elektronisk apparatur for fotografering och visning av stillbilder
SE405512B (sv) Forfarande och anordning for bearbetning av ekosignaler
SE7708341L (sv) Analysforfarande och -apparat
SE390744B (sv) Forfarande och apparat for infodring av ett ror
SE411254B (sv) Forfarande och apparat for utverdering av biologiska vetskor
SE399375B (sv) Forfarande och anordning for styrning av en elerosiv bearbetningsprocess
SE402937B (sv) Forfarande och apparat for mercerisering av en cellulosahaltig vevnadsbana
SE405044B (sv) Forfarande och apparat for bestemning av leukocyter i blodprov
SE394967B (sv) Forfarande och anordning for elerosiv eller elektrokemisk bearbetning
SE384409B (sv) Forfarande och apparat for automatisk analys
SE401910B (sv) Forfarande och anordning for att avkenna ett vexellege
SE385977B (sv) Forfarande och anordning for kolorimetrisk analys
IT965804B (it) Procedimento e dispositivo per la asciugatura rapida di pellicole fotografiche
SE7508649L (sv) Forfarande och anordning for undersokning av vetskor
SE400487B (sv) Forfarande och anordning for automatisk tillverkningav kanalelement av plat
SE410653B (sv) Forfarande och anordning for ventilation av stora lokaler
SE388292B (sv) Automatisk anordning for fastspenning och lostagning av fotografiskt filmmaterial
SE387608B (sv) Anordning for transport och sortering av flensforsedda ror
SE380343B (sv) Observationsapparat med anordning for panorering och med en stabiliserande gyroskopanordning
SE386770B (sv) Forfarande och anordning for avbildning av en jemforelsevis liten del av ett prov i ett bildplan
SE386264B (sv) Forfarande och anordning for optisk spenningsundersokning.
SE381338B (sv) Forfarande for undersokning av ett uppblasbart deck och undersokningsapparat for utforande av forfarandet
FR1502320A (fr) Appareil et processus photographiques nouveaux et perfectionnés
IT985094B (it) Materiale e procedimento per pro durre immagini fotografiche