DE2312414A1 - Verfahren zur herstellung von integrierten mos-schaltkreisen - Google Patents

Verfahren zur herstellung von integrierten mos-schaltkreisen

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Description

PATcNTANW ALTSBÜRO TlEDTKE - BüHLING - KlNNE
TEL. (0811) 53MS3-M TELEXi 524145 tipat CABLE ADDRESS: Garmaniapatant München
8000 München 2 Bavarfartng4 13. März 1973 Postfach 202403
Matsushita Electronics Corporation Osaka (Japan)
Verfahren zur Herstellung von integrierten MOS-Schaltkreisen
Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung eines integrierten MOS-Schaltkreises, das sich dazu eignet, in diesem Schaltkreis einen Kondensator für einen Hilfsspeicherkreis, der in einem integrierten MOS-Schaltkreis mit einem Inverterkreis o. dgl. benutzt werden kann, anzubringen.
Fig. 1 der beigefügten Abbildungen zeigt eine Ausführungsform eines bekannten Inverterkreises dieses Typs. Dieser besteht aus einem Invertertransistor 1, einem Ladetransistor 2, einem Speicherkondensator 3, einem Signaleingangspol 4, einem Ausgangspol 5 und einem Gleichstromvorspannungszuleitungspol 6.
Ein Inverterkreis, der mit MOS-Feldeffekttransistoren gebildet wird, enthält bekanntermaßen einen Invertertransistor und einen Ladetransistor.
In diesem Schaltkreis wird die Invertierung vorgenommen, wenn die Höhe des an den Eingangspol 4 angelegten Signals so groß wird, daß der Invertertransistor 1 gesperrt wird (im Falle des Betriebes des MOS-Feldeffekttransistors mit p-Kanal-Verstärkung ). Die Sperrung dieses Transistors bewirkt, daß der Kondensator 3 durch den Ladetransistor 2 aufgeladen wird, wobei am Ausgangspol 5 ein Ausgangssignal erzeugt wird.
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In diesem Falle fällt jedoch der Wert des Ausgangssignals, d.h. die Spannung am Kondensator 3» die auf diese Weise erhalten wird, zwangsläufig unter den Wert der Gleichspannung, die an den Vorspannungszuleitungspol 6 angelegt wurde..
Wenn V" beispielsweise die Gleichspannung, die an dem Pol 6 anliegt, V. die Spannung an einem Punkt A (Fig=, 1) und V.,
die Einsatzspannung des Ladetransistors 2 ist, ergibt sich für Y. folgende Gleichung:
^A = V - V
th - ,
(F) (F)
wobei ÜV,, .die Veränderung von V. ν infolge des Bulkeffektes
des Ladetransistors 2 ist.
Mit anderen Worten ausgedrückt fällt die Höhe des Ausgangssignals um einen Spannungswert, der der Summe von V,, und Δν.·, entspricht.
Um dieses Problem der nicht zufrieden-stellenden Ausgangsspannung zu lösen, wurde die zusätzliche Verwendung eines HiIfsspeicherkreises, wie in Fig.- 2 der beigefügten Abbildungen dargestellt, vorgeschlagen. Dieser Hilfsspeicherkreis besteht aus einem Kondensator ? und einem MOS-Feldeffekttransistor Die zusätzliche Verwendung dieses Kreises vermeidet in der nachfolgend dargestellten Weise ein Absinken der Ausgangsspannung.
Wenn nämlich die Höhe des Eingangssignals, das an das Gatter des Invertertransiotors 1 angelegt wird, so niedrig ist, daß der Invertertransistor 1 eingeschaltet ist, wird der Kondensator 7.durch den MOS-Feldeffekttransistor 8 aufgeladen und xst
daher das Potential an einem Punkt B (Fig. 2) niedriger als die Spannung, die am Pol 6 anliegt, und zwar um den Wert der
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Einsatzspannung V!, des MOS-Feldeffekttransistors 8.
Bezeichnet man die Spannung am Punkt B mit V„, dann ergibt sich für diese.die Gleichung
γΒ = V * Vth '
wobei V die Gleichspannung am Pol 6 ist.
Wenn die Höhe des an das Gatter des Invertertransistors 1 angelegten Eingangssignals so groß wird, daß der Transistor 1 gesperrt und der Kondensator 3 daher aufgeladen wird, befindet sich der Ladetransistor 2 in einem ungesättigten Zustand, wahrend ferner die Spannung am Punkt B um den Wert von Vg größer als die Spannung am Kondensator 3 wird, wie das Aufladen des Kondensators 3 fortschreitet. Während des fortschreitenden Aufladens des Kondensators 3 wird die Spannung am Punkt B höher als die Spannung am Pol 6, wodurch schließlich der Kondensator 3 auf die Spannung V am Pol 6 aufgeladen wird.
Auf diese Weise wurde das Problem des verringerten Ausgangswertes durch den Einbau eines Hilfsspeicherkreises gelöst.
Jedoch weist diese Art von Schaltkreisen'einen Nachteil bei ihrer Herstellung in Form von integrierten Kreisen auf, insbesondere ist es praktisch unmöglich, den Kondensator 7 für den Hilfsspeicherkreis herzustellen, wenn die Selbsteinstellmethode verwendet wird.
Die Selbsteinstellmethode wird üblicherweise zur Herstellung von MOS-Feldeffekttransistoren benutzt und eignet sich dazu, bei Schaltkreisen einen verbesserten Frequenzgang zu liefern. Sie wird im folgenden anhand von Fig. 3 der beigefügten Abbildungen erläutert.
Fig. 3 zeigt einen Schnitt durch einen MOS-Feldeffekttransistor, der mit der Selbsteinstellmethode hergestellt wurde. Auf einer
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Siliziuraplatte 9 befinden sich Gatteroxidfilme 1o und 11 und Gatterelektroden 12 und 13 z.B. aus Molybdän. Diffusionsbereiche 14»15 und 16 sind durch Eindiffundieren von Verunreinigungen in die Siliziumplatte hergestellt, wobei die Gatterbereiche als Masken benutzt worden sind. Diese Diffusionsbereiche weisen einen Leitfähigkeitstyp auf, der zu demjenigen der Siliziumplatte entgegengesetzt ist. Über den Diffusionsbereichen befindet sich eine Siliziumdioxidschicht 17-
Wie aus Fig. 2 ersichtlich, sind die Anschlüsse des Kondensators 7 des Hilfsspeicherkreises nicht direkt geerdet. Wie andererseits aus Fig. 3 ersichtlich, müssen mit den Schaltkreiselementen, die durch die Selbsteinstellmethode gebildet werden, die Gatterelektrode, der Gatteroxidfilm und die Siliziumplatte dazu benutzt werden, diesen Kondensator herzustellen. Bei der tatsächlichen Benutzung des- so erhaltenen Kondensators ist notwendigerweise ein Anschluß des Kondensators geerdet, da die Siliziumplatte geerdet ist.
Es ist daher nicht möglich, einen Hilfsspeicherkondensator gemäß Fig. 2 herzustellen. · ;
Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es daher, diesen Nachteil zu beseitigen und ein verbessertes Verfahren vorzuschlagen, mit dem integrierte MOS-Schaltkreise hergestellt, werden können:, wobei ein vorbereitender Diffusionsbereich mit einem Leitfähigkeitstyp, der zu demjenigen der Siliziumplatte entgegengesetzt ist, vor der Bildung der Gatterbereiche zu erzeugen, wobei ein Hilfsspeicherkondensator durch den vorbereitenden Diffusionsbereich und den damit verbundenen Gatterbereich gebildet wird, wenn ein MOS-Feldeffekttransistor nach 'der üblichen Selbsteinstellmethode gebildet wird.
Gemäß dem erfindungsgemäßen Verfahren wird ein Kondensator in der Siliziumplatte unabhängig von dieser im Rahmen der Selbsteinstellmethode gebildet.
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Andere Aufgaben und Vorteile der vorliegenden Erfindung ergeben sich aus der nachfolgenden detaillierten Beschreibung im Zusammenhang mit den Abbildungen.
Fig. 1 zeigt ein Schaltbild eines mit MOS-Feldeffekttransistoren aufgebauten bekannten Inverterkreises.
Fig. 2 ist ein Schaltbild einer modifizierten Form des Inverterkreises von Fig. 1 mit einem Hilfsspeicherkreis.
Fig. 3 zeigt einen Schnitt durch MOS-FeIdeffekttransistoren zur Erläuterung.ihrer Herstellung mit der bekannten Selbsteinstellmethode.
Fig. 4 ist ein Schnitt durch einen erfindungsgemäß hergestellten Kondensator.
Fig. 5 ist ein Schnitt durch eine weitere, nach der Erfindung hergestellte Ausführungsform eines Kondensators.
Während die vorliegende Erfindung nun im Zusammenhang mit einem Hilfsspeicherkreis in einem Inverterkreis beschrieben wird,kann sie auch überall dort verwendet werden, wo ein Kondensator in einem integrierten MOS-Kreis hergestellt werden soll, dessen Anschlüsse nicht geerdet sein sollen.
Fig. if zeigt im Schnitt eine Ausführungsform eines Kondensators, der gemäß der vorliegenden Erfindung hergestellt wurde. Hier wurde zunächst der vorbereitende Diffusionsbereich 18 in einer Siliziumplatte 9 erzeugt.
Gatteroxidfilme 19, 2o und 21 werden gebildet, wonach Gatterelektroden 22, 23 und 2.1+ auf den Gatteroxid filmen 19, 2o und 21 erzeugt werden.
Bei der Bildung dieser Gatterbereiche ist es wichtig, daß wenigstens ein Teil der Gatterbereiche auf dem vorher gebildeten
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Diffusionsbereich 18 plaziert wird.
Danach werden Diffusionsbereiche 25, 26, 27 und 28 gebildet, die die notwendigen Quell- und Abzugselektrodenbereiche liefern.
Wenn diese Verfahrensschritte beendet sind, ist ein Kondensator, der aus dem Diffusionsbereich 18 gebildet wird, der Gatteroxidfilm 2o und die Gatterelektrode 23 in1der Siliziumplatte 9 zusätzlich zu einer Vielzahl von MOS-Feldeffekttransistoren gebildet worden. Der so gebildete Kondensator schließt, wie ohne weiteres ersichtlich,keinen Teil der Siliziumplatte als bildendes Element ein und ist daher unabhängig von der Siliziumplatte. .
Wenn angenommen wird, daß der Gatteroxidfilm 19, die Gatterelektrode 22 und die Diffusionsbereiche 25 und 26 dem Ladetransistor von Fig. 2 und der Gatteroxidfilm 21, die Gatterelektrode 2/f und die Diffusionsbereiche 27 und 28 dem Invertertransistor von Fig. 2 entsprechen, sind die Abzugs-Quell-Kreise der beiden-Transistoren über den Diffusionsbereich 18 in Kaskade verbunden. Da der Diffusionsbereich 18 einen Anschluß und die Gatterelektrode den anderen Anschluß des Kondensators bildet, werden die Gatterelektrode 23 und die Gatterelektrode 22 durch eine leitende Schicht 29 verbunden, so daß sich dieselbe Schaltung des Kondensators in dem Hilfsspeicherkreis, wie in Fig. 2 gezeigt, ergibt.
Ferner kann ein Kondensator mit der in Fig. 5 gezeigten Struktur mit dem erfindungsgemäßen Verfahren hergestellt werden.
Hierzu werden ein Gatteroxidfilm 39 und eine Gatterelektrode 3o in der in Fig. 5 gezeigten Weise auf dem Diffusionsbereich 18 angebracht. Die Bezugsziffern 31 und 32 bezeichnen entsprechend einen Gatteroxidfilm und eine Gätterelektrode, die einen anderen Gatterbereich bilden.
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Unter Ausnutzung der Gatterbereicne als Masken werden Verunreinigungen eindiffundiert, die Diffusionsbereiche 33» 3k und 35 bilden.
Auf diese Weise wird ein MOS-Feldeffekttransistor durch den Gatteroxidfilm 39, die Gatterelektrode 3o und die Diffusionsbereiche 33 und 3k und ein weiterer MOS-Feldeffekttransistor durch den Gatteroxidfilm 31, die Gatterelektrode 32 und die Diffusionsbereiche 3k und 35 gebildet.
Ferner ist durch den Diffusionsbereich 18, den Gatteroxidfilm 39 und die Gatterelektrode 3o ein Kondensator entstanden.
Hierbei ist der Diffusionsbereich 3k, der die Abzugs- und Quellelektrodenbereiche der beiden MOS-Feldefffekttransistoren bildet, mit der Gatterelektrode 3o eines der MOS-Feldeffekttransistoren verbunden, ohne daß es eines speziellen Verbindungsmittels bedarf.
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Claims (2)

  1. Patentansprüche
    Verfahren zur Herstellung von integrierten MOS-Schaltkreisen, dadurch gekennzeichnet, daß an einer ausgewählten Stelle einer Siliziumplatte mit einem bestimmten Leitfähigkeitstyp ein vorbereitender Diffusionsbereich von
    und
    einem anderen Leitfähigkeitstyp wenigstens ein Gatterbereich aus einem Gatteroxidfilm und einer Gatterelektrode auf der Siliziumplatte gebildet werden, so daß wenigstens ein Teil dieses mit dem vorbereitenden Diffusionsbereich verbundenen Gatterbereichs sich auf diesem vorbereitenden Diffusionsbereich befindet, und daß eine Vielzahl von Diffusionsbereichen gebildet wird, so daß an den Seiten jedes Gatterbereichs Abzugsr und Quellelektrodenbereiche erzeugt werden, wobei jeder der Gatterbereiche zusammen mit diesen Abzugs- und Quellbereichen an dessen Seiten einen MOS-Feldeffekttransistor bildet, während der vorbereitende Diffusionsbereich mit dem darUberbefindlichen Gatterbereich einen Kondensator darstellt.
  2. 2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der integrierte MOS-Schaltkreis ein Inverterkreis und der Kondensator ein Hilfsspeicherkondensator dieses Inverterkreises ist.
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    Lee rse i te
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