DE2261001A1

DE2261001A1 - Abtragungsvorrichtung mit drehschalttisch

Info

Publication number: DE2261001A1
Application number: DE2261001A
Authority: DE
Inventors: John William Callahan; Martin J Capdeville
Original assignee: Pennwalt Corp
Current assignee: Pennwalt Corp
Priority date: 1972-01-26
Filing date: 1972-12-13
Publication date: 1973-08-02
Also published as: GB1352115A; IT973854B; FR2169667A5; JPS4884400A; US3778935A; GB1352114A

Description

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Patentähvöin*
Dr. Ing. Waiter Abite

Dr. Dieter F. Morf 2261001

D". Hans-A. Brauns

8 München 86, Pienzenauenir.28

IJ. Dezember 1972

IR 1995

PENNWALT CORPORATION

Pennwalt Building, Three Parkway, Philadelphia,-Pennsylvania I9102, V.St.A.

Abtragungsvorrichtung mit Drehschalttisch

Die Erfindung bezieht sich allgemein auf eine Abtragungsvorrichtung, mit der Material von einem elektrischen Miniaturwiderstand oder einem ähnlichen Bauteil sorgfältig abgenommen werden kann. Insbesondere betrifft die Erfindung eine Abtragungsvorrichtung mit verbessertem Steuerungssystem, das einen drehbaren Arbeitstisch weiterschaltet, um ein Arbeitsstück unter eine Abtragdüse zu bringen, und das dann den Abtragungsvorgang automatisch auslöst.

Elektrische Miniaturwiderstände bestehen aus einem leitenden Film aus elektrischem Widerstandsmaterial und einem nichtleitenden Substrat zwischen mit Abstand voneinander angeordneten Anschlüssen. Derartige Miniaturwiderstände werden hergestellt, indem zunächst eine etwas zu große Menge Film auf das Substrat aufgebracht wird und dann ein Teil des Films zwischen den Anschlüssen wieder weggenommen wird, um damit die Querschnittsfläche zwischen den Anschlüssen zu verkleinern, bis der elektrische Widerstand des.Bauelements'auf die geforderte Höhe angehoben ist.

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Bei dem zunehmenden Einsatz von Abtragungsvorrichtungen für die Massenherstellung von Miniaturschaltungen, hat sich die Notwendigkeit ergeben, die Geschwindigkeit des Gesamtvorgangs zu erhöheen, damit die Produktion von Miniaturschaltungen erhöht werden kann.

Es sind schon die verschiedensten Einrichtungen entwickelt worden und zur Zeit in Gebrauch, um das Arbeitsstück oder das Substrat schnell und genau auf dem Arbeitstisch unter der Schmirgeldüse zu lokalisieren. Eine derartige Einrichtung stellt eine Einspannvorrichtung dar, die einen Dreipunktkontakt zum sicheren und genauen Lokalisieren eines Substrats oder eines Arbeitsstücks unter der Schmirgeldüse vorsieht und die Einspannvorrichtung ist an dem Arbeitstsich befestigt, um an ihm eine Haltezone für ein Arbeitsstück zu definieren. Eine derartige Einrichtung ist in der USA-Patentschrift 3 577 682 deutlich beschrieben. In der deraät gebräuchlichen Ausführungsform befindet sich aber nur eine einzige dieser Einspannvorrichtungen unter der Abtragdüse. Daher muß jedes Arbeitsstück nach dem Abtragungsvorgang von Hand weggenommen und das nächste an seinen Platz gebracht werden, woraufhin dann der Abtragungsvorgang neuerdings begonnen wird. Die Einspannvorrichtung erlaubt zwar eine genaue Lokalisierung des Arbeitsstücks unter der Abtragdüse, jedoch muß der Abtragungsvorgang abgeschlossen werden, ehe das nächste Arbeitsstück eingesetzt werden kann.

Eine weitere Einrichtung zum schnellen und genauen Orientieren eines Arbeitsstücks unter der Abtragdüse wiest eine Anzahl Richtstifte auf, die in dem Arbeitstisch angebracht sind und eine Halterungszone für ein Arbeitsstück definieren. Derartige Stifte werden auch im Rahmen der in der vorliegenden Anmeldung beschriebenen-Erfindung benutzt. Bisher hat man jedoch lediglich eine einzige Haltezone in dieser Weise auf dem Arbeitstisch definiert. Ebenso wie bei der im vorigen Absatz beschriebenen Vorrichtung wird der Arbeitstisch

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zunächst mit einem geeigneten Mechanismus, z.B. mit der in der USA-Patentschrift 3 593 459 beschriebenen Einrichtung, eingestellt, um die Haltezone und damit das Arbeitsstück unter der Abtragdüse zu orientieren. Nach der Anfangseinstellung ändert sich die Lage des Arbeitstisches gegenüber der Abtragdüse während des Abtragungsvorgangs nicht.

Keine der oben beschriebenen Einrichtungen ist jedoch geeignet, die heutigen Bedürfnisse, nämlich eine höhere Produktivität zu erzielen, zu erfüllen. Mit jeder der heute gebräuchlichen Vorrichtungen kann der Bedienungsmann das Arbeitsstück schnell und genau unter der Abtragdüse anordnen und danach den Abtragungsvorgang einleiten; dann muß der Bedienungsmann das fertige Arbeitsstück wegnehmen und es durch ein anderes ersetzen, worauf er wiederum den Abtragungsvorgang auslösen muß. Der Bedienungsmann muß somit abwarten, bis jedes Arbeitsstück fertiggestellt ist, ehe er ein weiteres Arbeitsstück an die Bearbeitungsstelle auf dem Arbeitstisch bringen und dort festlegen kann; nach diesem Lokalisieren der Arbeitsstücke muß der Bedienungsmann die richtigen Steuerungen schalten, um den Abtragungsvorgang einzuleiten.

Somit besteht ein Bedürfnis nach einer Abtragungsvorrichtung, die eine schnelle Massenherstellung erlaubt, bei der ein Arbeitsstück auf dem Arbeitstisch festgelegt und orientiert werden kann, während ein anderes noch bearbeitet wird.

Die Erfindung betrifft allgemein eine Abtragungsvorrich'tung insbesondere jedoch eine Abtragungsvorrichtung mit einem drehbaren Arbeitstisch und einer verbesserten Steuerung für das Betreiben der Vorrichtung.

Der drehbare Arbeitstisch weist zwei Haltezonen für ein

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Arbeitsstück auf, in denen die Arbeitsstücke angeordnet und gehalten werden. Der Bedienungsmann ordnet ein erstes Arbeitsstück auf einer der Haltezonen an und betätigt dann eine Steuerung, die den Arbeitstisch weiterschaltet und die Haltezone und das Arbeitsstück unter die Abtragdüse führt, woraufhin der Abtragungsvorgang automatisch einsetzt. Während die Abtragung an dem ersten Arbeitsstück vorgenommen wird, setzt der Bedienungsmann ein zweites Werkstück auf die andere Halterung an dem Arbeitstisch. Wenn das zweite Arbeitsstück auf dem Arbeitstisch ausgerichtet ist, ist die Abtragung an dem ersten Arbeitsstück abgeschlossen; der Bedienungsmann betätigt wieder die Steuerung, mit der der Arbeitstisch weit'ergeschaltet und das zweite Arbeitsstück unter die Düse geführt wird, woraufhin die Abtragung wiederum automatisch ausgelöst wird; durch das Weiterschalten des Arbeitstisches wird außerdem dem Bedienungsmann das erste, also fertige Arbeitsstück zugeführt, der das fertige Arbeitsstück abnimmt und es durch ein anderes, noch zu bearbeitendes Arbeitsstück ersetzt.

Bei der vorliegenden Erfindung braucht somit der Bedienungsmann nicht zunächst eine Steuerung zu betätigen, um den Abtragungsvorgang einzuleiten und dann zu warten, bis dieser Vorgang abgeschlossen ist, bevor er ein weiteres Arbeitsstück auf dem Arbeitstisch anbringt.

Fig. 1 zeigt als perspektivische Ansicht eine für die Ausübung der Erfindung geeignete Abtragungsvorrichtung;

Fig. 2 ist eine Draufsicht auf den Drehtisch mit zwei Arbeitsstücken in ihren jeweiligen Haltezonen;

Fig. 3 gibt eine elektrische Schaltung für die Ausübung der Erfindung wieder;

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Fig. 4 zeigt eine für die Erfindung bestimmte und zusammen mit der elektrischen Schaltung nach Fig. 3 zu- verwendende Druckluftsteuerung.

Die Abtragungsvorrichtung 10 nach Fig. 1 weist eine insgesamt mit 12 bezeichnete Abtragdüse mit einer Haube 13 auf, die den eigentlichen, nicht dargestellten Düsenauslaß umgeben. An die Haube 13 ist eine Unterdruckquelle angeschlossen, um den Schmirgel und die sonstigen Rückstände während des Abtragungsvorgangs aus der Vorrichtung entfernen zu können. Aus der Düse 12 tritt ein sehr schneller, abtragend wirkender strom aus, der abwärts gegen das im Hintergrund vorgesehene Arbeitsstück 14 (im vorliegenden Fall ein elektrischer Miniaturwiderstand) gerichtet ist, das auf einem Drehtisch 16 angeordnet ist.

Wie'im einzelnen aus der USA-Patentschrift 3 534 503 zu entnehmen ist,.wird der mit Schmirgelteilchen erfüllte Druckluft strom durch Erregen eines solenoidbetätigten Pinchef fekt- Ventils im stromauf gelegenen Ende einer Zuleitung erzeugt. Der Auslaß der Düse 12 besitzt eine verengte Mündung, beispielsweise von 0,05 mm (0,018 inch) Durchmesser, deren Querschnittsfläche sehr viel kleiner ist als die der Düsenzuleitung. Wie in der genannten Patentschrift genauer beschrieben, wird der Zuleitung Schmirgel aus einer Mischkammer zugeführt, in der trockene gefilterte Preßluft mit etwa 6 kg/cm (etwa 85 psi) aus einem Kompressor im gewünschten Verhältnis mit Schmirgel aus einem Vorratsbehälter vermischt wird.

Jedes der Arbeitsstücke 14, bei denen es sich um elektrische Widerstände mit einem auf ein entsprechend geformtes Substrat aufgebrachten elektrischen Widerstandsfilm handelt, wird durch Bewegen der Düse 12 über die Filmoberfläche zugerichtet, bis der elektrische Widerstand des Widerstands-

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teils auf den verlangten Wert erhöht worden ist; in diesem Augenblick wird der Abtragungsvorgang automatisch abgebrochen. Mit Hilfe von Sonden 18 mißt eine elektronische Prüf-und Meßanlage mit einer Brückenschaltung den Widerstandswert während des Abtragungsvorgangs, zeigt ihn an und beendet den AbtragungsVorgang, wenn ein vorgegebener Widerstandswert erreicht ist. Dieser Vorgang wird in der genannten USA-Patentschrift im einzelnen beschrieben und die Schaltung mit der Sonde 18 und dem gebogenen Haltearm 20, an dem die genannten Sonden angeordnet sind, wird genauer in der USA-Patentschrift 3 551 807 dargestellt. Nach dem Erreichen des vorgegebenen Widerstandswerts, werden die Sonden 18 mit Hilfe des Arms 20 von der Oberseite des Arbeitsstücks 14 bei der Beendigung des Abtragungsvorgangs abgehoben.

Während der Abtragung hat der Bedienungsmann ein zweites Arbeitsstück 14 vorne auf dem Arbeitstsich 16 angeordnet und beim Betätigen eines geeigneten Steuerungsmittels (z.B. eines Fußschalters) wird der Arbeitstisch 16 weitergeschaltet und führt das letztgenannte Werkstück im Bogen unter die Düse 12, während das fertige Arbeitsstück nach vorne geschwenkt wird, so daß es von dem Bedienungsmann abgenommen und durch einen anderen, noch zu bearbeitenden Widerstand ersetzt werden kann.

Der Arm 20 ist schwenkbar in dem Gehäuse 22 angeordnet, damit die Sonden 18 auf die Werkstückoberfläche gesenkt werden können, bevor der Abtragungsvorgang eingeleitet wird und gehoben werden kann, wenn der Abtragungsvorgang abgeschlossen ist. Zum Schalten des Arbeitstisches 16 wird ein Druckluftzylinder 24 verwendet, der den Arbeitstisch mit Hilfe einer Zahnstangenanordnung (Fig.4) dreht. An die Rückseite jedes Endes des Zylinders 24 führt eine Leitung 25t ^di^e abwechselnd Druckluft oder Außeniuft an die beiden Enden des Zylinders bringt.

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Der Arbeitstisch-16 und der Zylinder 24 sind auf eine X-Y-ICoordinatenführung montiert, die insgesamt mit 26 bezeichnet ist; die Koordinatenführung ihrerseits ist auf einem Aufbaublock 27 angebracht. Die X-Y-Koordinatenführung wird genauer in der USA-Patentschrift 3 593 459 beschrieben, wird aber in der vorliegenden Erfindung für die Anfangsjustierung benutzt, um sicher zu erreichen, daß jedes Ar_r beits-stüclc 14 beim Weiterschalten des Arbeitstischs in die geforderte Stellung unter der Düse 1 2 gedreht wird.

Der Arbeitstisch 16 wird weitergeschaltet, indem er in Richtung des Uhrzeigers oder gegen die Uhrzeigerrichtung gedreht wird, bis ein unter dem Arbeitstisch 16 angebrachtes Element 28 die Anschläge 30 oder 32 berührt, die feststehend an der Vorrichtung 10 angebracht sind. Wenn das Element 28 einen der beiden Anschläge 30 oder 32 berührt, schaltet und schließt ein ebenfalls unter dem Arbeitstisch 16 angebrachter .Druckknopfschalter 34 entweder die Mikroschalter S2 und S4 oder S1 und S3, deren Wirkung im einzelnen wieter unten beschrieben werden soll. Der Arbeittisch steht immer in einer der beiden Endlagen und infolgedessen ist immer eines der beiden genannten Mikroschalterpaare geschlossen, während das andere offen ist.

Wie aus Fig. 2 zu entnehmen ist, wird der Arbeitstisch 16 geschaltet, indem er um 180° im Uhrzeigersinn oder Uhrzeigergegenrichtung gedreht wird, wie es der Pfeil 36 andeutet. Dadurch wird ein Arbeitsstück 14 in eine Stellung unter der Düse 12 gebracht, woraufhin der AbtragungsVorgang automatisch durch weiter unten im einzelnen zu beschreibende Mittel ausgelöst wird. Wenn ein Arbeitsstück auf diese Weise in die Stellung unter der Düse 12 gebracht ist, ist gleichzeitig ein fertiggestelltes Arbeitsstück, an dem die Abtragung gerade vorgenommen worden ist, nach vorn geführt, so daß der Bedienungsmann es abnehmen und durch ein anderes,

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noch zu bearbeitendes Arbeitsstück ersetzen kann. Jedes Arbeitsstück 14 ist, wie man sieht, gegen eine Anzahl Richtstifte 38 gesetzt, die aus der Oberseite des Arbeitstisches 16 hervorstehen. Bei der vorliegenden Ausführungsform definieren die Stifte 38 zwei Haltezonen und die Arbeitsstücke werden in diesen Zonen mit Hilfe zweier (nicht gezeichneter) Vakuumleitungen, die die Oberfläche des Arbeitstisches durchstoßen, an ihrem Platz festgehalten. Eine derartige Vakuumhalterung ist an sich bekann und ist nicht Gegenstand der vorliegenden Erfindung.

Aus den Figuren 1 und 2 kann man erkennen, daß der Arbeitstsich 16 zunächst mit der X-Y-Gleitfühxung 26 eingestellt wird, so daß das im Hintergrund liegende Arbeitsstück sich unter der Düse 12 befindet. Nach dieser Anfangseinstellung wird durch jedes Drehen des Arbeitstisches 16 ein Arbeitsstück unter die Düse 12 gebracht. Während das im Hintergrund liegende Arbeitsstück bearbeitet wird, legt der Bedienungsmann ein zweites Arbeitsstück gegen die Riehtstifte 38, und nach Beendigung des Abtragungsvorgangs an dem im Hintergrund liegenden Arbeitsstück betätigt der Bedienungsmann die entsprechende Steuerung, um den Tisch 16 mit Hilfe des Zylinders 24 weiterzuschalten, wodurch das letzterwähnte Arbeitsstück in die stellung unter der Düse 12 gelangt und das fertige bearbeitete Arbeitsstück nach vorn, wo es von dem Bedienungsmann abgenommen und durch ein an seihe Stelle gesetztes Arbeitsstück ersetzt wird. Dieser Ablauf wird ständig wiederholt, so daß die Herstellung sehr schnell erfolgen kann.

Die Betätigungsmittel für die oben beschriebene Arbeitsweise der Vorrichtung 10 sollen nun anhand der Figuren 3 und 4 besprochen werden. Wie erwähnt, ist, weil sich der Arbeitstisch 16 immer in einer der beiden Endstellungen befindet,

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immer eines der beiden Mikroschalterpaare' S1-S3 oder S2-S4 in Abhängigkeit von der Stellung des Arbeitstisches ge- schlossen. Zur Erläuterung der Arbeitsweise des Systems wird angenommen, daß die Mikroschalter S1-S3 geschlossen sind (in Fig. 3 in Offen-Steilung gezeichnet), die Mikrosehalter S2-S4 offen und die Sonden 18 abgesenkt sind, d.h. den zu bearbeitenden Widerstand berühren, und daß RL 1 erregt ist. Wenn RL1 erregt ist, sind seine Arbeitskontakte E-F und G-H nun geschlossen; die G-H-Kontakte sind Sperrkontakte zum Halten des Relais RL1 .

Wenn nun der Schalter S14R geschlossen wird (der in Fig.3 offen gezeichnet ist), wird RL2 erregt, so daß dessen Arbeitskontakte C-D und I-J geschlossen und die Ruhekontakte A-B geöffnet werden. Nun schließt der Schalter S5> womit das Solenoid 44 .über die RL2-Kontakte I-J erregt wird. Infolgedessen schaltet der Arbeitstisch 16 wieder weiter, wobei die Mikroschalter S1-S3 geöffnet werden. Der gesamte elektrische Schaltkreis wird während der Schaltperiode stromlos, weil während der kurzen Zeitspanne, in der der Arbeitstisch 16 sich dreht, die Mikroschalter S1-S3 und S2-S4 sämtlich, geöffnet sind, wie in Fig. 3 angegeben. Die gestrichtelten Linien 39 und 41 deuten an, daß diese Mikroschalter paarweise arbeiten.

Bei Abschluß des ScKaItvorgangs schließen die Mikroschalter S2-S4 (vgl. auch Fig. 2) wodurch das Solenoid 40 zum Heben der Sonden erregt und daher die Sonden 18 abgesenkt werden. Nur wenn die Sonden 18 von der Oberfläche eines Widerstands 14 abgehoben sind, kann der Arbeitstisch 16 sich drehen. Wenn das Solenoid 44 zum Heben der Sonden wiedereregt ist, wird auch RL1 wieder erregt und stellt das System zurück.

Der Abtragungsvorgang kann entweder von Hand oder automatisch ausgelöst werden. Die Auslösung von Hand erfolgt mit

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dem Fußschalter S14L oder dem Druckknopf SI1· Der Schalter S7 steht dazu in Stellung "Handbetrieb".

Zum automatischen Auslösen des Abtragungsvorgangs wird der Schalter S7 in die Stellung "Automatik" bewegt (geschlossen). Nun schließt sich der Fluidik-Schalter S12 automatisch, nachdem der Arbeitstisch weitergeschaltet ist und die Sonden 18 werden auf die Oberseite des Widerstands 14 gesenkt, um den Abtragungsvorgang automatisch einzuleiten. Das wird im einzelnen unten noch beschrieben. Nach dem Schließen des Schalters S12 beginnt jedoch der AbtragungsVorgang. Die Brücke für die Widerstandsbearbeitung steuert den Abtragungsvorgang durch Messen des Widerstandswerts des Widerstands 14 während des Abtragungsvorgangs und wenn ein vorgegebener V/i der stands wert erreicht ist, wird ein Signal an den Pinch-Triac gegeben (zu dem das oben erwähnte Pinchef fekt-Ventil gehört), um den AbtragungsVorgang zu beenden. Eine weitergehende Erläuterung des für die Steuerung des AbtragungsVorgangs angewandten Steuerungssystems findet sich in der schon erwähnten USA-Patentschrift 3 534 503.

Das Druckluftsystem, das im Rahmen der Erfindung verwendet wird, ist in Pig. 4 dargestellt.

Die Luft tritt in die Leitung 46 ein, durchläuft den Regler RI und gelangt bei geöffnetem Dreiwegeventil VI in den Sondenhubzylinder 47. Die Sonden 18 und der Arm 20 werden im Ruhezustand durch eine den Kolben 49 berührende Feder 50 nach unten geführt. Um die Sonden 18 anzuheben und das Weiterschalten des Arbeitstisches 16 zu ermöglichen, muß Luft in den Zylinder 47 zum Anheben des Kolbens 49 gedrückt werden.

Ein Teil der durch die Leitung 46 eintretenden Luft wird durch einen zweiten Druckregler R2, durch eine Drossel 58 und eine Steuerdüse 54 geführt. Die diese Düse durchfließen-

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de Luft gelangt zu einer Prallplatte 56, die in Richtung zur Düse 54 und von ihr weg mittels einer Mikrometerschraube verstellbar ist. Die Düse 54 ist mechanisch mit dem Sondenhubzylinder 47 verbunden, wie es durch die gestrichelte Linie 52 angedeutet ist. Infolgedessen wird, wenn die Sonden 18 auf die Oberseite des Widerstands 14 abgesenkt werden, der Luftaustritt aus der Düse 54 vermindert, wodurch der Druck in dem Balg 61 ansteigt und der Schalter S12 (vgl. Fig- 3) geschlossen wird, um den Abtragungsvorgang automatisch einsetzen zu lassen. Wie erwähnt, setzt das voraus, daß der Schalter S7 sich in der Stellung "Automatik" befindet. Somit schaltet der Bedienungsmann durch bloßes Betätigen des einzigen Schalters S14R den Arbietstisch 16 weiter und leitet den Abtragungsvorgang ein. Befindet' sich der Schalter S7 in der Stellung "Handbetrieb" muß entweder der Schalter S14L oder der Schalter S11 betätigt werden, um den Abtragungsvorgang einzuleiten, nachdem der Schalter S14R zum Schalten des Arbeitstisches benutzt worden ist. Befindet sich der Schalter S7 vor Arbeitsbeginn in der Stellung "Automatik", braucht der Bedienungsmann nur den einen Schalter S14R anschließend zu betätigen, um den Arbeitstisch weiterzuschalten und die Abtragung an jedem Arbeitsstück oder Widerstand vorzunehmen.

Zum Bewegen des-Arbeitstisches 16 wird Luft durch die Leitung 60, über ein .Vierwegeventil V2 und in das eine oder andere Ende des Zylinders 24 über die Leitungen 62 und 6.4 geschickt. Eine Ende des Zylinders erhält Druckluft, während das andere Ende mit der Außenluft verbunden ist. Das Ventil V2 ist ein Ventil vom Typ "entweder-oder", was besagen soll, daß das Ventil in der zuletzt eingenommenen Lage stehen bleibt, bis es über eines der Solenoide 42 oder 44 ein neues Signal empfängt (vgl. auch Fig. 3). DerArbeitstisch 16 wird mit Hilfe einer Zahnstange 66 bewegt, die ein Ritzel 68 antreibt, das mit dem Arbeitstisch durch eine Welle 69 (vgl. auch Fig. 2) verbunden ist. Der Arbeits-.

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tisch 16 bleibt also in einer seiner Endlagen stehen, bis das Ventil V2 wieder über eines der beiden Solenoide 42 oder 44 umgeschaltet ist.

S5 ist, wie Fig. 3 zeigt, mechanisch mit dem Sondenhubzylinder 47 verbunden, so daß beim Anheben der Sonden 18 der Schalter S5 in die Lage gebracht wird, die der in Fig. 3 gezeigten entgegengesetzt ist, so daß der Arbeitstisch 16 weitergeschaltet werden kann. Wie oben erwähnt, läßt sich der Arbeitstisch 16 nicht schalten, solange die Sonden 18 auf ninnm widerstand oder Arbeitsstück 14 liegen.

Die Schalter S14R und SI 4L sind - ohne daß das von Bedeutung für die Erfindung wäre - in einem einzigen Hauptfußschalter zusammengefaßt, wobei S14R das rechte Pedal und S14L das linke Pedal des Schalters darstellen. Diese beiden Schalter sind in Fig. 3 jeweils in ihrer "Normallage" gezeichnet, d.h. wenn keines der Pedale des Hauptfußschalters von dem Bedienungsmann niedergetreten sind.

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Claims

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Patentansprüche

1. Abtragungsvorrichtung,'gekennzeichnet durch einen in einer darauf befindlichen Einrichtung, die eine Mehrzahl von Haltezonen definiert, von denen jede ein Ar-

. beitsstück (14) aufnehmen kann, das einer Abtragung unterworfen werden soll; eine in vertikaler Richtung oberhalb des Arbeitstisches (16) angeordnete Abtragdüse (12), die einen Schmirgelstrom unter Druck nach unten auf den Arbeitstisch (16) richten kann; eine Einrichtung die den unter Druck stehenden Schmirgelstrom in die Abtragdüse (12) leitet; eine Einrichtung, die den Arbeitstisch (16) so schaltet, daß eine der Haltezonen unmittelbar unter der Abtragdüse (12) steht und eine Einrichtung, die das Fließen des Schmirgelstroms aus der Abtr,agdüse (12) auf diese eine Haltezone richtet, um an dem dort angeordneten Werkstück (14) einen Abtragungsvorgang auszuführen.

2. Abtragungsvorrichtung nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch eine Einrichtung mit einer Mehrzahl von Sonden (18) zum Ermitteln einer Eigenschaft des Werkstücks (14) und zum Beenden des FIießens des genannten Schmirgelstroms, wenn ein vorbestimmter Wert der genannten Eigenschaft erreicht ist, wobei die Sonden,(18) zu dem Werkstück (14) hin und von ihm weg bewegbar angeordnet sind und das Werkstück (14) berühren können, solange der Schmirgelstrom fließt. -

3. Abtragungsvorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Einrichtung zum Schalten des Arbeitstisches (16) und die Einrichtung zum Einleiten des Fließens des Schmirgelstroms eine elektrische Schaltung

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mit einem ersten und einem zweiten Schalter (S14R, S14L) und einer Einrichtung umfassen, mit deren Hilfe die Vorrichtung von Hand betreibbar ist, indem der erste Schalter betätigt wird, um den Arbeitstisch zu schalten und dann der zweite Schalter betätigt wird, um das Fließen des SchmirgelStroms auszulösen, oder automatisch betreibbar ist, indem nur der erste Schalter betätigt wird, um sowohl das Weiterschalten des Arbeitstisches als auch das Fließen des Schmirgelstroms auszulösen.

4. Abtragungsvorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die elektrische Schaltung noch einen dritten Schalter aufweist, um das Fließen des Schmirgelstroms auszulösen, sowie eine auf die Bewegung der Sonden ansprechende Einrichtung zum Steuern des dritten Schalters, wenn die Vorrichtung automatisch betrieben wird.

5. Abtragungsvorrichtung nach Anspruch 4, gekennzeichner durch eine Einrichtung, die das Weiterschalten des Arbeitstisches (16) verhindert, während die Sonden (18) das Arbeitsstück (14) berühren.

6. Abtragungsvorrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß der Arbeitstisch um eine Vertikalachse (69) drehbar angeordnet ist.

7. Abtragungsvorrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Schaltvorrichtung Anschläge (30, 32) aufweist, die die Drehung des Arbeitstisches (16) an vorgegebenen Stellen anhalten.

β. Abtragungsvorrichtung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Einrichtung zum Weiterschalten des Arbeitstisches (16) Schaltmittel (34) aufweist und mit dem Arbeitstisch verbundene Mittel (28) zum Berühren der

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Schaltmittel an den genannten vorgegebenen Stellen*

9. Abtragungsvorrichtung nach Anspruch 8, gekennzeichnet durch Gleitführungen zum Einstellen der Position des Arbeitstisches bezüglich der Abtragdüse (12), wobei der Arbeitstisch (16) an den Gleitführungen (26) angebracht ist und in- einer Mehrzahl von Richtungen die aufeinander senkrecht stehen, verschiebbar ist.

10. Abtragungsvorrichtung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß die Weiterschalteinrichtung eine Zahnstange (66) mit Ritzel (68) aufweist.

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