DE2260090A1 - Einrichtung zum messen der rauhigkeit einer oberflaeche - Google Patents

Einrichtung zum messen der rauhigkeit einer oberflaeche

Info

Publication number
DE2260090A1
DE2260090A1 DE2260090A DE2260090A DE2260090A1 DE 2260090 A1 DE2260090 A1 DE 2260090A1 DE 2260090 A DE2260090 A DE 2260090A DE 2260090 A DE2260090 A DE 2260090A DE 2260090 A1 DE2260090 A1 DE 2260090A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
intensity
light
roughness
value
specular reflection
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
DE2260090A
Other languages
English (en)
Other versions
DE2260090B2 (de
DE2260090C3 (de
Inventor
Rene Dr Daendliker
Francois M Dr Mottier
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
BBC Brown Boveri AG Switzerland
Original Assignee
Brown Boveri und Cie AG Switzerland
BBC Brown Boveri France SA
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Brown Boveri und Cie AG Switzerland, BBC Brown Boveri France SA filed Critical Brown Boveri und Cie AG Switzerland
Publication of DE2260090A1 publication Critical patent/DE2260090A1/de
Publication of DE2260090B2 publication Critical patent/DE2260090B2/de
Application granted granted Critical
Publication of DE2260090C3 publication Critical patent/DE2260090C3/de
Expired legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/30Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring roughness or irregularity of surfaces
    • G01B11/303Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring roughness or irregularity of surfaces using photoelectric detection means

Description

158/72 Lü /ms
Aktiengesellschaft Brown, Boveri & Cie., Baden (Schweiz)
Einrichtung zum Messen der Rauhigkeit einer Oberfläche
Die Erfindung betrifft eine Einrichtung zum Messen der Rauhigkeit einer Oberfläche, wobei diese mit einem Lichtstrahlenbündel beleuchtet und die örtliche Intensitätsverteilung des zurückgestrahlten Lichts fotoelektrisch gemessen wird.
Derartige Mess ein rieh tun gen haben erhebliche Bedeutung bei der Herstellung von Papier, da dessen Oberflächenrauhigkeit bzw. als komplementärer Begriff - Oberflächenglätte massgebend ist für die Bedruckbarkeit.
Einrichtungen zum Messen der Rauhigkeit bzw. Glätte der Oberfläche insbesondere von Papier sind daher schon vielfach be-
409822/067 2
- 2 - 158/72
kannt. Ein- Ueberblick darüber wird z.B. in "Wochenblatt für Papierfabrikation" No. 2 (1970), S. 45 - 51, gegeben.
Auf S. 49 der angegebenen Publikation wird eine Einrichtung zur indirekten Glättemessung in Gestalt eines Glanzmessers beschrieben. Bei diesem Glanzmesser wird die zu untersuchende Oberfläche mit einem kollimierten Lichtstrahlenbündel beleuchtet, und die Leuchtdichte des zurückgestrahlten Lichtes im Reflexionswinkel fotoelektrisch gemessen. Für wissenschaftliche Zwecke wurde auch schon die Winkelverteilung des von der Papieroberfläche zurückgestrahlten Lichtes ausgemessen, indem Geräte mit variablen Beleuchtungs- und Beobachtungswinkeln verwendet wurden.
Diese bekannten Glanzmesser haben jedoch den Nachteil, sehr ungenau zu sein. Sie sind auch in der Praxis ziemlich mühsam zu verwenden, da als Mass für die Rauhigkeit nur Analogsignale gewonnen werden können.
Es ist daher die Aufgabe der Erfindung, eine Einrichtung der eingangs beschriebenen Art zu schaffen, die eine hohe Messgenauigkeit mit einer einfachen und vielseitigen Verwendbarkeit in der Praxis vereint.
409822/0672
158/72
Diese Aufgabe wird dadurch gelöst, dass bei einer Einrichtung der eingangs genannten Art erfindungsgemäss im zurückgestrahlten Licht der Wert der maximalen Intensität I festgestellt wird, und in Richtung der Schnittgeraden χ der Einfallsebene des beleuchtenden Lichtstrahlenbündels mit einer Ebene senkrecht zur Richtung spekulärer Reflexion als Mass für die Rauhigkeit der Oberfläche die Entfernung s zwischen den zwei Orten gemessen wird, an welchen die Intensität I des zurückgestrahlten Lichts auf einen bestimmten Bruchteil G der maximalen
Intensität I abgesunken ist. Der den genannten zwei Orten max & b
zugeordnete bestimmte Bruchteil G ist beispielsweise 0.5, so dass die an den -genannten zwei Orten auftretende Lichtintensität gleich I /2 ist. Die maximale Intensität I tritt max max
in Richtung spekulärer Reflexion auf, d.h. in Richtung des Reflexionswinkels bei Reflexion an einem Spiegel, der auch als Glanzwinkel bezeichnet wird.
Die Idee der Erfindung beruht also im wesentlichen darin, in der Nähe des Glanzwinkels die Halbwertsbreite des Streulichtkegels als Mass für die Rauhigkeit der zu untersuchenden Oberfläche zu benutzen. Diese Halbwertsbreite lässt sich, im Gegensatz zur Intensitätsmessung im Glanzwinkel gemäss dem oben beschriebenen, bekannten Glanzmesser, einfach und automatisch quantitativ bestimmen. Ausserdem bildet.sie ein sehr
409822/0672
- μ . 158/72
genaues Mass für die zu untersuchende Rauhigkeit, jedenfalls solange, wie die die Rauhigkeit ausmachenden Oberflächenirregularitäten statistisch verteilt sind. Die Messung ist von der Farbe und/oder Lichtabsorption der Oberfläche unabhängig.
Weitere Einzelheiten der Erfindung ergeben sich aus den nachstehend anhand von Figuren erläuterten Ausführungsbeispielen. Dabei zeigt:
Fig. 1 eine Anordnung nach der Erfindung mit einem Fotodetektor,
Fig. la eine Anordnung nach der Erfindung allgemeiner Art zur Darstellung der Messorte,
Fig. 2 eine Anordnung nach der Erfindung mit einer Kette von Fotodetektoren,
Fig. 3 eine Anordnung nach der Erfindung mit einer Fernsehkamera als Fotodetektor, und
Fig. 4 schematisch die Abtastung der auf ihre Rauhigkeit zu untersuchenden Oberfläche mit einer Fernsehkamera in der Anordnung nach Fig. 3.
In Fig. 1 ist eine Beleuchtungsquelle 21, z.B. ein Laser, vor-
409822/0672
gesehen, dessen Lichtstrahl in einem Teleskop 22 au einem pa~ rallelen bgw, kollimierten Lichtstra.hlenbündel 1 von ca, X bin 2Q mm Durchmesser .aufgeweitet wird, "
Mit dem Lichtstrahlenbündal ι #ird dann die zu ,untersuchende Oberfläche g unter· einem EinfallswinkeloC (Fig, la) von SQ bis gs° beleuchtet. Die Oberfläche 8 ist vorzugsweise die Oberfläche eine§ Papier-? 28* Meg es wird für labormäsisige Un« ' tersuehungen an. einer elektrastatischen Haltevorrichtung 2H, 25 featgehalte.n, wie sie 3.B, von x«y-Schreibern bestens bekannt ist*(^sB, Hewlett Packard),
Das beleuchtende Lie.htstrghlenbündel 1 wird an der Oberfläche 8 in Form des Lichtes g zurückgestrahlt. Der Glanzwinkel Oi (Fig, la) ist durch die Richtung 7 spekulärer Reflexion ge« kennzeichnet.
In dem zurückgestrahlten Licht 6 ist ein Fotodetektor 11 mit kleiner wirksamer Flache» ζ,δ» mit einem oder einigen Milli« metern Durchmesser, im Abstand vo^ mindestens 10 Lichtstrahl-1· durchmessesrn von der Oberfläche 8 angeordnet, Eg wird in Rieh« tung der Pfeile A und B entlang dßv· Schnittgeraden x der Einfallsebene H (Fig, la) des beleuchtenden Liehtstrahlenbündels 1 mit einer Ebene 5 (Fig, la) senkreeht zur Richtung 7 speku-
409822/0672
158/72 - 6 ·
lärer Reflexion durch den Glanzwinke IOC hindurch bewegt und der Fotostrom dabei in Funktion des Ortes χ aufgezeichnet.
Damit ergibt sich dann das Bild 23, in welchem die dem Fotostrom proportionale Lichtintensität I als Funktion des Ortes χ aufgetragen ist. Wie ersichtlich, weist die gezeigte Kurve einen ersten Ort 2, welcher auf der Richtung 7 liegt» auf, an welchem die Intensität den Maximalwert I besitzt. Fer-
max
ner sind zwei zweite Orte 3 zu erkennen, an welchen die Intensität auf einen bestimmten Bruchteil G, hier 0.5 bzw.
I /2, abgesunken ist.
max * b
Die Entfernung s der zwei Orte 3 ist dann das Mass für die Rauhigkeit der Oberfläche 8.
Eine günstige Ausgestaltung besteht darin, eine Beleuchtungsquelle 21 mit monochromatischem Licht zu verwenden, und zwischen dem Detektor 11 und dem Licht 6 ein Interferenzfilter 10 anzuordnen. Dadurch kann der Störeinfluss des Uragebungslichtes 9 eliminiert werden,
In Fig, 2 ist die Anordnung zur Beleuchtung der Oberfläche 8 gleich der in Fig. 1 bzw. Fig. la dargestellten. Im weiteren ist hier eine Sammellinse 16 vorgesehen, in deren Brennebene F
409822/0672
158/72
eine Kette von Fotodetektoren 12a, 12b ... 12m, 12n, 13a ... 13m und 14 angeordnet ist. Die Kette erstreckt sich in Richtung der oben in bezug auf Fig. la definierten Schnittgeraden x. Im Schnittpunkt dieser Schnittgeraden χ mit der Richtung 7 spekulärer Reflexion tritt maximale Intensität I ° max
des Lichtes 6 auf, welche mit dem Fotodetektor 14, z.B. einer Fotodiode, gemessen wird. .
Die Ausgänge der Fotodetektoren 12a ... IU sind in der dargestellten V/eise mit bistabilen elektronischen Kippelementen 17a, 17b ... 17m, 17n ... 18 in der Form von Komparatoren verbunden. Der Ausgang des Fotodetektors 14 ist ferner mit einem Spannungsteiler R-R verbunden, an dessen Anzapfpunkt sich der Wert I /2 ergibt. Die Ausgänge der Komparatoren sind mit
ΙΏ3.Χ
Lampen 19 verbunden. Statt dieser können aber auch ohmsche Widerstände 29 an die Komparatoren angeschlossen sein, die über einen Verstärker zu einem Messinstrument 30 führen.
Bei. der in Fig. 2 dargestellten Anordnung sei nun die Intensität des Lichts 6 in der Ebene F an den Orten der Fotodetektoren 13a ... 14 ... 13n grosser bzw. gleich, und an den Orten der Fotodetektoren 12a, 12b ... 12m, 12n kleiner als I /2.
409822/06
158/72 - 8 -
Dann werden die den Fotodetektoren 13a ... 14 ... 13n zugeordneten Lampen 19 aufleuchten, die den Fotodetektoren 12a, 12b ... 12m, 12n zugeordneten aber dunkel bleiben. Die Zahl der leuchtenden Lampen 19 ist dann das Mass für die Rauhigkeit der Oberfläche 8.
Sind statt der Lampen 19 Widerstände 29 mit dem Messinstrument 30 an die Komparatoren angeschlossen, so wird durch die den leuchtenden Lampen entsprechenden Widerstände 29 ein Strom fliessen, und durch die den dunklen Lampen entsprechenden Widerständen nicht. Dann ist der Ausschlag des Messinstrumentes 30, welcher der Summe der Ströme durch die Widerstände 29 proportional ist, das Mass für die Rauhigkeit der Oberfläche 8.
Die Kette der Fotodetektoren 12a ... 14 braucht nicht nur aus einer einzigen Reihe bestehen. Vielmehr ist es vorteilhaft, in nicht gezeichneter Weise mehrere Reihen nebeneinander zu legen. Dadurch ist die Anordnung unempfindlich gegen ein allfälliges Wandern der Richtung 7 und damit des Ortes des Intensitätsmaximums I .
max
In Fig. 3 ist ein Fotodetektor in Form einer Fernsehkamera 15, z.B. mit einem Vidikon 32, dargestellt. Die auf ihre
409822/0672
9 158/72
Rauhigkeit zu untersuchende Oberfläche 8 wird wieder (wie in Fig. 1 bzw. la) mit einem in einem Teleskop 22 ausgeweiteten, kollimierten Lichtstrahlenbündel 1 beleuchtet. Die Optik 33
der Fernsehkamera 15 ist auf unendlich eingestellt, wobei die lichtempfindliche Schicht 31 des Vidikons 32 in der Brennebene der genannten Optik 33 liegt. Die von der Oberfläche 8 zurückgestrahlten Parallellichtbündel 6 werden daher wie dargestellt auf das Vidikon fokussiert.
Die Abtastzeilen 20 (Fig. 4) der Fernsehkamera 15 werden
senkrecht zur Einfallsebene 4 (Fig. la) des beleuchtenden
Lichtstrahlenbündels 1 eingestellt.
Der Messvorgang verläuft nun so, dass im ersten Halbbild des im Zeilensprungverfahren betriebenen Vidikon 32 mit einem
nicht gezeichneten Spitzenwertdetektor der Wert I der maximalen, im abgetasteten Bild auftretenden Lichtintensität
festgestellt wird. Dabei wird eine Fläche abgetastet, die
grosser ist als die in Fig. 4 dargestellte Streulichtellipse 26, die sich durch die Abbildung des an der Oberfläche 8 gestreuten bzw. zurückgestrahlten Lichtstrahlenbündels 1 durch die Optik 33 der Fernsehkamera 15.ergibt. Mit 27 ist ein ,
Fleck maximaler Lichtintensität I angedeutet, der in der
max
Richtung 7 spekulärer Reflexion liegt.
4098 2.2/0672
158/72 - 10 -
Der ermittelte Wert I wird dann gespeichert, und während
max .ff >
des zweiten Halbbildes dann die Anzahl N der Abtastzeilen gezählt, bei welchen ein Helligkeitswert I auftritt, der grosser ist als ein bestimmter Bruchteil G, beispielsweise die Hälfte des gespeicherten Wertes I . Die derart festgestellte Anzahl N ist unmittelbar ein Mass für die Papierrauhigkeit.
Das am Ausgang der Fernsehkamera 15 zur Verfügung stehende, der Anzahl N proportionale Signal kann in vielfacher V/eise weiterverwendet werden.
Z.B. kann es in digitaler Form eine Leuchtanzeige steuern. Es kann aber auch eine Analoganzeige, beispielsweise ein Zeigerinstrument beaufschlagen.
Da das die Anzahl N der Abtastzeilen 20, bei denen ein Helligkeitswert über I /2 auftritt, anzeigende Signal der Fernsehkamera 15 in der Regel ohnehin binär-dezimalkodiert zur Verfügung steht, kann dieses Signal auch sehr vorteilhaft zur Steuerung oder Regelung des das Papier erzeugenden Prozesses verwendet werden.
Die in Fig. 3 dargestellte Anordnung wird mit besonderem Vorteil bei der Untersuchung laufender Papierbahnen eingesetzt.
409822/0672
158/72 - 11 -
Die Bewegung der Papierbahn mit der Oberfläche 8 ist in Fig. U durch den Pfeil M angedeutet. Es ist selbstverständlich, dass dabei dafür Sorge getragen werden muss, dass am Ort der Beleuchtung durch das Lichtstrahlenbündel 1 die Papierbahn so geführt ist, dass sich durch die Bewegung keine allzu grossen örtlichen Aenderungen der Ebene, in welcher die Papierbahn läuft, ergeben, derart, dass die Streulichtellipse nicht aus dem Abtastfeld der Fernsehkamera 15 herausläuft. Das wird z.B. dadurch erreicht, dass der beleuchtete Fleck gerade auf einer Rolle oder auch zwischen nahe beieinander befindlichen Rollen gewählt wird. -
In der dargestellten Weise wird nur die über etwa 2—4 Abtastbilder, d.h. über 80 bis 16 0 m see gemittelte Rauhigkeit der durchlaufenden Oberfläche 8 angezeigt. Will man die Rauhigkeit der durchlaufenden Papierbahn von Ort zu Ort gesondert erfassen, so können der. das beleuchtende Lichtstrahlenbündel 1 erzeugende.Laser gepulst und die Messwerte zeitlich hintereinander abgespeichert und/oder ausgegeben werden. Dadurch können zeitlich kurzfristige Fluktuationen der Oberflächenrauhigkeit erfasst werden. Die Dauer, eines Beleuchtungsimpulses kann dabei wesentlich kleiner sein als die Dauer zweier Halbbilder, da die lichtempfindliche Schicht des Vidikon die Information bis zum Lesen durch den Elektronenstrahl speichert. .
409822/067 2
- 12 - ' 158/72
Die Vorteile der Anordnungen nach der Erfindung gegenüber dem Stand der Technik ganz allgemein liegen unter anderem darin, dass
- die Rauhigkeit über eine grössere Fläche gemittelt gemessen wird,
- die Grosse dieser Fläche z.B. zwischen 1 und 300 mm wählbar ist,
- ein Signal in Echtzeit erzeugt wird, das deingemäss zur Verwendung in einem Prozessregler geeignet ist, und
- die Messung berührungsfrei ist.
Die Vorteile der Anordnung nach Fig. 3, 4 im besonderen liegen unter anderem darin, dass
- durch die Integrationsfähigkeit der fotoleitenden Schicht des Vidikons der Detektor eine hohe Lichtempfindlichkeit aufweist,
- statistische RauhigkeitsVariationen, die nicht interessieren, durch diese Integrationsfähigkeit ausgemittelt werden,
- der Anordnung digitale Genauigkeit inhärent ist,
409822/0672
- 13 - ■ ■ 158/72
- die Anordnung unempfindlich gegen Verschiebungen der Streulichtell'ipse ist, solange diese auf dem Vidikon aufgefangen wird, und ·
- das System sehr preisgünstig ist, da industriell zu verwendende Fernsehkameras in grosser Anzahl preiswert zur Verfügung stehen.
Ausser bei der Erzeugung und/oder Bearbeitung bzw. dem Bedrukken von Papier kann die Erfindung auch mit Vorteil bei der Erzeugung und/oder Bearbeitung von Kunststoff- und Metallfolien eingesetzt werden.
A09822/0672

Claims (21)

155/72 - 14· -
Patentansprüche
l.J Einrichtung zum Messen der Rauhigkeit einer Oberfläche, wobei diese mit einem Lichtstrahlenbündel beleuchtet und die örtliche Intensitätsverteilung des zurückgestrahlten Lichtes fotoelektrisch geinessen wird, dadurch gekennzeichnet, dass im zurückgestrahlten Licht (6) der Wert der maximalen Intensität I festgestellt wird, und in Richtung der Schnittgeraden χ der Einfallsebene (4) des beleuchtenden Lichtstrahlenbündels (1) mit einer Ebene (5) senkrecht zur Richtung (7) spekulärer Reflexion als Mass für die Rauhigkeit der Oberfläche (8) die Entfernung (s) zwischen den zwei Orten (3) gemessen wird, an welchen die Intensität I des zurückgestrahlten Lichts (6) auf einen bestimmten Bruchteil G der maximalen gemessenen Intensität .I abgesunken ist.
max
2. Einrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der bestimmte Bruchteil G gleich 0,5 ist.
3· Einrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass
/die auf ihre Rauhigkeit zu untersuchende Oberfläche (8) beleuchtende Lichtstrahlenbündel (1) kollimiert ist.
4. Einrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das die auf ihre Rauhigkeit zu untersuchende Oberfläche (8)
U0 9822/0672
158/72 - 15 —
beleuchtende Lichtstrahlenbündel (l) monochromatisch ist und ein das Umgebungslicht (9) vom Fotodetektor (11,12,13, 14,15) fernhaltendes Filter (10) vorgesehen ist.
5. Einrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass ■ die auf ihre Rauhigkeit zu untersuchende Oberfläche (8) mit einem kollimierten Lichtstrahl (l) eines Durchmessers von etwa 1 - 20 mm unter einem Einfallswinkel <>( von 50 - 85 beleuchtet wird.
6. Einrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass ein Fotodetektor (11) entlang der genannten Schnittgeraden χ durch das zurückgestrahlte Licht (6) geführt, der örtliche Verlauf der Intensität I (x) gemessen und die Entfernung (s) zwischen den genannten zwei Orten (3) ermittelt wird.
7. Einrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass eine Kette von Fotodetektoren (12a ... 14) entlang der genannten Schnittgeraden χ vorgesehen ist, und einerseits die Intensität I des zurückgestrahlten Lichtes an dem Detektor (14) festgestellt wird, der in der Richtung spekulärer Reflexion liegt, und andererseits die Zahl der Detektoren (13a ... 13n), an welchen der Wert der Intensität des zurückgestrahl ten Lichts den genannten bestimmten Bruchteil G des Wertes -
I am Detektor (14) in Richtung (7) spekulärer Reflexion max
übersteigt. 409822/0672
158/72
8. Einrichtung nach den Ansprüchen 6 oder 7, dadurch gekennzeichnet, dass der bzw. die Fotodetektoren (11 ... 14) in der Brennebene (f) einer in dem zurückgestrahlten licht (6) angeordneten Sammellinse (16) angeordnet sind.
9. Einrichtung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass an die Fotodetektoren (12 ... 14) über elektronische Kippelemente (17, 18) Lampen (19) derart angeschlossen sind, dass diese eingeschaltet sind, wenn die Intensität des zurückgestrahlten Lichts (6) an dem zugeordneten Fotodetektor (12 ... 14) grosser ist als der genannte bestimmte Bruchteil G des Wertes I an dem Detektor (14), der in Richtung (7) der spekulären Reflexion liegt.
10. Einrichtung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass von den Fotodetektoren (12 ... 14) über elektronische Kippelemente (17 ... 18) ein elektrischer Strom abgeleitet wird, der proportional ist zu der Zahl der Detektoren (12 ... 14), an welchen die Intensität des zurückgestrahlten Lichts (6) grosser ist als der genannte bestimmte Bruchteil G des Wertes I
am Detektor (14) in Richtung (7) der spekulären Reflexion, und der elektrische Strom ein Anzeigeinstrument (30) steuert.
11. Einrichtung nach den Ansprüchen 5 und 6 oder 5 und 7, dadurch gekennzeichnet, dass der Fotodetektor (11) eine wirksame Fläche von 0,2 - 4 mm Durchmesser hat.
409822/0672
158/7? - 17 -
12. Einrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass in dem zurückgestrahlten Licht (6) in Richtung (7) der spekulären Reflexion eine auf unendlich eingestellte Fernsehkamera (15) derart angeordnet ist, dass die Richtung der Abtastzeilen senkrecht zur Einfallsebene (4) des beleuchtenden Lichtstrahlenbündels (l) liegt, und im ersten Halbbild der V/ert der maximalen Intensität I ermittelt und gespeichert
max
wird, und im zweiten Halbbild die Anzahl N der Abtastzeilen (20) festgestellt wird, bei welchen das abgetastete Bild eine Lichtintensität aufweist, die grosser ist als der genannte bestimmte Bruchteil G des Wertes der maximalen Intensität I
13. Einrichtung nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, dass der im ersten Halbbild zu ermittelnde Wert der maximalen Intensität I mittels eines Spitzenwertdetektors festgestellt wird.
14. Einrichtung nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, dass von der Fernsehkamera (15) ein der genannten Anzahl N der Abtastzeilen (20) proportionales digitales Signal zwecks Ansteuerung einer Leuchtanzeige abgeleitet wird.
15. Einrichtung nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, dass von der Fernsehkamera (15) ein der genannten Anzahl N der Abtastzeilen (20) proportionales Analogsignal zwecks Aussteuerung eines Zeigermessgerätes abgeleitet wird,
409822/0672
158/72
16. Einrichtung nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, dass von der Fernsehkamera (15) ein der genannten Anzahl N der Abtastzeilen (20) proportionales BGD-Signal zwecks Steuerung des das Material, dessen Oberflächen-Rauhigkeit gemessen werden soll, erzeugenden Prozess abgeleitet wird,
17. Einrichtung nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, dass das die bzgl. ihrer Rauhigkeit zu messende Oberfläche (8) beleuchtende Lichtstrahlenbündel (l) gepulst wird, wobei die Dauer eines Beleuchtungsimpulses kleiner ist als die Dauer des Durchlaufs zweier Halbbilder der abtastenden Fernsehkamera (15).
18. Einrichtung nach einem der Ansprüche 6, 7 oder 12, dadurch gekennzeichnet, dass als Beleuchtungsquelle (21) ein Laser vorgesehen ist.
19. Verwendung einer Einrichtung nach Anspruch 1 bei der Erzeugung und/oder Bearbeitung von Papier.
20. Verwendung einer Einrichtung nach Anspruch 1 bei der Erzeugung und/oder Bearbeitung von Kunststoffolien.
409822/0672
158/72 - 19 . -"
21. Verwendung einer Einrichtung nach Anspruch 1 bei der Erzeugung, und/oder Bearbeitung von Metallfolien.
Aktiengesellschaft Brown, Boveri & Cie.
AO 9-8 22/0672
eerseite
DE2260090A 1972-11-24 1972-12-08 Photoelektrische Einrichtung zur Bestimmung der Rauhigkeit bzw. Glätte diffusstreuender Oberflächen Expired DE2260090C3 (de)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CH1707372A CH552197A (de) 1972-11-24 1972-11-24 Einrichtung zum messen der rauhigkeit einer oberflaeche.

Publications (3)

Publication Number Publication Date
DE2260090A1 true DE2260090A1 (de) 1974-05-30
DE2260090B2 DE2260090B2 (de) 1978-12-21
DE2260090C3 DE2260090C3 (de) 1985-04-04

Family

ID=4422545

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE2260090A Expired DE2260090C3 (de) 1972-11-24 1972-12-08 Photoelektrische Einrichtung zur Bestimmung der Rauhigkeit bzw. Glätte diffusstreuender Oberflächen

Country Status (11)

Country Link
US (1) US3922093A (de)
JP (1) JPS4984462A (de)
CA (1) CA999136A (de)
CH (1) CH552197A (de)
CS (1) CS258452B2 (de)
DE (1) DE2260090C3 (de)
FI (1) FI56453C (de)
FR (1) FR2208107B1 (de)
GB (1) GB1444780A (de)
IT (1) IT999470B (de)
SE (1) SE391238B (de)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0169444A2 (de) * 1984-07-27 1986-01-29 Erwin Sick GmbH Optik-Elektronik Rauheitssonde
DE3426332A1 (de) * 1984-07-17 1986-01-30 Erwin Sick Gmbh Optik-Elektronik, 7808 Waldkirch Optische rauheitssonde mit abtastung der indikatrix
DE4408226A1 (de) * 1994-03-11 1995-09-14 Peter Dipl Phys Lehmann Meßeinrichtung zur prozeßgekoppelten Bestimmung der Rauheit technischer Oberflächen durch Auswertung di- oder polychromatischer Specklemuster
DE19817664A1 (de) * 1998-04-21 1999-11-04 Peter Lehmann Verfahren und Vorrichtung zur Rauheitsmessung an technischen Oberflächen bei Beleuchtung mit einem Specklemuster

Families Citing this family (101)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4184082A (en) * 1975-12-08 1980-01-15 Howell Laboratories, Incorporated Linear flaw detector
GB1580196A (en) * 1976-05-27 1980-11-26 Ferranti Ltd Gloss measuring surface inspection systems
GB1576639A (en) * 1976-07-06 1980-10-08 Fairfax & Sons Ltd John Printing plate inspection apparatus
US4072425A (en) * 1976-08-09 1978-02-07 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Army Method of indicating the relative roughness of a surface
GB1592449A (en) * 1976-12-01 1981-07-08 Ferranti Ltd Optical inspection apparatus
US4142107A (en) * 1977-06-30 1979-02-27 International Business Machines Corporation Resist development control system
JPS5483854A (en) * 1977-12-16 1979-07-04 Canon Inc Measuring device
US4373817A (en) * 1978-05-22 1983-02-15 Nanometrics Incorporated Computerized micromeasuring system and method therefor
FR2428238A1 (fr) * 1978-06-07 1980-01-04 Cilas Dispositif pour determiner la qualite du poli des surfaces optiques
US4286293A (en) * 1979-05-30 1981-08-25 Western Electric Company, Inc. Laser scanning and multiple detection for video image processing
SE428250B (sv) * 1979-05-31 1983-06-13 Bert Jonsson Fotoelektrisk anordning for avkenning av foremal
US4334780A (en) * 1979-06-29 1982-06-15 Grumman Aerospace Corporation Optical surface roughness detection method and apparatus
US4465371A (en) * 1979-08-06 1984-08-14 Grumman Aerospace Corporation Optical flaw detection method and apparatus
LU81728A1 (fr) * 1979-09-26 1981-04-17 Centre Rech Metallurgique Procede pour controler la qualite des surfaces revetues ou non
US4329049A (en) * 1980-03-06 1982-05-11 Rodenstock Instruments Corporation Median point detecting apparatus for a lensmeter
US4277803A (en) * 1980-05-12 1981-07-07 Fuji Electric Co., Ltd. Automatic product checking system
US4390277A (en) * 1980-07-31 1983-06-28 Mcdonnell Douglas Corporation Flat sheet scatterometer
DE3037622A1 (de) * 1980-10-04 1982-04-22 Theodor Prof. Dr.-Ing. 1000 Berlin Gast Optoelektronisches messverfahren und einrichtungen zum bestimmen der oberflaechenguete streuend reflektierender oberflaechen
US4376583A (en) * 1981-05-12 1983-03-15 Aeronca Electronics, Inc. Surface inspection scanning system
US4583861A (en) * 1981-08-12 1986-04-22 Tokyo Shibaura Denki Kabushiki Kaisha Surface condition judging apparatus
DD208670A1 (de) * 1982-06-29 1984-04-04 Pentacon Dresden Veb Vorrichtung zur schnellen messung des glanzes beliebiger oberflaechen
FR2531776A1 (fr) * 1982-08-13 1984-02-17 Commissariat Energie Atomique Procede et dispositif de determination sans contact de la rugosite d'une surface
DE8303856U1 (de) * 1983-02-11 1985-11-14 Optische Werke G. Rodenstock, 8000 Muenchen Vorrichtung zur Ermittlung einer Oberflächenstruktur, insbesondere der Rauheit
JPS6052021A (ja) * 1983-08-31 1985-03-23 Canon Inc 位置検出方法
DE3337468A1 (de) * 1983-10-14 1985-04-25 Optische Werke G. Rodenstock, 8000 München Verfahren und vorrichtung zur pruefung der oberflaeche von bauteilen
DE3428435A1 (de) * 1984-08-01 1986-02-06 Erwin Sick Gmbh Optik-Elektronik, 7808 Waldkirch Rauheitssonde
US4721389A (en) * 1985-04-18 1988-01-26 Potters Industries, Inc. Method and apparatus for measuring retroreflectivity of a reflective layer on a surface
US4710642A (en) * 1985-08-20 1987-12-01 Mcneil John R Optical scatterometer having improved sensitivity and bandwidth
US4746805A (en) * 1986-11-18 1988-05-24 General Motors Corporation Combined distinctness of image and gloss meter
FR2620823B1 (fr) * 1987-09-17 1990-08-17 Centre Tech Ind Papier Dispositif pour determiner en continu un indice d'etat de surface d'un materiau en feuille en mouvement
DE3805785A1 (de) * 1988-02-24 1989-09-07 Sick Optik Elektronik Erwin Verfahren und vorrichtung zur optischen erfassung des rauheitsprofils einer materialoberflaeche
DE3814606A1 (de) * 1988-04-29 1989-11-09 Interpane Entw & Beratungsges Verfahren und vorrichtung zur erfassung von strukturen einer oberflaeche eines flaechigen guts
US4925298A (en) * 1988-08-05 1990-05-15 Paolo Dobrilla Etch pit density measuring method
JPH02138805A (ja) * 1988-08-31 1990-05-28 Canon Inc 平滑度測定装置およびこれを備えた記録装置
US4929846A (en) * 1988-10-05 1990-05-29 Ford Motor Company Surface quality analyzer apparatus and method
US5122672A (en) * 1990-09-07 1992-06-16 Ford Motor Company Surface quality analyzer apparatus and method
US5252836A (en) * 1991-03-07 1993-10-12 U.S. Natural Resources, Inc. Reflective grain defect scanning
DE4114671A1 (de) * 1991-05-06 1992-11-12 Hoechst Ag Verfahren und messanordnung zur beruehrungslosen on-line messung
DE4127215C2 (de) * 1991-08-16 2003-07-17 Byk Gardner Gmbh Verfahren und Vorrichtung zur quantifizierten Bewertung des physiologischen Eindruckes von reflektionsfähigen Oberflächen
US5225890A (en) * 1991-10-28 1993-07-06 Gencorp Inc. Surface inspection apparatus and method
WO1993012615A1 (en) * 1991-12-19 1993-06-24 The United States Of America, Represented By The Secretary, United States Department Of Commerce Method and apparatus for assessment of surface smoothness using reflected energy
US5444265A (en) * 1993-02-23 1995-08-22 Lsi Logic Corporation Method and apparatus for detecting defective semiconductor wafers during fabrication thereof
US5474381A (en) * 1993-11-30 1995-12-12 Texas Instruments Incorporated Method for real-time semiconductor wafer temperature measurement based on a surface roughness characteristic of the wafer
WO1995018952A1 (de) * 1994-01-07 1995-07-13 Honeywell Ag Verfahren zur messung der rauhigkeit einer materialoberfläche
NZ270892A (en) * 1994-08-24 1997-01-29 Us Natural Resources Detecting lumber defects utilizing optical pattern recognition algorithm
US5608527A (en) * 1995-03-08 1997-03-04 Optical Dimensions, Llc Apparatus and method for dynamic measurement of surface roughness
US5838445A (en) * 1995-06-07 1998-11-17 Micron Technology, Inc. Method and apparatus for determining surface roughness
US5644392A (en) * 1995-09-12 1997-07-01 U.S. Natural Resources, Inc. Scanning system for lumber
DE19725337C1 (de) * 1997-06-16 1998-10-01 Abb Research Ltd Verfahren zur Bestimmung der Oberflächenstruktur einer Körperoberfläche
DE19733775A1 (de) * 1997-08-05 1999-02-18 Honeywell Ag Verfahren zur Messung von Eigenschaften einer Materialoberfläche
JP2000090233A (ja) * 1998-09-08 2000-03-31 Olympus Optical Co Ltd 画像処理装置
FI111757B (fi) 1999-05-10 2003-09-15 Metso Automation Oy Menetelmä ja mittausjärjestely mitata paperin pintaa
EP1303866B1 (de) * 2000-07-10 2009-12-09 TEL Epion Inc. Vorrichtung und verfahren zur verbesserung von dünnschichten mittels gas-cluster-ionenstrahlbearbeitung
NZ519475A (en) * 2002-06-11 2004-10-29 Ind Res Ltd Measuring wood properties by optical investigation of tracheid orientations
EP1620712A1 (de) * 2003-04-29 2006-02-01 Surfoptic Limited Messung einer oberflächeneigenschaft
US20050012939A1 (en) * 2003-07-15 2005-01-20 Snyder Donald M. Method and apparatus for quantifying the degree of fusion of a layer
WO2005026660A1 (en) * 2003-09-16 2005-03-24 Paper Australia Pty Ltd Sheet-surface analyser and method of analysing a sheet-surface
US7038779B2 (en) * 2003-10-10 2006-05-02 Ethicon Inc. System and method for sensing variations in a strand
US7773070B2 (en) 2004-05-21 2010-08-10 Cypress Semiconductor Corporation Optical positioning device using telecentric imaging
US7268341B2 (en) * 2004-05-21 2007-09-11 Silicon Light Machines Corporation Optical position sensing device including interlaced groups of photosensitive elements
US20050258346A1 (en) * 2004-05-21 2005-11-24 Silicon Light Machines Corporation Optical positioning device resistant to speckle fading
US20050259097A1 (en) * 2004-05-21 2005-11-24 Silicon Light Machines Corporation Optical positioning device using different combinations of interlaced photosensitive elements
US7285766B2 (en) * 2004-05-21 2007-10-23 Silicon Light Machines Corporation Optical positioning device having shaped illumination
US20050259078A1 (en) * 2004-05-21 2005-11-24 Silicon Light Machines Corporation Optical positioning device with multi-row detector array
US7042575B2 (en) * 2004-05-21 2006-05-09 Silicon Light Machines Corporation Speckle sizing and sensor dimensions in optical positioning device
US7138620B2 (en) 2004-10-29 2006-11-21 Silicon Light Machines Corporation Two-dimensional motion sensor
US7248345B2 (en) * 2004-11-12 2007-07-24 Silicon Light Machines Corporation Signal processing method for use with an optical navigation system
WO2006068746A2 (en) 2004-11-19 2006-06-29 Silicon Light Machines Corporation Dense multi-axis array for motion sensing
WO2006060798A2 (en) * 2004-12-02 2006-06-08 Silicon Light Machines Corporation Signal processing method for optical sensors
CA2594010C (en) * 2004-12-27 2017-01-17 Bc Cancer Agency Surface roughness measurement methods and apparatus
JP3938184B2 (ja) * 2005-03-22 2007-06-27 キヤノン株式会社 情報処理方法及びその装置
EP1946040B1 (de) * 2005-11-07 2017-03-22 Cardinal CG Company Verfahren und vorrichtung zum identifizieren von fotokatalytischen beschichtungen
US7567235B2 (en) 2005-12-12 2009-07-28 Cypress Semiconductor Corporation Self-aligning optical sensor package
US8471191B2 (en) * 2005-12-16 2013-06-25 Cypress Semiconductor Corporation Optical navigation system having a filter-window to seal an enclosure thereof
US7765251B2 (en) * 2005-12-16 2010-07-27 Cypress Semiconductor Corporation Signal averaging circuit and method for sample averaging
US7737948B2 (en) * 2005-12-20 2010-06-15 Cypress Semiconductor Corporation Speckle navigation system
US7298460B2 (en) * 2006-01-03 2007-11-20 Silicon Light Machines Corporation Method for determining motion using a velocity predictor
US7884801B1 (en) 2006-02-16 2011-02-08 Cypress Semiconductor Corporation Circuit and method for determining motion with redundant comb-arrays
US7297912B1 (en) 2006-03-27 2007-11-20 Silicon Light Machines Corporation Circuit and method for reducing power consumption in an optical navigation system having redundant arrays
US7809035B2 (en) * 2006-03-31 2010-10-05 Cypress Semiconductor Corporation Eye-safe laser navigation sensor
US7721609B2 (en) 2006-03-31 2010-05-25 Cypress Semiconductor Corporation Method and apparatus for sensing the force with which a button is pressed
US7492445B1 (en) 2006-06-05 2009-02-17 Cypress Semiconductor Corporation Method and apparatus for robust velocity prediction
US7755604B2 (en) 2006-06-19 2010-07-13 Cypress Semiconductor Corporation Optical navigation sensor with tracking and lift detection for optically transparent contact surfaces
US7728816B2 (en) * 2006-07-10 2010-06-01 Cypress Semiconductor Corporation Optical navigation sensor with variable tracking resolution
US7742514B1 (en) 2006-10-31 2010-06-22 Cypress Semiconductor Corporation Laser navigation sensor
US8072429B2 (en) * 2006-12-22 2011-12-06 Cypress Semiconductor Corporation Multi-axial touch-sensor device with multi-touch resolution
US8314774B1 (en) 2007-07-09 2012-11-20 Cypress Semiconductor Corporation Method and apparatus for quasi-3D tracking using 2D optical motion sensors
US8263921B2 (en) 2007-08-06 2012-09-11 Cypress Semiconductor Corporation Processing methods for speckle-based motion sensing
FI20075975L (fi) * 2007-12-31 2009-07-01 Metso Automation Oy Rainan mittaus
US8259069B1 (en) 2008-01-11 2012-09-04 Cypress Semiconductor Corporation Speckle-based optical navigation on curved tracking surface
US8031176B1 (en) 2008-01-22 2011-10-04 Cypress Semiconductor Corporation Optical navigation system using a single-package motion sensor
FI123335B (fi) * 2008-05-20 2013-02-28 Metso Automation Oy Pulssitusvälinein varustettu LED- valaisinmatriisi
US8541727B1 (en) 2008-09-30 2013-09-24 Cypress Semiconductor Corporation Signal monitoring and control system for an optical navigation sensor
US7723659B1 (en) 2008-10-10 2010-05-25 Cypress Semiconductor Corporation System and method for screening semiconductor lasers
US8217334B1 (en) 2008-12-24 2012-07-10 Cypress Semiconductor Corporation Optical navigation sensor including a spatial frequency filter
US8711096B1 (en) 2009-03-27 2014-04-29 Cypress Semiconductor Corporation Dual protocol input device
CN102959494B (zh) 2011-06-16 2017-05-17 赛普拉斯半导体公司 具有电容式传感器的光学导航模块
US8896553B1 (en) 2011-11-30 2014-11-25 Cypress Semiconductor Corporation Hybrid sensor module
JP6324114B2 (ja) * 2014-02-28 2018-05-16 キヤノン株式会社 光学系および光沢計
JP6324113B2 (ja) 2014-02-28 2018-05-16 キヤノン株式会社 光学系および光沢計
FR3037177B1 (fr) * 2015-06-08 2018-06-01 Commissariat A L'energie Atomique Et Aux Energies Alternatives Procede de traitement d'images avec specularites

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3176306A (en) * 1961-09-05 1965-03-30 British Iron Steel Research Apparatus for testing surface quality of material
FR1397638A (fr) * 1963-05-21 1965-04-30 Pilkington Brothers Ltd Perfectionnements aux procédés et dispositifs pour déceler la présence de piqûres sur la surface d'un matériau plat
DE1906301A1 (de) * 1968-02-12 1969-08-14 Skf Svenska Kullagerfab Ab Photoelektrisches Oberflaechenpruefgeraet
US3591291A (en) * 1969-05-26 1971-07-06 Conductron Corp Method and apparatus for sensing reflected light and diffused light from a surface to indicate the roughness of said surface
US3782827A (en) * 1971-08-04 1974-01-01 Itek Corp Optical device for characterizing the surface or other properties of a sample
US3804521A (en) * 1972-02-22 1974-04-16 Itek Corp Optical device for measuring surface roughness

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2246501A (en) * 1939-03-01 1941-06-24 Champion Paper & Fibre Co Glossmeter
US2446628A (en) * 1947-03-06 1948-08-10 Eastman Kodak Co Flatness testing apparatus
US2947212A (en) * 1956-04-30 1960-08-02 American Brass Co Method of detecting surface conditions of sheet metal
US3771880A (en) * 1971-09-29 1973-11-13 Us Navy Roughness analyzer
US3790287A (en) * 1972-03-31 1974-02-05 Western Electric Co Surface inspection with scanned focused light beams

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3176306A (en) * 1961-09-05 1965-03-30 British Iron Steel Research Apparatus for testing surface quality of material
FR1397638A (fr) * 1963-05-21 1965-04-30 Pilkington Brothers Ltd Perfectionnements aux procédés et dispositifs pour déceler la présence de piqûres sur la surface d'un matériau plat
DE1906301A1 (de) * 1968-02-12 1969-08-14 Skf Svenska Kullagerfab Ab Photoelektrisches Oberflaechenpruefgeraet
US3591291A (en) * 1969-05-26 1971-07-06 Conductron Corp Method and apparatus for sensing reflected light and diffused light from a surface to indicate the roughness of said surface
US3782827A (en) * 1971-08-04 1974-01-01 Itek Corp Optical device for characterizing the surface or other properties of a sample
US3804521A (en) * 1972-02-22 1974-04-16 Itek Corp Optical device for measuring surface roughness

Non-Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
G. Schmaltz, "Techniche Oberflächenkunde", Springer-Verlag Berlin 1936, S. 98,99 *
Metall 1954, Bd. 8, S. 459 *
Wochenblatt für Papierfabrikation 1970, Nr. 2, S. 45-51 *

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3426332A1 (de) * 1984-07-17 1986-01-30 Erwin Sick Gmbh Optik-Elektronik, 7808 Waldkirch Optische rauheitssonde mit abtastung der indikatrix
EP0169444A2 (de) * 1984-07-27 1986-01-29 Erwin Sick GmbH Optik-Elektronik Rauheitssonde
EP0169444A3 (de) * 1984-07-27 1989-01-04 Erwin Sick GmbH Optik-Elektronik Rauheitssonde
DE4408226A1 (de) * 1994-03-11 1995-09-14 Peter Dipl Phys Lehmann Meßeinrichtung zur prozeßgekoppelten Bestimmung der Rauheit technischer Oberflächen durch Auswertung di- oder polychromatischer Specklemuster
DE19817664A1 (de) * 1998-04-21 1999-11-04 Peter Lehmann Verfahren und Vorrichtung zur Rauheitsmessung an technischen Oberflächen bei Beleuchtung mit einem Specklemuster

Also Published As

Publication number Publication date
GB1444780A (en) 1976-08-04
FR2208107A1 (de) 1974-06-21
JPS4984462A (de) 1974-08-14
CS258452B2 (en) 1988-08-16
IT999470B (it) 1976-02-20
DE2260090B2 (de) 1978-12-21
FR2208107B1 (de) 1977-03-11
SE391238B (sv) 1977-02-07
CA999136A (en) 1976-11-02
US3922093A (en) 1975-11-25
FI56453C (fi) 1980-01-10
DE2260090C3 (de) 1985-04-04
CH552197A (de) 1974-07-31
CS804173A2 (en) 1988-01-15
FI56453B (fi) 1979-09-28

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE2260090A1 (de) Einrichtung zum messen der rauhigkeit einer oberflaeche
EP0168643B1 (de) Gerät zur Wafer-Inspektion
EP3891465B1 (de) Optische messeinrichtung
DE2005682C3 (de) Vorrichtung zum Absaugen der Sekundärelektronen in einem Rasterelektronenmikroskop oder einem Elektronenstrahl-Mikroanalysator
DE1915935A1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Messung der Lagekoordinaten eines Punktes bezueglich eines Bezugspunktes
WO2016005571A1 (de) Positionsbestimmung eines objekts im strahlengang einer optischen vorrichtung
CH643060A5 (de) Verfahren zur bestimmung des durchmessers oder des querschnittes eines faden- oder drahtfoermigen koerpers, vorrichtung zur ausfuehrung des verfahrens, sowie anwendung des verfahrens.
EP0447848B1 (de) Verfahren zum Kalibrieren von Scannern und Anordnung zum Erzeugen definierter Streulichtamplituden
DE2209667A1 (de) Einrichtung zur beruehrungslosen messung
DE3207479C2 (de)
DE2434829C3 (de) Lichtelektronische Vorrichtung zur Messung der Länge oder Breite eines Gegenstands
EP0971204A2 (de) Verfahren zur berührungslosen Messung von strangförmigem Fasergut
DE4444079A1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Durchführung dieses Verfahrens zum Messen einer Lage von Bahnen oder Bogen
DE102006000976A1 (de) Vorrichtung, Mikroskop mit Vorrichtung und Verfahren zum Kalibrieren eines Photosensor-Chips
DE962940C (de) Verfahren und Vorrichtung zur Messung paralleler Kanten an feststehendem oder durchlaufendem Gut, vorzugsweise bandfoermigem Gut
DE3437145A1 (de) Automatische scharfeinstellvorrichtung fuer photographische kameras
AT513126A4 (de) Co-Occurrence Matrix
WO1989001147A1 (en) Process for quality control of a flat object, in particular for detecting defects in textile fabrics, and device for this purpose
DE1005741B (de) Verfahren und Vorrichtung zur Messung des Abstandes zweier Punkte, die auf Begrenzungen eines linearen, flaechenhaften oder raeumlichen Koerpers liegen, insbesondere zur Breitenmessung von kontinuierlich durchlaufendem, bandfoermigem Gut
CH616508A5 (de)
DE102019120858A1 (de) Batteriefolienprüfvorrichtung
DE19510075C2 (de) Verfahren und Vorrichtungen zum berührungslosen Erfassen der Winkellage eines Objekts
DE7245022U (de) Fotoelektrisches Meßgerät zur Bestimmung der Rauhigkeit von Oberflächen
DD201500A1 (de) Verfahren zur bestimmung der lage einer optisch wirksamen struktur
DE102014011268A1 (de) Optische Fehlstellendetektion

Legal Events

Date Code Title Description
OD Request for examination
8225 Change of the main classification

Ipc: D21F 7/00

8281 Inventor (new situation)

Free format text: DAENDLIKER, RENE, DR. MOTTIER, FRANCOIS M., DR., OBERROHRDORF, CH

8225 Change of the main classification

Ipc: G01B 11/30

C3 Grant after two publication steps (3rd publication)
8327 Change in the person/name/address of the patent owner

Owner name: BBC BROWN BOVERI AG, BADEN, AARGAU, CH

8328 Change in the person/name/address of the agent

Free format text: DERZEIT KEIN VERTRETER BESTELLT