DE2213171C3 - Vorrichtung zum Ausrichten zweier mit Ausrichtungsmustern versehener Gegenstände, insbesondere einer transparenten Maske gegenüber einem HaIbleiterplittchen - Google Patents
Vorrichtung zum Ausrichten zweier mit Ausrichtungsmustern versehener Gegenstände, insbesondere einer transparenten Maske gegenüber einem HaIbleiterplittchenInfo
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Description
Die Erfindung bezieht sich auf eine Vorrichtung zum Ausrichten erster und zweiter rela'iv zueinander
bewegbarer Gegenstände, von denen der erste Gegenstand ein Ausrichtungsmuster mit ersten und zweiten in
einem Winkel zueinander angeordneten Markierungen und der zweite Gegenstand ein entsprechendes
Ausrichtungsmuster mit ersten und zweiten Markierungen enthält, die im wesentlichen im gleichen Winkel
zueinander wie die ersten und zweiten Markierungen des Ausrichtungsmusters auf dem ersten Gegenstand
angeordnet sind, mit einer Abtasteinrichtung zum Abtasten der Muster auf den ersten und zweiten
Gegenständen zum Erzeugen von Ausgangssignalen, welche die Positionen der ersten und zweiten
Markierungen des Musters auf dem ersten Gegenstand bezüglich der ersten bzw. zweiten Markierungen des
entsprechenden Musters auf dem zweiten Gegenstand anzeigen, mit einer Beleuchtungseinrichtung für die
ersten und zweiten Gegenstände, die Licht von diesen zu der Abtasteinrichtung gelangen läßt, mit einer mit
der Abtasteinrichtung verbundenen Steuerungseinrichtung, die auf die Ausgangssignale der Abtasteinrichtung
anspricht und Steuersignale zur Steuerung der Relativbewegung zwischen den ersten und zweiten Gegenständen
erzeugt und mit einer mit der Steuerungseinrichtung verbundenen Antriebseinrichtung, die auf die
Steuerungssignale anspricht und die Relativbewegung zwischen den ersten und zweiten Gegenständen derart
bewirkt, daß die ersten und zweiten Markierungen des Musters auf dem ersten Gegenstand in eine ausgewählte
Ausrichtung bezüglich der ersten bzw. zweiten Markierungen des entsprechenden Musters auf dem zweiten
Gegenstand gelangen. Sie soll insbesondere bei der Herstellung von integrierten Schaltungen zum Ausrichten
von Photonegativen oder transparenten Masken gegenüber einem Halbleiterplättchen dienen, wo
Einstellgenauigkeiten in der Größenordnung von einigen Mikron erforderlich sind.
Integrierte Schaltungen werden gegenwärtig dadurch hergestellt, daß auf einem Sili/iumplattchen die
erforderlichen verwickelten Schaltungsmuster mit Hilfe der Photoresistteehnik gebildet werden, bei welcher
nacheinander und in vorbestimmter Reihenfolge eine Anzahl von Kontaktabzügen verschiedener Photonegative
oder transparenter Masken auf dem Plättchen vorgenommen werden. Jede nachfolgende Maske muß
dabei sehr sorgfältig gegenüber den bereits vorhandenen Abzügen ausgerichtet werden, die von den
vorhergehenden Masken gebildet worden sind, und zwar mit einer solchen Genauigkeit, daß das gesamte
Schaltungsmuster innerhalb einiger Mikron genau ist.
Die Ausrichtung der Masken gegenüber dem Halbleiterplättchen kann von Hand erfolgen, indem die
-) Maske über dem Halbleiterplättchen entsprechend verschoben wird, während die Bedienungsperson die
Maske und das Halbleiterplättchen durch ein starkes Mikroskop beobachtet. Die Ausrichtung kann dabei
durch zwei im Abstand voneinander angeordnete
in Ausrichtungsmuster erleichtert werden, die, beispielsweise
in Form von Fadenkreuzen, sowohl auf dem Halbleiterplättchen als auch auf der Maske vorgesehen
sind und bei beiden Ausrichtungsmustern zur Deckung gebracht werden müssen, damit die Maske und das
i) Halbleiterplättchen ordnungsgemäß miteinander fluchten.
Diese Arbeit ist wegen der erforderlichen großen Genauigkeit sehr anstrengend und zeitraubend und
damit auch kostspielig und fehleranfällig.
Aus der US-PS 34 97 705 ist nun eine Vorrichtung
>o zum Ausrichten zweier mit Ausrichtungsmustern
versehener Gegenstände der eingang, genannten An
bekannt, weiche die Bedienungsperson durch den Einsatz automatisch arbeitender mechanischer Mittel
von dieser ermüdenden Aufgabe entlastet. Bei dieser
r> bekannten Vorrichtung werden zwei beabstandete radiale A'.srichtungsmuster verwendet, von denen die
radialen Strahlen der Muster auf der Maske gegenüber denjenigen auf dem Halbleiterplättchen winkelmäßig
versetzt oder verbreitert sind, um sie von jenen
κι unterscheiden zu können. Die beiden Ausrichtmuster werden hier von einer Abtasteinrichtung mit zwei
Lichtpunktabtastern kreisförmig um den Mittelpunkt eines jeden Musters herum abgetastet, wodurch der
Winkelabstand zwischen je zwei aufeinanderfolgenden
j-, der von dem Lichtstrahl erfaßten radialen Strahlen
bestimmt wird. Aus der winkelmäßigen Fehlausrichtung der Strahlen des Musters auf der Maske gegenüber
denjenigen des Musters auf dem Halbleiterplättchen werden Fehlersignale abgeleitet und dazu verwendet.
eine geeignete Translations- und/oder Rotationsbewegung hervorzurufen, welche die beiden Ausrichtungsmusterpaare
entsprechend gegeneinander ausrichtet.
Da bei dieser bekannten Vorrichtung die Abtastung der Ausrichtungsmuster mittels einer l-ochblende oder
4-, eines Kathodenstrahles nur punktförmig erfolgt und da
wegen der Abtastrichtung senkrecht zu der Längsrichtung der Strahlen der Ausrichtungsmuster nur ein
minimaler Lichteinfall auf dem Photodetektor auftriftt, wird auch nur ein äußerst ungünstiger Störabstand der
-,Ii erzeugten Fehlersignale bewirkt.
Der Erfindung liegt nun demgegenüber die Aufgabe zugrunde, eine Vorrichtung zum Ausrichten zweier mit
Ausrichtungsmustern versehener Gegenstände der einpanf.· genannten An dahingehend zu verbessern.
γ, daß der Störabstand ihrer Ausrichtfehlersignale oder
bei vorgegebenem Störabstand ihr Auflösung .vermögen
wesentlich verbessert wird.
Dies wird erfindungsgemäß dadurch erreicht, daß die
Abtasteinrichtung ein lichtundurchlässiges Glied mit
ho ersten und zweiten, schlitzförmigen öffnungen entsprechend
den ersten und zweiten Markierungen der Muster auf den ersten und zweiten Gegenständen zum Abtasten
dieser Muster aufweist und außerdem eine Detektoreinrichtung, die auf Änderungen der von den ersten und
hi zweiten Gegenständen stammenden und durch die
ersten und zweiten Öffnungen in dem lichtundurchlässigen Glied hindurchgelassenen Lichtmenge anspricht,
wenn das lichtundurchlässige Glied die Muster auf
diesen Gegenständen abtastet und dabei die Ausgangssignale
erzeugt, daß die Steuerungseinrichtung mil der Detektoreinrichtung verbunden ist, auf die Ausgangs
signale der Detektoreinrichtung anspricht und Steucrungssignale erzeugt, die proportional dem linearen
Abstand der ersten und zweiten Markierungen des Musters auf dem ersten Gegenstand von der ausgewählten
Ausrichtungsposition bezüglich der ersten bzw. zweiten Markierungen des entsprechenden Musters auf
dem zweiten Gegenstand sind, und daß die durch die Antriebseinrichtung erzielte Ausrichtungsposition darin
besteht, daß die ersten und zweiten Markierungen des Mustcis auf dem ersten Gegenstand im wesentlichen
parallel zu den ersten bzw. zweiten Markierungen des entsprechenden Musters auf dem zweiten Gegenstand
sind.
Durch diese Maßnahmen wird erreicht, daß infolge der schlitzförmigen Abtastung der Ausrichtungsmuster
»r»ht mAi-ΐίτο
vorgegebener Lichtmenge eine erheblich geringere Strichdicke der Markierungen der Abtastungsmuster
benötigt wird. Hierdurch kann ein größeres Auflösungsvermögen erzielt werden, was die Einhaltung noch
geringerer Toleranzen ermöglicht.
Ein weiterer Vorteil der schlitzförmigen Abtastung, bei welcher die Schlitze einer Blende mit den
abzutastenden Markierungen zur Deckung gebracht werden, besteht darin, daß hier auch unterbrochene
Markierungen einwandfrei abgetastet werden können. In der Praxis sind die Markierungen nämlich nicht
immer kontinuierlich, sondern teilweise unterbrochen, was bei punktförmiger Abtastung zu Fehlern führt.
Weiterhin geben bei der punktförmigen Abtastung bereits kleinste Staubkörperchen und andere Fehlstellen
zu Störungen Anlaß, während die linienförmige Abtastung gleichsam integrierend über die Vielzahl der
eine Markierung b.ldenden Punkte wirkt. Dadurch können auch Markierungen mit ungenaueren Konturen
ordnungsgemäß abgetastet und aufgelöst werden.
Die Unteransprüche geben eine Anzahl vorteilhafter Ausgestaltungen der Erfindung nach dem Hauptanspruch
wieder. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform sind die die Ausrichtungsmuster bildenden
Markierungen orthogonal zueinander verlaufende Linien, wodurch weniger Blendenschlitze erforderlich sind
als bei anderen Winkeln zwischen den Markierungen.
Gemäß einer anderen Ausführungsform trägt einer der beiden auszurichtenden Gegenstände jeweils zwei
Ausrichtungsmuster für jedes Muster auf dem anderen Gegenstand, so daß die Steuerlogik bestimmen kann,
welches Ausrichtungsmuster zu welchem Gegenstand gehört und in welcher Richtung die Korrekturbewegung
des einen Gegenstandes gegenüber dem anderen zu"erfolgen hat.
Im folgenden werden bevorzugte Ausführungsbeispiele der Erfindung anhand der Zeichnungen erläutert;
es stellt dar
Fi g. 1 ein Blockdiagramm einer Abtastvorrichtung für Masken- und Plattenmuster und zugehörige
Impulserzeugereinrichtungen einer automatischen Ausrichtungsvorrichtung,
F i g. 2 eine Ansicht des Abtastbandes nach F i g. 1 und der beiden damit abgetasteten Musterbereiche,
F i g. 3 ein Diagramm, welches Impulse darstellt, die von der Abtastvorrichtung und den Impulserzeugern
der F i g. Ί erzeugt worden sind,
F i g. 4 ein Flußdiagramm zur Erläuterung des Betriebsablaufs der Ausrichtungsvorrichtung,
F i g. 5 ein Diagramm zur Erläuterung einer Form dei
logischen Steuerschaltung mit einem Zustands/ähler Dekodierer und Kodierer, wie er in der Ausrichtungs
vorrichtung verwerdet wird,
F i g. 6a L d ein Blockdiagramm der übrigen Teile der
Ausrichtungsvorrichtung,
Fig. 7 die Sektorbildung des Doppelkreuz-Maskenmusterbereiches,
Fig. 8 und 9 eine Form einer logischen Schaltung
welche in dem Netzwerk zur Bestimmung der Formelgrößen und in den Zähleingangs-Steuerschaltkreisen
der F i g. 6c verwendet werden kann,
Fig. 10 ein Diagramm einer logischen Schaltung, die
für die Vorrichtung gemäß F i g. 6a zur Bestimmung dei
Position des Musterbereiches verwendet werden kann,
Fig. Il ein Diagramm zur Erläuterung einer Forrr
eines binären Zählers, der für die Vorwärts/Rückwärts Zähler der F i g. 6d verwendet werden kann,
P . er 19 pin nigoramm pinpi- \i taitrhpn Qr^hgttiino füi
■ · o* *~ -··* ~- ·—o* —
-...-. ...c..»...·.. u·......—e . —.
die Vorrichtung nach F i g. 6b,
Fig. 13 ein Masken- und Plattenmuster, bei dem die beiden Musterbereiche ein Paar einzelner Kreuze zui
Ausrichtung anstelle der Musteranordnung der F i g. Ί
aufweisen, und
ί ig. 14 eine Spur, welche positive und negative
Impulse darstellt, die bei einer einzigen Abtastung eine« zugeordneten Paares von Linien in dem Muster dei
I ig. 13 .^halten werden.
Gemäß Fig. I, 2 und 3 ist eine Halbleiterplatte 11 mil
einem Paar Ausrichtungsmustern 12, 13 auf dei Oberfläche versehen, und jede1; Muster weist eir
einzelnes schwarzes Kreuz auf, rfas aus Streifen 14 unc 15 besteht. Die Muster sind auf der Platte voneinandei
beabstandet und befinden sich diametral zueinandei nahe den Enden der Platte. Die Streifen 14 bilden einer
größeren Winkel, beispielsweise 90° mit den Streifen 15
Eine transparente Maske 16 ist mit einem Paai Ausrichtungsmustern 17, 18 versehen, die voneinandei
beabstandet und diametral auf der Maske im gleicher Abstand wie der Abstand der Muster auf der Platt«
angeordnet sind, und jedes Muster 17, 18 besteht au! einem dunklen Doppelkreuz, welches zwei Paar«
paralleler, eng beabstandeter Streifen 19 und 21 und 2i und 23 aufweist. Die Streifen 19 und 21 sind in einen
Winkel bezüglich der Streifen 22' und 23 angeordnet, dei
gleich dem Winkel zwischen den Streifen 14 und 15 ist so daß bei geeigneter Ausrichtung der Maske über dei
Platte die einzelnen Kreuze zentral innerhalb dei Doppelkreuze zu liegen kommen und die Striche 1Ί
parallel zu den Strichen 19 und 21 und zentral innerhall: dieser liegen. Die gleichen Verhältnisse ergebe., sich
zwischen den Strichen 15,22 und 23.
Wie bei herkömmlichen Maskenausrichtungsmaschi nen werden die Platte 11 und die Maske 16 unter einen
Hochleistungsmikroskop grob ausgerichtet, so daß eir Spaltmuster der beiden Musterbereiche zur visueller
Prüfung durch die Bedienungsperson an den Fokussie rungspunkten entsteht.
Die Bedienungsperson kann einen oder mehrere dei drei reversierbaren Motorantriebsmechanismen 25, 2(
und 27 betätigen, wodurch die Platte in X- (rechts odei links), Y- (auf oder ab) oder Rotations-Richtunj
(Uhrzeigersinn oder Gegenuhrzeigersinn) bewegt wer den kann, um die Plattenmuster 12, 13 mit der
Maskenmustern 17, 18 auszurichten. Ein mit Druckluf betätigter Kolben 28 dient dazu, die Platte ti aufwärt:
in Kontakt und außerhalb Kontakt mit der Maske 16 zi bringen.
Ziisäi/Iirh /u der von der Hedieniingspersoii pe
Melierten Ausrichtung ist eine automatische Vorrichtung
/.um Ausrichten vorgesehen. Da/u wird ein drittes
Spallmuster mit der Gestalt der Kreuze der beiden Musterbereiche 12, 17 und 13, 18 in einer optischen
Abbildungsebenc mit einem schnell bewegten Abtastband
31 erzeugt, welches von Antriebsrädern 31' angetrieben wird, um die Musterbereiche in der
Pfeilricni'jng 32' (F ig. 2) abzutasten. Die Muslerbereiche
12, 17 und 13, 18 werden beispielsweise zehnfach vergrößert abgebildet, so daß die Größe df?s Abbildes
einen Erfassungsbereich von clwa 0.5 χ Ο,1) mm2 ergibt.
Das Band 31 ist mit zwei kontinuierlichen Reihen von
Schlitzpaaren versehen. Die Schlitzpaarc 32 und 33 der rechten Reihe lasten den Feldbereich der Muster 12, 17
ab. während die Schlitzpaarc 34 und 35 der linken Reihe den Bildbercich der Muster 13, 18 abtasten. Die Schlitze
32 und 33 der einen Reihe sind gleichmäßig zwischen den Schlitzen 34 und 35 der anderen Reihe versei/t. und
die Schln/c wechseln in jeder Reihe in der Richtung ab.
ν daß die Schlitze wechselweise im wesentlichen parallel /u (!cn zugeordneten Streifen in den Ausrichtungsimisiern
sind. Beispielsweise erstrecken sich die Schlitze 32 und 34 in der gleichen Richtung wie die
Striche 14, 19 und 21, während die Schlitze 33 und 35
sich in Richtung der Striche 15,22 und 23 erstrecken.
Ein l.ichtmeßfühler. beispielsweise eine Photozelle 36.
ist hinter dem Band 31 angeordnet, um das durch die Schlitze in dem Band bei der Abtastung der Bildbereichc
der Ausrichtungsmuster auftreffcnde Licht aufzunehmen. Wenn jeder Schlitz an jedem Strich des Abbildes
vorbeigelangt, der in der gleichen Richtung wie der Schlitz ausgerichtet ist. wird ein Ausgangsimpuls von
dem Meßfühler 36 abgegeben. Wenn daher jeder Schlitz 32 an den drei Strichen 14, 19 und 21 vorbeigelangt,
werden drei Ausgangsimpulse erzeugt. Kein Ausgangsimpuls ergibt sich, wenn der Schlitz 32 an den Strichen
15.22 und 23 vorbeigelangt, da diese dunklen Linien sich
schräg zu dem Schlitz und nicht kollinear zu diesem erstrecken und nur eine vernachlässigbare Lichtmenge
aufgenommen wird.
Das Abtastband 31 ist mit einer ersten Reihe von Löchern 37 versehen, und diese Löcher sind direkt vor
jedem Schlitz. 32 in der ersten Reihe der Schlitze angeordnet. Eine zweite Reihe mit Löchern 38 ist in dem
Band vorgesehen, und ein Loch ist vor jedem der drei nächsten Schlitze 34,33 und 35 in dem Band angeordnet.
Ein Photomeßfühler 39 erfaßt das durch die Löcher 37 von einer nicht dargestellten Lichtquelle auftreffende
Licht, während ein anderer Photomeßfühler 40 das durch die Löcher 38 gelangende Licht erfaßt, so daß ein
Ausgangsimpuls vom Meßfühler 39 abgegeben wird, unmittelbar bevor der Schlitz 32 die Muster 12, 17
abtastet, und danach folgen drei Impulse von dem anderen Meßfühler 40. und zwar jeder Impuls gerade
vor den drei nächsten Abtastungen durch die drei Schlitze 34, 33 bzw. 35. Diese Impulse dienen, wie noch
beschrieben wird, um die Spur jeder Reihe von Abtastungen der beiden Musterbereiche 12, 17 und 13,
18 zu erhalten.
Wenn der Schlitz 32 an den Strichen 14,19 und 21 des
Bereichs 12, 17 vorbeigelangt, wird ein Ausgangsignal mit drei Impulsen von der Photozelle 36 erhalten. Der
Zeitabstand zwischen diesen drei Impulsen 41,42 und 43
(Fig. 3) hängt von der Position des Striches 14 bezüglich der beiden Striche 19 und 21 ab. Falls
beispielsweise der Strich 14 sich gemäß F i g. 2 um einen beträchtlichen Abstand unter den beiden Strichen 19
und 21 bffindel, hai der li-t/le von dem Strich 14
erzeugte Im(HiIs 43 einen beträchtlichen Zeitabstand
von den beiden ersten Impulsen 41 und 42, welche von den Strichen 19 bzw. 21 erhalten werden, wobei diese
beiden letzten Impulse untereinander einen festen Zeitabstand aufweisen, der durch den festen Abstand
zwischen den Strichen 19 und 21 gegeben ist. Sollte der Strich 14 sich oberhalb der beiden Striche 19 und 21
befinden, so wären die beiden letzten Impulse 42 und 43 wegen der Striche 19 und 21 voneinander durch einen
festen Zeitabstand getrennt, und sie wären von dem ersten Impuls 41 wegen des Striches 14 durch einen
Zeitabstand getrennt, der von dem Abstand zwischen dem Strich 19 und dem Strich 14 abhängt. Während
liner Periode enger Ausrichtung, wenn der Strich 14 /wischen den beiden Strichen 19 und 21 angeordnet Kt,
ist der Abstand zwischen den ersten und dritten Impulsen 41 und 43 gleich dem festen Zeitabstand, und
der Impuls 42 befindet sich wegen des Striches 14 dazwischen; er hat den gleichen zeitlichen Absland von
den Impulsen 41 und 43, wenn der Strich 14 sich in der Mitte zwischen den Strichen 19 und 21 in optimaler
'Susrichlung befindet.
Wenn der nächste Schlitz 34 die Striche 19, 21 und 14
des zweiten Musterbereiches 13, 18 abtastet, wird eui
zweiter Satz von drei Impulsen erzeugt, und die relativen Positionen und der Zeilabsland zwischen den
Impulsen sind wieder abhängig von dein Ort des Striches 14 bezüglich der beiden Striche 19 und 21 des
zweiten Musterbereiches.
Ein driller Satz von drei Impulsen wird dann erzeugt,
wenn der Schlitz 33 den Musterbereich 12, 17 abtastet Die Striche 15, 22 und 23 erzeugen dabei Impulse, die
zeitlich entsprechend dem Ort des Striches 15 bezüglich der beiden anderen Striche 22 und 23 gelrennl sind. Ein
vierter Salz von drei Impulsen wird dann erzeugt, wenn der Schlitz 35 die Striche 15, 22 und 23 in dem
Musterbereich 13,18 abtastet.
Daher werden bei jeder vollständigen Ablastfolge der
beiden Musterbereiche der Platte und der Maske, das heißt bei einer Abtastung des Musterbereiches 12, 17
durch die Schlitze 32 und 33 und einer Abtastung des Musterbereiches 13,18 durch die Schlitze 34 und 35, vier
Sätze von je drei Impulsen erzeugt, und der Abstand zwischen den Impulsen in jedem Satz ist eindeutig den
Positionen der betreffenden Ausrichtungsmuster auf der Maske bezüglich der Ausrichtungsmuster auf der Platte
zugeordnet.
Diese Sätze von Impulsen gelangen zunächst durch einen Verstärker/Filterschaltkreis 44. welcher zur
Verstärkung der Impulse und zur Entfernung von Nebengeräuschen dient. Die Impulse gelangen durch
eine Quadrierschaltung 45, um die Kurvenform der Vorder- und Hinterflanken jedes Impulses zu verbessern.
Die Quadrierschaltung weist ein Paar Komparatoren 46 und 47 auf. welche drei scharfe positive
Ausgangsimpulse bei drei Eingangsimpulsen 41 bis 43 abgeben, und diese positiven Ausgangsimpulse werden
entsprechend entweder positiven oder negativen Eingangsimpulsen erzeugt. Dies stellt den ordnungsgemäßen
Betrieb sicher, falls aus irgendeinem Grunde das Photodetektorabtastsystem einen negativen Impuls
anstelle eines positiven Impulses liefern sollte, wie es der Fall wäre, falls ein Strich lichtundurchlässig wäre und ein
anderer reflektieren würde.
Der Ausgangsimpuls vom Komparator 46 wird über ein Gatter 48 einem Impulserzeuger 49 zugeleitet, und
der Ausgangsimpuls des Komparators 47 wird über ein
Gaiter 51 und einen llmkehrverstärker 1M ilem
Impulsgenerator 53 zugeleitet. Die Impiilsgeneraloren
49 und 53 arbeiten gernäß der herkömmlichen Sehaltungstechnik und geben Ausgangsimpulse A'. B'
und C'und A ", ß"und C'gemäB den Eingangsimpulseii
41 bis 43 ab, und diese Impulse sind auf die Vorder- und Hinterflanken der Eingangsimpulse 41 bis 43 gemäß
F i g. 3 bezog .n. Daher erstreekt sich der Impuls A' von
der Vorderfianke des ersten Impulses 41 bis zu der Hinterflanke des zweiten Impulses 42, Impuls B'
erstreekt sich von der Vorderflanke des ersten Impulses 41 bis /u der Hinterflanke des dritten Impulses 43, und
Impuls C" erstreekt sich von der Vorderflanke des zweiten Impulses 42 bis zu der Hinterflanke des dritten
Impulses 43. In der zweili.ii Gruppe von drei Impulsen
erstreekt sich der Impuls A" von der Hinterflanke des ersten Impulses 41 bis zu der Hinlerflanke des zweiten
Impulses 42. der Impuls B" erstreekt sich von der Hinterfliinkr dos i'rslon Impulse«; 41 his zu der
Hinterflankc des dritten Impulses 43, und der Impuls C"
erstreekt sich von der Hinterflanke des zweiten Impulses 42 bis zu der Hinterflanke des dritten Impulses
43.
Angenommen der Impuls 41 wird durch den Strich 14
erzeugt, und die Impulse 42 und 43 werden durch die Striche 19 bzw. 21 erzeugt, dann hat der Impuls C"eine
vorbestimnite Lange, die durch den vorbestimmten Abstand zwischen den Strichen 19 und 2! gegeben ist,
während der Impuls /\'einc Zeitdauer hat. die direkt von dem variablen Abstand zwischen dem Strich 14 und
dem Strich 19 abhangt; je größer der Abstand ist, desto langer ist die Zeitspanne des Impulses A'. Die Länge des
Impulses IV hängt von dem Abstand zwischen dem
Strich 14 und dem Strich 21 ab.
Eine ahnliehe Beziehung besteht zwischen den
Impulsen A ", B" und C" mit der Ausnahme, daß sie ;ius
den Hin <;rflanken der Impulse 41, 42 und 43 abgeleitet
sind. F.inc Kombination der Impulse A'. ö'und ("mit
den Impulsen A". B" und C" führt zu einer
Inipulsmittelwertbildung, wie noch erläutert wird.
Es sei angemerkt, daß die Abtastvorrichtung auch in «ndercr Weise realisier werden kann. Beispielsweise
könnte eine mit Schlitzen versehene Trommel anstelle des Bandes vorgesehen werden. Es könnten zwei
getrennte Bänder verwendet werden, und zwar eines fur den Musterbereich 12, 17 und eines für den Bereich 13,
18. Das Band 31 könnte durch eine geschlitzte Platte ersetzt werden, welche über die Musterbereiche hin und
her schwenkt, und es könnte eine geeignete Logikschaltung vorgesehen werden, um den Richtungswechsel in
der Abtastung auszugleichen.
Auch die Musterbereiche könnten verschiedenartig ausgestaltet werden. Beispielsweise brauchen die Linien
oder Striche nicht kontinuierlich zu sein, sie könnten vielmehr bei einer entsprechend modifizierten Abtastvorrichtung
unterbrochen sein. Zur Erläuterung kann das Doppelkreuz aus vier rechten Winkeln bestehen,
deren Schnittpunkte sich zu einem gemeinsamen Zentralpunkt und von einem von vier Quadranten aus
erstrecken, wobei die Seiten der Winkel voneinander den gewünschten vorbestimmten Abstand aufweisen.
Um die visuelle Ausrichtung zu erleichtern, kann ein sehr kleines Doppelkreuz im Mittelpunkt des Haupt-Doppelkreuzes
19, 21 und 22, 23 vorgesehen sein, welches den Zentralbereich des einzelnen Kreuzes 14,
15 bei der Ausrichtung umrahmt. Die Kleinheit dieses zusätzlichen Doppelkreuzes stellt sicher, daß die
Erzeugung der Abtastimpulse nicht beeinträchtigt wird.
Ls wird nun auf das Flußdiagramm der F ig. 4 Bezug
genommen. Die Regelschaltung weist einen Dekodieret-61,
einen Zustandszähler 62 und einen Kodierer 63 gemäß F i g. 5 und dem Bloekdiagramm der F i g. 6a — d
auf. Die automatische Ausrichtungsreihenfolge wird ausgelöst, nachdem die Maske grob über der Platte
ausgerichtet worden Lsi und der Antriebsmechanismus 28 sich in einer Position befindet, bei der die Platte
etwas im Abstand von der Maske gehalten wird. Beim Beginn der Vorgänge befindet sich der Zustandszähler
62 in einem Anfatigszustand, beispielsweise im Zustand 0-0, und er nimmt nachfolgend den nächsten Zustand 0-1
an.
Im folgenden werden die beiden logischen Schaltpegel
willkürlich mit »Wahr« und »Falsch« bezeichnet.
Im Zustand 0-0 dient ein Ausgangssignal »Wahr« in
den Befehlsausgängen (km und Un) der Kodierschaltung
63 dazu, um den Zähler 64(»Anzahl der Versuche«) und die (Λη/eige) Schaltung 65 zu löschen und an deren
Ausgang Qiκ: ein Signal »Wahr« zu erzeugen. Im
Zustand 0-1 dient ein Signal »Wahr« an den Anschlüssen hm und kri des Kodierers 63 dazu, die
binär oder dezimal kodierten Vorwärts/Rückwärtszähler 66, 67 und 68, die Fehl-Impulsgenerator-Kippstufe
69, die Impulsgeneratorcn 49 und 53 und die Positions-Kippschaltkreise 71 bis 74 auf Null zustellen.
Der Ausgangsimpuls vom Photomeßfühler 39, der dem Loch 37 in dem Band 31 zugeordnet ist, welches
gerade vor dem ersten Schlitz 32 in der ersten Abtastreihe angeordnet ist, führt zu einem Eingangsignal
»Wahr« auf der Eingangsleitung Qi>k< des
Dekodierers 61, und die Regelschaltung arbeitet bei der Aufnahme des nächsten Tiiktimpulses, um den Zuslandszählcr
62 in den Zustand 0-3 zu bringen und ein Ausgangsignal »Wahr« am Ausgang auf den Befehlsausgangsleitungen
/(/<«*. und Ii .■/· zu erzeugen. liin Signal
»Hoch« am Eingang kn. betätigt die (Formelgrößenbestimmungs-)Schaltung
78, um Impulse Cl von dem Taktgeber 79 zu der Zählcingangs-Steuerschaltung 81
zu leiten, die durch ein Signal auf die Leitung /; /-betätigt wird, um die Taktimpulse Cl an die »Vorwärts«-Zähleingänge
der Zähler 66, G7 bzw. 68 zu übertragen, welche Impulse zählen, die Werte im Uhrzeigersinn,
aufwärts oder nach rechts gerichtet, bezeichnen.
Diese drei Zähler zählen zusammen vorwärts entsprechend den Taktgeberimpulsen C1, bis sie alle bis
2K gezählt haben, wobei 2K die Anzahl der Taktgeberimpulse ist, welche den festen Vertikalabstand
zwischen den beiden parallelen Strichen 19 und 21 auf der transparenten Maske 16 angeben. Wenn der im
Uhrzeigersinn zählende Vorwärts/Rückwärtszähler 66 den Betrag 2K erreicht hat, gibt er ein Signal »Wahr«
auf der Eingangsleitung Qk des Dekodierers 61 ab, um
den Zustandszähler 62 in den nächsten Zustand, beispielsweise den Zustand 0-7, weiterzuschalten und
den Befehl Icix zu beenden und die Reihe der
Taktgeberimpulse zu unterbrechen. Die drei Zähler 66 bis 68 verbleiben somit jeweils im Zustand 2K. Vier der
Befehlsausgänge des Kodierers 63 werden betätigt, d. h., ein Befehl lcpc betätigt die Gatter 48 und 51, um den
Weg für die Impulse 41, 42 und 43 zu öffnen, ein Impuls Idown betätigt die drei Rückwärtszählwege in der
Eingangssteuerschaltung 81, um sicherzustellen, daß die folgenden Taktimpulse zu dem rückwärtszählenden
Eingang der drei Zähler 66, 67 und 68 gelangen; ein Befehl !test gelangt an das Netzwerk 78 und leitet die
Taktimpulse und den Befehl Ιηκ an die Zähler 66 bis 68.
wie noch beschrieben wird.
Zu dem Zeitpunkt, an dem der Photomeßfühler 39
betätigt wurde, um ein Signal an die Leitung Qpm
abzugeben, hat er auch ein Ausgangsignal abgegeben, um die Abiastzählschaltung 82 zu löschen, welche über
den Dekodierer 83 und den Kommutator 84 d„s erste Paar 71 von vier Paaren von Positionskippstufen 71 bis
74 zur Aufnahme von zwei Bits vom Dekodierer 88 setzt, welche die Position des Musters 17 bezüglich des
Musters 12 nach der Abtastung durch den Schlitz 32 in nachstehend beschriebener Weise anzeigt.
Wenn der erste Schlitz 32 in dem Band über den Musterbereich 12, 17 gelangt, werden die drei dadurch
erzeugten Impulse 41,42 und 43 an die Impulsgeneratoren 49 und 53 weitergeleitet, welche zwei Sätze von
Impulsen A '-C"und A"-C" in der vorgeschriebenen
Weise abgeben. Angenommen, die Muster 12, 17 sind ausgerichtet, so daß der Strich 14 sich über den Strichen
19 und 21 befindet, so stellen die Impulse A 'und A "den
Abstand zwischen den Strichen 14 und 19 und die Impulse ß'un:l B" den Abstand zwischen den Strichen
14 und 21 ι :Δ die Impulse C und C" den Abstand
zwischen den Strichen 19 und 21 dar. Beide Sätze von Impulsen A' — Cund A "— C"werden an das Netzwerk
78 übertragen, welches über eine Zählereingangssteuerung 81 die Taktimpulse Cl und CTl an den
Rückwärtseingang des im Uhrzeigersinn zählenden Zählers 66 während der kombinierten Zeit der
Impulsperioden A' und A" (hier als Impuls A bezeichnet), an den Rückwärtseingang des die Vertikalrichtung
zählenden Zählers 67 während der kombinierten Zeit der Impulse B' und B" (hier als Impuls B
bezeichnet) und an den Rückwärtseingang des die rechte Richtung zählenden Zählers während der
kombinierten Zeiten C" und C" (hier als Impuls C
bezeichnet) abgibt.
Wenn auf diese Weise der Schlitz 32 die Striche 14, 19
und 21 abtastet, zählen die drei Zähler 66,67 und 68 von der Zählstufe 2K rückwärts, welche in jedem der Zähler
registriert worden war, bevor die Abtastung durch das Loch 37 eingeleitet worden war. Da bei diesem Beispiel
angenommen worden war, daß der Strich 14 sich oberhalb der Striche 19 und 21 befindet, stellt der Impuls
Cden Abstand /.wischen den Strichen 19 und 21 dar, und
während des Vorhandenseins des Impulses C werden 2K Taktimpulse an den Zähler 68 abgegeben. Daher hat
dieser Zähler am Ende des Impulses C bis auf Null heruntergezählt. Wegen des größeren Zeitintervalls der
Impulse A und B haben dann die Zähler 66 und 67 mehr als 2ACTaktimpulse herabgezählt, und daher ist die darin
gespeicherte Zählstufe etwas weniger als Null.
Der Befehl Ιτικ betätigt einen Uberlaufschaltkreis in
jedem der Zähler 66 bis 68, so daß nach dem Herabzählen von 2K die ersten drei Binärstellen bei der
Prüfung der Nulldetektoren 91, 93 und 93' bezüglich Nullwerten ignoriert werden. Auf diese Weise kann eine
Toleranz von acht Zählstellen mögliche Schwankungen im Vertikalabstand zwischen den Strichen 19 und 21 auf
den verschiedenen Masken zulassen.
Der Nulldetektor 91 gibt ein Zwei-Bit-Ausgangsignal vom Detektor 88 ab, welches das Herabzählen auf Null
im Zähler 68 anzeigt.
Am Ende des Impulses Cbetätigt der Impulsgenerator
53 die Kippstufe 53', um ein Signal »Wahr« an den Eingang Qeos des Dekodierers 61 abzugeben und den
Zustand des Zählers 62 in den nächsten Zustand, das heißt 0-5 zu schalten und ein Signal »Wahr« an den
Eingang /svrder Kippstufe (Positionsspeicherkippstufe)
an den Kommutatorschaltkreis 84 abzugeben, um die beiden Bits vom Dekodierer 88 in die erste Kippstufe 71
zu geben.
In denjenigen Fällen, in denen der Strich 14 sich
zwischen den Strichen 19 und 21 befindet, stellt der ) Impuls Öden Abstand zwischen den Strichen 19 und 21
dar, und der Zähler 67 zählt 2K Zählstufen bis Null herab und bewirkt, daß der Ausgang seines Nulldetektors
91 den Wert »Wahr« annimmt, so daß ein anderes Paar Bits in der Positionskippstufe 71 vom Dekodierer
κι 88 gespeichert wird.
Wenn der Strich 14 sich unter den beiden Strichen 19 und 21 befindet, d. h. zuletzt vom Schlitz 32 abgetastet
worden ist, stellt der Impuls C den Abstand zwischen den Strichen 19 und 21 dar, und der die Uhrzeigcrrich-
r. fing zählende Zähler 66 zählt 2X Zählstufen aui Null
herab, was wiederum zu der Speicherung eines anderen Paares von Bits in der Positionskippstufe 71 führt.
Abhängig davon, ob der Strich 14 sich über, zwischen oder unter den beiden Strichen 19 und 21 befindet, wird
in ein spezielles Paar von Bits, d. h. Bits 1-1, 1-0 oder 0-1 in
der ersten Positionskippstufe 71 als Ergebnis dieser Positionierung gespeichert.
Nach dem Speichern der beiden Bits in einer Positionskippstufe 71 wird der Zustandszähler 62 in den
r> Zustand 0-13 als Ergebnis eines Signals »Falsch« auf der
F.ingangsleitung Qiqi von der nachstehend beschriebenen
Schaltung für gleichen Abstand geschaltet, und dies führt zu einem Ausgangsignal I11 κ vom Kodierer 63.
durch welche die Zähler 66,67 und 68. die Impulsgeneratoren 49, 53 und die fehlende Pulsgcneratorkippstufe 69
gelöscht werden. Der Zustandszähler zählt dann zurück in seinen Zustand 0-3, um Ausgangsignale /(/a, und Ii /■
vom Kodicrer 63 auszulösen und wieder zu bewirken, daß die Zähler 66 bis 68 2K Zählstufen vorwärtszählen
ι. vor der Abtastung des linken Musterbereiches durch den zweiten Schlitz 34.
Vor der Abtastung des Musterbereiches 13, 18 durch den Schlitz 34 betätigt ein Ausgangsimpuls vom
Photomeßfühler 40 aufgrund des Durchgangs des
tu Loches 38 zwischen den Schlitzen 32 und 34 den
Abtastzähler 82. den Dekodierer 83 und den Kommutator 84, um die Kippstufe 72 zur Aufnahme der nächsten
beiden Bits vom Dekodierer 88 zu setzen, so daß die Position des Musters 18 bezüglich des Musters M nach
j "> der Abtastung durch den Schlitz 34 angezeigt wird.
Wenn der Schlitz 34 die Striche 14, 19 und 21 des Musterbereichs 13, 18 abtastet, werden die drei
Impulsperioden A, B und C in obenstehender Weise erzeugt und wie bei der Abtastung durch den Schlitz 32
>ii steuert der Impuls A den Fluß der Taktgeberimpulse
zum Zähler 66, der Impuls B steuert den Fluß der Taktgeberimpulse für den Zähler 67, und der Impuls C
steuert die zum Zähler 68 gelangenden Täktgebenmpuise. Einer dieser drei Zähler zählt auf Null herab in
ϊϊ Abhängigkeit von der Lage des Striches 14 bezüglich
der Striche 19 und 21. d. h. also je nachdem, ob sich der Strich 14 oberhalb, zwischen oder unterhalb dieser
Striche befindet, und entsprechend werden Bits 1-1, 1-0 oder 0-\ in der Kippstufe 72 gespeichert.
mi Ein ähnliches Löschen der Zähler, eine 2K Zählstufen-Speicherung
und eine Abtastung durch die Schlitze 33 und 35 der Striche 15, 22 und 23<r in den Musterbereichen
12, 17 und 13, 18 führt zur Erzeugung und Speicherung von einem aus drei möglichen Paaren von
η! Bits in jedem der dritten und vierten Positionskippstufen
73 und 74.
Die Positionen der beiden Striche 14 bezüglich der zugeordneten Striche 19 und 21 und der beiden Striche
15 bc/uglich der zugeordneten Striche 22 und 23 sind in
Fnrm von Bit-Paaren in den vier Positio/is-Kippstufen
71 bis 74 als Ergebnis der ersten vollständigen
Abtastung der beiden Musierbereiche durch die vier
Schlitze 32 bis 35 gespeichert.
Wahrend der Abtastung durch den vierten Schiit/ 35
wird am Ausgang Qm \τ vom Dekodierer 83 an den
Dekudierer 61 ein Signal »Wahr« abgegeben, das den
Zustandszähier 62 in den Zustand 0-15 bringt. Bei der Aufnahme des Impulses vom Photomeßfühler 39 am
Eingang Qmc bei Beginn der nächsten Abiastreihe
gelangt der Zustands/ähler 62 in den Zustand 0-11 und
speist den Ausgang h,n, des Kodierers 63 für die Gatter
48, 51, um der nächsten Reihe von Abtastimpulsen zu gestatten, daß sie an die Impulsgeneratoren 49 und 53
gelangt.
Falls der Strich 14 sich über den Strichen 19 und 21 in dem Musterbereich 12, 17 und der Strich 15 sich in dem
selben Musterbereich über den Strichen 22 und 23 befindet, sind die beiden Paare von Bits 1. 1 und 1, 1 in
den ersten und dritten Positionskippstufen 71 und 73 gespeichert. Faiis das Maskenmuster in die neuen
Sektoren 101 bis 109 gemäß Fig. 7 eingeteilt isi dann
liegt der Strich 14 längs der Sektoren 101,102 und 103.
und der Strich 15 liegt längs der Sektoren 101, 104 und
107: die beiden Striche 14 und 15 teilen sich in den einen Sektor 101.
Der erste Impuls vom Photomeßfühlcr 39 beim Beginn der nächsten Abtastserie betätigt den Abtastzahler
82 und den Dekodierer 83. um dem Kommutator 111 anzuzeigen, daß die Vier-Bit-Information in der
Kippstufe 71 bis 73 an den Dekodierer 112 abgegeben wird, wo der einzige Ausgang 101' das Signal »Wahr«
annimmt.
Dieses Ausgangsignal bedeutet, daß die beiden Striche 14 und 15 sich gemeinsam in den einen Sektor
101 teilen. Die anderen acht Ausgangsleitungen 102' bis 109' des Dekodierers entsprechen den anderen acht
Sektoren 102 bis 109.
Wenn die folgende Abtastung durch den Schlitz 34 erfolgt, fuhrt der erste Impuls vom Photomeßfühler 40
zu einem Betrieb des Abtastzählers 8Z des Dekodierers 83 und des Kommutators 111. um die aus vier Bits
bestehende Information von den Kippstufen 72 bis 74 an den Dekodierer 112 weiter/uleiten.
In ähnlicher Weise bewirken die zwei nachfolgenden Impulse vom Photomeßfühler 40. daß die Positionskipp
stufen 71, 72 und 73, 74 ein Ausgangsignal auf einer Leitung des Dekodierers 112 bei jeder Abtastung
erzeugen, wobei die speziellen in den Positionskippstufen gespeicherten Bits die besondere zu aktivierende
Ausgangsleitung bestimmen.
Als ein Beispiel für die Formelberechung sei angenommen, daß Je Leitung 109' bei der ersten und
dritten Abtastung das Signal »Wahr« aufweist Dieses Signal auf der Leitung 109' und auf der Eingangsleitung
5 1 vom Dekodierer 83 betätigt das Netzwerk 78, so daß Taktgeberimpulse Cl und CI von den Taktgebern 79
und 79' durch die Zählereingangssteuerschaltung 81 an
in die drei Zähler 66-68 während der Impulsperiode C
der Eingangsignale C, C" zur Schaltung 78 geleitet werden.
Bei der dritten Abtastung, bei welcher die Leitung 109' wiederum das Signal »Wahr« und die Leitung 53
η ebenfalls das Signal »Wahr« hat, gelangen die
Taktimpulse Cl und C2 zum Zähler 66 und zum Zähler 67 während der Impulsperiode B sowie zum Zähler 68
während der Impulsperiode C
Angenommen, die Leitung 104' ist während der zweiten und vierten Abtastungen betätigt. Bei der
zweiten Abtastung S 2 würden die Taktgeberimpulse C1 und C2 an den Zähler 68 während der Dauer des
Impulses A und an die beiden Zähler 66 und 67 während der Dauer des Impulses Cweitergeleitet. Bei der vierten
Ji Abtastung 54 gelangen die Taktgeberimpulse CI und
C2 an die drei genannten Zähler 66 bis 68 während der Dauer des Impulses A.
Das Vorzeichen für die drei Zähler 66,67 und 68 wird
durch das das Formel-Vorzeichen bestimmende Netz-
ii) werk 114 bestimmt, welches die Zähler 66 bis 68
entweder vorwärts- oder rückwärtszählen läßt. Wenn in den Zählern eine Zählstufe vorv/ärtsgezählt worden ist.
wird der Motor zum Antrieb der Platte im Uhrzeigersinn aufwärts und nach rechts angetrieben, während
r> beim Herabzählen um eine ZaJilstufe der Motor zum
Antrieb der Platte im Gegenuhrzeigersinn abwärts und nach links angetrieben wird.
Während der Abtastung durch den Schlitz 32 und während die Ausgangsleitungen 109' und S1 die Signale
jo »Wahr« haben, werden die Taktgeberimpulse an die
vorwärtszählenden Eingänge der Zähler 66, 67 und 68 geleitet. Daher zählen bei der Abtastung 1 durch den
Schlitz 32 und bei einem Signal »Wahr« auf der Leitung 109' alle Zähler vorwärts.
4Ί Folgende Tabelle gibt die Formelberechnungen an.
die durch die Schallkreise 78 und 114 ausgeführt werden, um die Befehle zur Speisung der Antriebsmotoren
abzuleiten, und die Platte bezüglich der Maske auszurichten.
Nr dc··
ycmcins
Sckliir-
101
102
103
104
105
106
f t'rmci | 4 | I fur I hr/' | lh | liters | mn | -f | lh | V | ΚΓΠΗΊ | ft | /I1 | fur ·· \ιιΓ»ηγ1ν" | Hy | ), | 4 | lh | I. | >r nicl | ft | fin -MnI | Ay | ti-· | - | V, | 4 | A4 |
>, | Cy | 4- | C4 | 1, . | /I1 | I f | A2 | C4 | \ | A1 | V | Ay | f | Ai | - | /I. | ||||||||||
- /I1 | Cx | C4 | 4 | -Ax | » ί Λ | A2 | 4 | C4 | 4 | A, | lh | 4 | A2 | «4 | ||||||||||||
- /I1 | Ay | V, | 4 | /I4 | C1 | Ay | A2 | 4 | /I4 | V | A1 | Ay | A2 | 4 | -I4 | |||||||||||
I1 | - | Ay | 4 | A2 | - | /I4 | C, | t Ay | C2 | /I4 | - | /I1 | 4- | -I, | A2 | /I4 | ||||||||||
-C, | - | Cy | 4 | A2 | _ | C4 | - | /I1 | t c., ♦ | C2 | C4 | /I1 | C, | A2 | C4 | |||||||||||
C, | 4 | 4- | A2 | 4 | A, | C1 | C, | |||||||||||||||||||
4- /I1 | -t | C2 | 4 | 4 | ||||||||||||||||||||||
t | 4 | C2 | 4 | |||||||||||||||||||||||
4 | .- | A, | ||||||||||||||||||||||||
Fortsetzung
Nr. do
gemein*.
Sektor*
Formel für Uhrzeigersinn
+ C1 - A3
+ C1 + A3
+ C1 + B3
+ C1 + A3
+ C1 + B3
-C2
-C2
-C2
Formel für »< | Yr | V1 | \ufwäris" | — | A4 | Formel für »Rechts« | Xr | -V, | + Xi. | + | B4 |
Yb + | + C1 | + | A4 | •V» + | + C1 | + C2 | + | C4 | |||
4 | + C1 | + | B4 | 4 | + C1 | + C2 | — | C4 | |||
+ C1 | -A3 | + Yl. | + C1 | + B3 | + C2 | ||||||
+ A3 | + C2 | + C3 | |||||||||
+ B3 | + C2 | -C3 | |||||||||
+ C2 | |||||||||||
Angenommen, die rechten Muster 12, 17 sind derart angeordnet, daß die Striche 14 und 15 den Sektor 103
schneiden, und die linken Muster 13, 18 sind derart angeordnet, daß die Stnche 14 und 15 den Sektor 106
schneiden. Die Taktimpuls-Zählstufen, die an die Zähler für den Uhrzeigersinn, die Aufwärtsrichtung und die
nach rechts weisende Richtung geschickt werden sollen, werden folgendermaßen bestimmt
Für den im Uhrzeigersinn zählenden Zähler gilt die Formel
Y, - Y1.
Aus der obigen Tabelle folgt, daß die Zählstufe für die Abtastung 1, rechtes Muster, Sektor 103 durch -A,
gegeben ist; die Zählstufe tritt auf während des Impulses A, und das negative Vorzeichen gibt eine Rückwärtszählung
an, und der Index 1 bezeichnet die Abtastzahl. Die Zählstufe für die Abtastung 2 (vom Sektor 106 in der
Tabelle) ist — A2, was eine Rückwärtszählung während
des Impulses A bedeutet. Die Zählstufe für die Abtastung 3 ist +Cj, was eine Vorwärtszählung
während des Impulses Cbedeutet. Die Zählstufe für die Abtastung 4 ist -G, was eine Rückwärtszählung
während des Impulses C bedeutet. Die Formel für Zählung im Uhrzeigersinn ist daher
Yr - Y,■
-A1 - A2 + C3 - C4
4 4
In Aufwärtsrichtung ergibt sich aus den Sektoren 103 und 106 die Formel:
YR +Yi
-Ax + A1 + C3 + C4
4 4
Die Formel Tür die Zählung nach rechts ist:
XR + X1. _ -A1- C2 - fl, - C4
4 4
4 4
Während der zweiten Reihe von vier Abtastungen werden daher Taktgeberimpulse an die drei Zähler 66
bis 68 geleitet und in diesen gespeichert, und zwar nach Maßgabe der obigen Formel und entsprechend der
Musteranordnung, die an den Ausgängen des Dekodierers 112 angegeben wird.
Bei der Auslösung der Abtastung 4 in der zweiten Reihe ändert das Signal »Wahr« auf der Eingangsleitung
Qnext für den Dekodierer 61 den Zustand des Zustandszählers, so daß dieser den Zustand 0-10
annimmt. Nach der Abtastung 4 und entsprechend dem nächsten Impuls Qdri vom Photomeßfühler 39 nimmt
der Zustandszähler den Zustand 0 8 an und betätigt die
Ausgangsleitung Ints um eine Zählung 1 in dem Zähler 64 für die Anzahl der Versuche als eine Anzeige dafür
abzugeben, daß die Formel das erste Mal ausgerechnet worden ist. Wenn in diesem Zustand der Ausgang Qnx,
der Anzeigekippstufe 65 das Signal »Wahr« aufweist, ist die Kippstufe gesetzt, und der nicht gelöschte
Zustandszähler 62 nimmt den Zustand 1-8 an, und der Dekodierer 63 betätigt die Ausgänge Imttut Schaltung
jo 78 und /(ψ zur Zählereingangssteuerung 81.
In diesem Zustand prüft die Vorrichtung, um zu bestimmen, ob die Ausrichtung der Maske und der
Platte innerhalb annehmbarer Toleranzen liegt Wenn beispielsweise die in allen drei Zählern 66 bis 88 nach
der Bestimmung der Formel registrierten Zählstufen Null sind, ist die optimale Ausrichtung erreicht worden
und keine Bewegung der Platte erforderlich. Auch wenn die drei Zählungen alle innerhalb der selben vorgegebenen
Toleranz sind, ist die Ausrichtung annehmbar und keine Bewegung erforderlich.
Bei der Feststellung, ob die Ausrichtung innerhalb annehmbarer Toleranzen ist, ignoriert die Prüfschaltung
die letzten drei Zählstellen in jedem Zähler und betrachtet nur die übrigen Zählstellen. Ein aufgenom
menes. binär kodiertes Signal 0000-0000-0111, welches
eine Zählung von 7 angibt, würde eine Messung innerhalb der Toleranz bedeuten, da alle Binärwerte
über der dritten Stellung Null sind, wogegen 0000-0000-1000 bzw. die Zahl 8 außerhalb der Toleranz liegen
würde, da die vierte Stelle 1 ist. Wenn jedoch die Fehlausrichtung in der anderen Richtung liegt und die
Binärstellen die Zahl 996 angeben würden, so würden die Binärstellen eine Zahl außerhalb der Toleranz
anzeigen, obwohl sie in der Tat innerhalb der Toleranz liegt. Um dieses Problem zu vermeiden, werden vor der
Toleranzprüfung Zählstufen zu der endgültigen Zählung in jedem der drei Zähler 66 bis 68 hinzugezählt.
Die Netzwerke 78 und 81 arbeiten daher entspre chend den Signalen [,nt und Ii p, um die Toleranzzäh lung
von einem, zwei oder vier Impulsen an den vorwärtszählenden Eingang jedes der drei Zähler 66 bis
68 abzugeben, und zwar je nach der Einstellung der Toleranzzählstufen, und danach erscheint ein Ausgangsignal
auf der Leitung Qpul des Toleranzimpulszählers
116, um das Ende der Impulse anzuzeigen.
Das Signal Qmi. betätigt den Zustandszähler 62, so
daß erden Zustand 1-10 annimmt und den Ausgang des Nullprüfgatters 117 überprüft, welches den Wert
»Wahr« annimmt, wenn die jedem der Zähler 66 bis 68
zugeordneten Nulldetektorschaltkreise anzeigen, daß alle Binärstellen oberhalb der dritten Stelle (bei einer
Toleranz von vier Zählstufen) in jedem Zähler Null sind und daß daher alle Messungen innerhalb der Toleranz
liegen.
Wenn alle Messungen innerhalb der Toleranz liegen, verändert das Signal Qend den Zustandszähler 62, so
daß er den nächsten Zustand 1-11 annimmt, und ein Ausgangsignal »Wahr« tritt an den Ausgängen Icf2 und
lern des Kodierers 63 auf, um den Zähler 64 für die
Anzahl der Versuche und die Kippstufe 65 zu löschen.
Der Zustandszähler 62 ändert den Zustand 1-9 und betätigt die Ausgänge Icon und Itim des Kodierers 63,
und das Signal Icon dient dazu, um den Motorantrieb 28 zu betätigen, der die Platte vertikal nach oben in
Kontakt mit der Maske bringt. Die Verzögerungsschaltung 118 wird durch das Signal Itim betätigt und erzeugt
ein verzögertes Ausgangsignal Qtim, beispielsweise von 0,2 see, welches ausreicht, um den Kontakt zwischen
Maske und Platt herzustellen.
Das Eingangsignal Qraifürden Dekodierer 61 ändert
den Zustandszähler in den Zustand 1-1, so daß er das Signal Iclr auslöst und die Zähler 66 bis 68, den
fehlenden Impulsgenerator 69 und die Impulsgeneratoren 49, 53 löscht und die dritte Impulskippstufe 53'
zurückstellt
Die Vorrichtung überprüft jetzt die Ausrichtung der Maske und der Platte, um sicherzustellen, daß sie bei der
Bewegung in die Kontaktstellung nicht die Ausrichtung verloren haben. Daher nimmt bei dem nächsten Signal
Qdrc von dem Ab'astband-Meßfühler 39 der Zustandszähler
den Zustand 1-3 an und betätigt Ic.pg, um die
Abtastimpulse an die Itnpulsgtiieratoren 49, 53
weiterzuleiten. Die beiden Positionen anzeigenden Ausgangsignale, beispielsweise 109 und 104' vom
Dekodierer 112 sind noch betätigt, und drei neue Formeln werden bestimmt, und die berechneten
Impulszählungen werden in den Zählern 66 bis 68 entsprechend der Positionierung der Masken- und
Plattenmuster gespeichert. Beim Beginn der vierten Abtastung in dieser Reihe bringt der Ausgang Qnext
den Zustandszähler in den Zustand 1 -2. hält Icpt, betätigt
und bereitet den Steuerdekodierer 61 zur Aufnahme des Impulses (?ne(am Ende dieser Abtastreihe vor.
Bei der Aufnahme des Signals Qorc nimmt der
Zustandszähler den Zustand 1-6 an. und die Ausgänge I(\t und l(tp nehmen den Wert »Wahr« an, um die
Toleranzimpuhzählstufen in der vorstehend beschriebenen Weise an die drei Zähler 66 bis 68 weiterzugeben.
Der Ausgang Qmn. bedeutet das Ende der Toleranzimpulse
und bringt den Zustandszähler in den Zustand 1 -7.
Wenn die Ausgänge der Nulldetektoren von den drei Zählern 66 bis 68 alle eine Nullzählstufe registrieren,
wird das Ausgangsignal Qi nd ausgelöst, um den r>
Zustandszähler in den Zustand 0-2 zu bringen und durch eine grüne Lampe der Bedienungsperson anzuzeigen,
daß die Maske und die Platte richtig ausgerichtet und zum Drucken bereit sind. Auf der Leitung Irst des
Kodierers 63 erscheint ein Ausgangsignal, um die Vervollständigung des Ausrichtvorganges und die
Einstellung der Vorrichtung zur Verwendung zu einer späteren Zeit mit einer neuen Maske anzuzeigen.
Die vorstehende Beschreibung des Betriebs der Vorrichtung betrifft den Fall, daß die Platte in Kontakt b5
mit der Maske gebracht wurde und eine Überprüfung der Ausrichtung durch die automatische Ausrichtungstechnik ergab, daß die Ausrichtung sich innerhalb
annehmbarer Toleranzen befand und keine weitere Bewegung der Platte bezüglich der Maske erforderlich
war, um die Ausrichtung zu optimieren. Nun werden verschiedene andere Betriebsstufen gezeigt, weiche ins
Spiel kommen, wenn keine optimaten Bedingungen angetroffen werden.
Wenn sich der Zustandszähler 62 beispielsweise im
Zustand 0-7 befindet, so kann es manchmal bei irgendeiner Abtastreihe vorkommen, daß die Impulse A'~C
und A"-C" beginnen aber aus irgendeinem Gmnde
nicht zu den richtigen Zeiten aufhören mögen. Beim Beginn des Impulses A'wird ein Trigger-Impuls an den
einen Univibrator 121 abgegeben, der eine vorbestimmte Zeitspanne nach der Betätigung wirksam wird, um ein
Ausgangsignal an das Gatter 122 abzugeben. Wenn jedoch zu dem Zeitpunkt, zu welchem das Ausgangsignal
des Univibrators auftritt, der Impuls C nicht aufgehört hat, wird von dem AusfaII-ImpuIsgenerator61
auf der Leitung Qmov ein Ausgangsignal »Wahr« abgegeben, und der Zustandszähler 62 gelangt von dem
Zustand 0-7 in den Zustand 0-6 und erregt die Ausgänge Icuc. h
<p und Iclr des Verschlüßlers 63. Die Schaltung
arbeitet derart, daß die Zähler 66 bis 68, der Ausfall-Impulsgenerator 69, die Impulsgeneratoren 49,
53 und die Kippstufe 53' für den dritten Impuls gelöscht werden, und die Netzwerke 78 und 81 arbeiten in der
vorbeschriebenen Weise, um Taktimpulse an die drei Zähler 66 bis 68 abzugeben, so daß diese Zähler
beginnen vorwärtszuzählen. Wenn die Zähler K-Impulse
vorwärtsgezählt haben, tritt ein Ausgangsignal auf der Ausgangsleitung Qk des Dekodierers 61 auf und
bringt den Zustandszähler 62 in den Zustand 0-14, und dies führt zu einem »Wahren«-Ausgangsignal an den
Befehlsausgängen Igmo und Itol für die Motorsteuerschaltung
123 (Fig.6b). Es werden Impulse von der Motor-Taktgeberschaltung 124 über die Stufenmotor-Steuerschaltung
125 an die Antriebsmotoren 25 bis 27 für im Uhrzeigersinn aufwärts und nach rechts
gerichtete Bewegungen gegeben. Die Motortaktgeberimpulse werden auch an die Zähler Hi bis 68 über die
Zählereingangssteuerschaltung 81 geleitet, um von der gespeicherten K-Zählstufe rückwärts zu zählen. Da die
/C-Zählstufe in den Zählern in diesem Beispiel eine
Vorwärtszählstufe ist, erscheint ein Signal »Wahr« auf den Vorzeichenausgängen jedes Zählers für einen
Motorregler 123, der den Anzeigeschaltungen 126 für die Motorrichtung bedeutet, daß die drei Antriebsmotoren
25 bis 27 vorwärts angetrieben werden sollen. Die gleichen Vorzeichengatter bewirken, daß die Steuer
schaltung 81 die ivlotortaktgeberimpulse an den rückwärtszählenden Eingang der Zähler 66 bis 68 geben.
Nachdem K- Impulse an jeden der drei Motoren 25 bis 27 von dem Motortaktgeber 124 gegeben worden sind
und die Zähler 66 bis 68 auf Null herabgezählt haben, tritt an den Nulldetektorausgängen vom Gatter 117 für
den Dekodierer 61 ein wahres F.ingangsignal (?//v«auf.
Der Zustandszähler 62 nimmt den Zustand 0 1 an, um die Abtastung des Ausrichtmusters für die Positionsbestimmung
einzuleiten, wobei sich die Muster nun in einer neuen Position unter denjenigen Bedingungen befinden,
welche jetzt das nicht mehr auftretende Ausfall-Impulssignal
bewirkten.
Auch wenn sich der Zähler 62 im Zustand 0-7 befindet und alle drei Zähler 66 bis 68 von der gespeicherten
Zählstufe 2K rückwärts zählen, kann die Maschine eine Situation vorfinden, in welcher einer der Striche 14 oder
15 über einem der zugeordneten Striche 19,21 oder 22, 23 liegt, und zwei der drei Zähler 66 bis 68 werden daher
auf Null zurückzählen. Wenn beliebige zwei der Nulldetektor-Ausgangsleitungen das Signal Null aufweisen,
bewirkt die Schaltung 127 (»gleicher Abstand«), daß an den Dekodierer 61 ein »Wahres« Ausgangsignal
Qbql abgegeben wird. Der Zustandszähler wechselt von
dem Zustand 0-5 in den Zustand 0-6 und gibt Signale auf den Leitungen Icut, hin und der Leitung /up des
Kodierers 63 ab. Die Antriebsmotoren 25 bis 27 werden in der vorstehend beschriebenen Weise betätigt, um die
Platte bezüglich der Maske für eine neue Messung zu in
positionieren.
Bei der vorstehenden Beschreibung wurde angenommen, daß bei der Toleranzprüfung alle gespeicherten
Zählstufen in den drei Zählern 66 bis 68 sich innerhalb der Toleranz befinden und die Vorrichtung dann derart ι >
arbeitet, daß sie die Platte in Berührung mit der Maske
bringt In jenen Fällen, in denen einer oder mehrere der
Zähler anzeigen, daß die erreichte Ausrichtung nicht innerhalb der Toleranz liegt, d. h, daß eine Eins in
irgendeiner vierten oder höheren Binärstelle auftritt. 2<j
wird der Ausgang des zugeordneten Nulldetektors anzeigen, daß der Nullzustand nicht vorliegt und ein
wahres Ausgangsignal Qend vom Gatter 117 trtt niclit
auf. Ein »Falsches« Signal Qend beim Auftreten von Qpul am Ende der Toleranzzählungssummierung be- i\
wirkt, daß der Zustandszähler vom Zustand 1-10 in den
Zustand 1-14 geschaltet wird und die Befehlsausgänge Unrund Idown mit einem Signal beaufschlagt
Das Netzwerk 78 bewirkt, daß Taktgeberimpulse an
den Toleranzimpulszähler 116 und an den rückwärts
zählenden Eingang der Zähler 66 bis 68 geleitet werden, und diese Zähler zählen rückwärts, um die Toleranzzählung
abzuziehen, weiche in den Zählern vorher hinzugefügt worden war. Das Ausgangsignal Qpul des
Toleranzimpulszählers zeigt das Ende der Toleranzim- η pulse an und schaltet den Zustandszähler vom Zustand
1-14 in den Zustand 1-9 um und gibt Ausgangsignale auf die Befehlsausgänge Isu, U.mo und Imi ab. Die
Anzeigeschaltung 65 wird gesetzt, d. h„ der Ausgang
nimmt das Signal »Hoch« an. Der Schritt-Motorregler au
123 gibt Moto^taktgeberimpulse an die drei Motoren ab.
um die Platte über die Steuerung 125 im Uhrzeigersinn, aufwärts und nach rechts anzutreiben. Die Vorzeichen
bestimmenden Ausgänge der drei Zähler 66 bis 68 betätigen den Motorrichtungsregler 126, um den drei -n
Antriebsmotoren die besonderen Richtungen anzuge ben, in denen sie antreiben sollen, d. \ vorwärts oder
rückwärts, je nach den Vorwärtszählungen oder Rückwärtszählungen in den Zählern 66 bis 68. Diese drei
Vorzeichenschaltkreise betätigen die Zählereingangs- w steuerung 81, um die geeigneten für die Vorwärtszählung
oder Rückwärtszählung bestimmten Eingänge der Zähler 66 bis 68 auszuwähler, und diese Zähler durch die
Taktgeberimpulse in einer Richtung anzutreiben, so daß sie auf Null zurückkehren. v>
Bei der Rückkehr der Zähler 66 bis 68 auf Null führt
der Ausgang der zugeordneten Nulldetektoren zu einem Ausgang .ignal Qi*i>
vom Null-Prüfgatter 117. und der Zustandszähler geht in den Zustand 0-12 über
und beendet die Motortaktgeberimpulse für die Zähler w.<
und die Plattenantriebsmotoren.
Wenn der Zähler 64, der die Anzahl der Versuche
zählt, kein Ausgangsignal abgibt, falls nämlich nur eine Zählstufe wegen nur einer Formelausrechnung und
Bewegung der Platte in ihm gespeichert ist, so geht der hc,
Zustandszähler 62 in den Zustand 0-1 über und betätigt die Befehlsausgänge Ui.r und Icpf, was in der
beschriebenen Weise ilk Positionsbestimmungsstufe
der automatischen Ausrichtungsvorrichtung auflöst.
Die Positionsbestimmung, die Formelberechnungen, die Tolerantprüfung und dergleichen werden in der
vorstehend beschriebenen Weise ausgeführt um die Platte mit der Maske auszurichten. Jedes Mal, wenn der
Vorgang ausgeführt worden ist wird eine Zählstufe in dem die Anzahl der Versuche zählenden Zähler 64 gespeichert
bis vier Versuche zur Ausrichtung der Maske unternommen worden sind, wonach ein Signal »Wahr«
auf dessen Ausgangsleitung Qior erscheint Dieses
Signal bringt den Zustandszähler vom Zustand 0-12 in den Zustand 0-04, und zu diesem Zeitpunkt betätigt ein
Signal Iktd ein rotes Licht, um der Bedienungsperson
anzuzeigen, daß die Maschine vier Versuche unternommen hat, um die Maske auszurichten, und daß dies
nicht erreicht worden ist. In diesem Zeitpunkt kann die Bedienungsperson versuchen, die Maske manuell auszurichten
oder die Ausrichtungsbemühungen zu beenden.
In jenen Fällen, in denen die Platte in Kontakt mit der
Maske durch den Antriebsmotor 28 in der vorstehend beschriebenen Weise gebracht worutn ist 'ind ein;.-Überprüfung
der Ausrichtung ergeben hat, daß diese relative Bewegung zu einer Verschiebung außerhalb der
zulässigen Toleranz geführt hat führt das Fehlen c-nes Ausgangsignals Qt\o von dem Prüfgatter 117 zu einer
Änderung des Zustandszählers vom Zustand 1-7 in den Zustand 1-9 entsprechend dem Ausgang Qm, Die
Befehlsausgänge Iopn und Itim sind betätigt und das
Signal lops betätigt den Kontaktantriebsmotor 28, um
die Platte und die Maske zu trennen. Das Ausgangsigna! Ihm betätigt die Verzögerungsschaltung 118, um eine
Zeitverzögerung von 0,2 see vorzusehen, in welcher die
Trennung dei Maske und der Platte erfolgen kann. Danach bringt ein Ausgangsignal Qtim den Zustandszähler
in den Zustand 1-4, und dies führt zu einem Ausgangsignal auf den Befehlsleitungen Icnt und /«mv
Die Schaltung arbeitet dann in der vorstehend beschriebenen Weise, um die Toleranzzählstufe von den
Zählern 66 bis 68 abzuziehen, und ein Ausgangsignai auf der Leitung QPt,i am Ende dieses Subtraktionsvorganges
bringt den Zustandszähler in den Zustand 1-12.
Falls der Ausgang Qnx, der Anzeigeschaltung kein
Signal bzw. das Signal »Falsch« anzeigt und damit angibt, daß die Maske und die Platte nur einmal in
Kontakt gebracht worden sind, geht der Z^standsz^hler
62 in den Zustand 1-13 über und gibt auf den Bcfehlsleitungen Isu. /(,v/ound Inu ein Ausgangsignal
ab. Diese Schaltung arbeitet dann, wie vorstehend beschrieben, entsprechend der in jedem der drei Zähler
66 bis 68 registrierten Formelzählung, um Motortaktgeberimpulse an die drei Plattenantriebsmotoren zu
schicken, um die Platte in die gewünschten Richtungen zur Ausrichtung mit der Maske zu bewegen. Wenn die
drei Zahier 66 bis 68 auf Null entsprechend den Motortaktgeberimpulsen zurückgezahlt haben, bringt
das Ausgangsignal Qi\i> des Prüfgatters »17 den
Zustandszähler in den Zustand 1-9 was. wie vorstehend beschrieben, dazu führt, daß die Platte und die Maske
wieder in Kontakt gebracht werden und automatisch eine erneute Überprüfung der Ausrichtung der Maske
Und der Platte vorgenommen wird.
Das Befehlssignal I.sfz dient dazu, die Anzeigeschaltung
zu setzen. Falls daher eine wiederholte Prüfung der Ausrichtung der Maske und der Platte eine Fehlausrichtung
ergibt, bringt ei: »Wahres« Ausgangsignal Qiic,
auf der Anzeigeschaltung 65 den Zustandszähler in den Zustand 0-4, wenn das Ausgangsignal Qptn. vom
Toleranzimpulszähler 116 auftritt. Außerdem wird ein
Befehlssignal /«£·» gegeben, so daß die rote Lampe
erleuchtet, um der Bedienungsperson anzuzeigen, daß die Maske und die Platte ausgerichtet worden sind und
zweimal in Kontakt gebracht worden sind und dennoch keine endgültige Ausrichtung erreicht wurde.
Einige der vorstehend mit Bezug auf Fig.6a-d
beschriebenen Schaltkreise sind im einzelnen in den F i g. 8 bis 12 dargestellt; d. h., das Netzwerk 78 und die
Zählereingangssteuerung 81 sind in den Fig.8 und 9 dargestellt, wobei F i g. 9 das Netzwerk 114 zur
Bestimmung des Formelvorzeichens aufweist. Die Logikschaltung für den Abtastzähler 82, den Dekodierer
83, den Kommutator 84, den Dekodierer 88. die Positionskippstufen 71 bis 74, den Kommutator 111 und
den Dekodierer 112 ist in F i g. 10 dargestellt. Einer der
Zähler 66 ist in Fig. Il dargestellt und umfaßt die Toleranzüberlaufschaltung. Der Motorregler 123, die
ivioiorrichtungsanzeiger 126 und uie Siuici'inioiüisicücrung
125 sind in Fig. 12 dargestellt.
Im folgenden wird auf F i g. 8 und 9 Bezug genommen.
Zunächst ist in den drei Zählern 66 bis 68 die Zählstufe 2/C gespeichert, wenn die Befehlsausgänge Ici.k und Ivp
das Signal »Wahr« aufweisen und der Befehl Ici.k
betätigt das Gatter 131, um impulse vom Taktgeber 79 durch die drei Gatter 132,133 und 134 und durch die drei
Gaiter 135,136 und 137 an die drei für Vorwärtszählung bestimmten Gatter 138,139 und 141 abzugeben, welche
zu den drei für Vorwärtszählung bestimmten Eingängen der Zähler 66,67 und 68 führen.
Die drei Gatter 138, 139 und 141 werden aufgrund eines »Wahren« Signals auf der Leitung hip betätigt,
welches auf einem Eingang bei jedem der drei Gatter 142,143 und 144 auftritt. Da auf den anderen Eingängen
dieser drei Gatter 142 bis 144 das Signal »Falsch« auftritt, erhalten die Gatter 145,146 und 147 jeweils ein
Signal »Wahr«, und das gleiche Signal tritt dadurch am Eingang der Gatter 148, 149 und 151 auf, wodurch
wiederum die Gatter 138, 139 und 141 aufgetastet werden, um die Taktimpulse an die für Vorwärtszählung
bestimmten Eingänge hindurchzulassen. Wenn die ZäWstufe 2K erreicht ist, wird der Ausgang Qik für den
Zustandszähler erregt, was zu einem Signal »Falsch« auf der Leitung Ici.k des Gatters 131 führt um die Impulse
zu beenden.
Wenn sich der Zustandszähler nach Erregung des Ausgangs Qk im Zustand 0-7 befindet, öffnet ein
»Wahres« Signal auf der Leitung loownait Gatter 152,
153 und 154 und führt zu einer Öffnung der Gatter 155, 156 und 157, so daß die Taktgeberimpulse CI und C2
während der Impulsperioden A, B an den für Rückwärtszählung bestimmten Eingang der Zähler 66
bis 68 geleitet werden.
Zu dieser Zeit öffnet ein »Wahres« Signal auf der Leitung Itest das Gatter 161 (».4-Impuls — nach
rechts«), das Gatter 162 (»ß-lmpuls — aufwärts«), und
das Gatter 163 (VC-Impuls — Uhrzeigersinn«). Bei der
ersten Abtastung durch den Schlitz 32 öffnet der Impuls A 'das Gatter 164 (Leitung A '), um die Takigeberimpulse
C1 vom Taktgeber 79 durch das Gatter 165 zu den drei Gattern 166, 167 und 168 zu leiten, die zu den drei
Gattern 135, 136 und 137 (Uhrzeigersinn, aufwärts und nach rechts) führen. Nur das Gatter 166 wird geöffnet,
da dessen anderer Eingang den Signalpegel »Hoch« vom Gatter 161 über den Umkehrverstärker 16Γ
aufweist. Daher werden die Taktgeberimpulse Cl über das Gatter 166, das Gatter 135 und das Gatter 155 an
den für Rückwärtszählung bestimmten Eingang des Zählers 66 geleitet, welcher weiterhin von der Zählstufe
2K rückwärts zählt.
Wenn der Impuls A" von dem Impulserzeuger 53 kurz nach dem Beginn des Impulses A'auftritt, wird das
zweite Gatter 169 über die Leitung A "geöffnet, um eine
zweite Reihe von Taktgeberimpulsen Cl vom Taktgeber 79' hindurchzulassen. Diese Impulse werden durch
einen Multivibrator 79' aus den Taktimpulsen vom Taktgeber 79 gebildet, und die Impulse C2 befinden sich
zwischen aufeinanderfolgenden Impulsen CI vom Haupttaktgeber 79.
Die Impulse C2 werden über die Gatter 169, 165 und 166 an das Gatter 135 geleitet, und daher wird die
Geschwindigkeit der Taktgeberimpulse vom Taktgeber 79 an den Zähler 66 verdoppelt. Am Ende des Impulses
A' werden die Impulse Cl durch das Gatter 164 beendet, wogegen die Impulse C2 durch das andere
Gatter 169 andauern, aber in diesem Fall ist Hie
>(> gegenüber der normalen Geschwindigkeit halbiert.
Daher ist während der Dauer des Impulses A'oder des
Impulses /4"und der Abwesenheit eines dieser Impulse
die Taktgeschwindigkeit halb so groß wie die Taktgeschwindigkeit im Falle der Koinzidenz der Impulse A'
r> und A ". Dies führt zu einer Impulsmittelwertbildung und
berichtigt veränderliche Impulsbreiten. Die gesamte Zeitperiode beim Durchgang derTaktgeberimDulse Cl
und C2 iurch das Gatter 142 wird als Impuls A oder als Impulsdauer A bezeichnet.
«ι Während der Dauer des zweiten Ausgangsimpulses
B' vom Impulserzeuger 49 ist dai Gatter 171 (über B')
betätigt, um die Impulse C1 über vias Gatter 172 und das Gatter 173 für das vorwärtszählende Gatter 136 und das
Gatter 156 für den für Rückwärtszählung bestimmten
π Eingang des Zählers 67 zu sperren. Der Impulsausgang
B"öffnet das Gatter 174, um die Taktgeberimpulse C2 über die Gatter 172, 173, 136 und 156 an den Zähler 67
zu übertragen. Die beschriebene Impulsmittelwertbildung wird durch diese Impulse ß'und B"bewirkt, und
mi die kombinierte Zeit dieser Impulse ist der Impuls B.
Der Zähler 68 arbeitet in ähnlicher Weise, um die Taktgeberimpulse Cl und C2 während der Zeitdauer
zu speichern, in welcher die Ausgangsimpulse C und C am Ausgang der Impulserzeuger 49 und 53 vorliegen;
α ϊ sie ergeben entsprechend den Impuls C.
Auf diese Weise zählen bei der Abtastung der Striche 14,19 und 21 durch den Schlitz 32 die drei Zähler 66 bis
68 von der Zählstufe 2K rückwärts, welche in jedem der Zähler vor der Auslösung der Abtastung durch das Loch
ϊ» 37 gespeichert worden war.
In dem vorstehenden Beispiel wurde angenommen,
daß der Strich 14 sich über den Strichen 19 und 21 befand und während der Dauer des Impulses Can den
Zähler 68 2K Taktgeberimpulse abgegeben wurden Daher hat am Ende des Impulses C der Zähler 68 auf
Null zurückgezählt und der Ausgang seines Nulldetektors gibt ein »Wahres« Signal an den Dekodierer 88 ab.
Die Schaltung zur Bestimmung der Musterposition isl im einzelnen in F i g. 10 dargestellt. Der Abtastzähler 82
weist ein Paar Kippstufen 181 und 182 auf, welche nach Maßgabe der vier Impulse von den Photodetektoren 3S
und 40 bei jeder Abtastreihe arbeiten, um nacheinander die Gatter 183 bis 186 zu betätigen. Bei dem erster
Impuls setzt das Gatter 183 das erste Paar dei Positionskippstufen 187 und 188, um die aus zwei Bit«
bestehende Positionsinformation vom Dekodierer 8i aufzunehmen. Wie schon festgestellt wurde, hatte dei
Zähler 68 auf Null rückwärtsgezählt und am Ausgang
des Nulldetektors den Schaltpegel »Tief« abgegeben und damit einen Schaltpegel »Hoch« am Eingang des
Gatters 189 utor den Umkehrverstärker 191 erzeugt
Der Ausgang des Gatters 189 gibt den Schaltpegel »Tief« an das Gatter 192 für die höchste Bit-Stelle und
das Gatter 193 für die tiefste Bit-Stelle. Die Ausgangschai'.pegel »Hoch« dieser Gatter werden den Positionskippstufen 188 bzw. 187 zugeführt Das Eingangsignal ISPF am Ende der Abtastung durch den Schlitz 32
öffnet das Gatter 194, um diese beiden Bits (d. h. 1,1), in den Kippstufen 187 und 188 zu speichern.
Nachfolgend werden Paare von Bits in den Kippstufenpaaren 72, 73 und 74 für die folgenden Abtastungen
2, 3 bzw. 4 gespeichert. Die Information über die Musterposition ist somit in Form von Bit-Paaren η
gespeichert. Der erste Impuls vom Meßfühler 39 beim Beginn der nächsten Abtastreihe löscht die beiden
Kippstufen 181 und 182 und sendet ein Signal »Wahr« an die vier Gatter 195, 1%, die mit den ersten und
dritten Positionskippstufen 71 und 73 verbunden sind, und die vier Bits von diesen beiden Kippstufen werden
durch die vier Gatter 197, 198, 199 und 201 an die Dekodierschaltung 112 geleitet, wo der einzelne
Ausgang 101' das Signal »Wahr« annimmt, um anzuzeigen, daß die beiden Striche 14 und IS sich
gemeinsam in einen Sektor 101 teilen. Die anderen acht Ausgangsleitungen des Dekodierers 102' bis 109' haben
weiterhin den Signalzustand »Falsch«.
Bei der folgenden Abtastung durch den Schlitz 34 führt der erste Impuls vom Photomeßfühler 40 zu einem in
Signal »Wahr« für die vier Gatter 202, 203, um die aus zwei Bits bestehende Information von den Kippstufen
72 und 74 zum Dekodierer 112 zu leiten.
In ähnlicher Weise wird durch die zwei nachfolgenden Impulse vom Photomeßfühler 40 die aus zwei Bits
bestehende in den Positionskippstufen 71,72 und 73,74
bestehende Information übertragen, um ein Ausgangsignal an einer besonderen Ausgangsleitung des
Dekodierers 112 bei jeder Abtastung abzugeben.
Unter Bezugnahme auf Fig.8 werde angenommen,
daß die Leitung 109' des Dekodierers 112 bei den ersten
und dritten Abtastungen mit einem Signal beaufschlagt wird. Ein Signal »Wahr« auf der Leitung 9 (vorn
Ausgang 109': die Eingangsleitiing 1, 2. 3 lkw behalten
ihre Eingangsignale von den Dekodierausgängen 101, 102, 103 usw.) und ein Signal »Wahr« auf der
Eingangsleitung 51 von der Kippstufe 181 öffnet die Gatter 206, 207, 208 und 209, so daß wiederum die
Gatter 211, 163 und 212 und die angeschlossenen Umkehrverstärker betätigt werden, um an einem
Eingang jedes Gatters 213, 214 und 215 ein Signal »Hoch« abzugeben, so daß diese drei Gatter geöffnet
werden und die Taktgeberimpulse Cl, C2 an die drei Zähler 66 bis 68 von den Taktgebern 79 und 79* während
der Dauer des Impulses C(d. h„ C'+ C") an die Eingänge
der Gatter 216,217 gelangen. _
Bei der dritten Abtastung, wobei die Leitungen 9 und S3 den Signalzustand »Wahr« aufweisen, werden die
Taktgebergatter 218, 219, 221 und 222 betätigt um wiederum die Gatter 163, 214, 162, 173 und 223 zu to
öffnen. Die Taktgeberimpulse C1 und C2 gelangen an
den Zähler 66 während der Dauer des Impulses B über die Gatter 223 und 135, an den Zähler 67 während der
Dauer des Impulses ßüber die Gatter 173 und 136 und
an den Zähler 68 während der Dauer des Impulses C über die Gatter 214 und 137.
Es wird nun angenommen, daß die Leitung 4 für die
zweiten und vierten Abtastungen vom Ausgang 104' mit
einem Signal beaufschlagt ist. Bei der zweiten
Abtastung 52 würden die Gatter 207 und 224 beaufschlagt, so daß die Taktgeberimpulse CX und C 2
an den Zähler 68 während der Dauer des Impulses A über die Gatter 162, 168 und 137 und an die Zähler 66
und 67 während der Dauer des Impulses C über die Gatter 211,213 und 135 und 212,215 und 136 übertragen
werden. Bei der vierten Abtastung 54 würden die Gatter 225 und 226 geöffnet so daß die Taktgeberimpulse an die genannten Zähler während des Impulses A
gelangen.
Das Vorzeichen für jede Formel, welches bestimmt, ob die Zähler 66, 67 und 68 vorwärts- oder
rückwärtszählen, wird durch die Gatter 231, 232 bzw. 233 bestimmt (F i g. 9). Beispielsweise sind während der
Abtastung durch den Schlitz 32 wegen des Signalzustandes »Wahr« auf den Ausgangsleitungen 109' und 51 die
Gatter 234, 235 geöffnet, da die anderen Eingänge für die Gatter 234 und 235 den Signalpegel »Wahr« vom
Gatter 208 aufnehmen; die Ausgänge der Gatter 234 und 235 geben den Signalpegel »Wahr« an die Gatter
231 und 232 ab, und diese nehmen den Signalzustand »Hoch« an. Das Gatter 236 nimmt den Zustand »Wahr«
an, und daher nimmt das Gatter 233 den Zustand »Hoch« an. Wenn daher ein Eingang jedes Gatters 145,
146 und 147 den Zustand »Hoch« annimmt und ihre Ausgänge den Signalzustand »Tief« an die Gatter 148,
149 und 151 abgeben, können die Gatter 138, 139 und 141 die Taktgeberimpulse an die vorwärtszählenden
Eingänge der Zähler 66, 67 und 68 weiterleiten. Wenn daher bei der Abtastung durch den Schlitz 32
(Abtastung I) die Leitung 109' das Signal »Wahr« trägt,
zählen alle Zähler vorwärts, das entspricht dem Vorzeichen + in der Sektorreihe 109 der Tabelle für
+ Ci in allen drei Richtungsformeln.
Bei der dritten Abtastung (S3) und bei einem
Signalpegel »Wahr« auf der Leitung 109', hat der Ausgang des Gatters 237 den Pegelwert »Hoch« wegen
der unterschiedlichen Signale an den beiden Eingängen und, da der Ausgang des Gatters 236 das Signal »Hoch«
trägt nimmt das Gatter 233 den Zustand »Hoch« an, und der Ausgang des Umkehrverstärkers 233' gibt das
Signal »Tief« an das Gatter 147. Daher gelangen die Taktgeberimpuise an den rjckwärtszählenden Eingang
des Zählers 68. Dies entspricht dem Ausdruck — Cj in
der Sektorreihe 109 der Formel für die Richtung »Rechts«. Die Ausgänge der Gatter 231 und 232
befinden sich im Zustand »Hoch«, und dies führt dazu, daß die Taktgeberimpulse an den vorwärtszählenden
Eingang der Zähler 66 und 67 geleitet werden.
In F i g. 11 ist eine typische Form eines binär oder
dezimal kodierten Zählers dargestellt wie er für die
Zähler 66 bis 68 verwendet wird. Die Toleranzüberlaufschaltung weist drei Gatter 238,239 und 240 auf, weiche
alle bei einem wahren Signal auf der Leitung !τικ
bewirken, daß die binäre Information der drei ersten binären Ausgänge für den Nulldetektor überflüssig sind
und welche dem Nulldetektor anzeigen, daß diese Binärstellen Null sein sollen, selbst wenn tatsächlich bis
zu einer Zählstelle vorhanden ist Diese drei Gatter 238, 239 und 240 werden auch vom Toleranzschalter 115
gesteuert so daß bei einer bestimmten Toleranz das Gatter 238 betätigt wird, um die erste Binärstelle
unwirksam zu machen, bei einer doppelt so großen Toleranz die Gatter 238 und 239 betätigt werden, um die
ersten und zweiten Binärstellen unwirksam zu machen, und bei einer viermal so großen Toleranz alle drei
Gatter entsprechend betätigt werden. Die Schaltung
oben links in der Zeichnung ergibt die Vorzeicheninformation, damit die Motorantriebe in der einen oder
anderen Richtung arbeiten, je nach der Zählung »Vorwärts« oder »Rückwärts« in dem zugeordneten
Zähler.
Die Gatterschaltkreise für das Motorregelsystem sind in F i g. 12 dargestellt. Sie umfassen die Gatter 242,243
und 244 zur Abgabe von Taktgeberimpulsen an die Stufenmotoren, dit Gatter 245, 246 und 247 zur
Bezeichnung der Drehrichtung des Motors und die Gatter 248, um Impulse an die Zähler 66,67 und 68 zu
leiten, um diese auf Null zurückzustellen.
Die Muster können schließlich auch in anderer Weise ausgebildet sein, als in Fig. 13 dargestellt ist. Das
einzelne Kreuz 251, 252 auf einem Gegenstand kann lichtundurchlässig und das einzelne Kreuz 253,254 kann
reflektierend sein. Die lichtundurchlässigen und reflektierenden Striche, beispielsweise die Striche 251 und
253, ergeben bei der Abtastung impulse enlgegengesetzen Vorzeichens, wie durch die Impulse 25Γ und 253'
in l· i g. 14 angedeutet ist. Daher kann der Abstand
zwischen Impulsen und der Richtung des ersten Impulses bezüglich die Richtung des zweiten Impulses
durch die Logikschaltung benutzt werden, um den Umfang der Fehlausrichtung zu berechnen und
entsprechend kompensierende Antriebsignale zu erzeugen.
Zusammengefaßt betrifft die Erfindung eine Vorrichtung zur automatischen Ausrichtung einer Halbleiterplatte bzw. eines Halbleiterwürfels mit einer Maske bei
der Herstellung integrierter Schaltkreise. Die Maske und die Platte werden jeweils mit Ausrichtungsmustern
versehen, und das Muster der Platte arbeitet mit dem der Maske zusammen, um die Ausrichtung anzuzeigen.
Eine Abtastvorrichtung tastet automatisch die Musterbereiche ab und gibt Ausgangsignale ab, welche die
relative Position der Masken- und Plattenmuster anzeigen. Eine logische Schaltung spricht auf die
Abtastsignale an und berechnet Formeln, welcher der Fehlausrichtung entsprechen. Diese Formeln werden
dazu verwendet, um Regelsignale zum Antrieb einer Motoreinrichtung zu erzeugen, um eine Relativbewegung zwischen der Maske und der Platte hervorzurufen,
um beide relativ zueinander auszurichten. Falls erforderlich, werden verschiedene getrennte Ausrichtungszyklen vorgesehen, um die endgültige Ausrichtung zu
erreichen. Es ist eine Vorrichtung zur Auswahl der Toleranz vorgesehen, um eine Änderung der Toleranz
bei der endgültigen Ausrichtung zu ermöglichen.
Claims (9)
1. Vorrichtung zum Ausrichten erster und zweiter relativ zueinander bewegbarer Gegenstände, von
denen der erste Gegenstand ein Ausrichtungsmuster mit ersten und zweiten in einem Winke! zueinander
angeordneten Markierungen und der zweite Gegenstand ein entsprechendes Ausrichtungsmuster mit
ersten und zweiten Markierungen enthält, die im wesentlichen im gleichen Winkel zueinander v/ie die
ersten und zweiten Markierungen des Ausrichtungsmusters auf dem ersten Gegenstand angeordnet
sind,
mit einer Abtasteinrichtung zum Abtasten der Muster auf den ersten und zweiten Gegenständen
zum Erzeugen von Ausgangssignalen, weiche die Positionen der ersten und zweiten Markierungen des
Musters auf dem ersten Gegenstand bezüglich der ersten bzw. zweiten Markierungen des entsprechenden
Musters »of dem zweiten Gegenstand anzeigen,
mit einer Beleuchtungseinrichtung für die ersten und zweiten Gegenstände, die Licht von diesen zu der
Abtasteinrichtung gelangen läßt,
mit einer mit der Abtasteinrichtung verbundenen Steuerungseinrichtung, die auf die Ausgangssignale der Abtasteinrichtung anspricht und Steuersignale zur Steuerung der Relativbewegung zwischen den ersten und zweiten Gegenständen erzeugt und mit einer mit der Steuerungseinrichtung verbundenen jo Antriebseinrichtung, die auf die Steuerungssignale anspricht und die Relativbewegung zwischen den ersten und zweiten Ge^enstär Jen derart bewirkt, dali die ersten und zweiten Markierungen des Musters auf dem ersten Ge/instand in eine « ausgewählte Ausrichtung bezüglich der ersten bzw. zweiten Markierungen des entsprechenden Musters auf dem zweiten Gegenstand gelangen, dadurch gekennzeichnet.
mit einer mit der Abtasteinrichtung verbundenen Steuerungseinrichtung, die auf die Ausgangssignale der Abtasteinrichtung anspricht und Steuersignale zur Steuerung der Relativbewegung zwischen den ersten und zweiten Gegenständen erzeugt und mit einer mit der Steuerungseinrichtung verbundenen jo Antriebseinrichtung, die auf die Steuerungssignale anspricht und die Relativbewegung zwischen den ersten und zweiten Ge^enstär Jen derart bewirkt, dali die ersten und zweiten Markierungen des Musters auf dem ersten Ge/instand in eine « ausgewählte Ausrichtung bezüglich der ersten bzw. zweiten Markierungen des entsprechenden Musters auf dem zweiten Gegenstand gelangen, dadurch gekennzeichnet.
daß die Abtasteinrichtung (31; 36 ...) ein lichtundurchlässiges Glied (31) mit ersten und zweiten
schlitzförmigen öffnungen (32; 33) entsprechend den ersten und /weiten Markierungen (14, IS; 19,22)
der Muster (12; 17) auf den ersten und zweiten Gegenständen (11; 16) zum Abtasten dieser Muster
aufweist und außerdem eine Detektoreinrichtung (36), die auf Änderungen der von den ersten und
zweiten Gegenständen (11; 16) stammenden und durch die ersten und zweiten öffnungen in dem
lichtundurchlässigen Glied (31) hindurchgelassenen 5η
Lichtmenge anspricht, wenn das lichtundurchlässige Glied die Muster auf diesen Gegenständen abtastet
und dabei die Ausgangssignale erzeugt,
daß die Steuerungseinrichtung (44; 45; 78...) mit der Detektoreinrichtung (36) verbunden ist, auf die « Ausgangssignale der Detektoreinrichtung anspricht und Steuerungssignale erzeugt, die proportional dem linearen Abstand der ersten und zweiten Markierungen (14; 15) des Musters (12) auf dem ersten Gegenstand (ill) von der ausgewählten t>o Ausrichtungsposition bezüglich der ersten bzw. zweiten Markierungen (19; 22) des entsprechenden Musters (17) auf dem zweiten Gegenstand (16) sind, und daß die durch die Antriebseinrichtung (25; 26; 27 ...) erzielte Ausrichtungsposilion darin besteht, daß b5 die ersten und zweiten Markierungen (14; 15) des Musters (12) auf dem ersten Gegenstand (11) im wesentlichen parallel zu den ersten bzw. zweiten Markierungen (19; 22) des entsprechenden Musters (17) auf dem zweiten Gegenstand (16) sind.
daß die Steuerungseinrichtung (44; 45; 78...) mit der Detektoreinrichtung (36) verbunden ist, auf die « Ausgangssignale der Detektoreinrichtung anspricht und Steuerungssignale erzeugt, die proportional dem linearen Abstand der ersten und zweiten Markierungen (14; 15) des Musters (12) auf dem ersten Gegenstand (ill) von der ausgewählten t>o Ausrichtungsposition bezüglich der ersten bzw. zweiten Markierungen (19; 22) des entsprechenden Musters (17) auf dem zweiten Gegenstand (16) sind, und daß die durch die Antriebseinrichtung (25; 26; 27 ...) erzielte Ausrichtungsposilion darin besteht, daß b5 die ersten und zweiten Markierungen (14; 15) des Musters (12) auf dem ersten Gegenstand (11) im wesentlichen parallel zu den ersten bzw. zweiten Markierungen (19; 22) des entsprechenden Musters (17) auf dem zweiten Gegenstand (16) sind.
2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß auf dem ersten Gegenstand (11) ein
Paar voneinander beabstandete Muster (12; 13) vorgesehen sind, die jeweils erste und zweite
Markierungen (14; 15) aufweisen, welche miteinander einen Winkel ausbilden, und auf dem zweiten
Gegenstand (16) ein entsprechendes Paar voreinander beabstandeter Muster (17; 18) vorgesehen ist, die
jeweils erste und zweite Markierungen (19; 22) enthalten, die im wesentlichen in dem gleichen
Winkel zueinander wie die ersten und zweiten Markierungen des Paares voneinander beabstandeter
Muster (12; 13) auf dem ersten Gegenstand (U) angeordnet sind.
3. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß jedes Muster (17) auf dem
zweiten Gegenstand (16) ein erstes Paar gleichförmig voneinander beabstandeter erster Markierungen
(19; 21) und ein zweites Paar gleichförmig voneinander beabstandeter zweiter Markierungen
(22; 23) aufweist, die Paare der ersten und zweiten Markierungen im wesentlichen im gleichen Winkel
zueinander wie die ersten und zweiten Markierungen des Musters auf dem ersten Gegenstand (U)
angeordnet sind und die ersten und zweiten Markierungen jedes Musters auf dem ersten
Gegenstand (11) zentral voneinander innerhalb der ersten bzw. zweiten Paare von gleichförmig
beabstandeten c-isten und zweiten Markierungen
des entsprechenden Musters auf dem zweiten Gegenstand (16) erscheinen, wenn die ersten und
zweiten Markierungen der Muster auf den ersten und zweiten Gegenständen sich in der vorbestimmten
Ausrichtungsposition relativ zueinander befinden.
4. Vorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Abtasteinrichtung (31; 36) einen
Satz von drei Ausgangsimpulsen (*I ;42; 43) erzeugt, der die Positionen der ersten Markierungen jedes
Musters auf dem ersten Gegenstand in bezug auf das entsprechende Muster auf dem zweiten Gegenstand
anzeigt und ein anderer Satz von drei Ausgangsimpulsen (41; 42; 43) die Positionen der zweiten
Markierungen jedes Musters auf dem ersten Gegenstand und das entsprechende Muster auf dem
zweiten Gegenstand relativ zueinander angibt.
5. Vorrichtung nach Anspruch 4. dadurch gekennzeichnet,
daß die Steuerungseinrichtung einen Taktgeber (79), drei Impulszähler (66; 67; 68) und
eine Einrichtung (78) aufweist, welche Taktimpulse von dem Taktgeber an die verschiedenen Impulszähler
während drei Zeitintervallen leitet, die /wischen drei verschiedenen Paaren von Ausgangsimpulsen in
jedem Salz von drei Ausgangsimpulsen definiert sind.
6. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 5. dadurch gekennzeichnet, daß die ersten und /weiten
Markierungen (14, 15; 19, 22) auf den ersten und zweiten Gegenstanden (11; 16) gleichförmige Breite
aufweisen.
7. Vorrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß die ersten und zweiten Markierungen
(14, 15; 19, 22) jedes Musters (12; 17) auf den ersten und zweiten Gegenständen (11; 16) im wesentlichen
rechtwinklig angeordnete Linien sind.
8. Vorrichtung nach Anspruch 7, dadurch gekenn-
zeichnet, daß die Linien gerade sind.
9. Vorrichtung nach einem der Ansprüche I bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß das lichtundurchlässige
Glied ein bewegbares Band enthält.
10, Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 9,
dadurch gekennzeichnet, daß die Steuerungseinrichtung (44; 45; 78...} auf die Ausgrngssignale vcn der
Detektoreinrichtung (36) anspricht und Steuerungssignale erzeugt, welche die Richtung angeben, in
welcher die trsten und zweiten Markierungen des Musters auf dem ersten Gegenstand (11) von der
ausgewählten Ausrichtungsposition bezüglich der ersten und zweiten Markierungen des entsprechenden
Musters auf dem zweiten Gegenstand (16) entfernt sind.
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