DE2212908A1 - Regelventil zur dosierung eines gasstromes - Google Patents

Description

VEB Hochvakuum Dresden Dresden, am 05. o7. 1971

Regelventil zur Dosierung eines Gasstromes

Die Erfindung betrifft ein Regelventil zur Dosierung eines Gasstromes, insbesondere in einem Raum mit Unterdruck. Derartige Ventile sind z. B. "bei der Vakuumbedampf ung erforderlich, wo ganz bestimmte Gasdrücke durch einen dosierten Gaseinlaß verwirklicht werden. Dabei ist es erforderlich, verfahrensspezifisch einen großen Regelbereich zu umfassen«

Bekannt sind Regelventile, bei denen ein magnetisch betätigter Anker im Ruhezustand durch eine Federkraft unterstützt vom Atmosphärendruck eine Durchlaßbohrung abdichtet und magnetisch mit variabler Frequenz abgehoben v/erden kann. Dabei ist die Amplitude einstellbar. Zusätzlich ist der Durchlaßbohrung eine Drossel nachgeschaltet, die den freigegebenen Gasstrom drosselt. Die Drossel ist dabei so am Ventil angebracht, daß sie rezipientenseitig verstellt werden kann.

nachteilig an dieser Ausführung ist, daß der Gasdurchlaß zwar in bestimmten Grenzen durch eine variable Frequenz verändert werden kann, die Drosselung jedoch im Betriebszustand nicht veränderbar ist. Eine Verstellung der Drossel ist nur möglich, wenn z. B. eine Vakuumanlage belüftet und geöffnet ist und das Regelventil von der Rezipientenseite her zugänglich ist» Das wirkt sich nachteilig auf den Einsatz des Ventiles aus und verhindert eine optimale Regelung während des Prozeßablaufes.

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Der Zweck der Erfindung besteht darin, eine maximale Regelbarkeit (großer Regelbereich) des Gasdurchlasses eines Regelventiles während des Betriebes zu erreichen.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Regelventil zu schaffen, mit welchem während des Betriebes die Drosselung eines Gasstromes verändert werden kann.

Erfindungsgemäß wird die Aufgabe dadurch gelöst, daß ein in einem Gehäuse fest angeordneter Elektromagnet mit einem Magnetkern ausgerüstet ist, der ein ^ichtelement trägt und durch Federkraft und Atmosphärendruck eine Durchlaßbohrung abdichtet, die sich in einem Körper befindet, der gegen das Gehäuse abgedichtet und durch Bewegungsorgane von außen axial im Gehäuse verschiebbar ist. Durch diese Bewegung kann die Lage der Bohrung in dem verschiebbaren Körper zu einem gegenüber der abgedichteten Seite im Gehäuse feststehend angeordneten Paßstück, z. B. einer Nadel, eingestellt werden, wodurch ein Gasstrom entsprechend gedrosselt' wird. Im Betrieb wird durch Erregung der Spule des Magneten der Magnetkern angezogen, wobei zweckmäßigerweise das Gegenstück verstellbar ist. Damit kann die Amplitude des Magnetkerns verändert werden, die Bohrung freigegeben und damit auch der Gasstrom, auf Grund der eingestellen Lage der Bohrung zum Paßteil, entsprechend gedrosselt werden.

Die erfindungsgemäße Lösung hat den Vorteil, daß der Gasstrom durch die von außen mögliche Veränderung der Drosselung über einen weit größeren Bereich geregelt werden kann, als das nur mit der bekannten Frequenzerregung der Magnetspule möglich ist.

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Die Erfindung soll nachstehend an einem Ausführungsbeispiel näher erläutert werden.

Die Zeichnung zeigt einen Schnitt durch ein erfindungsgemäßes Regelventil.

Im Gehäuse 1 ist ein Elektromagnet 2 angeordnet durch den ein rohrfö'rmiger Körper 3 ragt. Dieser rohrförmige Körper 3 ist mit einem Außengewinde 4 versehen und .kann mittels einer Mutter 5, die im Gehäuse 1 drehbar gelagert ist, auf und ab bewegt werden. Im unteren Teil ist der rohrförmige Körper 3 gegenüber dem Gehäuse 1 durch einen Wellendichtring 6 abgedichtet. Zum Zweck des Gasdurchlasses befindet sich im rohrförmigen Körper 3 eine Durch!aßbohrung 7, die keglig ausgeführt ist und in die ein feststehendes Paßstück 8 in Form einer kegligen Hadel ragt. Durch die Auf- und Abbewegung des rohrförmigen Körpers 3, der im Gehäuse durch einen Stift 9 gegen "Verdrehung gesichert ist, ragt die Uadel mehr oder weniger weit in die Durchlaßbohrung 7 und der Gasstrom, der durch den rohrförmigen Körper 3 geführt wird, wird entsprechend gedrosselt. Innerhalb des rohrförmigen Körpers 3 befandet sich der Magnetkern 1o mit dem Dichtelement 11. Der Magnetkern 1o wird mittels Feder 12 und Atmosphärendruck auf die Durchläßbohrung 7 gedrückt und dichtet diese ab. Durch Erregung des Elektromagneten 2 wird der Magnetkern 1o abgehoben und der Gasstrom freigegeben. Mit dem Gegenstück 13, welches in den rohrförmigen Körper 3 eingeschraubt ist und verstellt werden kann, ist der Öffnungshub des Magnetkerns 1o einstellbare

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BAD ORiQINAt

Beim Einsatz des Regelventilß in der Bedampfungstechnik hat sieh eine Prequenzsteuerung des Magnetkerns 1o bewährt, d. h. das Ventil öffnet entsprechend des erforderlichen Gasstromes in periodischer Folge. Mit dem beschriebenen Ventil ist es darüber hinaus noch möglich, während des Bedampfungsprozesses, z. B. durch Handregelung den Gasstrom verfahrensspezifisch zu drosseln.

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Claims (2)

1. Patentansprüche:

   Regelventil zur Dosierung eines Gasstromes mit einem Elektromagneten, der in einem Gehäuse angeordnet ist und dessen Magnetkern ein Dichtr· element trägt und im Ruhezustand eine Durchlaßbohrung abdichtet, dadurch gekennzeichnet, daß die Durchlaßbohrung (7) in einem Körper (3) angeordnet ist, der gegen das Gehäuse (1) abgedichtet ist und der von außen durch Bewegungsorgane (4ϊ 5) axial im Gehäuse (1) bewegt werden kann und daß in die Durchlaßbohrung (7) von der nicht abgedichteten Seite aus ein feststehendes Paßstück (8) ragt.
2. 2. Regelventil nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Körper (3) rohrförmig ausgebildet ist und durch den Elektromagneten (2) hindurchführt, derart, daß sich der Magnetkern (1o) mit Dichtelement (11) innerhalb dieses rohrförmigen Körpers befindet und daß der Gasstrom durch den rohrförmigen Körper geleitet wird.

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