DE2133950A1 - Verbundene Metallstrukturen mit darin ausgebildeten, kompliziert geformten Kanälen und Verfahren zur Herstellung derartiger Strukturen - Google Patents
Verbundene Metallstrukturen mit darin ausgebildeten, kompliziert geformten Kanälen und Verfahren zur Herstellung derartiger StrukturenInfo
- Publication number
- DE2133950A1 DE2133950A1 DE19712133950 DE2133950A DE2133950A1 DE 2133950 A1 DE2133950 A1 DE 2133950A1 DE 19712133950 DE19712133950 DE 19712133950 DE 2133950 A DE2133950 A DE 2133950A DE 2133950 A1 DE2133950 A1 DE 2133950A1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- metal
- parts
- cavity
- shaped
- support
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F15—FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
- F15C—FLUID-CIRCUIT ELEMENTS PREDOMINANTLY USED FOR COMPUTING OR CONTROL PURPOSES
- F15C5/00—Manufacture of fluid circuit elements; Manufacture of assemblages of such elements integrated circuits
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C22—METALLURGY; FERROUS OR NON-FERROUS ALLOYS; TREATMENT OF ALLOYS OR NON-FERROUS METALS
- C22C—ALLOYS
- C22C1/00—Making non-ferrous alloys
- C22C1/08—Alloys with open or closed pores
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T137/00—Fluid handling
- Y10T137/206—Flow affected by fluid contact, energy field or coanda effect [e.g., pure fluid device or system]
- Y10T137/2224—Structure of body of device
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T29/00—Metal working
- Y10T29/49—Method of mechanical manufacture
- Y10T29/494—Fluidic or fluid actuated device making
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T29/00—Metal working
- Y10T29/49—Method of mechanical manufacture
- Y10T29/4981—Utilizing transitory attached element or associated separate material
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Theoretical Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Fluid Mechanics (AREA)
- Pressure Welding/Diffusion-Bonding (AREA)
Description
Patentanwalt
D-8023 München 057
DB/Mü-Paris file: 4550-A München-Pullach, den 7. Juli 1971
THE BENDIX CORPORATION. Executive Offices, Bendix Center, Southfield, Michigan 48075, USA
Verbundene Metallstrukturen mit darin ausgebildeten, kompliziert geformten Kanälen und Verfahren zur Herstellung derartiger Strukturen
Die Erfindung betrifft verbundene Metallplättchen die Fluidic-Strukturen
bilden, in denen kompliziert geformte Kanäle ausgebildet sind. Insbesondere zeigt die Erfindung, dass eine komplizierte
verbundene Struktur die eine Anzahl von übereinander angeordneten Plättchen enthält, welche oberhalb und unterhalb
eines Plättchens angeordnet sind, das zur Ausbildung einer grossen Höhlung oder eines Kanales ein daraus ausgeschnittenes
Muster aufweist, in einem einzelnen Verbindungsschritt hergestellt
wird, falls die Höhlung zunächst mit einem Stützmetall gefüllt wird. Das stützende Metall verhindert die Verformung
der Struktur beim Verbinden in dem hierdurch verhindert wird, dass irgendeines der Metallplättchen in die Höhlung hineingedrückt
wird. Weiterhin überträgt dieses Metall den Verbindungsdruck über die Höhlung, so dass der Teil, der Plättchen oberhalb
und unterhalb der Höhlung die in Ausrichtung mit derselben stehen, miteinander verbunden werden.
Polglich ist ein Gegenstand der Erfindung komplizierte verbundene
Strukturen mit einer Anzahl plattchenförmiger metallischer
Teile, die oberhalb und unterhalb eines plättehenförmigen Metall·-
209811/1082
teiles angeordnet sind, in dem eine Höhlung ausgebildet ist, herzustellen.
Die Höhlung wird mit einem stützenden Metall während der Verbindung derart gefüllt, dass der Verbindungsdruck über
den Kanal oder die Höhlung übertragen wird und die Teile der anderen Metallplättchen miteinander verbindet, die in Ausrich-.tung
mit der Höhlung stehen. Weiterer Gegenstand der Erfindung
ist es verbundene Metallstrukturen zu bilden, in denen kompliziert geformte Kanäle genauer Abmessungen ausgebildet sind, in
den die Kanäle während der Verbindung mit einem stützenden Metall gefüllt werden, welches einen Ausdehnungkoeffizienten aufweist,
der im wesentlichen gleich dem der gestützten Metallteile ist, und einen Schmelzpunkt aufweist, der im wesentlichen genau
so hoch wie der der gestützten Metallteile ist, so dass keine Deformation während der Verbindung auftreten kann.
Weiterer Gegenstand der Erfindung ist die Erleichterung der chemischen
Entfernung eines Stützteiles nach Abschluss der Verbindung, in dem der Stützteil in einer bienenwabenähnlichen Gitterstruktur
ausgebildet wird, um somit die Menge des Stützteiles zu minimieren, die ausgelaugt oder auf andere Weise chemisch entfernt
werden muss, und um die Oberfläche des Stützteiles zu maximieren, an der eine chemische Reaktion auftreten kann. Weiterer
Gegenstand der Erfindung ist es eine plättchenförnige geschichtete
pneumatische Abdichtung oder Dichtung zwischen den plättchenförmigen
Teilen eines Fluidic oder einer anderen Kanalstruktur vorzusehen. Die pneumatische Dichtschicht ist aus einem Metall hergestellt, das aus der Struktur auf chemischem Wege entfernt
werden kann, ohne dass irgendein anderer Metallteil angegriffen wird, und derart angeordnet, dass die Entfernung desselben
den Zutritt zu dem Kanal gewährleistet.
Zusammenfassend betrifft die Erfindung miteinander verbundene Metallplättchen die Fluidic-Strukturen mit darin ausgebildeten,
20*011/1082
kompliziert geformten Kanälen aufweisen und Verfahren zur Herstellung
(ferartlger Strukturen,bei denen Plättchen Verwendung
finden, die aus einem ersten Metall hergestellt sind und Plättchen,
die aus einem zweiten Metall hergestellt sind. Mittels der Erfindung kann eine komplizierte verbundene Metallstruktur, die
eine Anzahl von Plättchen aufweist, die oberhalb und unterhalb eines Plättchens angeordnet sind, aus welchen ein Muster ausgeschnitten
ist, um eine grosse Höhlung oder einen Kanal auszubilden, in einem einzigen Verbindungsschritt hergestellt werden,
falls die Höhlung zunächst mit einem stützenden Metall gefüllt wird. Das stützende Metall verhindert die Deformation der Struktur
während der Verbindung, in dem dadurch vermieden wird, dass irgendein Metallplättchen in die Höhlung gedrückt wird. Gleichfalls
wird durch das stütztende Metall Verbindungsdruck über die Höhlung übertragen, so dass die Teile der Plättchen die oberhalb
und unterhalb der Höhlung in Ausrichtung mit der Höhlung angeordnet sind, miteinander verbunden werden. Weiterhin betrifft
die Erfindung eine verbundene Fludic-Kanalstruktur die zur Oberprüfung
oder zum Reinigen der Kanäle leicht auseinandergenommen werden kann. Diese Struktur wird aus einer Anzahl plättchenförmiger
Teile hergestellt, die aus einem ersten Metall geformt sind und einem anderen plättchenförmigen Teil, der eine pneumatische
Dichtung oder Abdichtung aufweist, und aus einem zweiten Metall hergestellt ist, welches ausgelaugt oder auf eine andere
chemische Weise mittels eines Verfahrens entfernt werden kann, das nicht irgendeinen anderen Teil der Struktur angeift. Nach
der Zusammenfügung ist das die pneumatische Dichtung bildende Plättchen in einer Lage angeordnet, in der die Entfernung desselben
den Zugang zu dem Kan-.al gewährleistet.
Diese und weitere Gegenstände, Vorteilaund Einzelheiten der Erfindung
gehen aus der folgenden Beschreibung hervor, in der unter Bezugnahme auf in den Zeichnungen beispielhaft veranschau-
209811/1082
lichte Ausführungsformen die Erfindung näher erläutert wird.
Es zeigt:
Fig. 1 die Ansicht in auseinandergezogener Darstellung
eines Stapels von Metallplättchen, die einen Teil einer Fluidic-Einrichtuig bilden, wenn sie
miteinander verbunden sind, Zwei der Plättchen weisen grosse Höhlungen auf, die mit einem bienenwabenähnlichen stützenden Metall gefüllt sind
welches den Verbindungsvorgang unterstützt und anschliessend herausgelaugt wird;
Fig. 2 einen Schnitt einer verbundenen Fluidic-Einrichtung, die aus den Figur 1 veranschaulichten Plättchen
gebildet ist und längs der Linie 2-2 aufgeschnitten wurde; und
Flg. 3 eine Ansicht in auseinandergezogener Darstellung
eines Teiles eines Fluidic-Kreises, der aus einer Anzahl von Plättchen gebildet ist, bei dem zwei
Plättchen aus einem Material hergestellte pneumatische Dichtungen enthalten, welche auf chemischem
Wege aus dem Fludic-Kreisabschnitt entfernt werden kann, um den Zugang zu dem Fludlc-Kanal
zu erreichen, ohne dass ein anderer Plättchenteil beeinflusst wird. ·
In den Zeichnungen ist in Figur 1 ein Stapel 10 aus 12 mit den
Bezugszeichen 12 bis 23 versehenen plättchenförmigen Teilchen
veranschaulicht, die vorzugsweise aus Rostfreiem Stahl hergestellt
sind. Wenn sie miteinander verbunden sind bilden diese Teile 12 - 23 einen Teil 24 (in Figur 2 veranschaulicht) einer
Fluidlc-Schaltung. Wie aus Figur 1 ersichtlich, schliesst der Fluidic-Schaltungsteil 24 zwei übliche arbeitende Fliidic-Schaltungs-elemente
ein. die übereinander angeordnet sind, dieses
209811/1082
sind ODER-Gatter 26 und 28, die In den Plättchen 16 bzw. 22 ausgebildet
sind. Weiterhin weist die Struktur eine Kammer oder Höhlung 30, die in dem Plättchen 13 und 14 ausgebildet ist, eine
Kammer oder Höhlung 32, die in dem Plättchen 18, 19 und 20 ausgebildet
ist und eine Anzahl kleiner Löcher auf, die in den anderen
Plättchen ausgebildet sind, um Medium zwischen den verschiedenen ODER-Gatterhund den Kammern zu übertragen. Vor der
Verbindung werden die Höhlungen 30 und 32 mit einem stützenden Material gefüllt, das der form der Höhlung entspricht. Vorzugsweise
finden die Waben- oder gitterähnlichen Stützelemente 31J
und 36 Verwendung, die vorzugsweise aus Nickel hergestellt sind.
Der Schaltungsteil 24 wird .in einem Verbindungsvorgang aus dem
Stapel 10 der plattchenförmigen Teile hergestellt, bei dem alle
Plättchen 12 bis 23 zunächst in einem einzelnen Stapel 10 angeordnet
und dann einer ausreichenden Hitze und einem ausreichenden Druck unterworfen werden, um jedes Plättchen mit dem benachbarten
Plättchen zu verbinden. Obwohl eine grosse Anzahl von verschiedenen Verbindungsdrücken und Temperaturen im Rahmen dieser
Erfindung in Abhängigkeit von der Wahl der zu verwendenden Metalle zur Anwendung kommen können, 1st es zweckdienlich die aus
rostfreiem Stahl bestehenden Fludic-Einrichtungen in einem Temperaturbereich
zwischen 205O0P und 21750P unter einem Druck von
72-100 psi der 10 bis 30 Minuten lang aufgebracht wird, herzustellen.
Diese TemperaturenprOok· und Zelträume stellen eine
Diffusionsverbindung zwischen den verschiedenen Teilen miteinander
her. Die Verbindung wird in einer nicht reagierenden oder inerten Gasatmosphäre durchgeführt*
Während des Verbindungsvorganges erfüllen die waben- oder gitter* ähnlichen Stützelemente 34 und 36 eine Anzahl von Aufgaben. Zunächst
verhindern die Stützelemente die Verformung der Höhlung 30 und 32 während des VerbindungsVorganges. D.h. die tfaben-und
209811/1082
gitterähnlichen Teile 3A und 36 füllen diese Höhlungen derart
aus, dass die anderen Plättchen 12 und 17» die vorzugsweise aus
rostfreiem Stahl hergestellt sind und welche oberhalb derHöh-lungen
30 und 32 angeordnet sind, nicht in die Höhlungen während
der Verbindung hineingedrückt werden· Die veranschaulichten Wabenstrukturen
gewährleisten eine ausreichende Abstützung ,um eine Deformation der Teile oberhalb und unterhalb der Höhlungen
zu verhindern« obwohl sie eine Anzahl von Löchern aufweisen und
folglich nicht jeden Punkt der Höhlungen mit festem Material ausfüllen. Die Wabenstrukturen gewährleisten eine ausreichende Abstützung
ungeachtet der Tatsachej dass die hohen Verbindungstemperaturen und Drücke andererseits die Verformung eines Plättchens
hervorrufen wurde, falls dieses Plättchen nicht über eine
wesentliche Entfernung abgestützt wäre· Auf diese Weise wird
sich das Plättchen nicht verformen oder werfen, falls es an in
dichtem Abstand angeordneten Intervallen abgestützt ist. Die
ODER-Gatter 26 und 28 und die in den verschiedenen anderen Plättchen
12 - 23 ausgebildeten Löcher sind ausreichend klein, so
dass ein stützendes Metall nicht notwendig ist, die Form dieser Ausnehmungen bei den Verhinäungstemperaturen und Drücken die
Üblicher Weise zur Herstellung von Fluidic-Einheiten Verwendung finden, aufrecht zu erhalten.
Die Höhlungen 30 und 32 sind während des gesamten Verbindungsprosesses
ausreichend und richtig abgestützt, da die ausgewählten metallenen Stützteile 34 und 36 beispielsweise aus Nickel
einen Ausdehnungskoeffizienten aufweisen, der im wesentlichen gleich dem Ausdehnungskoeffizienten der anderen gewählten Me-"tallplättchen«
beispielsweise rostfreier Stahl,ist und weiterhin einen Selimelzpunkt aufweisen, der mindestens im wesentlichen
genauso hoch wie der vois rostfreiem Stahl ist. Fall sich die
Stützteile" schneller'ausdehnen'als die Teile, die abgestützt
werden, wurden die Höhlungen während des Verbindungsvorganges
209811/1082
vergrössert werden. Im umgekehrten Falle, falls die Abstützteile entweder In einem langsameren Hasse als die abgestuften Teile ausgedehnt würden« oder während des VerblndungsVorganges anfangen würden zu schmelzen, würden die Plättchen nicht ausreichend während der gesamten Verbindungsoperation abgestützt werden und folglich in den Höhlungen hineingedrückt werden.
Die Stutzelemente 34 und 36 ermöglichen es, dass der Fluidic-Schalttell 24 in einem einzelnen Verbindungsschritt hergestellt
werden kann. Falls durch die Elemente 34 und 36 keine Abstützung vorgesehen wäre, wurden die Bereiche der anderen Plättchen, die mit den Höhlungen ausgerichtet sind, nicht miteinander verbunden werden, falls sie nicht vor dem Zeltpunkt auf
diese Weise verbunden würden, an dem sie mit diesen Höhlungen
ausgerichtet werden. Beispielsweise falls der Verbindungsdruck sowohl von oberhalb als auch von unterhalb des Stapels 10 aus
j31ättchenförmigen Teilchen aufgebracht würde, würden die Bereiche der Plättchen 15, 16 und 17, die mit beiden Höhlungen
30 und 32 ausgerichtet sind, nicht miteinander verbunden werden, falls die Stützelemente 3* und 36 nicht vorhanden wären,
da der über die Höhlungen 30 und 32 übertragene Druck nicht
ausreichen würde, um die Bindung herzustellen. Somit würdekein
Verbindungsdruck auf die Bereiche der Plättchen 15, 16 und 17, die mit beiden Höhlungen ausgerichtet sind, aufgebracht. Hinzu
kommt, dass die Bereiche der verschiedenen Plättchen, die mit
lediglich einer der Höhlungen 30 und 32 ausgerichtet sind, nicht
miteinander verbunden werden würden, falls die Stützelemente nicht vorhanden wären, da ein aufgebrachter Verbindungsdruck
diese Bereiche der Plättchen nicht zusammenpressen würde und
keine Bindung herstellen würde, sondern stattdessen diese Bereiche der Plättchen in eine der Höhlungen hineinpressen- würde.
209811/1082
2-13395Q
nügend grossen Druck über die Höhlungen 30 und 32, um die Bereiche
der anderen Plättchen miteinander zu verbinden, die mit
beiden Höhlungen ausgerichtet sind, obwohl der Druck nicht auf jeden Punkt der Plättchen 15» 16 und 17 übertragen wird, der
mit den Höhlungen 30 oder 32 ausgerichtet ist. Druck muss nämlich nicht auf jeden Oberflächenpunkt der plattchenförmigen Teile
übertragen werden, um eine gute Bindung zwischen diesen Teilen
herzustellen j eine gute Bindung wird erreicht, falls ein ausreichend grosser Druck an in dichten Abstand zueinander liegenden
Punkten aufgebracht wird, wie sie durch die wabenförmige Struktur gewährleistet sind.
Nach der Verbindung werden die wabenförmigen Stützelemente 34
und 36 aus der verbundenen Struktur herausgelöst oder gelaugt.
Obwohl ein festes Metall oder anderes Material Verwendung finden/kann,
gewährleistet die ^benförmige Bauweise der Stützelemente 34 und 36 ihre Entfernung dadurch dass die Materialmenge, die
aufgelöst werden muss, minimiert wird und dadurch, dass die Oberflächenausdehnung der Stützelemente auf der eine Reaktion,
auftreten kann, maximiert wird.
In Figur 3 ist in aus^inandergezogener oder auseinandergenommener
Darstellung eine zweite \Fluidle-Vorrichtung 40 veranschaulicht
9 die aus sieben plattchenförmigen Teilen besteht, die mit '
42 - 48 bezeichnet sind. Diese Fluidic-Einrichtung 40 wird üblicherweise
als ein Dreielement UND-Gatter-bezeichnet, wobei
die drei arbeitenden Elemente monostabile ■Verstärkerhöhlungen
oder Kanäle 50, 52 und 54 sind, die in den Plättehen 43, 45
bzw. 47 ausgebildet sind. Die Plättchen 42, 43, 45, 47 und 48
sind, aus einem Metall hergestellt, das mit einem Lösungsmittel nicht reagiert, welches mit dem Metall reagiert, aus dem die
Plättchen 44 und 46 gebildet sind. In der vorgezogenen Aushführun.gsform
sind die Plättchen 44 und 46 aus einem Metall, wie
209811/1082
beispielsweise Nickel,hergestellt, welches auf chemischem Wege
aus der Struktur durch Verwendung eines Lösungsmittels,beispiels*
weise Salpetersäure,entfernt werden kann, ohne dass die anderen·.
Teile angegriffen werden. Die Nickelteile bilden Abdichtungen oder pneumatische Dichtungen, die von irgendeinem anderen Teil
während des Betriebes der Vorrichtung 40 nicht unterschieden werdenkönnen. Wie dies auch der Fall mit dem Bereich 24 der
in den Figuren 1 und 2 veranschaulichten Fluidic-Schaltung der Fall war, kann eine Anzahl verschiedener Verbindungsdrücke und
Temperaturen einschliesslich derer die zur Herstellung des 'Fluidic-Teiles 24 Verwendung fanden, herangezogen werden, um
die Fluidic-Vonichtung 40 herzustellen. Die Fluidlc-*Vorrichtung
40 unterscheidet sich von anderen Fluidic-Yorrichtungen darin,
dass eine Bedienungsperson Zugang zu den Kanälen 50, 52 und 54
nach einer gewissen Verwendungtfauer zu Zwecken,beispielsweise
zum Reinigen dieser Kanäle oder zur Überprüfung der Kanalwandüngen
hinsichtlich des durch den Medienstrom verursachten Verschleisses,
. erhalten kann, indem einfach die pneumatischen Dichtelemente 44 und 46 mit einem Reagenz,beispielsweise
Salpetersäure,aufgelöst werden. Da Salpetersäure nicht mit dem
rostfreien Stahl reagiert, können die Elemente 44 und 46 entfernt
werden, ohne dass ein anderer Teil der Verrichtung 40 in
irgendeiner Weise beeinträchtigt und beschädigt wird»
Sämtliche in der Zeichnung dargestellten und in der Beschreibung erläuterten Einzelheiten sind für die Erfindung von Bedeutung.
209811/1082
Claims (7)
- - ίο -PatentansprücheVerfahren zur Herstellung einer verbundenen Metallfluidlc-Kanalstruktur, gekennzeichnet durch folgende Verfahrensschritte: Anordnen auf mindestens einer Seite eines Metallteiles mit einer darin ausgebildeten Höhlung einer grcfflen Querschnittsfläche einer Anzahl von Metallteilen* die derart geformt und angeordnet sind, dass sie mindestens einen Medienstromkanal bilden, wobei die Anzahl von Metallteilen derart angeordnet wird, dass der Kanal in Verbindung mit der grossen Höhlung kommt und dass mindestens ein Teil des Kanales mit der grossen Höhlung ausgerichtet ist; Füllen der Höhlung mit einem metallenen Stützteil zur Aufrechterhaltung der Fqm der Höhlung, welcher Stützteil aus einem Metall hergestellt ist, das in einem Lösungsmittel löslich ist, welches nicht mit irgendeinem Metallteil der Fluidic-Struktur reagiert s der in Berührung mit dem Stützmetallteil steht; Verbinden aller Metallteile der Fluidic-Struktur mit ihren benachbarten Teilen; und Entfernen des Stützmetallteiles auf chemischem Wege mittels besagten Lösungsmittels.
- 2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Verfahrensschritt der Verbindung durch Aufbringen einer Wärmemenge und einem Druck auf die Metallteile durchgeführt wird, welche die Teile im Bereich des die grosse Höhlung aufweisenden Teiles \erformen würde, indem Bereiche dieser benachbaren Teile in die Höhlung gedrückt werdena falls die Höhlung nicht mit dem Stützmetallteil gefüllt wäre.
- 3. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass ein Stütznietallteil Verwendung findet, welcher eine wabenähnliche Struktur aufweist und zur Ausfüllung der Höhlung geformt ist.209811/1082- "- ii -
- 4. Verfahren nach Anspruch 1 oder 3» dadurch gekennzeichnet, dass der Metallteil in dem die Höhlung ausgebildet ist, und die Anzahl von Metallteile, die derart geformt und angeordnet sind, dass sie mindestens einen Medlenstromkanal definieren, aus einem ersten Metall hergestellt sind, währendäer Stützmetallteil aus einem zweiten Metall hergestellt 1st, welches einen Ausdehnungskoeffizienten aufweist, der im wesentlichen gleich dem des ersten Metalles ist und das einen Schmelzpunkt aufweist, der mindestens im wesentlichen so hoch wie der des ersten Metalles liegt.
- 5. Verfahren nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass das erste Metall ein rostfreier Stahl und das zweite Metall Nickel ist.
- 6. Verfahren zur Herstelung einer verbundenen Pluidic-Struktur mit einem darin ausgebildeten Medlenstromkanal und einem Teil der leicht entfernt werden kann um Zugang zu dem Kanal zu erhalten^ gekennzeichnet durch folgende Verfahrensschritte: Anordnen einer Anzahl von aus einem ersten Metall hergestellten Teilen in stapeiförmiger Beziehung zueinander und wobei mindestens ein Teil aus einem zweiten Metall hergestellt ist, das mit-einem Lösungsmittel chemisch reagiert, welches nicht mit dem ersten Metall reagiert; die übereinandergestapelten Teile derart geformt und angeordnet sind, dass sie eine Pluidic-Struktur mit dem darin ausgebildeten Medienstromkanal bilden und der Teil der aus einem zweiten Metall hergestellt ist, derart geformt ist, dass er eine pneumatische Dichtung bildet, und in einer Lage angeordnet ist, in der das Auflösen des zweiten Metallteiles den Zugang zu zumindest zu einem Teil des Kanales gewährleistet; und Verbinden der besagten Teile mit ihren benachbarten Teilen,
- 7. Verfahren nach Anspruch 69 dadurch gekennzeichnet, dass das209811/1082erste Metall ein rostfreier Stahl ist, das zweite Metall Nickel ist, und der Verfahrensschritt des Verbindens das Aufbringen einer ausreichenden Hitze und Druck auf die übereinandergestapeltdn Metallteile einschliesst, um eine Diffusionsverbindung jedes der Teile mit den benachbarten Teilen herzustellen.2 0 98 Π /1082
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US6905970A | 1970-09-02 | 1970-09-02 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE2133950A1 true DE2133950A1 (de) | 1972-03-09 |
Family
ID=22086465
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19712133950 Pending DE2133950A1 (de) | 1970-09-02 | 1971-07-08 | Verbundene Metallstrukturen mit darin ausgebildeten, kompliziert geformten Kanälen und Verfahren zur Herstellung derartiger Strukturen |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US3680576A (de) |
DE (1) | DE2133950A1 (de) |
FR (1) | FR2108215B1 (de) |
GB (1) | GB1315478A (de) |
Families Citing this family (21)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
NL7203268A (de) * | 1972-03-11 | 1973-09-13 | ||
US4275767A (en) * | 1973-12-03 | 1981-06-30 | Sybron Corporation | Fluid resistor |
US4109680A (en) * | 1977-01-03 | 1978-08-29 | Lavender Ardis R | Plate type fluid distributing device |
US4716936A (en) * | 1986-12-22 | 1988-01-05 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Army | Fluidic system with noise filter for increasing operating range |
US5303727A (en) * | 1992-12-18 | 1994-04-19 | Hr Textron Inc. | Fluidic deflector jet servovalve |
US5935424A (en) * | 1997-08-26 | 1999-08-10 | Vacco Industries | Close tolerance, low flow, flow control device using etched discs |
US6177203B1 (en) * | 1998-11-12 | 2001-01-23 | Opto Power Corporation | Simultaneous diffusion bonding of an array of like parts |
US20020112961A1 (en) * | 1999-12-02 | 2002-08-22 | Nanostream, Inc. | Multi-layer microfluidic device fabrication |
US6561208B1 (en) | 2000-04-14 | 2003-05-13 | Nanostream, Inc. | Fluidic impedances in microfluidic system |
US6581640B1 (en) * | 2000-08-16 | 2003-06-24 | Kelsey-Hayes Company | Laminated manifold for microvalve |
US6418968B1 (en) | 2001-04-20 | 2002-07-16 | Nanostream, Inc. | Porous microfluidic valves |
US6981522B2 (en) * | 2001-06-07 | 2006-01-03 | Nanostream, Inc. | Microfluidic devices with distributing inputs |
US20020186263A1 (en) * | 2001-06-07 | 2002-12-12 | Nanostream, Inc. | Microfluidic fraction collectors |
WO2003050035A2 (en) * | 2001-12-06 | 2003-06-19 | Nanostream, Inc. | Adhesiveless microfluidic device fabrication |
KR100908949B1 (ko) * | 2002-12-20 | 2009-07-22 | 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 | 미세-가공되고 일체화된 유체 전달 시스템 |
US7028536B2 (en) * | 2004-06-29 | 2006-04-18 | Nanostream, Inc. | Sealing interface for microfluidic device |
US20050032238A1 (en) * | 2003-08-07 | 2005-02-10 | Nanostream, Inc. | Vented microfluidic separation devices and methods |
US7758814B2 (en) * | 2004-06-05 | 2010-07-20 | Freeslate, Inc. | Microfluidic fluid distribution manifold for use with multi-channel reactor systems |
CN100462706C (zh) * | 2005-01-06 | 2009-02-18 | 清华大学 | 标准漏孔 |
GB2541202B (en) * | 2015-08-11 | 2021-06-23 | Agilent Technologies Inc | Stacked layer-type member with integrated functional component |
US11624450B2 (en) * | 2021-04-29 | 2023-04-11 | Applied Materials, Inc. | Fluid delivery mounting panel and system |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3044160A (en) * | 1958-03-03 | 1962-07-17 | Battelle Development Corp | Method of producing ribbed metal sandwich structures |
US3396619A (en) * | 1960-10-19 | 1968-08-13 | Romald E. Bowles | Fluid amplifier employing boundary layer effect |
US3427706A (en) * | 1964-11-13 | 1969-02-18 | Douglas Aircraft Co Inc | Sandwich structures and method |
FR1525584A (fr) * | 1967-06-02 | 1968-05-17 | Bendix Corp | Méthodes permettant de réaliser des passages complexes dans un métal et produits obtenus |
US3555666A (en) * | 1968-01-25 | 1971-01-19 | Bendix Corp | Method of diffusion bonding of metals |
US3534757A (en) * | 1968-07-18 | 1970-10-20 | Gen Electric | Fluidic frequency-responsive lag circuit component |
-
1970
- 1970-09-02 US US3680576D patent/US3680576A/en not_active Expired - Lifetime
-
1971
- 1971-06-18 FR FR7122189A patent/FR2108215B1/fr not_active Expired
- 1971-06-21 GB GB2901871A patent/GB1315478A/en not_active Expired
- 1971-07-08 DE DE19712133950 patent/DE2133950A1/de active Pending
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
GB1315478A (en) | 1973-05-02 |
FR2108215B1 (de) | 1974-05-31 |
FR2108215A1 (de) | 1972-05-19 |
US3680576A (en) | 1972-08-01 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE2133950A1 (de) | Verbundene Metallstrukturen mit darin ausgebildeten, kompliziert geformten Kanälen und Verfahren zur Herstellung derartiger Strukturen | |
DE3228170C2 (de) | Verfahren zur Herstellung von Sandwich-Gebilden | |
DE2311488A1 (de) | Verfahren zur herstellung eines waermeaustauschers fuer heliumstroeme mit einer temperatur unter 2 grad k, und gemaess diesem verfahren hergestellter waermeaustauscher | |
DE2544359C2 (de) | ||
EP0885086B1 (de) | Verfahren zur herstellung von mikrowärmetauschern | |
DE4219667C2 (de) | Werkzeug und Verfahren zur Herstellung einer mikrostrukturierten Kunststoffschicht | |
EP0387678A1 (de) | Wärmeaustauscher und Verfahren zur flüssigkeitsdichten Befestigung einer Bodenplatte an einem Wärmeaustauschernetz | |
DE2942815A1 (de) | Metallblechschichtenkoerper, insbesondere fuer gasturbinentriebwerke | |
DE69718820T2 (de) | Micropumpe mit eingebautem zwischenstück | |
DE69931901T2 (de) | Verfahren zum herstellen von verbindungen zwischen kanälen und räumen | |
DE19751293A1 (de) | Einschichtige oder mehrschichtige Metallzylinderkopfdichtung und Verfahren zu ihrer Herstellung | |
DE10343107A1 (de) | Flügel für Plattenwärmetauscher, Verfahren zur Herstellung eines derartigen Flügels und Wärmetauscher mit einem derartigen Flügel | |
DE19882877B4 (de) | Verfahren zur Bearbeitung einer Oberfläche eines Werkstücks durch Entladung sowie Grünlingelektrode | |
DE1907682B2 (de) | Zylinderkopfdichtung fuer brennkraftmaschinen | |
DE3726868C2 (de) | ||
DE60317143T2 (de) | Flüssigkeitsausstosskopf und dazugehöriges Herstellungsverfahren | |
DE69818368T2 (de) | Verbesserungen des Herstellungsverfahrens von Wärmeaustauschern | |
DE1527537A1 (de) | Metallbearbeitungsverfahren | |
EP0841634A2 (de) | Verfahren zum Herstellen einer Chipkarte und Vorrichtung zum Durchführen des Verfahrens | |
DE4131192C2 (de) | Verfahren zur Herstellung eines Druckkissens | |
DE2055735C3 (de) | Vorrichtung zum Aufblähen nicht verschweißter Kanalzonen eines Verbundbleches | |
DE2366421C2 (de) | Verbundprofil | |
DE1909714A1 (de) | Verfahren und Vorrichtung zum Herstellen eines Kreuz-Gelenkstueckes od.dgl.mit Hilfe des ueber Kreuz verlaufenden Extrudiervorganges | |
DE19924596C2 (de) | Verfahren zur Herstellung eines Mikrostrukturapparates | |
DE8032347U1 (de) | Spritzgegossener Umschaltventil-Körper |