DE2054306A1

DE2054306A1 - Verfahren zur Erzeugung eines Umkehr bildes einer mikroelektronischen Schaltung

Info

Publication number: DE2054306A1
Application number: DE19702054306
Authority: DE
Inventors: Daniel Joseph Wappingers Falls Weisel Harold Crisp Pawling NY Lasky (V St A )
Original assignee: International Business Machines Corp
Current assignee: International Business Machines Corp
Priority date: 1969-11-05
Filing date: 1970-11-04
Publication date: 1971-05-13
Also published as: GB1324792A; FR2071742A5; JPS5036765B1; US3666648A

Description

IBM Deutschland Internationale Büro-Maschinen Gesellschaft mbH

Anmelderin:

Amtliches Aktenzeichen: Aktenzeichen der Anmelderin:

Böblingen, 4. November 1970 kd-rz

International Business Machines Corporation, Armonk, N.Y. 10504 Neuanmeldung
Docket PO 969 022

Verfahren zur Erzeugung eines ümkehrbildes einer mikroelektronischen Schaltung

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Behandlung eines photokopierbaren Musters, das aus einem Silberkörnerbild, insbesondere einer mikroelektronischen Schaltung, mit hoher Auflösung und hohem Kontrast, eingebettet in eine Emulsionsschicht aus Gelatine besteht und das als Vorlage zur Herstellung eines Umkehrbildes in einem photographischen Prozeß dient.

Es ist bekannt, daß Silberbilder, die als Vorlagen zur Erzeugung von mikroelektronischen Schaltungen dienen, empfindlich sind, und mit großer Sorgfalt behandelt werden müssen. Die gegenwärtig verwendeten Vorlagen werden in einem aufwendigen Verfahren unter Verwendung eines programmgesteuerten Lichtschreibers erzeugt. Die so hergestellten Vorlagen werden jedoch, um die geometrischen Abmessungen nicht in nachteiliger Weise zu beeinflussen, im allgemeinen nicht in Vervielfältigungsverfahren zur Erzeugung weiterer Vorlagen verwendet. Der Zeichnungsprozeß muß deshalb so oft wiederholt werden, wie Vorlagen für das Kopierverfahren benötigt werden. Wenn größere Veränderungen an der Vorlage vorgenommen werden sollen, wird der automatische Zeichnungsprozeß entsprechend modifiziert und neue Vorlagen werden hergestellt.

Eine Art der Änderung, die nicht selten vorgenommen wird, ist

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ein Umkehrverfahren, bei dem durchsichtige Bereiche der Maske undurchsichtig gemacht werden und undurchsichtige durchsichtig. Diazu werden die Silberkörner, die in den undurchsichtigen Bildbeireichen vorhanden sind durch Auflösung der die Körner unmittelbar umgebenden Gelatine in einer schwachen Ätz-Bleichlösung entfernt. Das zurückbleibende Gelatinereliefbild wird mit einem Farbstoff gefärbt, der für aktinisches Licht eines gegebenen Spektralbereiches undurchlässig ist.

Umkehrverfahren durch Entfernung von Silberkörnern und das _t Färben der zurückbleibenden Gelatineschicht sind bekannt. In der USA-Patentschrift 1 315 464 und in dem Buch von CC. Neblette, "Photography, its Materials and Processes" S. 444, D. van Nostrand 1962, sind Verfahren zur Umkehrung von Bildern in situ beschrieben. In der genannten USA-Patentschrift werden beispielsweise die das Bild bildenden Silberkörner entfernt, indem die Gelatine in unmittelbarer Nachbarschaft der Silberkörner differentiell erweicht und die weich gemachte Gelatine mit heißem Wasser entfernt wird. Heißes Wasser wirkt zu stark lösend, so daß dieses Verfahren zur Herstellung eines Umkehrbildes einer mikroelektronischen- Schaltung unter Einhaltung der gewünschten engen Toleranzen für die Linienbreite und deren Abstände nicht geeignet ist.

Gegenstand der vorliegenden Erfindung ist deshalb ein Verfahren zur Herstellung eines Umkehrbildes in einem photographischen Prozeß, das dadurch gekennzeichnet ist, daß das Umkehrbild der Vorlage erzeugt wird, indem die suspendierten Silberkörner in einem Ätzvorgang aus der Emulsionsschicht entfernt werden und das zurückbleibende Reliefbild aus Gelatine mit einem absorbierbaren -Farbstoff bis zu dem Grad eingefärbt wird, daß es für aktinisches Licht eines gegebenen Spektralbereiches undurchlässig ist.

In einer vorteilhaften Ausführung der Erfindung werden der Ätzvorgang und das Färbeverfahren gemeinsam durchgeführt und gleich-

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zeitig abgebrochen. Die bei dem Ätzvorgang entstehenden negativ geladenen Abfallprodukte werden durch Gasblasen von der Emulsionsschicht entfernt und an einer mit dem positiven Pol einer Gleichstomquelle verbundenen Elektrode gesammelt.

Es ist wesentlich, daß durch vertikales und horizontales Eindringen des Farbstoffs an den Kanten des Reliefbildes aus Gelatine an denselben im Vergleich zu den übrigen Bildteilen eine erhöhte Farbstoffabsorption stattfindet.

Die Erfindung wird anhand der Figuren 1 bis 8 und der Beschreibung näher erläutert.

Fig. 1 zeigt ein Flußbild des erfindungsgemäßen Maskenumkehrprozesses.

Fig. 2 zeigt ein Flußbild des Maskenumkehrprozesses mit kombinierter Ätz- und Färbebehandlung.

Fig. 3 zeigt in schematischer Ansicht eine Maske, die nach dem erfindungsgemäßen Verfahren hergestellt wurde und in der eine dünne, durchsichtige Schicht aus Gelatine, unter den undurchsichtigen Bereichen aus Gelatine, in denen Silberkörner suspendiert sind, vorhanden ist.

Fig. 4 zeigt eine vergrößerte Schnittansicht der Vorrichtung zur Durchführung der Ätz-Bleichbehandlung, bei der die suspendierten Silberkörner aus den undurchsichtigen Bereichen der Maske herausgelöst werden.

Fig. 5 zeigt die Frontansicht eines Musters, von dem nach dem erfindungsgemäßen Verfahren ein Umkehrbild erzeugt wird.

Fig. 6 zeigt einen vergrößerten Ausschnitt aus Fig. 5 zur Docket PO 969 022 109820/150 2

Illustration der nach dem erfindungsgemäßen Umkehrverfahren gewahrten Linienbreiten und Linienabstände.

Fig. 7 zeigt Ansichten einer Teilmaske vor und nach Umkehrung und Färbung, wobei die Ätzflüssigkeit und die Farbstofflösung von Hand aufgetragen werden.

Fig. 8 zeigt schematisch das Lichtdurchlässigkeitsprofil eines Linienbildes vor und nach der Bildumkehrung nach dem erfindungsgemäßen Verfahren. Anhand dieser Figur wird die schärfere Abbildung der Kanten erklärt.

Wie aus Fig. 1 ersichtlich ist, wird bei der Herstellung einer Maske 1 ein durchsichtiges Substratmaterial 2, das in der vorliegenden Erfindung aus einer Ortho-Typ-III Glasplatte besteht, mit einer Schicht 3 einer Silberhalogenidemulsion, die für Bilder mit hoher Auflösung und hohem Kontrast Verwendung findet, beschichtet. Als Silberhalogenidemulsion kommen beispielsweise die unter dem Handelsnamen Kodalith Ortho-Type III oder andere Emulsionen für hohes Auflösungsvermögen in Frage. Durch Kontaktbelichten und Enwickeln werden in der Schicht 3 kontrastierende, undurchsichtige und durchsichtige Bildbereiche 4, 5 erzeugt, die die Maske la darstellen. Die undurchsichtigen BiIdbereiche 4 enthalten feinverteilte Körner aus metallischem Silber, suspendiert in klarer Gelatine, die auch die durchsichtigen Bildbereiche 5 bedeckt.

Das Bild wurde mit einer Vorrichtung und nach einem Verfahren zur Entwicklung von Masken dieser Art, die Gegenstand der deutschen Patentanmeldung P 19 26 232*9 sind, entwickelt.

Von der Maske, die aus dem vollentwickelten Bild aus Silberkörnern in Gelatine auf dem Substrat 2 besteht, wird ein Umkehrbild erzeugt. Dazu werden die Gelatine in der Umgebung der Silberkörner und gleichzeitig die Silberkörner in den undurch-

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sichtigen Bildbereichen durch eine schwache Ätz-Bleichlösung entfernt, so daß das Reliefbild 1 b entsteht. Die Maske auf dem Substrat 2 wird in ein Farbbad getaucht, wobei Farbe 6 in das Reliefbild aus Gelatine 5 eindringt, während das Substratmaterial 2 nicht gefärbt wird. Bei diesem Vorgang entsteht das Umkehrbild Ic.

Die einzelnen Verfahrensschritte sind in der nachfolgenden Prozeßübersicht angegeben.

Oberfläche vorbereiten und Silberhalogenidemulsion aufbringen

Kontaktbelichten durch das Muster eines Mikroschaltbildes

Entwickeln, Fixieren, Härten des photographischen Negativs

Kopieren des Negativs in einen Photolack mit positiver Empfindlichkeit

4-

übergang zu einem Photolack mit negativer Empfindlichkeit

Ätzen, Bleichen des Negativs, um die Bildteile mit den Silberkörnern zu entfernen

Vorsichtiges Spülen in langsam fließendem, kaltem Wasser

Färben des Gelatinereliefbildes

Vorsichtiges Spülen in langsam fließendem, kaltem Wasser

Verwendung des Umkehrbildes als Vorlage beim Kopieren des Umkehrbildes in einen Photolack mit negativer Empfindlichkeit

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Die Vorrichtung, die zur Erzeugung des Umkehrbildes verwendet wird, ist in Fig. 4 gezeigt. Es handelt sich dabei mit Ausnahme der verwendeten Materialien um die Vorrichtung, die Gegenstand der älteren deutschen Patentanmeldung P 19 26 232.9 ist. In Tank 10 ist eine Elektrode 11 aus Edelstahl befestigt, die eine nach oben gerichtete Spitze 12 besitzt. Die Elektrode 11 ist mit dem negativen Pol einer Gleichstromquelle verbunden. Beim Anlegen einer negativen Spannung wird die Entwicklungsflüssigkeit 14 unter Entwicklung von Gasblasen 16 durch Elektrolyse zersetzt. Die Blasenbildung ist besonders intensiv entlang der Spitze 12. Ein kontinuierlicher Strom von Gasblasen strömt in planarer Richtung über die das Bild enthaltende Gelatineschidht 17 auf dem Substratmaterial 2 in der Anordnung 1 a, wobei die Oberfläche der Gelatineschicht parallel und nahe benachbart zu den planar aufsteigenden Gasblasen ist.

In,dem Maße, wie die das Bild enthaltende Gelatineschicht durch die Lösung 14 in den die Silberkörner enthaltenden Bildbereichen 18 angegriffen wird, werden die an der Oberfläche gebildeten Zersetzungsprodukte 19 durch die aufsteigenden Gasblaseh entfernt. Die negativ geladenen Teilchen 19 sammeln sich aufgrund elektrophoretischer Anziehung an der positiven Elektrode 20 an, die vorzugsweise aus einem mit Platin überzogenen, feinmaschigen Drahtgitter aus Titan besteht und mit dem positiven Pol einer Gleichstromquelle verbunden ist.

Wenn alle Silberkörner in den Bildbereichen 18 entfernt sind, was nach ungefähr fünf Minuten geschehen ist, liegt das durchsichtige Gelatinerelief-Umkehrbild 1 b der Fig.-l vor. Da eine Wechselwirkung zwischen den aufsteigenden Gasblasen, den Zersetzungsprodukten 19 und der Ätzflüssigkeit 14 hauptsächlich in den Bildbereichen 18 stattfindet, ist die Bewegung der Flüssigkeit in diesen Bereichen besonders intensiv. Dadurch wird der Angriff der JvtzflÜssigkeit in diesen Bereichen gleichmäßig verstärkt, während die Flüssigkeit in der Nachbarschaft tier Gelatineschicht der durchsichtigen Bereiche 21 verhältnismäßig

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wenig turbulent ist. Dadurch wird die Wahrscheinlichkeit, daß diese Bereiche 21 entfernt oder deformiert werden, herabgesetzt.

Wenn alle Silberkörner entfernt sind, muß die Einwirkung der Ätzflüssigkeit 14 unterbrochen werden, damit die Gelatine in den durchsichtigen Bereichen 21 nicht geschwächt wird. Zu diesem Zweck wird das vorübergehend vorhandene Reliefbild der Anordnung 1 b sorgfältig in langsam zirkulierendem Wasser gespült. Es ist vorteilhaft, wenn die Platte mit dem Reliefbild der Anordnung 1 b dazu in ein mit kaltem Wasser gefülltes Becken getaucht wird, in dem das Wasser kontinuierlich mit sehr langsamer Geschwindigkeit erneuert wird. Ein direkter Kontakt mit einem turbulenten Wasserstrom soll vermieden werden, um die empfindlichen Teile des Gelatinereliefbildes zu schützen.

Anschließend wird die Platte 1 mit dem Reliefbild der Anordnung 1 b in ein Farbbad getaucht, wobei genügend Farbstoff in das Reliefbild aus Gelatine eindringt, um eine differentielle Undurchlässigkeit für aktinisches Licht in den Bildbereichen 21, 6 zu erzeugen, wenn das Reliefbild in Kontakt mit einer Photolackschicht umgekehrter Empfindlichkeit zur Erzeugung des gewünschten Umkehrbildes der Anordnung 1 c mit aktinischem Licht belichtet wird. Wenn beispielsweise aktinisches Licht im blauen, sichtbaren'Bereich des Spektrums verwendet wird, kann ein roter Farbstoff, der rotes Licht durchläßt und blaues Licht absorbiert, verwendet werden. Die Unterbrechung des Färbevorgangs erfolgt, wie zuvor beschrieben, durch vorsichtiges Kühlen in langsam fließendem Wasser. Beim Färben wird darauf geachtet, daß die Gelatineschicht in den Bereichen 21 nicht vollständig an Farbstoff gesättigt ist, so daß auch nur eine begrenzte Farbstoffmenge in der dünneren Gelatineschicht in den Bereichen 18 absorbiert wird und die letzteren nicht bis zur Undurchlässigkeit gefärbt werden. Dadurch werden die gewünschten scharfen Kanten 50 erhalten, wie weiter unten noch beschrieben wird.

Die Ä"t ζ-Blei ch lösung 14 und die Farbstofflösung können im Tank Docket PO 969 022 109820/1502

10 vereinigt werden, so daß gleichseitig die die Silberkörner enthaltenden Bildbereiche entfernt werden und der Untergrund aus klarer Gelatine gefärbt wird. Dadurch ist es möglich, das Umkehrbild der Anordnung Ic von dem Original der Anordnung 1 a auf einfacherem Wege zu erzeugen. Die einzelnen Stufen dieser vereinfachten Arbeitsweise sind in Fig. 2 dargestellt. Das Spülen mit Wasser folgt dann unmittelbar auf die kombinierte Ätz-Färbebehandlung. Die kombinierte Ätz-Färbebehandlung dauert etwa genauso lange wie zuvor das Ätzen.

Ätz-Bleich-Beispiele

Nr. Lösung (bei 21 C)

Gleichspannung zwi- Tauchzeit sehen den Elektroden

Gleiche Teile der Lösung X und 3 %ige Wasserstoffperoxid-Lösung

(Zusammensetzung Lösung X: 453,6 g Kupfersulfat 567,0 g Zitronensäure 28,3 g Kaliumbromid* Auffüllen mit Wasser auf 3785 ecm.

2 Volt bei 1/2 Amp. 5 Min., dann

vorsichtig spülen und trocknen

Gleiche Teile der Lösung Y und 3 %ige Wasserstoffperoxid-Lösung

(Zusammensetzung Lösung Y: 750 ecm Wasser von 52 ⁰C 10 g Kupfer (II) Chlorid 10 g Zitronensäure, Auffüllen mit Wasser auf 1 Liter.

wie bei 1

Gleiche Teile der Lösung Z und 3 %ige Wasserstoffperoxid-Lösung

(Zusammensetzung Lösung Z: 600 ecm Wasser von 52 ⁰C 10 g Kupfer(II)Chlorid 150 g Zitronensäure 150 g Harnstoff,

wie bei 1

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Auffüllen mit Wasser auf 1 Liter.

Farbe-Beispiele

Die Platte mit der Gelatineschicht wird fünf Minuten lang in eine Lösung, die 25 g Farbstoff pro 1 Wasser enthält, getaucht und vorsichtig gespült. Der Farbstoff D wird ausgewählt je nach dem gewünschten Spektralbereich, der Löslichkeit und den Absorptionseigenschaften der Gelatine. Es wurden ausgezeichnete Ergebnisse bei einer Rotfärbung des Gelatinereliefbildes als Barriere gegen aktinisches Licht im blauen oder UV-Bereich mit folgenden Farbstoffen erhalten:
Dl - Pontacyl der Firma Du Pont,
D2 - Rubinrot der Firma Du Pont,
D3 - Crocein Scarlet der Firma Kodak.

Beispiele für kombinierte Ätz-Bleich- und Färbebehandlung

Lösung bei 21 ^UC

45 % einer der Lösungen X, Y oder Z; 45 % 3 %ige Wasserstoffperoxid-Lösung;
10 % einer Farbstofflösung einer der oben genannten Farbstoffe Dl, D2 oder D3 (25 g/l Wasser)

Gleichspannung in
Volt zwischen den
Elektroden

4 Volt bei 1 Amp.

Tauchzeit

5 Minuten, dann vorsichtig spülen und trocknen

Es ist wesentlich, da8 z.B. die Strichbilder 31, 32 der Fig. in dem Originalbild 1 a, die eine präzise Dicke und Abstände voneinander mit vorgeschriebenen Toleranzen in der Größenordnung von 0,013 mm besitzen, in dem Umkehrbild 1 c ohne Verzerrung reproduziert werden können, so daß das Umkehrbild als Vorlage zum photographischen Kopieren auf das Photolackmaterial entgegengesetzter Empfindlichkeit verwendbar ist. Wesentlich sind die Vorgänge an den Elektroden 11, 20, der Spülvor-

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• "_' ' : ■■■ - 10;·-

gang zur Unterbrechung der Ätz- und Färbeprozesse, die in der Gelatineschicht absorbierte Färbstoffmenge und Umgebungsparameter wie Temperatur und Zeit bei der Ausführung der vorliegenden Erfindung.

Der Abstand der Elektroden 11 und 20 ist ebenfalls wichtig. Ir der Praxis ist der Abstand zwischen der Bildoberfläche der Platte 1 a und der Elektrode 20 ungefähr 2,5 cm (1 inch). Die Bildoberfiäche wird parallel und leicht versetzt zu der Ebene, die die Spitze 12 der Elektrode 11 schneidet, angeordnet. Die Abmessungen des Tanks 10 zur Entwicklung von Photoplatten mit ^ einer Größe von 40 χ 50 cm betragen: Breite 45,7 cm; Höhe .53,3

cm bei einer Tiefe von 5,8 cm.

Es ist vorteilhaft, zwei verschiedene Farbstoffe zu verwenden, beispielsweise einen, der undurchlässig für aktinisches Licht ist und einen anderen, der für das Licht der gleichen Wellenlänge durchlässig ist, um bestimmte visuelle Effekte., z.B. Bezugspunkte zur Justierung der Vorlage beim Kopieren zu er- . zeugen. Es wird, wie in Fig« 7 angegeben ist, ein schwammartiger Applikator 41 verwendet,, um von Hand Farbe auf bestimmte Bildbereiche 42 aufzubringext.. Es wurde auch gefunden, daß. durch lokale Anwendung der oben genannten Ätz-Bleichlösung bestimmte ^ ; Bildbereiche umgekehrt werden können, z.B. kann so ein Rand- - muster erzeugt werden, dag, isoliejcen.de Greifbereiche einer

mikroelektronischen Schaltmng; definiert.

Es wurden bestimmte yor^e^&aft^JSjLgjinsp^af^en an dem .umkehr.τ bild beobachtet, vorzyqfs^^s^ ψ'φΜτςΜ^ζβ Kasvfeen 50 in dem. ge.- färbten Reliefbild 1 c (g±-<jpy |,_t 17y,Dies-er'ilffekt ^ Iich aus den vergleichbar^"'ifen$i|e^ tr isoj^ti Auswertungen 4§r Fig. 8 und wird einer erJi^t^m ^aj^stö.f|abstikptlon an den; Kanten durch gleichzeitiges vertikal^ö und.horizontales Eindringen des Farbstoffs zugeschrieben* um SUlJDierbiid ist die Licht-, durchlässigkeit eine Funktion der Silberdiciite, die sich an den Kanten allmählich ändert. Wegen dieses Dichtegr«dienten,

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der in seiner Ausdehnung relativ zu der vorgegebenen Linienbreite und den Toleranzen (Fig. 8, oberer Teil) erheblich variieren kann, erscheinen die Kanten in den densitometrischen Auswertungen verschwommen. Wenn im Gegensatz dazu die Farbstoff auf nähme begrenzt wird, so daß das Gelatinereliefbild nicht vollständig an Farbstoff gesättigt ist, erhält man wegen des vertikalen und horizontalen Eindringens des Farbstoffes an den Kanten eine erhöhte Farbstoffabsorption durch die, wie aus Fig. 8 unterer Teil ersichtlich ist, das verschwommene oder undeffinierbare Lichtdurchlässigkeitsprofil reduziert wird.

Kantenunregelmäßigkeiten in dem Originalbild entstehen durch das Zusammenwirken mehrerer Faktoren und hängen beispielsweise von der Qualität des ursprünglichen Schaltbildes, der Intensität und der Eindringtiefe des Lichtes in die Sllberhalognidschicht 3 (Fig. 1) ab. Wenn die Silberhalogenidschicht nicht in ihrer vollen Tiefe belichtet wird, was in der Praxis bei Verwendung automatischer Lichtschreiber, wie beispielsweise dem bekannten programmgesteuerten "Gerber Modell 532 Artwork Generator" der Fall sein kann, dann bleibt nach der Entfernung des Silbers, wie in Fig. 3 ersichtlich ist, eine Gelatineschicht 52 in den zuvor undurchsichtigen Bildbereichen zurück. Diese dünne Schicht absorbiert etwas Farbstoff, jedoch nicht genügend Farbstoff, um die Schicht für das aktinische Licht, für das der Farbstoff ausgesucht wurde, undurchlässig zu machen. In der Praxis sind daher die Kanten 53 des Reliefbildes nicht genau vertikal sondern besitzen eine Neigung bezüglich der Ebene des Bildes und des Substratmaterials. Dieser Effekt führt ebenfalls zur Verbreiterung des ünschärfebereichs im Lichtdurchlässigkeitsprofil an den Bildkanten. Dieser Verbreiterung wirkt jedoch in dem Umkehrprozeß der differentielle Kantenabsorptionseffekt entgegen, so daß das Umkehrbild schärfer gezeichnet 1st als das Originalbild.

Die beschriebene Umkehrtechnik wurde auch angewendet, um mit automatischen Lichtschreibern Muster mit großen undurchsich-

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tigen Bereichen zu erzeugen. Die automatischen Lichtschreiber arbeiten jedoch am besten bei der Aufzeichnung von Bildern, die bei der Entwicklung der Silberhalogenidemulsion schmäle Silberbildteile mit verhältnismäßig großen Bildteilen als Hintergrund aus klarer Gelatine ergeben. Ein solches Muster ist z.B. das in Fig. 5 gezeigter für die Halbleiterfertigung typische Muster.

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Claims

PATENTANSPRÜCHE

(ίύ/ Verfahren zur Behandlung eines photokopierbaren Musters, das aus einem Silberkörnerbild, insbesondere einer mikroelektronischen Schaltung, mit hoher Auflösung und hohem Kontrast, eingebettet in eine Emulsionsschicht aus Gelatine besteht und das als Vorlage zur Herstellung eines Umkehrbildes in einem photographischen Prozeß dient, dadurch gekennzeichnet, daß das Umkehrbild der Vorlage erzeugt wird, indem die suspendierten Silberkörner in einem Ätzvorgang aus der Emulsionsschicht entfernt werden und das zurückbleibende Reliefbild aus Gelatine mit einem absorbierbaren Farbstoff bis zu dem Grad eingefärbt wird, daß es für aktinisches Licht eines gegebenen Spektralbereiches undurchlässig ist.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Ätzvorgang und das Färbeverfahren gemeinsam durchgeführt und gleichzeitig beendet werden.
3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die bei dem ÄtzVorgang entstehenden negativ geladenen Abfallprodukte durch Gasblasen von der Emulsionsschicht entfernt und an einer mit dem positiven Pol einer Gleichstromquelle verbundenen Elektrode gesammelt werden.
4. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß durch vertikales und horizontales Eindringen des Farbstoffs an den Kanten des Reliefbildes aus Gelatine an denselben im Vergleich zu den übrigen Bildteilen eine erhöhte Farbstoff absorption stattfindet.
5. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß nur von einem Teil des Musters der Vorlage ein Umkehrbild erzeugt wird und die Ätzflüssigkeit und die Farbstofflösung auf Teilbereiche der das Silberbild ent-

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haltenden Gelatineschicht aufgetragen werden.
6. Verfahren nach einein der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß mehrere Farbstoffe, die sich bezüglich ihrer Lichtdtirchlässigkeit für aktinisohes Licht eines gegebenen Spektralbereiches; unterscheiden, zur Erzeugung von Bezugspunkten für die Justierung auf die Gelatine*- schicht aufgetragen werden.
7. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß daa Silberbild, v©n dem ein Umkehrbild erzeugt wird, mittels eines programmgesteuerten Licht-Schreibers hergestellt wird.

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