DE2020803B2 - Behandlungsmagazin fuer mehrere gleichdimensionierte halbleiterscheiben - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft ein Behandlungsmagazin für mehrere gleichdimensionierte Halbleiterscheiben, bestehend aus einer Grundplatte und mindestens zwei sich parallel zueinander in gleicher Höhe über der Grundplatte erstreckenden und auf ihr befestigten Seitenstützen, an welchen die parallel zueinander vnd mit Abstand voneinander auf der Grundplatte stehenden Halbleiterscheiben zugleich mit ihren Rändern angelehnt sind, bei der außerdem die beiden Seitenstützen an ihren einander zugekehrten Seiten derart ausgestaltet sind, daß sie eine Anzahl von Fächern aufweisen, in welche jeweils eine Halbleiterscheibe mit ihrem Rand eingreift.

Ein aus der US-PS 34 80 151 bekanntes und dieser Definition entsprechendes Behandlungsmagazin besteht aus einem Quarzboot mit gleichbleibendem Querschnitt, in welchem die Halbleiterscheiben stehend an ihren Rändern seitlich befestigt sind. Die Befestigung ist jeweils durch je zwei auf Deckung angeordnete seitliche Schlitze — entweder am Rand des Quarzbootes oder in zwei parallel zueinander und quer zum Bootsrand befestigten Stegen — gegeben.

Eine weitere Ausführungsform besteht in einem Quarzboot, das mit einer Anzahl von Querrippen versehen ist (vergleiche z. B. »radio mentor«, Jg. 22, 1956, Nr. 7, Seite 438). Die einzelnen Scheiben stehen mit ihren Rändern am Grund des Quarzbootes und werden zwischen den einzelnen Rippen etwa aufrecht und mit Abstand voneinander gehalten, so daß eine ausreichende Zufuhr des dotierenden Gases oder auch eines anderen bei einem anderen Behandlungsprozeß anzuwendenden Behandlungsmediums zu den einzelnen Scheiben gewährleistet ist.

Solche Behandlungsmagazine sind unter anderem für die Halterung von Halbleiterscheiben bei einem Verfahren zum Dotieren von gleichdimensionierten ic Halbleiterscheiben durch Einwirkung eines dotierenden Gases im erhitzten Zustand der Halbleiterscheiben geeignet, da sie sowohl die erforderliche Temperaturbeständigkeit aufweisen, als auch eine ausreichende Zufuhr des dotierenden Gases zu den einzelnen Scheiben gewährleisten.

Aufgabe der Erfindung ist es nun, die bekannte Anordnung derart weiter auszugestalten, daß neben einer die erforderlichen Abstände zwischen den einzelnen Halbleiterscheiben sichernden Halterung Raum gespart wird, so daß bei gleichem Platzbedarf des Magazins mehr Halbleiterscheiben als bisher untergebracht werden können. Um dies zu erreichen, ist gemäß der Erfindung vorgesehen, daß die Fächer in den Seitenstützen durch je eine Reihe von äquidistant zueinander angeordneten gleichdimensionierten Haltebügeln gebildet und die Fächer in der einen Seitenstütze auf Lücke zu den Fächern in der anderen Seitenstütze angeordnet sind.

Bei einem solchen Behandlungsmagazin wird eine die richtige Größe aufweisende Halbleiterscheibe nicht nur das Fach zwischen den beiden Haltebügeln ausfüllen und mit ihrem Rand an der Verbindung zwischen den beiden Haltebügeln im Hintergrund des Faches anschlagen, sondern zugleich auch mit ihrem Rand auf der Grundplatte aufsitzen und an die andere Halterung anstoßen. An der anderen Halterung ist jedoch — unmittelbar gegenüber — kein die Scheibe halterndes Fach vorgesehen.
Eine Ausgestaltung der Erfindung sieht nun weiter den Aufbau eines raumsparenden Behandlungsmagazins vor, welches dadurch gekennzeichnet ist, daß die Seitenstützen von zueinander parallelen und gleichdimensionierten Profilstangen gebildet sind, deren Querschnittsprofil oberhalb der Grundplatte, und zwar mit Abstand von dieser gegen die andere Seitenstütze vorspringt, und daß die Haltebügel und die durch diese definierten Fächer durch äquidistante, gleichdimensionierte Einschnitte in den Vorsprüngen bedingt sind.
Schließlich ist vorgesehen, daß die Dicke der Haltebügel 3 bis 4 mm und ihre Länge etwa 20 bis 30 % des Abstandes zwischen den beiden Seitenstützen beträgt. Damit wird dem aus Gründen der Festigkeit zulässigem Minimum Rechnung getragen. Die Bügelhöhe, also die vertikale Dimension, muß mindestens gleich der Bügelbreite sein. Vorzugsweise ist sie etwas größer. Die Bügellänge und die Bügelhöhe bestimmen dabei die Berührungsfläche zwischen den Bügeln und der zwischen ihnen eingebrachten Halbleiterscheibe. Optimale Ergebnisse wurden bei einer Bügellänge von etwa 20 % des Durchmessers der einzupassenden Scheibe, also etwa 20 bis 30 % des Abstandes zur gegenüberliegenden Halterung erreicht.

Wenn die Haltebügel der beiden Halterungen so angeordnet sind, daß jeweils ein Haltebügel der einen Halterung unmittelbar einem Fach der anderen Halterung gegenüberliegt, dann kann man bei gleicher Dicke der Haltebügel und Fächer bedeutend mehr auf gleichem Raum unterbringen, als wenn je ein Fach

einem Fach und je ein Haltebügel einander gegenüber liegen.

Der Begriff »Haltebügel« besagt, daß diese Halterungsorgane gekrümmte »ebene« Gebilde sind. Vorzugsweise besteht ein solcher Bügel aus zwei Armen, die etwa im rechten Winkel zueinander geneigt sind. Der eine Arm ist an seinem Ende mit dem Querstück der Halterung verbunden, während der andere Arm keinerlei Quetschverbindungen aufweist, so daß das gegen die Grundplatte und gegen die zweite Halterung offene Fach realisiert wird.

In den F i g. 1 bis 3 beziehungsweise 4 bis 6 ist je ein spezielles Ausführungsbeispiel der Erfindung dargestellt Dabei bedeuten in sämtlichen Figuren S die Halbleiterscheiben, G die Grundplatte, SHd'xe seitlichen Halterungen, Hb die Haltebügel und Tr Hilfsmittel zum Einschieben der Magazine in den Diffusionsofen. Die Anordnungen sind aus Quarz gefertigt. Bei der in F i g. 1 bis 3 dargestellten Anordnung bestehen die seitlichen Halterungen aus auf der Grundplatte G verankerten hakenförmig gebogenen Profilstangen. Die Haltebügel sind durch Einsägen in die Profilstangen durch senkrecht zur Achse der Profilstangen geführte Einschnitte entstanden. Diese Einschnitte werden ein wenig über die Krümmung im Querschnittsprofil der Profilstange hinausgeführt, wie dies die F i g. 2 deutlich erkennen läßt. Die Grundplatte G ist mit einem Loch Tr versehen, in welches ein hakenförmiges Werkzeug zum Zwecke des Einschiebens des Magazins in einen Diffusionsofen vorgesehen ist.

Während bei der in F i g. 1 bis 3 dargestellten Anordnung die seitlichen Halterungen SH über ihr^ ganze Länge mit der Grundplatte in Verbindung stehen, sind diese bei der in Fig.4 bis 6 dargestellten Ausbildungsform nur an ihren Enden gehaltert und erstrecken sich in Form von parallelen Stegen oberhalb der Grundplatte G und quer zu deren Längserstreckung. Als Träger für die stegartigen seitlichen Halterungen der Scheibe sind zwei Holme Ho längs der Längsseiten der Grundplatte vorgesehen. Die stegartigen seitlichen Halterungen sind an ihren Rändern aufgeworfen, so daß ihr Rand vertikal nach oben gerichtet ist. Durch Einschnitte in diesen Rand sind wiederum die Haltebügel Hb erzeugt, wobei, wie F i g. 4 deutlich erkennen läßt, der Einschnitt ein wenig über die Krümmung hinausgeführt ist. Diese Maßnahme trägt sehr zur stabilen Halterung der Scheiben bei. Statt eines Loches ist hier ein Transportbügel Tr an der Grundplatte vorgesehen. Eine weitere Herstellung der Haltebügel besteht darin, diese aufzusetzen und mit ihren Trägern, z. B. durch Sintern oder Verschmelzen, zu verbinden.

Hierzu 1 Blatt Zeichnungen

Claims (3)

Patentansprüche:

1. Behandlungsmagazin für mehrere gleichdimensionierte Halbleiterscheiben, bestehend aus einer Grundplatte und mindestens zwei sich parallel zueinander in gleicher Höhe über der Grundplatte erstreckenden und auf ihr befestigten Seitenstützen, an welchen die parallel zueinander und mit Abstand voneinander auf der Grundplatte stehenden Halbleiterscheiben zugleich mit ihren Rändern angelehnt sind, bei der außerdem die beiden Seitenstützen an ihren einander zugekehrten Seiten derart ausgestaltet sind, daß sie eine Anzahl von Fächern aufweisen, in welche jeweils eine Halbleiterscheibe mit ihrem Rand eingreift, dadurch gekennzeichnet, daß die Fächer in den Seitenstützen (SH) durch je eine Reihe von äquidistant zueinander angeordneten gleichdimensionierten Haltebüge'n (HB) gebildet und die Fächer in der einen Seitenstütze (SH) auf Lücke zu den Fächern in der anderen Seitenstütze (SH) angeordnet sind.

2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Seitenstützen (SH) von zueinander parallelen und gleichdimensionierten Profilstangen gebildet sind, deren Querschnittsprofil oberhalb der Grundplatte (G), und zwar mit Abstand von dieser gegen die andere Seitenstütze (SH) vorspringt, und daß die Haltebügel (HB) und die durch diese definierten Fächer durch äquidistante, gleichdimensionierte Einschnitte in den Vorsprüngen bedingt sind.

3. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Dicke der Haltebügel 3 bis 4 mm und ihre Länge etwa 20 bis 30 °/o des Abstandes zwischen den beiden Seitenstützen beträgt.