DE2017973A1 - Verfahren zur Herstellung eines Rohlings fur Lagersteine - Google Patents

Verfahren zur Herstellung eines Rohlings fur Lagersteine

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DE2017973A1
DE2017973A1 DE19702017973 DE2017973A DE2017973A1 DE 2017973 A1 DE2017973 A1 DE 2017973A1 DE 19702017973 DE19702017973 DE 19702017973 DE 2017973 A DE2017973 A DE 2017973A DE 2017973 A1 DE2017973 A1 DE 2017973A1
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DE19702017973
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English (en)
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Hans Erich Dr Anet Gass Hans Hanni Werner Neuchatel Hintermann, (Schweiz)
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Centre Suisse dElectronique et Microtechnique SA CSEM
Original Assignee
Laboratoire Suisse de Recherches Horlogeres
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    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C16/00Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
    • C23C16/01Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes on temporary substrates, e.g. substrates subsequently removed by etching
    • GPHYSICS
    • G04HOROLOGY
    • G04BMECHANICALLY-DRIVEN CLOCKS OR WATCHES; MECHANICAL PARTS OF CLOCKS OR WATCHES IN GENERAL; TIME PIECES USING THE POSITION OF THE SUN, MOON OR STARS
    • G04B31/00Bearings; Point suspensions or counter-point suspensions; Pivot bearings; Single parts therefor
    • G04B31/06Manufacture or mounting processes

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Description

Verfahren zur Herstellung eines Rohlings für Lagersteine.
Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zur Herstellung eines Rohlings für Lagersteine, insbesondere für Uhrwerklagersteine.
In Präzisionsgleitlagern der Feinmechanik, Uhrmaeherei und des Instrumentenbaues werden Lagersteine aus einkristallinem Aluminiumoxyd , Spinell, Diamant oder Hartmetal verwendet. Der Reibepartner, z.B. die Lagerachse, besteht aus gehätetem Stahl und in Sonderfällen aus Hartmetall. Zur Verminderung des Abtriebs und des Reibungskoeffizienten dienen geeignete Schmiermittel.
In mehr als 90 % aller Anwendungsfälle wird als Lagerstein einkristallines Aluminiumoxyd (Rubin, Saphir, Korund) verwendet, da dieses einen Kompromiss zwischen Härte und Abriebfestigkeit einerseits und Bearbeitbarkeit andererseits darstellt. Diamant wird seines hohen Preises seiner Sprödigkeit und seiner schwierigen Bearbeitbarkeit wegen nur in Sonderfällen eingesetzt. Spinelle und handelsübliche Hartmetalle besitzen in vielen Fällen eine zu geringe Verschleissfestigkeit.
Die Lagersteine werden häufig aus synthetischen, nach dem Verneuil-Verfahren gewonnenen A l^O.,-Einkristallen in einem Auslese-, Schneide-, Bohr und Polierprozess hergestellt. Dabei stellt das Bohren eine der aufwendigsten Teiloperationen dar. Erschwerend wirken sich zudem die Anisotropie des einkristallinen Al^O sowie innere Spannungen des synthetischen Kristalls auf die Verarbeitung aus. Diese Faktoren tragen mit dazu bei, dass vom Rohkristall bis zum Endprodukt ein Ausschuss bis 50 % anfallen kann.
Vom Verwendungszweck her wird an den Lagerstein vor allem die Forderung gestellt, verschleissfest zu sein und einen kleinen Reibungskoeffizienten gegen seinen Reibepartner (z.B. aus gehärtetem Stahl) zu besitzen. Diese Forderung wird auch von anderen Hartstoffen, wie z.B. den meisten Carbiden, Boriden und Nitriden der Uebergangnelemente, sowie von Bor, Borcarbid, kubischem Bornitrid, Siliciumcarbid und Aluminiumnitrid erfüllt.
Es ist bekannt, dass alle diese Hartstoffe, sowie auch AIpO. in thermochemischer Reaktion aus der Gasphase abgeschieden werden können.
109818/1700
* Γ; r·. ~i f.
ί / J / 3
Das erfindungsgemässe Verfahren ist dadurch gekennzeichnet, dass man auf der Oberfläche eines Drahtes oder Rohres durch chemische Reaktion aus der Gasphase eine Hartstoffschicht abscheidet und das erhaltene Gebilde senkrecht zur Draht- bzw. Rohrachse in Scheiben zertrennt.
Dieses Verfahren erlaubt es, Lagersteine aus verschiedenen Hartstoffen auf sehr wirtschaftliche Art herzustellen. Dabei kann man durch eine geeignete Prozessanordnung und -führung Hartstoffe in Form von Stäben oder Rohren erhalten. Die Hartstoffstäbe werden dabei auf einen geeigneten Kerndraht, die Rohre in ^ einem geeigneten Trägerrohr aus der Gasphase abgeschieden, Kerndraht oder Trägerhülse können vor oder nach dem Zerschneiden in Scheiben mechanisch oder chemisch durch Auflösen bzw. Verbrennen entfernt werden. Darauf liegt ein Lagerstein im Rohzustände vor.
Die Wahl des Materials von Kerndraht bzw. Trägerrohr ist dabei von entscheidender Bedeutung. Die folgenden Paktoren sind zweckmässig zu beachten :
- thermischer Ausdehnungskoeffizient : benacnbart demjenigen des abzuscheidenden Hartstoffes;
- Schmelzpunkt : höher als Abscheidungstemperatur;
- chemische Löslichkeit : in oxydierenden Säuren löslich bzw. in Sauerstoff oder Luft verbrennbar;
m - Hochtemperaturverhalten : nur geringe Reaktion mit den
an der Abscheidung beteiligten Gasen, nur geringe Regierungsbildung mit dem abgeschiedenen Hartstoff.
Von Seiten der Reaktionsführung und der Auswahl des Hartstoffes ist zweckmässig zu beachten, dass
- der abgeschiedene Hartstoff nahezu seine theoretische Dichte erreicht,
- die Aufwachsrate und Zusammensetzung über die gesamte Länge des Trägers konstant sind,
- das Material polykristallin mit einer Korngrösse kleiner 1 jüm, oder aber einkristallin aufwächst,
- der abgeschiedenen Hartstoff chemisch beständig und gegen flüssige Schmiermittel Inaktiv ist.
BAD ORIGINAL lUüölb/IVÜO
Die Vorteile des neuen Verfahrens zur Herstellung von Rohlingen für Lagersteine sind :
- grosse Wirtschaftlichkeit :
Das teure Vorbohren des harten Materials entfällt.
Der Hartstoffstab liegt im Durchmesser des Rohsteines vor; das Schneiden der Einkristallbirne in Platten und diese in rechteckige Steine, sowie das Vorrunden der Steine entfällt. In einem Arbeitsgang können eine grosse Anzahl Stäbe hergestellt werden.
Das Schneiden nach bestimmten kristallographischen Richtungen mit optimalen Eigenschaften entfällt.
- Verwendung verschiedener, der Herstellung von Lagersteinen bis heute nicht zugänglicher Hartstoffe mit wesentlich höherer Verschleissfestigkeit und geringerem Reibungskoeffizienten verglichen mit einkristallinem AIpO-,.
- Möglichkeiten zur Herstellung selbstschmierender Lagersteine durch
a) diskrete Einlagerung von Feststoffschmiermitteln (z.B. Graphit) während des AbScheidungsprozesses,
b) thermochemische Abscheidung einer Schmierstoffschicht vor (Kerndraht) bzw. nach (TrägerhUlse) dem Aufbringen des Hartstoffes,
c) Abscheidung eines Hartstoffes mit sehr geringem Reibungskoeffizienten im Trockenlauf (z.B. u = 0,1 gegen gehärteten Stahl).
Beispiele^ :
1) Ein Wolframdraht von 0,08 mm Durchmesser und 250 mm Länge wird im Wasserstoffstrom von 100 cm5/min bei Normaldruck durch Stromdurchgang auf 15000C erhitzt. Sodann wird ein Gemisch von Wasserstoff und Dichlormethylsilan im Volumen-Verhältnis von 2:1 zudosiert. Nach 1 h hat sich ein Stabaus reinem Siliciumcarbid
on 1,7 mm 0 gebildet. Er wird mittels einer Diamantscheibe in Scheiben von 0,8-1 mm Dicke geschnitten. Der Kern wird anschliessend in heissem Königswasser aufgelöst. Damit liegt der LagersMn in Rohzustand vor.
BAD ORIGINAL
; U y 8 Ί 5 / Ί 7 Ü U '
Das abgeschiedene polykristalline Siliciumcarbid mit einer Korngrösse ^ 0,1 um besitzt mit einer Mikrohärte von
HV,-~ fts 4000 kg/mm^ einen wesentlich höheren Abriebwiderstand 50 g
als einkristallines Aluminiumoxyd.
2) Ein Stahlrohr von 50 mm Länge, 1,5 mm lichter Weite und einer Wandstärke von 0,2 mm wird in einem Schutzgas (Argon, Wasserstoff) mittels Stromdurchfluss auf 8500C geheitzt. Durch das Rohr wird mit einer Vakuumpumpe bei 10 Torr 250 cm^/min Wasserstoff durchgezogen. Zur Beschichtung der Innenwand mit Titancarbid werden dem Wasserstoff 2% TiCl^, und 0,5$ Dicyclopentadien zugefügt. Nach einigen Stunden erreicht die Schicht eine Dicke, die das Rohr auf 2/10 mm lichte Weite, d.h. zu einem Kapillarrohr.verengt.
Die auf diese Weise durch innenseitiges Auftragen gewonnene Kapillarröhre wird elektrolytisch in Scheiben getrennt und je nach Verwendungszweck der Stahlmantel belassen oder entfernt.
^) In einem zylinderförmigen Reaktionsgefäss werden in 2 Lochscheiben in Karusellanordnung 12 Wolframfäden von 0,1 mm Durchmesser und ^00 mm Länge eingespannt und mittels Anhängegewichten gestreckt. In einem Wasserstoffstrom von 100 cm^/min werden die Drähte durch Widerstandsheizung auf 10000C erhitzt. Dem Wasserstoffgas wird 5$ BCl, beigemengt und zur Abscheidungsreaktion der Gasfluss auf 500 cm^/min erhöht. Die Abscheldungsrate, gemittelt über 20 min beträgt 0>05 mm/min. Die Stäbe werden in einen Kunststoff wie etwa "Scandiplast 9IOI/9IO2" eingebettet und mittels einer Diamantscheibe in Scheiben getrennt. Der Wolframdraht wird mit einem Gemisch von HNO, und HP herausgelöst, worauf der aus Wolframborid bestehende Lagerstein in seinem Rohzustande vorliegt.
4) Eine Graphithülse von 100 mm Länge, 3 mm lichter Weite und etwa 0,5-1 mm Wandstärke wird in einer Argonschutzgasatmosphäre durch Stromdurchfluss auf 11000C erhitzt. Durch das Rohr wird bei einem Ueberdruck von 1000 mm WS ein Gemisch bestehend aus Argon mit 5$ BCl, und 2,5$ CH^ mit einer Geschwindigkeit von 100 cm^/min durchgeleitet.
BAD ORIGINAL : U 9 8 1 5 / 1 7 0 0
Durch thermo ehe mi s c he Reaktion dieses Gasgemisches scheidet sich an der Innenwandung des Rohres BG^ ab. Ist die gewünschte lichte Weite erreicht, wird die Reaktion abgebrochen. Der Graphitmantel wird daraufhin abgebrannt. Die so erhaltenen Stangen werden mit der Diamantscheibe in Rohlagersteine zerschnitten.
5) Ein Graphitfaden von 250 mm Länge wird in einem geschlossenen Reaktionsgefäss zwischen zwei Elektroden gespannt und mit Wasserstoff umspült. Durch Stromdurchgang wird der Faden auf l420°C erhitzt. Ein Gasgemisch bestehend aus 2000 cm3/min Hp, 150 cirP/min TiCl2, und 80 cm^/min BCl-, wird bei einem Unterdruck von 5 Torr der thermochemischen Reaktion überlassen, bis die sich bildende Titanboridschicht die nötige Dicke von 1 bis 2 mm erreicht hat.
Die so erhaltene Stange lässt sich mit der Diamantscheibe zerschneiden. Anschliessend wird die Graphitseele ausgebrannt. Die Rohlagersteine liegen zur Weiterverarbeitung vor.
6) Ein Graphitstab wird in einem zylinderförmigen Reaktionsgefäss unter Wasserstoffdurchfluss in einem Rohrofen auf 10500C erhitzt. Nach Erreichen der gewünschten Temperatur wird das Reaktionsgefäss evakuiert. Anschliessend wird kontinuierlich ein Gasgemisch bestehend aus
250 cm3/min H2
100 cmVmin CO2 100 cm5/min CO
40 cm3/min Ar
10 cm3/min AlCl
eindosiert und das Vakuum auf 50 Torr gehalten. Auf dem Graphitstab scheidet sich nun eine feinkörnige AIpO.,-Schicht ab. Ist die erforderliche Schichtdicke erreicht, wird die Reaktion unterbrochen, das Reaktionsrohr gekühlt und der AlgO.,-Stab entnommen. Die Graphitseele wird nach dem Zerschneiden des Stabes ausgebrannt.
BAD ORIGINAL .10981-5/17 00-

Claims (8)

_ό_ 2ΓΠ7Τ73 PATENTANSPRÜCHE
1.) Verfahren zur Herstellung eines Rohlings für Lagersteine, insbesondere für Uhrwerklagersteine, dadurch gekennzeichne1:, dass man auf der Oberfläche eines Drahtes oder Rohres durch chemische Reaktion aus der Gasphase einen Hartstoff abscheidet, und das erhaltene Gebilde senkrecht zur Draht- bzw. Rohrachse in Scheiben zertrennt.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass man das Material des Drahtes bzw. Rohres chemisch entfernt.
3. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass man auf einem Wolframdraht bei einer Temperatur von 1200 bis 14OO°C, insbesondere bei 13000C, durch Reaktion mit einer Gasmischung, die praktisch aus zwei Volumenteilen Wasserstoff und einem Volumenteil Dichlormethylsilan besteht, eine Hartstoffschicht aus praktisch reinem Siliciumcarbid abscheidet, und dass man nach dem mechanischen Zertrennen des erhaltenen Gebildes das Wolfram durch heisses Königswasser löst.
4. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass man ein Stahlrohr auf eine Temperatur von 700 bis 9000C, insbesondere 8500C erwärmt, bei einem Druck von 1 bis 40 Torr, insbesondere bei 10 Torr, Wasserstoff, dem etwa 2 VoI^ Titantetrachlorid und etwa 0,5 Vol$ Dicyclopentadien beigemischt sind, durch das Rohr strömen lässt und so auf seiner inneren Oberfläche eine Hartstoffschicht aus Titancarbid abscheidet, und dass man nach elektrolytischen Zertrennen des so erhaltenen Gebildes gegebenenfalls den Stahl durch chemisches Lösen entfernt.
5. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass man Wolframdrähte bei 900 bis HOO0C, insbesondere 1000°C, mit einer Mischung aus etwa 95 VoI^ Wasserstoff und etwa 5 Vol# Bortrichlorid behandelt und so eine Hartstoffschicht aus Wolframborid abscheidet, und dass man nach dem mechanischen Zertrennen des erhaltenen Gebildes das Wolfram mittels eines Gemisches aus Salpetersäure und Plussäure löst.
6. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass man durch ein Graphitrohr bei 1000 bis 12000C, insbesondere
Ü a 3 ί S / 1 7 0 0 BAD ORiGiMAL
bei 110O0C, unter einem Druck von etwa 0,1 atü eine Mischung aus Argon mit etwa 5 Vol# Bortrichlorid und etwa 2,5 Vol# Methan leitet und so an der Innenwand des Rohres eine Hartstoffschicht aus Borcarbid abscheidet, dass man darauf das Graphitrohr durch Verbrennen entfernt und das Rohr aus Borcarbid mechanisch in Scheiben zertrennt.
7. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass man einen Graphitdraht bei 1350 bis 15000C, insbesondere bei etwa l420°C und einem Druck von 1 bis 10 Torr, insbesondere etwa 5 Torr, mit einem Gemisch aus Wasserstoff, Titantetrachlorid und Bortrichlorid behandelt und so eine Titanboridschicht erzeugt, und das? man nach dem mechanischen Zertrennen des erhaltenen Gebildes
den Graphitkern durch Verbrennen entfernt. λ
8. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass man einen Graphitdraht bei einer Temperatur von Λ000 bis HOO0C, insbesondere bei etwa 10500C unter einem Druck von 20 bis 100 Torr, insbesondere etwa 50 Torr, mit einer Gasmischung aus Wasserstoff, Kohlendioxyd, Kohlenmonoxyd, Argon und Aluminiumtrichlorid behandelt und so eine Hartstoffschicht aus Aluminiumoxyd erzeugt, und dass man nach dem mechanischen Zertrennen des erhaltenen Gebildes den Graphitkern durch Verbv.n.rin entfernt*
BAD ORIGINAL
109815/17Ü0
DE19702017973 1969-07-10 1970-04-15 Verfahren zur Herstellung eines Rohlings fur Lagersteine Pending DE2017973A1 (de)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2929510A1 (de) * 1978-07-21 1980-01-31 Suisse Horlogerie Rech Lab Tribologische schichten zum schutz von maschinenelementen vor verschleiss und korrosion

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2929510A1 (de) * 1978-07-21 1980-01-31 Suisse Horlogerie Rech Lab Tribologische schichten zum schutz von maschinenelementen vor verschleiss und korrosion

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