DE19948530A1 - Programmerzeugungsvorrichtung für Halbleiter-Testgeräte - Google Patents

Abstract

Eine Programmerzeugungsvorrichtung (1) für ein Halbleiter-Testgerät (10) führt die Erzeugung von Programmen aus, während verschiedene Arten von Informationen auf einem Bildschirm betrachtet werden können. Ein Benutzer wählt eine Ausführungssequenz für Befehle an einem Zielobjekt durch Bestimmung von Programmzellen aus, die in einem Sequenzbildungsfeld enthalten sind und wählt die in dem Halbleiter-Testgerät verwendeten Funktionen entsprechend diesen Befehlen und die der Funktion zugehörigen Parameter unter Verwendung eines Funktionswahlfeldes aus.

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft eine Programmerzeugungsvorrichtung für ein Halbleiter-Testgerät, die Bauelement-Testprogramme erzeugt, die auf dem Halbleiter-Testgerät verwendbar sind.

Halbleiter-Testgeräte, die festgelegte Betriebstests verschiedener Halbleiter- Bauelemente ausführen, sind bekannt. Beispielsweise wird ein jedem Typ Halblei­ terbauelement angepasstes Halbleiter-Testgerät verwendet, wenn ein Halbleiter­ speicher, ein Logik-IC, ein Linear-IC in dem Testgerät als zu testendes Bauelement verwendet wird.

Diese verschiedenen Arten von Halbleiter-Testgeräten führen festgelegte Funktionstests oder DC-Tests durch Ausführung festgelegter Bauelement-Test­ programme aus, die durch einen Benutzer erzeugt wurden. Eine Steuervorrichtung, durch die der Benutzer verschiedene Betriebsbefehle eingibt, und welche Tester­ gebnisse anzeigt, ist mit dem Halbleiter-Testgerät verbunden.

Im Allgemeinen wird ein Computer als die Steuervorrichtung verwendet. Zu­ sätzlich zu den Funktionen der Steuerung des Halbleiter-Testgerätes hat er Funk­ tionen, für den Benutzer Bauelement-Testprogramme zu erzeugen und wird als Programmerzeugungsvorrichtung verwendet. Die Prozedur, mit der der Benutzer die Steuervorrichtung verwendet, um Bauelement-Testprogramme zu erzeugen, ist die gleiche, wie das Verfahren zur Erzeugung von Programmen zur allgemeinen Benutzung. Zunächst wird ein Quellprogramm mittels eines Editors geschrieben. Dann wird aus dem Quellprogramm unter Verwendung eines Compilers ein Objekt­ programm erzeugt. Anschließend wird ein Debug-Vorgang an dem Objektpro­ gramm unter Verwendung eines Debuggers ausgeführt, um, wenn vorhanden, die Existenz von Fehlerpositionen festzustellen. Wenn Fehlerpositionen erfasst werden, wird der Compiler erneut verwendet, um ein Objektprogramm nach Korrektur der entsprechenden Positionen in dem Sourceprogramm mittels des Editors zu erzeugen. Diese Vorgänge der Quellprogrammerzeugung, Objektprogrammerzeugung und des Debugging werden wiederholt, bis es keine Fehlerpositionen mehr gibt.

Jedoch ist es bei dem oben beschriebenen herkömmlichen Halbleiter-Testge­ rät notwendig, exklusive Treiber zu haben, die eine Eingabe-/Ausgabesteuerung der Hardware spezifisch für das Halbleiter-Testgerät und das Lesen/Schreiben für Register ausführen, um verschiedene Betriebsbefehle auszuführen. Betriebssysteme (im folgenden "OS"), die ursprünglich durch Hersteller von Halbleiter-Testgeräten entwickelt wurden, wurden bisher als die Betriebssysteme durch die internen Prozessoren der Testgeräte verwendet. Aus diesem Grund bestand das Problem, dass viele Arbeitsstunden für die Betriebssystementwicklung erforderlich waren. Ferner besteht das Problem, das der Umfang des Betriebssystems auf eine große Größe wächst, da die ursprünglichen Betriebssysteme für Halbleiter-Testgeräte allgemein durch teilweise Änderung ihrer Kerne (kernels) oder Hinzufügung neuer Kerne unter Verwendung von Betriebssystemen für allgemeine Zwecke entwickelt worden sind.

Da ferner für das Halbleiter-Testgerät einzigartige Programme als die auf dem exklusiven Betriebssystem ausgeführten Bauelement-Testprogramme verwendet werden, besteht das Problem, dass Arbeit bei der Programmerzeugung benötigt wird, da der Benutzer, der die Bauelement-Testprogramme herstellt, nach ver­ schiedenen Befehlen und Funktionen, die spezifisch für die Bauelement-Testpro­ gramme sind, mittels Referenzhandbüchern suchen muss, bis er die gewünschten Funktionen realisiert.

Da ferner das, was der Benutzer direkt herstellen kann, ein Quellprogramm für das Bauelemente-Testprogramm ist, nachdem Fehlerpositionen in dem Objektpro­ gramm mittels eines Debug-Vorgangs erfasst wurden, ist es notwendig, die Positio­ nen entsprechend diesen Fehlern in dem Quellprogramm unter Verwendung eines Editors zu korrigieren und dann das Quellprogramm erneut in ein Objektprogramm mittels des Compilers umzuwandeln. Es besteht dann das Problem, dass viele Ar­ beitsstunden für diese Reihe von Debug-Vorgängen in Fällen benötigt werden, in denen viele Fehlerpositionen vorhanden sind.

Die vorliegende Erfindung wurde unter Berücksichtigung dieser Punkte erzielt. Es ist eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine Programmerzeugungsvor­ richtung für Halbleiter-Testgeräte vorzuschlagen, welche die zur Entwicklung eines Betriebssystems und zum Testen der Programme erforderliche Arbeit verringern und die Debug-Vorgänge vereinfachen kann.

In einem bevorzugten Ausführungsbeispiel ermöglicht es eine erfindungsge­ mäße Programmerzeugungsvorrichtung für ein Halbleiter-Testgerät, die Ausfüh­ rungssequenz der in einem Programm enthaltenen Befehle einfach durch Wahl der Positionen von auf einem Sequenzwahlfeld angezeigten Programm Zellen zu wählen und die Funktionen zum Halbleitertest, die der Programminhalt sind, durch Auswahl aus mehreren auf den Funktionswahlfeldern angezeigten Funktionen auszuwählen. Wenn für diese Funktionen Parameter erforderlich sind, ermöglicht die endungsgemäße Programmerzeugungsvorrichtung für ein Halbleiter-Testge­ rät die Ausführung dieser Einstellungen auf den Funktionswahlfeldern. Da es möglich ist, die Erzeugung eines Programms auszuführen, während man verschie­ dene Arten von auf den Schirmen angezeigten Information praktisch ohne die Not­ wendigkeit der Bezugnahme auf Handbücher oder dergleichen betrachtet, ist es daher möglich, die zur Programmherstellung erforderliche Arbeit wesentlich zu ver­ ringern.

Vorzugsweise wird ein Programm als ein Objekt durch Erzeugung individueller Gruppen erzeugt bestehend aus 1) festgelegtem Code entsprechend durch die Funktionswahleinheit gewählten Funktionstypen und 2) Parameterwerten, die durch eine Parameter-Berechnungseinheit entsprechend diesen Funktionen in ein Aus­ führungsformat umgewandelt wurden, wobei diese Gruppen dann durch eine Se­ quenzbildungseinheit in eine Ausführungssequenz zusammengesetzt werden. Bei einer Programmerzeugung dieser Art ist es möglich, ein Programm zu erhalten, das direkt ohne Ausführung eines Compiliervorgangs ausgeführt werden kann. Die Ar­ beitsstunden, die für Debug-Vorgänge erforderlich sind, können daher merklich ver­ ringert werden, da bei der Ausführung des Programm-Debugging ein gemeinsames Programm als Objekt sowohl für das Editieren als auch für das Debuggen ver­ wendet wird.

Ferner ist es vorteilhaft, dass die den Programmbefehlen zugehörigen Funk­ tionen und die begleitenden Parameter den Funktionen der Programmiersprache C bzw. deren zugehörigen Parametern entsprechen. Die Erzeugung von Programmen unter Verwendung der Sprache C macht es möglich, Programme zu erzeugen, die unter Verwendung beinahe jedes Betriebssystems oder Prozessors zur allgemei­ nen Verwendung ausgeführt werden können, so dass beinahe keine Arbeitsstun­ den bei deren Entwicklung im Vergleich zur Entwicklung und Verwendung von Be­ triebssystemen spezifisch für ein Halbleiter-Testgerät erforderlich sind.

Ferner ist es bevorzugt, dass eine Debug-Ausführungseinheit vorgesehen ist, um Debug-Vorgänge durch Ausführung des zur Erzeugung vorgesehenen Pro­ grammes auszuführen. Da es dann möglich wird, das erzeugte Programm in seiner Originalform auszuführen, kann die Debug-Arbeit paralell mit der Programmerzeu­ gung und der Editier-Arbeit ausgeführt werden, wodurch es ermöglicht wird, die Arbeitseffizienz der Programmerzeugung zu steigern.

Da es möglich ist, ein erzeugtes Programm in seiner Originalform auszufüh­ ren, können ferner Unterbrechungspunkte zur Unterbrechung der Verarbeitung während Debug-Vorgängen in einem Teil der Programmzellen gesetzt werden, die bei der Programmerzeugung verwendet werden. Dies macht es möglich, eine effi­ zientere Programmerzeugung auszuführen, die das Debuggen berücksichtigt. Da das Setzen der Unterbrechungspunkte zur Zeit der Programmerzeugung oder des Editierens die Notwendigkeit beseitigt, die Unterbrechungspunkte bei jeder Gele­ genheit zu setzen, die während des Debuggens auftritt, wird es so möglich, die De­ bug-Arbeit effizienter auszuführen.

Weitere Aufgaben, Merkmale und Vorteile der vorliegenden Erfindung werden anhand der folgenden Beschreibung und den beiliegenden Zeichnungen deutlich, in denen:

Fig. 1 ein Diagramm ist, das eine Gesamtkonfiguration eines Halbleiter- Testgeräts zeigt, das Bauelement-Testprogramme verwendet, die mittels eines be­ vorzugten Ausführungsbeispiels der Erfindung erzeugt wurden;

Fig. 2 ein Diagramm ist, das eine vereinfachte Konfiguration der Bauele­ ment-Testprogramme zeigt;

Fig. 3 ein Diagramm ist, das eine Konfiguration einer Programmerzeugungs­ vorrichtung zeigt, die die Erzeugung von Bauelement-Testprogrammen unterstützt;

Fig. 4 ein Diagramm ist, das ein Anzeigebeispiel eines Anfangsbildes eines Hauptfensters zeigt;

Fig. 5 ein Diagramm ist, das ein Pull-Down-Menü entsprechend "Datei" zeigt;

Fig. 6, ein Diagramm ist, das ein Pull-Down-Menü entsprechend "Funktion" zeigt;

Fig. 7 ein Diagramm ist, das ein Pull-Down-Menü entsprechend "Variable" zeigt;

Fig. 8, ein Diagramm ist, das ein Pull-Down-Menü entsprechend "Unterbre­ chungspunkt" zeigt;

Fig. 9 ein Diagramm ist, das ein Anzeigebeispiel eines Hauptfensters im Falle der Auswahl von "neu" aus dem Pull-Down-Menü von "Datei" zeigt;

Fig. 10 ein Diagramm ist, das ein Anzeigebeispiel im Falle der Auswahl von "Zähler" aus einem Pull-Down-Menü entsprechend "Funktion" zeigt;

Fig. 11 ein Diagramm ist, das ein Anzeigebeispiel eines Variablendefiniti­ onsfensters zeigt, das eine Definition von Variablen ausführt;

Fig. 12 ein Diagramm ist, das ein Anzeigebeispiel eines Programms auf einem Hauptfenster zeigt; und

Fig. 13, das ein Anzeigebeispiel eines Variablenanzeigefensters im Falle der Auswahl von "Anzeige" aus einem Pull-Down-Menü entsprechend "Variable" zeigt.

Ein Halbleiter-Testgerät eines bevorzugten Ausführungsbeispiels der Erfin­ dung wird im folgenden unter Bezugnahme auf die Figuren beschrieben.

Halbleiter-Testgerät

Fig. 1 ist ein Diagramm, das eine Gesamtkonfiguration eines Halbleiter- Testgeräts zeigt, das Bauelement-Testprogramme verwendet, die mittels eines be­ vorzugten Ausführungsbeispiels der Erfindung erzeugt wurden. Eine in Fig. 1 ge­ zeigte Halbleiter-Testvorrichtung 100 weist eine Testgerät-Steuereinheit 110, einen Testgerätebus 120, eine Testeinheit 130 zur Ausführung festgelegter Tests bezüg­ lich eines zu testenden Bauelements 150 auf.

Die Testgerät-Steuereinheit 110 dient der Steuerung des Betriebes der Test­ einheit 130 und enthält einen Testgerät-Bustreiber, Code-Analyseprogramme und Bauelemente-Testprogramme, die auf einem festgelegten Betriebssystem arbeiten. Das auf dem Halbleiter-Testgerät 100 des bevorzugten Ausführungsbeispiels verwendete Betriebssystem ist ein Betriebssystem zur allgemeinen Verwendung, das wenigstens Funktionen zur Ausführung von Programmen aufweist, die die Programmiersprache C verwenden. Die Bauelement-Testprogramme sind Pro­ gramme, bei denen ein Benutzer angibt, welche Arten von Tests bezüglich des zu testenden Bauelements 150 unter Verwendung des Halbleiter-Testgeräts 100 aus­ geführt werden sollen und welche hauptsächlich durch den Benutzer selbst erzeugt werden.

Fig. 2 ist ein Diagramm, das eine Umrißkonfiguration eines Bauelement- Testprogrämms zeigt. Ein bei dem erfindungsgemäßen Halbleiter-Testgerät ver­ wendetes Bauelement-Testprogramm ist als ein Objekt vorgesehen, das mehrere Befehle 1, 2, . . . n aufweist, die in einer Ausführungssequenz angeordnet sind. Die Befehle sind Kombinationen festgelegter Betriebscodes (später "OP-Codes") ent­ sprechend Funktionen der Sprache C und bestimmter Werte verschiedener Para­ meter, die diese Funktionen besitzen. Diese Parameterwerte werden im Falle der Erzeugung eines Objektprogrammes in der Sprache C als bestimmte Werte der Parameter gewählt, die erzeugt wurden, um den Funktionen zu entsprechen. Die OP-Codes sind nicht die Sprache-C-Funktionen selber, sondern festgelegte Codes werden auf Eins-zu-Eins-Basis den Funktionen der Sprache C zugewiesen.

Zum Zeitpunkt der Bauelement-Testprogramm-Ausführung analysiert und wandelt ein Code-Analyseprogramm die in den Befehlen in einem Bauelement- Testprogramm enthaltenen OP-Codes in ausführbaren Code um. Wie oben beschrieben haben die Werte der Parameter, die in den Befehlen des Bauelement- Testprogramms enthalten sind, ein Format, das ohne jede Änderung ausgeführt werden kann, so dass das Code-Analyseprogramm lediglich eine Umwandlung der OP-Codes in ein ausführbares Format ohne Ausführung einer Verarbeitung zur Be­ rechnung von Parameterwerten oder dergleichen durchführt. Da die zur Ausführung eines Bauelement-Testprogramms durchgeführte Codeanalyse-Verarbeitung ledig­ lich eine Umwandlung in einen ausführbaren Code durch eine vergleichsweise einfache Verarbeitung ist, ist diese als ein Anwendungsprogramm ausbildet, die auf dem Betriebssystem läuft, und nicht auf der Stufe des Betriebssystems vorgese­ hen.

Ein Testgerät-Bustreiber ist zum Senden und zum Empfangen verschiedener Arten von Daten durch einen Testgerätebus 120 vorgesehen. Er führt eine Steue­ rung durch Senden von Einstelldaten verschiedener Arten, die bei Funktionstests, DC-Tests oder dergleichen erforderlich sind, an die Testeinheit 130 und durch Empfang von durch die Testeinheit 130 ausgegebenen Ergebnissen aus.

Die in Fig. 1 gezeigte Testeinheit 130 ist ausgebildet zur Ausführung ver­ schiedener Arten von Tests, wie Funktionstests, DC-Tests, Hochfrequenztests (RF- Tests) oder dergleichen bezüglich des zu testenden Bauelements 150 unter Steue­ rung durch die Testgerät-Steuereinheit 110. Die Testeinheit weist ein Register 132, einen Speicher 134 und eine Testausführungseinheit 136 auf.

Das Register 132 speichert Betriebsbefehle und verschiedene Arten von Da­ ten, die zwischen diesem und der Testgerät-Steuereinheit 110 gesendet und emp­ fangen werden. Die in dem Register 132 gespeicherten Daten werden zu der Test­ ausführungseinheit 136 entweder direkt oder über den Speicher 134 gesendet. Die durch die Testausführungseinheit 136 ausgegebenen Testergebnisse werden zu­ nächst in dem Register 132 oder dem Speicher 136 gespeichert und dann mittels des Registers 132 der Testgerät-Steuereinheit 110 zugeführt. Die Testausfüh­ rungseinheit 136 enthält verschiedene Komponenten (beispielsweise Mustergene­ rator, Zeitsteuergenerator, DC-Einheit), die benötigt werden, um Funktionstests des zu testenden Bauelements 150 auszuführen. Die Testausführungseinheit 136 er­ zeugt die verschiedenen Signale, die dem zu testenden Bauelement 150 tatsächlich eingegeben werden und misst die Daten, die an den Ausgangsanschlüssen des zu testenden Bauelements anliegen.

Auf diese Art und Weise besitzt ein auf einem Halbleiter-Testgerät 100 dieses Ausführungsbeispiels verwendetes Bauelement-Testprogramm eine Struktur, die grundsätzlich der der Sprache C entspricht. Bei der Ausführung können die ge­ wünschten Testvorgänge einfach durch Analyse der in den Befehlen enthaltenen OP-Codes ausgeführt werden. Daher besteht keine Notwendigkeit für ein Betriebs­ system, das einzigartige Kerne entsprechend dem Bauelement-Testprogrammen enhält, sondern es kann ein allgemein übliches Betriebssystem verwendet werden, das die Sprache C ausführen kann. Aus diesem Grunde werden beinahe keine Ar­ beitsstunden zur Entwicklung des Betriebssystems benötigt und es wird verhindert, dass das Betriebssystem in seinem Umfang groß wird, da bei der Entwicklung keine Kerne hinzugefügt werden.

Programmerzeugungsvorrichtung

Als nächstes wird das Verfahren zur Erzeugung von Bauelement-Testpro­ grammen beschrieben, die auf dem oben erwähnten Halbleiter-Testgerät 100 aus­ geführt werden. Fig. 3 ist ein Diagramm, das eine Konfiguration einer Programm­ erzeugungsvorrichtung 1 zeigt, die die Erzeugung von Bauelement-Testprogram­ men unterstützt. Da bei der normalen Praxis die Erzeugung von Bauelement-Test­ programmen unter Verwendung einer Workstation ausgeführt wird, die mit dem Halbleiter-Testgerät verbunden ist, und auf der der Benutzer verschiedene Be­ triebsbefehle eingibt und auf der die Testergebnisse angezeigt werden, wird die in Fig. 3 gezeigte Programmerzeugungsvorrichtung unter Verwendung einer solchen Workstation realisiert.

Wie in Fig. 3 gezeigt ist, ist die Programmerzeugungsvorrichtung 1 dieses Ausführungsbeispiels unter Verwendung einer Programmverarbeitungseinheit 10, die durch Ausführung verschiedener in einem Speicher gespeicherte Programme durch einen Prozessor realisiert ist, einer Anzeigeeinheit 30, die eine Mensch- Maschine-Schnittstelle mit Benutzern realisiert, die die Bauelement-Testprogramme erzeugen, einer Tastatur 32, einer Maus 34 und einer Plattenspeichereinheit 36, die die erzeugten Programme speichert konfiguriert.

Die oben erwähnte Programmerzeugungsvorrichtung 10 weist einen Sequenzeditor 12 auf, der auf einem Mehrzweck-Betriebssystem 28 arbeitet. Dieser Sequenzeditor 12 enthält eine Debugg-Ausführungseinheit 20, die benötigt wird, um die Debugg-Arbeit bei den Testprogrammen auszuführen, weiterhin eine Sequenzbildungseinheit 14, die zur Erzeugung und zum Editieren von Bauelementtestprogrammen erforderlich ist, eine Funktionswahleinheit 16 und eine Parameterberechnungseinheit 18. Das Mehrzweck-Betriebssystem, das oben erwähnt wurde, enthält auch eine Bearbeitungseinheit 26 für eine grafische Benutzerschnittstelle (GUI). Die Eingabe und Ausgabe verschiedener Arten von Daten an und von dem Benutzer wird durch die GUI bei Operationen durch die Sequenzbildungseinheit 14, die Funktionswahleinheit 16 und die Debugg- Ausführungseinheit 20, aber nicht bei Operationen durch die Parameterberechnungseinheit 18 ausgeführt. Wenn das Betriebssystem die GUI- Funktionen nicht unterstützt, können die GUI-Funktionen durch ein Anwendungsprogramm unterstützt werden, das auf dem Betriebssystem läuft. Der Benutzer führt durch Verwendung der GUI-Funktionen die notwendigen Eingabevorgänge durch direkte Eingabe verschiedener Arten von Einstelldaten mittels der Tastatur 32 oder durch Anklicken festgelegter Positionen auf dem Schirm mittels einer Maus 34 aus, während er festgelegte Bearbeitungsansichten auf der Anzeigeeinheit 30 betrachtet.

Im Folgenden wird einen bestimmte Prozedur in dem Fall beschrieben, wenn der Benutzer die Erzeugung und Fehlerprüfung (Debugging) eines Bauelementtestprogramms unter Verwendung der Programmerzeu­ gungsvorrichtung 1 ausführt. Ein Tastenfeld (Taste) zum Starten des Sequenzeditors 12 wird auf dem Schirm der Anzeigeeinheit 30 angezeigt. Der Benutzer führt den Start des Sequenzeditors durch Anklicken dieser Taste mit der Maus 34 aus. Das Betriebssystem 28 überwacht den Betriebszustand auf dem Schirm mittels der GUI-Verarbeitungseinheit 26 und startet den Sequenzeditor 12, wenn die Starttaste angeklickt wird. Die Programmerzeugungsvorrichtung 1 geht dann in einen Zustand über, wo sie die Erzeugungs- und Editierarbeit von Bauelementtestprogrammen und die Debugg-Arbeit mittels Sequenzeditor 12 ausführt.

Zunächst zeigt der Sequenzeditor 12 das Anfangsbild auf dem Hauptfenster unmittelbar nach dem Starten an. Fig. 4 ist ein Diagramm, das ein Anzeigebeispiel einer anfänglichen Schirmanzeige eines Hauptfensters zeigt. Verschiedene Gegenstände wie "Datei", "Editor", "Erzeugen", "Funktion", "Variable" und "Unterbrechungspunkt" sind in der Menüleiste des Anfangsbildes des Hauptfensters enthalten. Wenn einer der Gegenstände durch den Benutzer angeklickt wird, wird ein Pull-Down-Fenster entsprechend diesem Gegenstand angezeigt. Das Folgende ist eine einfache Beschreibung der Pull-Down-Menüs für ausgewählte Gegenstände.

Fig. 5 ist ein Diagramm, das ein Pull-Down-Menü entsprechend "Datei" zeigt. "Datei" ist vorhanden zum Eingeben von Befehlen wie dem Speichern, Lesen und Drucken von Programmen. Beispielsweise enthält dieses Pull-Down-Menü "Neu", "Öffnen", "Speichern", "Drucken" und "Schließen". "Neu" wird im Fall der neuen Erzeugung eines Bauelementtestprogramms (im Folgenden einfach als "Programm" bezeichnet) gewählt. "Speichern" wird in dem Fall des Speichern eines erzeugten Programms gewählt. "Öffnen" wird im Falle des Lesens, Korrigierens oder dergleichen eines gespeicherten Programms ausgewählt.

Fig. 6 ist ein Diagramm, das ein Pull-Down-Menü entsprechend "Funktion" zeigt. "Funktion" ist zur Bezeichnung von Funktionen gedacht, die der detaillierte Inhalt der Befehle während der Erzeugung eines Programms sind. "Berechnen", "Steuerung", "Zähler", "DC", "DSP", "RF", "System-E/A" und dergleichen sind enthalten. Jeder dieser Gegenstände hat mehrere wählbare Funktionen, die in Gruppen aufgeteilt sind. Wenn eine der Funktionen aus dem Pull-Down-Menü ausgewählt wird, wird eine Funktionswahl-Bildschirmanzeige angezeigt, die mehrere Funktionen enthält, die zu dem Gegenstand gehören, so dass aus diesen eine gewünschte Funktion ausgewählt werden kann. Beispielsweise enthält "Berechnen" verschiedene Funktionen zur Verarbeitung der Berechnung numerischer Werte. "Steuern" enthält verschiedene Funktionen zur Steuerung von Programmen (beispielsweise "wenn" und "für"). "Zähler" enthält verschiedene Funktionen zur Steuerung von Zählerarten. "DC", "DSP" und "RF" enthalten verschiedene Funktionen zur Steuerung einer DC-Einheit, einer DSP-Einheit und einer RF-Einheit (die nicht in der Figur gezeigt sind), die in der Testausführungseinheit 136 des Halbleiter-Testgeräts 100 enthalten sind.

Auf diese Weise kann durch Anzeige der wählbaren Funktionen, d. h. Befehle, die schon in Gruppen aufgeteilt sind, der Benutzer diejenigen, die dieser wünscht, daraus zur Verwendung auswählen. Somit kann ein Programm auch von einem Benutzer, der keine Erfahrung in der Programmerzeugung hat, erzeugt werden, ohne die Mühe des Suchens nach Funktionen, die die gewünschten Operationen ausführen, durch Nachschlagen in Handbüchern oder dergleichen. Bestimmte Beispiele von Bildschirmanzeigen, die nach Auswahl der Gegenstände aus den Pull-Down-Menüs angezeigt werden, sind im Folgenden beschrieben.

Fig. 7 ist ein Diagramm, das ein Pull-Down-Menü entsprechend "Variable" zeigt. Es kann beispielsweise "Definieren" zur Definition von in Programmen verwendeten Variablen und "Anzeigen" zum Anzeigen des Inhalts der Variablen enthalten. Fig. 8 ist ein Diagramm, das ein Pull-Down-Menü entsprechend "Unterbrechungspunkt" zeigt. Es kann beispielsweise "Alles löschen" zum Löschen aller gesetzten Unterbrechungspunkte zum Debuggen enthalten. Das Setzen der Unterbrechungspunkte wird später beschrieben.

Programmerzeugungsvorgänge

Im Folgenden wird eine Beschreibung der Prozedur zur Erzeugung eines neuen Programms beginnend von der anfänglichen Bildschirmanzeige des Hauptfensters unmittelbar nach dem Start angegeben.

Im Falle der Erzeugung eines vollständig neuen Programms klickt der Benutzer beispielsweise "Datei" in der Menüleiste des in Fig. 4 gezeigten Hauptfensters an und klickt dann, nachdem das in Fig. 5 gezeigte Pull-Down- Menü angezeigt wird, "Neu" an, das in dem Pull-Down-Menü enthalten ist.

Fig. 9 ist ein Diagramm, das ein Anzeigebeispiel eines Hauptfensters in dem Fall zeigt, wenn "Neu" aus dem Pull-Down-Menü für "Datei" ausgewählt wurde. Wenn, wie in Fig. 9 gezeigt ist, "Neu" aus dem Pull-Down-Menü ausgewählt wird, wird ein Ausführungs-Steuertasten-Anzeigeabschnitt 200 und ein Programmanzeigeabschnitt 210 neu auf dem Hauptfenster angezeigt. Das Hauptfenster, das den Programmanzeigeabschnitt 210 enthält, entspricht einem Sequenzbildungsfeld.

Der Ausführungs-Steuertasten-Anzeigeabschnitt 200 enthält die Tastenfelder für "Debuggen", "Editieren", "Start", "Zurücksetzen", "Fortsetzen", "Nächster" und "Schritt". Bei der Editierarbeit zur neuen Erzeugung eines Programms oder zur Hinzufügung von Korrekturen nach dem Auslesen eines registrierten Programmes, das bereits erzeugt wurde, wird die "Editieren"-Taste ausgewählt und die Arbeit wird dann mit der Bildung der Ausführungssequenz für das Programm unter Verwendung der Sequenzbildungseinheit 14 begonnen. Die anderen Tasten als "Editieren" sind hauptsächlich zum Debuggen gedacht. Die detaillierten Vorgänge, die ausgeführt werden, wenn jede dieser ausgewählt wird, werden später beschrieben. Tasten, die zu diesem Zeitpunkt nicht ausgewählt werden können, sind in diesem Fall in einem nicht angezeigten Zustand. Im Falle der Auswahl der "Editieren"-Taste sind beispielsweise nur die "Debuggen"- und "Start"-Tasten betriebsbereit und die anderen Tasten sind in einem nicht angezeigten Zustand, in dem sie nicht ausgewählt werden können.

Der Programmanzeigeabschnitt 210 enthält eine Testzelle 212 und Pro­ grammzellen 214. Die Testzelle 212 enthält eine Testnummer und den grundlegen­ den Inhalt des Tests. Ein zusammengefügtes Programm entspricht einer Testzelle 212. Die Programmzellen 214 enthalten eine Unterbrechungsspalte 216 an der lin­ ken Seite, der Sequenznummern und Programmbefehle entsprechend den Se­ quenznummern folgen. Die Unterbrechungsspalte ist zum Setzen von Unterbre­ chungspunkten während des Debuggens gedacht. Im Falle der neuen Erzeugung eines Programms ist der Schirm in einem Zustand, in dem ein Programmanzeige­ abschnitt 210 angezeigt wird, der mehrere Programmzellen enthält, in denen nur aufeinanderfolgende Sequenznummern eingesetzt wurden, wie in Fig. 9 gezeigt ist.

Wenn ein Programm aus diesem Zustand erzeugt wird, klickt der Benutzer mit der Maus 34 eine Programmzelle an, in der er oder sie einen Befehl eingeben möchte. Nachdem nur eine der Programmzellen in den Zustand eingetreten ist, in dem sie editiert werden kann, klickt der Benutzer "Funktion" an, was in der Menüleiste enthalten ist, um das in Fig. 6 gezeigte Pull-Down-Menü anzuzeigen, und wählt dann eine Funktionsgruppe aus, um die gewünschten Einstellungen vorzunehmen.

Fig. 10 ist ein Diagramm eines Anzeigebeispiels in dem Fall, wenn "Zähler" von einem Pull-Down-Menü für "Funktion", das in Fig. 6 gezeigt ist, ausgewählt wurde. Wenn eine der Funktionsgruppen aus dem "Funktions"-Pull-Down-Menü ausgewählt wird, zeigt die Funktionseinstelleinheit 16 auf dem Anzeigeschirm 30 ein Fenster (in dem in Fig. 10 gezeigten Beispiel ein "Zählerfenster") entspre­ chend der ausgewählten Funktionsgruppe als Funktionswahlfeld an.

In dem in Fig. 10 gezeigten Zählerfenster werden die mehreren in der Funk­ tionsgruppe "Zähler" enthaltenen Funktionen als eine Liste in einem Funktionsaus­ wahlbereich 300 oben links angezeigt. Wenn der Benutzer eine dieser Funktionen anklickt, zeigt die Funktionswahleinheit 16 eine einfache Erläuterung der ange­ klickten Funktion unterhalb des Funktionsauswahlbereichs 300 an und zeigt außer­ dem einen Parametereinstellbereich 302 zur Einstellung bestimmter Parameter­ werte entsprechend der angeklickten Funktion rechts neben den Funktionsaus­ wahlbereich 300 an.

Wenn beispielsweise "unzulässig lesen" als eine Funktion angeklickt wird, zeigt die Funktionswahleinheit 16 den Inhalt dieser Funktion als "Speichert die Testergebnisse für die angegebene Testnummer in der angegebenen Variable ab" an. Sie zeigt auch einen Parameterwahlbereich 302 an, der die Auswahl einer Testnummer (Test-Nr.) und die Auswahl einer Variable (Var) ausführen kann, wel­ che die dieser Funktion entsprechender Parameter sind.

Bei dem in Fig. 10 gezeigten Beispiel wird der feste Wert "4300" als die Testnummer gewählt und "unzulässige Daten" werden als die Variable gesetzt, die die Testresultate hält. Da es, wenn die Variablen verwendet werden, notwendig ist, die Größe und den Typ der Variablen anzugeben, ist es bevorzugt, dass eine ausschließliche Variableneinstellungs-Schirmdarstellung angezeigt wird und dass eine Auswahl aus Variablen gemacht werden soll, für welche die Größe und der Typ schon bestimmt wurden. Wenn die Wahl von Variablen auf diese Weise ausgeführt wird, ist es möglich, vorzeitig die Erzeugung von Fehlern zu vermeiden, die auftreten, wenn Variablen verwendet werden, für die Größe und Typ noch nicht bestimmt wurden.

Fig. 11 ist ein Anzeigebeispiel eines Variablendefinitionsfensters (Fenster Variablendefinition) zur Ausführung der Definition von Variablen. Es ist ein be­ stimmtes Beispiel eines Fensters, das angezeigt wird, wenn die "Auswahl"-Taste in dem Parameterwahlbereich 302 in dem in Fig. 10 gezeigten Fenster angeklickt wird. Die Typen einstellbarer Variablen sind Benutzer (Benutzervariable), GLOBAL (reellzahlige Systemvariablen) und FK (logische Systemvariablen). Wenn die Taste entsprechend dem Variablentyp, den der Benutzer definieren möchte, angeklickt wird, wird der Inhalt der Variable, die dann definiert wird, in einer Variablentabelle angezeigt. Beispielsweise wurde "unzulässige Daten" schon mit dem Inhalt "einer Größe von 1, einem Typ ganzzahlig (int) und dem Kommentar unzulässiger Da­ tenbereich definiert. Um die Variable "unzulässige Daten" mit diesem Inhalt zu verwenden, wird die Spezifikation der Variable in dem Parameterwahlbereich 302, der in Fig. 10 gezeigt ist, durch Anklicken der "OK"-Taste unten links in dem in Fig. 11 gezeigten Variableneinstellfeld ausgeführt.

Wenn es gewünscht ist, den Inhalt einer Variable, die schon definiert wurde, zu ändern, klickt der Benutzer die Variable, deren Inhalt geändert werden soll, aus der Auswahl in der Variablentabelle an. Dies zeigt den definierten Inhalt dieser Va­ riable in einem Inhaltsdefintions-Eingabebereich 400 an. Nach der gewünschten Änderung des Variableninhalts macht der Benutzer die Inhaltsänderung durch An­ klicken der "Ändern"-Taste wirksam und klickt dann die "OK"-Taste.

Wenn der Benutzer eine neue Variable definieren und benutzen möchte, nachdem er den Namen, die Größe, Kommentare und den Typ der zu definieren­ den Variable in den Variableninhalts-Eingabebereich 400 eingegeben hat, klickt der Benutzer die "Hinzufügen"-Taste und dann die "OK"-Taste an, nachdem die Varia­ ble zu der Variablentabelle hinzugefügt wurde.

Wenn die "OK"-Taste unten links des Schirmes angeklickt wird, nachdem die Auswahl der in dem in Fig. 10 gezeigten Zählerfenster verwendeten Funktion und die Auswahl der Parameter entsprechend dieser Funktion abgeschlossen wurde, sendet die Funktionswahleinheit 16 den Inhalt der Auswahlen an die Sequenzbil­ dungseinheit 14. Die Sequenzbildungseinheit 14 wählt den Inhalt der Einstellungen, die als Anweisung in der Programmzelle 214 empfangen wurden, die zu der Zeit als Objekt der Einstellungen ausgewählt wurde, wenn Fig. 9 angezeigt wurde.

Auf diese Weise werden die in den Befehlen enthaltenen Funktionen und de­ ren Parameter in jeder der Programmzellen 214 für die Sequenznummern gewählt. Fig. 12 ist ein Diagramm, das ein Beispiel eines Programms zeigt, das durch Ausführung der Eingabe von Anweisungen entsprechend den Sequenznummern auf diese Art und Weise erzeugt wurde. Beispielsweise enthält die Sequenznum­ mer 21 eine Anweisung, die die Funktion "unzulässig lesen" enthält, die unter Ver­ wendung des in Fig. 10 gezeigten Zählerfensters gewählt wurde. Die Anweisun­ gen entsprechend den anderen Sequenznummern sind von dem gleichen Typ. Sie werden gewählt durch Ausführung der Auswahl einer Funktion und der Wahl der Parameter entsprechend der ausgewählten Funktion.

Während jedoch in dem Hauptfenster ein Programm dieses Ausführungsbei­ spiels das in Fig. 12 gezeigte Anzeigeformat hat, um das Editieren für den Benut­ zer einfacher zu machen, wird es der Programmerzeugungs-Verarbeitungseinheit 10 als ein in Fig. 2 angegebenes Objekt gehandhabt. Das heißt, zu dem Zeit­ punkt, wenn die Funktionen und der Parameter für die Anweisungsnummern aus­ gewählt werden, bildet die Sequenzwahleinheit 14 eine Anordnung von Befehlen an, die eine Reihenfolge entsprechend den Sequenznummern hat, und die Funk­ tionswahleinheit 16 wandelt diese in OP-Codes mit einer Eins-zu-Eins-Entspre­ chung zu den Funktionen um. Die Parameter-Berechnungseinheit 18 berechnet be­ stimmte Werte für die Zeit der Ausführung entsprechend den Funktionen und Pa­ rametern aus, die durch die Funktionswahleinheit 16 gewählt wurden. Auf diese Weise wird eine Anordnung von Befehlen, die OP-Codes, die deren Reihenfolge und Inhalt darstellen, und die spezifischen Werte der Parameter gewählt und ein Bauelement-Testprogramm wird als ein in Fig. 2 angegebenes Objekt erzeugt.

In dem Fall, wenn die Parameterwerte der Funktionen als feste Werte gewählt werden, werden deren bestimmte Werte unmittelbar durch Berechnung mittels der Parameter-Berechnungseinheit 18 gewählt. Wenn jedoch die Parameterwerte durch Variablen bestimmt werden, können deren bestimmte Werte nicht bestimmt werden, außer während der Programmausführung. So werden für solche Parameter die bestimmten Werte durch die Parameter-Berechnungseinheit 18 dann berechnet, wenn der Programmausführungsbefehl gegeben wird.

Ein durch die oben beschriebene Prozedur erzeugtes Programm kann durch Angabe von "Speichern" abgespeichert werden, was in dem Pull-Down-Menü ent­ sprechend "Datei" der Menüliste des Hauptfensters enthalten ist. Wenn durch den Benutzer ein Speicherbefehl gegeben wird, speichert der Sequenzeditor 12 das Bauelement-Testprogramm in dem in Fig. 2 gezeigten Format auf der Plattenspei­ chereinheit 36.

Auf diese Weise werden bei diesen Ausführungsbeispielen verschiedene Ein­ stellfelder auf der Anzeigeeinheit 30 unter Verwendung der durch das Betriebs­ system 28 verarbeiteten GUI-Funktionen angezeigt. Der Benutzer kann die Typen der Funktionen und die entsprechenden Parameter auswählen und die Sequenz­ nummern setzen, die die Reihenfolge der Ausführung der Funktionen entsprechend dem Inhalt dieser Anzeigen bestimmt und kann so auf einfache Art und Weise ein Bauelement-Testprogramm in einem interaktiven Stil erzeugen, während er die An­ zeigeschirme betrachtet. Dies kann die zur Programmherstellung erforderliche Ar­ beit wesentlich verringern. Da ferner die Bauelement-Testprogramme als Objektprogramme in dem in Fig. 2 gezeigten Format und nicht als Quellprogramme erzeugt werden, besteht keine Notwendigkeit, einen Prozess zu haben, der ein Objektprogramm unter Verwendung eines Compilers immer dann erzeugt, wenn ein Programm editiert wird, was die Arbeit zur Programmherstellung weiter verringert. Da ferner Testprogramme nur als Objekt erzeugt werden und kein Quellprogramm existiert, besteht ein Vorteil, dass das Programmmanagement vereinfacht ist.

Programm-Debugvorgang

Anschließend wird eine Beschreibung des Operationsvorgangs zum Debug­ gen eines Programms in dem Zustand angegeben, der in dem Hauptfenster wie vorher beschrieben, angezeigt wird.

In einem Programm dieses Ausführungsbeispiels kann der Vorgang des Set­ zens von Unterbrechungpunktew während der Programmherstellung oder der Edi­ tierarbeit einfach durch Anklicken der Unterbrechungspunktspalte 216 an der linken Seite einer Programmzelle 214 ausgeführt werden. Dies zeigt eine festgelegte Mar­ kierung an, die angibt, dass dies ein Unterbrechungspunkt ist (der Stern in dem in Fig. 12 gezeigten Beispiel). Dieser Vorgang kann zum Zeitpunkt der Programm­ herstellung ausgeführt werden und kann auch nach dem Lesen und der Anzeige eines Programms ausgeführt werden, das nach Beendigung der Editierarbeit abge­ speichert wurde. Wenn der Benutzer wünscht, die gesetzten Unterbrechungspunkte zu löschen, kann er oder sie "alles löschen" anklicken, was in dem Pull-Down-Menü von "Unterbrechungspunkte" in der Menüleiste wie oben beschrieben enthalten ist.

Nachdem die Unterbrechungspunkte auf diese Art und Weise gesetzt wurden, gibt der Benutzer durch Anklicken der "Debug"-Taste oder der "Start"-Taste, die in dem Ausführungssteuerungs-Tastenanzeigeabschnitt 200 des Hauptfensters enthalten sind, einen Befehl, um den Debug-Vorgang zu beginnen.

Die "Debug"-Taste ist gedacht zum Eingeben eines Befehls zum Starten des Debug-Vorgangs. Wenn die Taste angeklickt wird, führt die Debug- Ausführungseinheit 20 das Programm entsprechend der zu diesem Zeitpunkt angezeigten Testnummer in der Reihenfolge beginnend von der niedrigsten Sequenznummer aus und unterbricht die Ausführung, wenn es eine Sequenznummer erreicht, wenn dort ein Unterbrechungspunkt gesetzt wurde.

Die "Start"-Taste ist gedacht zum Eingeben eines Befehls zum Beginn des Debug-Vorgangs nach dem Abspeichern eines gerade editierten Programms. Die Vorgänge nach der Ausführung des Programmes auf einem Zielobjekt sind die gleichen wie im Falle des oben beschriebenen Anklickens der "Debug"-Taste.

In dem Debug-Modus werden die "Zurücksetzen"-, "Fortsetzen"-, "Nächste"- und "Schritt"-Tasten in dem angezeigten Zustand zusätzlich zu den oben beschrie­ benen "Debug"- und "Start"-Tasten sein, so dass die Funktionen entsprechend diesen Tasten verwendet werden können.

Die "Zurücksetzen"-Taste wird verwendet, um den Ablauf des Programmes während der Ausführung anzuhalten. Die "Fortsetzen"-Taste wird verwendet, um Vorgänge, die unterbrochen wurden, an der Sequenznummer erneut zu starten, an der ein Unterbrechungspunkt gesetzt wurde. Die "Nächste"-Taste wird verwendet, um die Programmausführungsposition einen Schritt weiter zu bewegen. Wenn ein Abzweigungsbefehl (gosub) in einer Unterroutine in dem Programm enthalten ist, wird der Abzweigungsbefehl als ganzer einschließlich den Prozessen in der Unter­ routine als ein Schritt behandelt. Im Gegensatz dazu wird die "Schritt"-Taste auch verwendet, um die Programmausführungsposition einen Schritt vorwärts zu bewe­ gen, aber wenn ein Abzweigungsbefehl zu einer Unterroutine vorhanden ist, wer­ den die Befehle in der Unterroutine auch als ein Schritt behandelt, so dass es mög­ lich ist, die Ausführung innerhalb der Unterroutine zu unterbrechen.

Während der oben beschriebenen Debug-Arbeit kann der Benutzer, um die momentanen Werte von Variablen an einem Punkt herauszufinden, wenn die Pro­ grammausführung an einer durch einen Unterbrechungspunkt bestimmten Position unterbrochen wurde, "Anzeigen" aus dem Pull-Down-Menü entsprechend "Varia­ ble" in der Menüleiste anklicken.

Fig. 13 ist ein Diagramm, das ein Anzeigebeispiel eines Variablenanzeige­ fensters zeigt, wenn "Anzeige" aus dem Pull-Down-Menü entsprechend "Variable" ausgewählt wurde.

Die Variablen in Verwendung werden in dem Variablentabellenbereich ange­ zeigt, wenn der Benutzer einen Variablentyp aus "Benutzer", "GLOBAL" und "FK" auswählt. Nachdem eine Variable, für die der Benutzer den Wert herausfinden möchte, angeklickt wurde, wenn der Benutzer die "Daten holen"-Taste, die im Fenster unten links angezeigt wird, anklickt, wird der Wert dieser Variable in dem Anzeigebereich unterhalb der Variablentabelle angezeigt. Wenn der Benutzer den Debug-Vorgang nach dem Prüfen der Variablenwerte auf diese Weise fortsetzen möchte, klickt er oder sie die "Schließen"-Taste, die unten rechts in dem Fenster angezeigt ist, an und klickt dann nach dem Schließen dieses Fensters die "Fortset­ zen"-Taste an, die in dem Ausführungssteuerungs-Tastaturanzeigeabschnitt 200 des Hauptfensters enthalten ist.

Um den Debug-Vorgang nach der Änderung eines Variablenwertes, der ge­ prüft wurde, fortzusetzen, klickt der Benutzer die "Daten wählen"-Taste nach dem direkten Eingeben des geänderten Wertes in das Eingabefeld "Daten ändern" an, um den der Änderung folgenden Wert der Variable an einem Ziel einzugeben. Dann klickt der Benutzer auf die gleiche Art und Weise, als wären die Variablenwerte nicht geändert wurden, die "Schließen"-Taste, die in dem Fenster unten rechts an­ gezeigt ist, an und klickt, nachdem das Fenster geschlossen ist, die "Fortsetzen"- Taste an, die in dem Ausführungssteuerungs-Tastenanzeigeabschnitt 200 des Hauptfensters enthalten ist.

Da ein Bauelement-Testprogramm als ein Objekt erzeugt wird, können auf diese Weise bei diesem Ausführungsbeispiel Unterbrechungspunkte während der Herstellung des Programms oder während der Editierarbeit gesetzt werden und Debugbefehle können direkt in das editierte Programm eingegeben werden, wäh­ rend Debugoperationen ausgeführt werden. So können die für Debug-Vorgänge (Debug-Operationen) benötigten Arbeitsstunden im Vergleich mit dem Fall we­ sentlich verringert werden, in dem Debug-Operationen auf die herkömmliche Art und Weise durch Ausführung eines Objektprogramms ausgeführt werden, während ein Quellprogramm editiert wird.

Die vorliegende Erfindung ist nicht auf das oben beschriebene Ausführungs­ beispiel beschränkt, sondern kann verschiedene Ausführungsbeispiele umfassen. Beispielsweise ist die Programmerzeugungsvorrichtung 1 bei diesem Ausführungs­ beispiel unter Verwendung einer Workstation realisiert, die mit einem Halbleiter- Testgerät 100 verbunden ist. Die Programmerzeugung kann jedoch auch unter Ver­ wendung eines Personalcomputers oder dergleichen ausgeführt werden, mit dem eine GUI-Verarbeitung möglich ist.

Claims (6)

1. Programmerzeugungsvorrichtung für ein Halbleiter-Testgerät aufweisend:
eine Sequenzbildungseinheit (14), die ein Sequenzbildungsfeld mit mehreren Programmzellen entsprechend einer Ausführungssequenz eines Programmes an­ zeigt und die, wenn eine der Programmzellen bestimmt wird, eine Ausführungsse­ quenz für Befehle an einem Zielobjekt in Übereinstimmung mit den Positionen der bestimmten Programmzellen erzeugt;
eine Funktionswahleinheit (16), die Funktionswahlfelder anzeigt, und welche, wenn mehrere vorher vorbereitete Funktionen zum Halbleitertest und Parameter entsprechend diesen Funktionen existieren, diese Parameter enthält und welche, wenn eine dieser Funktionen bestimmt wird, die bestimmten Funktionen entsprechend den Befehlen an einem Zielobjekt wählt und die Werte der zugehörigen Parameter wählt.

2. Programmerzeugungsvorrichtung für ein Halbleiter-Testgerät nach Anspruch 1, ferner aufweisend eine Parameter-Berechnungseinheit (18) zur Umwandlung der Parameterwerte der durch die Funktionswahleinheit (16) gewählten Funktionen in ein Ausführungsformat, zur Bildung von Gruppen festgelegter Codes entsprechend den Typen der durch die Funktionswahleinheit (16) gewählten Funktionen und der Werte der den Funktionen zugehörigen Parametern nach der Umwandlung in ein Ausführungsformat durch die Parameter-Berechnungseinheit (18), und zur Erzeugung eines Programmes als ein Objekt durch Anordnung der Gruppen in eine durch die Sequenzbildungseinheit (14) gebildete Ausführungssequenz.

3. Programmerzeugungsvorrichtung für ein Halbleiter-Testgerät nach Anspruch 1 oder 2, wobei die Funktionen entsprechend den Befehlen und die den Funktionen zugehörigen Parameter den Funktionen der Programmiersprache C beziehungsweise deren zugehörigen Parametern entsprechen.

4. Programmerzeugungsvorrichtung für ein Halbleiter-Testgerät nach Anspruch 2 oder 3, ferner aufweisend eine Debug-Ausführungseinheit (20) zur Ausführung von Debug-Operationen durch Ausführung des Programms, das Zielobjekt der Erzeugung ist.

5. Programmerzeugungssystem für ein Halbleiter-Testgerät nach Anspruch 4, wobei Unterbrechungspunkte zur Unterbrechung der Verarbeitung während Debug- Operationen in einem Teil der Programmzellen gesetzt werden können.

6. Programmerzeugungsvorrichfung für ein Halbleiter-Testgerät nach Anspruch 5, wobei das Setzen der Unterbrechungspunkte während der Programmerzeugung oder während des Editierens ausgeführt wird.