DE19928319C1 - Verfahren und Einrichtung zur Substratbeschichtung mittels Sputtern - Google Patents
Verfahren und Einrichtung zur Substratbeschichtung mittels SputternInfo
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Abstract
Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren und eine Einrichtung zur Hochtemperatur-Substratbeschichtung mittels Sputtern, wobei nach Substratanbringung an einem in einem Gehäuse (1) bewegbar angeordneten Substrathalter (4) eine Beheizung vorgenommen wird und unter Bewegen des Substrathalters (4) ein Sputtern vorgenommen wird. DOLLAR A Um in einem Verfahrensdurchlauf ein Substrat beidseitig beschichten zu können, ist erfindungsgemäß mindestens ein Substrat (3) derart an dem Substrathalter (4) angebracht, daß es an seinen beiden Seiten (3a, 3b) frei zugänglich ist und mit diesen Seiten beim Bewegen des Substrathalters an Öffnungen (8) und (9) ineinander gegenüberliegenden Wänden (6) und (7) des Gehäuses (1) vorbeiführbar. Die Beheizung erfolgt mittels Strahlungsbeheizung (14, 15) vom Gehäuse (1) aus, und das Sputtern wird mittels einer Targetanordnung mit zwei Targets (10) und (11) vorgenommen, die sich außerhalb des Gehäuses (1) vor den Öffnungen (8, 9) befinden.
Description
Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zur
Substratbeschichtung mittels Sputtern, bei dem nach Sub
stratanbringung an einem in einem Gehäuse bewegbar angeord
neten Substrathalter eine Beheizung und unter Bewegen des
Substrathalters ein Sputtern mittels einer Targetanordnung
vorgenommen wird.
Ein solches Verfahren ist der deutschen Offenlegungsschrift
DE 41 04 592 A1 entnehmbar. Zur Durchführung dieses bekannten
Verfahrens wird eine Einrichtung verwendet, die in einem Ge
häuse einen Substrathalter enthält, der als Drehteller aus
gebildet ist. Unterhalb des Drehtellers befindet sich eine
Anordnung zur Beheizung eines Substrats, das vor seiner Be
schichtung oben auf den Drehteller aufgebracht wird. Dem Sub
strat mit seiner zu beschichtenden Seite gegenüber befindet
sich ein Target, mit dem ein Sputtern erfolgt, nachdem das
Substrat ausreichend aufgeheizt worden ist. Das Sputtern er
folgt dabei unter Drehbewegung des Drehtellers zur Erzielung
einer gleichmäßigen Schicht, weil das Target außerhalb der
Flucht der Mittenachse des Drehtellers ausgerichtet schräg
zum Substrat verlaufend angeordnet ist. Mit dem bekannten
Verfahren bzw. mit der bekannten Einrichtung lassen sich Sub
strate nur auf einer Seite beschichten; soll auch die weitere
Seite des Substrats beschichtet werden, dann ist das Substrat
umgekehrt auf den Drehteller aufzulegen und ein zweiter Sput
tervorgang durchzuführen.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren der
eingangs angegebenen Art so fortzuentwickeln, daß mit ihm in
wirtschaftlich günstiger Weise eine beidseitige Beschichtung
eines Substrates in einem einzigen Sputterschritt vorgenommen
werden kann.
Zur Lösung dieser Aufgabe ist bei dem Verfahren der eingangs
angegebenen Art erfindungsgemäß mindestens ein Substrat der
art an dem Substrathalter angebracht, daß es an seinen beiden
Seiten frei zugänglich und mit diesen Seiten beim Bewegen des
Substrathalters an Öffnungen in einander gegenüberliegenden
eines den Substrathalter umfassenden Gehäuses vorbeiführbar
ist; die Beheizung erfolgt mittels Strahlungsbeheizung vom
Gehäuse aus, und das Sputtern wird mittels einer Tar
getanordnung mit zwei Targets vorgenommen wird, die sich au
ßerhalb des Gehäuses vor den Öffnungen befinden. Unter einem
Substrat wird dabei nicht nur beispielsweise ein einziger Wa
fer verstanden, der in einem Arbeitsschritt beidseitig be
schichtet werden soll, sondern auch ein Substrat-Verbund bei
spielsweise aus zwei Wafern, wenn diese jeweils nur an einer
Seite in einem Arbeitsschritt beschichtet werden sollen.
Ein wesentlicher Vorteil des erfindungsgemäßen Verfahrens be
steht darin, daß in einem einzigen Vorgang bzw. Schritt ein
Substrat beidseitig beschichtet werden kann, wodurch sich die
Beschichtung im Vergleich zu dem bekannten Verfahren
wirtschaftlich erheblich günstiger durchführen läßt. Dabei
ist der zusätzliche Aufwand vergleichsweise gering, weil im
wesentlichen lediglich eine Targetanordnung mit zwei Targets
zum Einsatz kommen muß. Ein weiterer wesentlicher Vorteil ist
darin zu sehen, daß aufgrund des benötigten nur einen
Sputterschrittes die Schichten auf beiden Seiten identische
Eigenschaften aufweisen, wenn gleichartige Targets verwendet
werden.
Bei dem erfindungsgemäßen Verfahren kann das Bewegen des Sub
strathalters in unterschiedlicher Weise ausgeführt werden;
als vorteilhaft wird es angesehen, wenn der Substrathalter
mit dem mindestens einen Substrat translatorisch oszillierend
an den Öffnungen vorbeigeführt wird. Läßt das verwendete
Target eine relativ langgestreckte Öffnung im Gehäuse zu,
dann können bei dieser Ausführungsform des erfindungsgemäßen
Verfahrens jeweils mehrere Substrate auf dem Substrathalter
gleichzeitig beidseitig beschichtet werden.
Besonders gute Arbeitsergebnisse lassen sich mit dem erfin
dungsgemäße Verfahren dann erreichen, wenn der Substrathalter
mit einer solchen Frequenz translatorisch oszillierend an den
Öffnungen vorbei geführt wird, daß während des Vorbeiführens
an den Öffnungen des Gehäuses die Substrattemperatur unverän
dert bleibt.
Bei einer anderen vorteilhaften Ausführungsform des erfin
dungsgemäßen Verfahrens wird der Substrathalter mit dem min
destens einen Substrat durch Drehbewegungen an den Öffnungen
vorbei geführt. Der Vorteil dieser Ausführungsform des erfin
dungsgemäßen Verfahrens besteht vor allem darin, daß die dazu
benötigte Einrichtung verhältnismäßig einfach herstellbar
ist.
Bei der eben beschriebenen Ausführungsform des erfindungsge
mäßen Verfahrens wird der Substrathalter vorteilhafterweise
mit einer solchen Drehzahl gedreht, daß während des Vorbei
führens an den Öffnungen des Gehäuses die Substrattemperatur
unverändert bleibt.
Die Strahlungsbeheizung kann bei dem erfindungsgemäßen Ver
fahren in unterschiedlicher Weise bewirkt werden; als beson
ders vorteilhaft wird es im Hinblick auf den Aufwand und die
Steuerbarkeit angesehen, wenn zur Strahlungsbeheizung eine
elektrische Heizung eingesetzt wird.
Aus der oben angegebenen Offenlegungsschrift DE 41 04 592 A1
ist auch eine Einrichtung zur Hochtemperatur-Substratbe
schichtung mittels Sputtern mit einer Substratheizung, mit
einem Gehäuse mit einem in ihm bewegbar gehaltenen Substrat
halter und mit einer Targetanordnung bekannt.
Gemäß einer weiteren Aufgabe der Erfindung soll eine solche
Einrichtung so verändert werden, daß mit ihr in einem einzi
gen Sputterschritt ein Substrat auf seinen beiden Seiten be
schichtet werden kann.
Zur Lösung dieser Aufgabe weist erfindungsgemäß der Substrat
halter eine Substrathalteeinrichtung mit einer derartigen
Ausgestaltung auf, daß ein Substrat an seinen beiden Seiten
frei zugänglich haltbar ist; in beiden dem Substrathalter
gegenüberliegenden Seiten des Gehäuses sind Öffnungen in
einer solchen Lage vorhanden, daß beim Bewegen des Substrat
halters das Substrat an den Öffnungen vorbei geführt wird;
die Targetanordnung besteht aus zwei Targets, die jeweils au
ßerhalb des Gehäuses vor den Öffnungen liegen, und die Sub
stratheizung ist von einer Strahlungsheizung des Gehäuses ge
bildet. Vorteilhaft ist die erfindungsgemäße Einrichtung vor
allem insofern, als sie mit vergleichsweise einfachen Mitteln
eine Beschichtung eines Substrates in einem Arbeitsschritt
auf seinen beiden Seiten zuläßt.
Bei der erfindungsgemäßen Einrichtung kann der Substrathalter
in unterschiedlicher Weise ausgebildet sein. Als vorteilhaft
wird es angesehen, wenn der Substrathalter ein innerhalb des
Gehäuses geführter Schlitten ist.
Hinsichtlich des Aufwandes zur Herstellung der erfindungsge
mäßen Einrichtung besonders günstig ist es, wenn der Sub
strathalter ein Drehteller ist und in mindestens einem Be
reich außerhalb seiner Mittenachse eine Substrathalteeinrich
tung in einer solchen Lage aufweist, daß beim Drehen des Sub
strathalters das Substrat an den Öffnungen vorbei geführt
wird.
Zur Strahlungsbeheizung kann die erfindungsgemäße Einrichtung
unterschiedlich ausgebildet sein, beispielsweise kann sie
durch ein in beliebiger Weise von außen beheiztes Gehäuse si
chergestellt sein. Aus Gründen einer kostengünstigen Herstel
lung und zur Erzielung einer guten Temperatursteuerung wird
es jedoch als besonders vorteilhaft angesehen, wenn die
Strahlungsheizung aus jeweils einer Heizmatte auf der Innen
seite der die Öffnungen aufweisenden Seiten des Gehäuses be
steht.
Bei der erfindungsgemäßen Einrichtung können die Öffnungen in
den einander gegenüberliegenden Seiten des Gehäuses in unter
schiedlicher Weise angeordnet sein, beispielsweise können sie
direkt einander gegenüberliegen. Als besonders vorteilhaft
wird es jedoch angesehen, wenn die Öffnungen diametral zuein
ander vorgesehen sind, weil sich in diesem Falle eine Ver
gleichmäßigung der Temperaturbelastung des Substrates durch
Wärmeabstrahlung über die beiden Öffnungen erzielen läßt.
Zur weiteren Erläuterung der Erfindung ist in
Fig. 1 ein Schnitt durch ein schematisch dargestelltes Aus
führungsbeispiel einer Einrichtung zur Durchführung des er
findungsgemäßen Verfahrens und in
Fig. 2 eine Draufsicht auf das Ausführungsbeispiel nach
Fig. 1 wiedergegeben; in
Fig. 3 ist ein Schnitt durch ein weiteres schematisch darge
stelltes Ausführungsbeispiel einer Einrichtung zur Durchfüh
rung des erfindungsgemäßen Verfahrens und in
Fig. 4 eine Draufsicht auf dieses Ausführungsbeispiel ge
zeigt.
Wie die Fig. 1 erkennen läßt, weist die dargestellte Ein
richtung 1 ein Gehäuse 2 auf, in dem ein Substrat 3 auf einem
Schlitten 4 in Richtung des Doppelpfeiles 5 translatorisch
oszillierend hin und her bewegt werden kann. Der Antrieb für
den Substrathalter ist der besseren Übersichtlichkeit in der
Figur nicht gezeigt.
Die Fig. 1 läßt ferner erkennen, daß das Gehäuse 2 an seinen
einander gegenüberliegenden Seiten 6 und 7 jeweils eine Öff
nung 8 und 9 aufweist, an denen der Substrathalter 4 mit dem
Substrat 3 bei seiner translatorisch oszillierenden Bewegung
vorbeigeführt wird. Vor den Öffnungen 8 und 9 liegt jeweils
ein ebenfalls nur schematisch dargestelltes Target 10 bzw.
11.
Auf der inneren Wandung 12 der Gehäuseseite 6 und der inneren
Wandung 13 der Seite 7 des Gehäuses befindet sich jeweils
eine Heizmatte 14 bzw. 15, die in nicht dargestellter Weise
mit elektrischen Anschlüssen versehen ist und eine elektri
sche Heizung darstellen. Von diesen Heizmatten 14 und 15 wird
Wärmestrahlung abgegeben und dadurch das jeweilige Substrat 3
auf die erforderliche Temperatur erwärmt.
Ist das Substrat 3 ausreichend aufgeheizt, dann werden die
Targets 10 und 11 aktiviert, und es beginnt der eigentliche
Sputtervorgang. Dabei wird das Substrat 3 mit dem Substrat
halter 4 auf dem Schlitten hin und her bewegt, wobei eine
solche Frequenz gewählt wird, daß beim jeweiligen Vorbeifüh
ren des Substrates 3 an den Öffnungen 8 und 9 keine nennens
werte Abkühlung eintritt, also die Temperatur erhalten
bleibt.
Wie die Fig. 2 deutlich erkennen läßt, sind die Öffnungen 8
und 9 in den Seiten 6 und 7 des Gehäuses 2 als längliche
Rechtecke ausgebildet, wozu eine entsprechend geometrisch
ausgestaltetes Traget 10 bzw. 11 gehört. Sind die Substrate
im Vergleich zur Öffnung 8 bzw. 9 relativ klein, dann können
mit dem Schlitten parallel mehrere Substrate an den Öffnungen
8 und 9 vorbeigeführt werden.
Die Einrichtung nach den Fig. 3 und 4 unterscheidet sich
von der nach den Fig. 1 und 2 dadurch, daß der Substrat
halter als ein Drehteller 20 ausgebildet ist, an dem mittels
einer Substrataufnahme 21 ein Substrat 22 derart gehalten
ist, daß es an seinen beiden Seiten 23 und 24 frei zugänglich
ist. Wie insbesondere die Fig. 3 zeigt, ist der Drehteller
20 auf einer Achse 25 gelagert.
Die Substrataufnahme 21 mit dem Substrat 22 ist so an dem
Drehteller 20 positioniert, daß bei der Drehbewegung das Sub
strat an Öffnungen 26 bzw. 27 in Gehäusewänden 28 und 29 vor
beigeführt wird. Vor diesen Öffnungen 26 und 27 liegen Tar
gets 30 und 31, mittels denen eine Beschichtung des Substra
tes 22 auf seinen beiden Seiten 23 und 24 erfolgt.
Die Fig. 4 zeigt, daß die Öffnungen 26 und 27 bei diesem
Ausführungsbeispiel kreisrund sind entsprechend der Bemessung
des Substrates 22.
Claims (11)
1. Verfahren zur Substratbeschichtung mittels
Sputtern, bei dem
- - nach Substratanbringung an einem in einem Gehäuse (1) be wegbar angeordneten Substrathalter (4) eine Beheizung vor genommen wird und
- - unter Bewegen des Substrathalters (4) ein Sputtern mittels einer Targetanordnung (10, 11) vorgenommen wird,
- - mindestens ein Substrat (3) derart an dem Substrathalter (4) angebracht wird, daß es an seinen beiden Seiten (3a, 3b) frei zugänglich ist und mit diesen Seiten (3a, 3b) beim Bewegen des Substrathalters (4) an Öffnungen (8, 9) in einander gegenüberliegenden Wänden (6, 7) des den Sub strathalter (4) umfassenden Gehäuses (1) vorbeiführbar ist,
- - die Beheizung mittels Strahlungsbeheizung vom Gehäuse (1) aus erfolgt und
- - das Sputtern mittels einer Targetanordnung mit zwei Tar gets (10, 11) vorgenommen wird, die sich außerhalb des Ge häuses (1) vor den Öffnungen (8, 9) befinden.
2. Verfahren nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet, daß
- - der Substrathalter (4) mit dem mindestens einen Substrat (3) translatorisch oszillierend an den Öffnungen (10, 11) vorbeigeführt wird.
3. Verfahren nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet, daß
- - der Substrathalter (4) mit einer solchen Frequenz oszil lierend an den Öffnungen (10, 11) vorbei geführt wird, daß während des Vorbeiführens an den Öffnungen (10, 11) des Gehäuses (1) die Substrattemperatur unverändert bleibt.
4. Verfahren nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet, daß
- - der Substrathalter (20) mit dem mindestens einen Substrat (22) durch Drehbewegungen an den Öffnungen (26, 27) vorbei geführt wird.
5. Verfahren nach Anspruch 4,
dadurch gekennzeichnet, daß
- - der Substrathalter (20) mit einer solchen Drehzahl gedreht wird, daß während des Vorbeiführens an den Öffnungen (26, 27) des Gehäuses (1) die Substrattemperatur unverändert bleibt.
6. Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet, daß
- - zur Strahlungsbeheizung eine elektrische Heizung einge setzt wird.
7. Einrichtung zur Substratbeschichtung mit
tels Sputtern
- - mit einer Substratheizung,
- - mit einem Gehäuse (1) mit einem in ihm bewegbar gehaltenen Substrathalter (4) und
- - mit einer Targetanordnung (10, 11),
- - der Substrathalter (4) eine Substrataufnahme mit einer derartigen Ausgestaltung aufweist, daß ein Substrat (3) an seinen beiden Seiten (3a, 3b) frei zugänglich haltbar ist,
- - in beiden dem Substrathalter (4) gegenüberliegenden Wänden (6, 7) des Gehäuses (1) Öffnungen (8, 9) in einer solchen Lage vorhanden sind, daß beim Bewegen des Substrathalters (4) das Substrat (3) an den Öffnungen (8, 9) vorbei ge führt wird,
- - die Targetanordnung aus zwei Targets (10, 11) besteht, die jeweils außerhalb des Gehäuses (1) vor den Öffnungen (8, 9) liegen, und
- - die Substratheizung von einer Strahlungsheizung (14, 15) des Gehäuses (1) gebildet ist.
8. Einrichtung nach Anspruch 7,
dadurch gekennzeichnet, daß
- - der Substrathalter (4) ein innerhalb des Gehäuses geführ ter Schlitten ist.
9. Einrichtung nach Anspruch 7,
dadurch gekennzeichnet, daß
- - der Substrathalter ein Drehteller (20) ist und in minde stens einem Bereich außerhalb seiner Mittenachse eine Sub strataufnahme in einer solchen Lage aufweist, daß beim Drehen des Substrathalters (20) das Substrat (22) an den Öffnungen (26, 27) vorbei geführt wird.
10. Einrichtung nach einem der Ansprüche 7 bis 9,
dadurch gekennzeichnet, daß
- - die Strahlungsheizung aus jeweils einer Heizmatte (14, 15) auf der Innenseite (12, 13) der die Öffnungen (8, 9) auf weisenden Wände (6, 7) des Gehäuses (1) besteht.
11. Einrichtung nach einem der Ansprüche 7 bis 10,
dadurch gekennzeichnet, daß
- 1. die Öffnungen (8, 9) diametral zueinander vorgesehen sind.
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