DE69824709T2

DE69824709T2 - Verfahren und Vorrichtung zum Kleben von zwei plattenförmigen Gegenständen

Info

Publication number: DE69824709T2
Application number: DE69824709T
Authority: DE
Inventors: Willem Arjen KUIKEN; Johannus Erik TEUNISSEN
Original assignee: Koninklijke Philips Electronics NV
Current assignee: NXP BV
Priority date: 1997-11-26
Filing date: 1998-11-13
Publication date: 2005-07-14
Anticipated expiration: 2018-11-14
Also published as: KR20000070488A; JP4833386B2; US6051481A; EP0970157A1; KR100671071B1; DE69824709D1; JP2001511845A; EP0970157B1; US6374894B1; WO1999027028A1

Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Zusammenfügen eines ersten plattenförmigen Objekts mit einem zweiten plattenförmigen Objekt mittels eines Klebstoffs, gemäß dem genannten Verfahren, wobei der Klebstoff an eine der zwei Seiten des ersten Objekts angebracht wird, woraufhin die genannte Seite des ersten Objekts und eine der zwei Seiten des zweiten Objekts gegeneinander gedrückt werden.
Die Erfindung betrifft auch eine Vorrichtung zum Zusammenfügen eines ersten plattenförmigen Objekts mit einem zweiten plattenförmigen Objekt mit Hilfe eines Klebstoffs, welche Vorrichtung mit einem ersten Halter versehen ist, der eine Tragfläche für das erste Objekt aufweist, einem zweiten Halter, der eine Tragfläche für das zweite Objekt aufweist, einer Verlagerungseinheit, die das Verlagern beider Halter in solcher Weise ermöglicht, dass ihre Tragflächen einander zugewandt sind, und mit einer Druckeinheit, mit der die Tragflächen beider Halter gegeneinander gedrückt werden können.
Ein Verfahren und eine Vorrichtung der eingangs erwähnten Art sind aus JP-A-07226350 bekannt. Das bekannte Verfahren und die bekannte Vorrichtung werden verwendet, um zwei scheibenförmige Halbleitersubstrate mit Hilfe eines Klebstoffs zusammenzufügen. Die zwei Halter der bekannten Vorrichtung sind in einer Druckkammer angeordnet, in der beim Betrieb der Luftdruck und die Luftfeuchtigkeit kontrolliert werden können. Gemäß dem bekannten Verfahren werden beide Halter mit den darauf angebrachten Halbleitersubstraten mit Hilfe der Verlagerungseinheit der bekannten Vorrichtung in Positionen gesetzt, in denen beide Halbleitersubstrate so angeordnet sind, dass sie direkt nebeneinander liegen, woraufhin beide Halbleitersubstrate bei einem zuvor bestimmten Luftdruck und einer zuvor bestimmten Luftfeuchtigkeit der Druckkammer mit Hilfe der Druckeinheit der Vorrichtung gegeneinander gedrückt werden. Da beide Halbleitersubstrate gegeneinander gedrückt werden, verteilt sich der auf eines der beiden Halbleitersubstrate angebrachte Klebstoff über einen wesentlichen Teil der einander zugewandten Seiten der beiden Halbleitersubstrate, sodass zwischen den zwei Halbleitersubstraten eine starke Bindung erreicht wird.
WO 96/36675 offenbart ein Verfahren zum Zusammenfügen eines ersten plattenförmigen Objekts mit einem zweiten plattenförmigen Objekt, welches Verfahren das Aufbringen eines Klebstoffs auf zumindest eines der genannten plattenförmigen Objekte und dabei Drehen der genannten plattenförmigen Objekte umfasst, um eine Zentrifugalkraft zu erzeugen, die bewirkt, dass der genannte Klebstoff sich zwischen den genannten plattenförmigen Objekten mit nahezu gleichmäßiger Dicke verteilt, während dadurch ein Druck auf das genannte zweite plattenförmige Objekt ausgeübt wird, um das genannte erste und zweite plattenförmige Objekt zusammenzufügen.
Außerdem wird eine Bindemaschine offenbart, mit einem ersten Halter, der ausgebildet ist, um ein erstes plattenförmiges Objekt fixiert aufzunehmen, einem zweiten Halter, der drehbar in den ersten genannten Halter greifen kann und imstande ist, auf ein zweites plattenförmiges Objekt einen Druck auszuüben, wenn dieses auf das genannte erste plattenförmige Objekt gelegt ist, und mit einem Rotor zum Drehen des genannten ersten Halters. Um den genannten zweiten Halter allgemein vertikal in Bezug auf den genannten ersten Halter selektiv zu bewegen, ist eine Bewegungsvorrichtung vorhanden.
Ein Nachteil des bekannten Verfahrens und der bekannten Vorrichtung ist, dass der zwischen den beiden Halbleitersubstraten vorhandene Klebstoff sich nicht vollständig und homogen über die einander zugewandten Seiten der zwei Halbleitersubstrate verteilt. Daher wird bei Verwendung des bekannten Verfahrens und der bekannten Vorrichtung eine nichthomogene Bindung zwischen den zwei Halbleitersubstraten erhalten. Außerdem hat die zwischen den zwei Halbleitersubstraten gebildete Klebstoffschicht eine relativ große Dicke, was somit die Klebkraft zwischen den zwei Halbleitersubstraten begrenzt.
Der Erfindung liegt als Aufgabe zugrunde, ein Verfahren und eine Vorrichtung der eingangs erwähnten Art zu verschaffen, die es ermöglicht, im Vergleich zu den bekannten Verfahren und den bekannten Vorrichtungen eine homogenere Bindung zwischen den zwei plattenförmigen Objekten sowie eine verringerte Dicke der Klebstoffschicht zwischen den zwei plattenförmigen Objekten zu erhalten.
Zur Lösung dieser Aufgabe ist das erfindungsgemäße Verfahren dadurch gekennzeichnet, dass das Zusammenfügen eine erste Phase umfasst, in der die plattenförmigen Objekte gedreht werden, und eine zweite Phase, in der die plattenförmigen Objekte gedreht werden und gegeneinander gedrückt werden, wobei die genannte Seite des ersten Objekts und eine Seite des zweiten Objekts gegeneinander gedrückt werden, wobei zumindest für eine Zeitdauer, während der die plattenförmigen Objekte gegeneinander gedrückt werden, diese bei gleicher Drehgeschwindigkeit um eine Drehachse gedreht werden, die nahezu senkrecht zu den genannten Seiten der Objekte verläuft.
Eine Vorrichtung, die das erfindungsgemäße Verfahren ausführt, ist mit zwei Haltern versehen, um die Objekte zu tragen, und ist weiterhin mit Mitteln zum Einstellen der Drehgeschwindigkeit der Halter, Mitteln zum Einstellen der Annäherungsgeschwindigkeit der Halter und Mitteln zum Einstellen der Druckkraft, um die Halter gegeneinander zu drücken, versehen.
Zur Lösung der oben erwähnten Aufgabe ist die erfindungsgemäße Vorrichtung dadurch gekennzeichnet, dass die Vorrichtung mit einer Rotationseinheit versehen ist, die es ermöglicht, beide Halter bei gleicher Drehgeschwindigkeit zu drehen.
Da gemäß dem erfindungsgemäßen Verfahren während der Zeit, in der die zwei plattenförmigen Objekte gegeneinander gedrückt werden, diese um die Drehachse gedreht werden, die sich nahezu senkrecht zu den genannten Seiten der Objekte erstreckt, wird eine Zentrifugalkraft auf den zwischen den genannten Seiten beider Objekte vorhandenen Klebstoff ausgeübt. Unter dem Einfluss der Zentrifugalkraft fließt der genannte Klebstoff gleichmäßig über die genannten Seiten der zwei Objekte, sodass eine relativ dünne, homogene Klebstoffschicht zwischen den zwei Objekten gebildet wird. Auf diese Weise wird eine relativ starke und homogene Bindung zwischen den zwei Objekten erhalten. Da der Klebstoff sich gleichförmig unter dem Einfluss der Zentrifugalkraft verteilt, kann zudem eine Druckkraft, die zum Gegeneinanderdrücken beider Objekte verwendet wird, begrenzt werden. Eventueller überschüssiger Klebstoff wird von den Außenrändern beider Objekte weggeschleudert, sodass der überschüssige Klebstoff nicht auf den gebundenen Objekten bleibt.
Eine spezielle Ausführungsform eines erfindungsgemäßen Verfahrens ist dadurch gekennzeichnet, dass die Drehgeschwindigkeit der plattenförmigen Objekte als Funktion der im Laufe des Verfahrens verstrichenen Zeit verändert wird.
Eine spezielle Ausführungsform einer Vorrichtung, die das erfindungsgemäße Verfahren ausführt, ist dadurch gekennzeichnet, dass die Drehgeschwindigkeit, mit der beide Halter mit Hilfe der Rotationseinheit gedreht werden können, einstellbar ist.
Bei diesen speziellen Ausführungsformen des Verfahrens und der Vorrichtung, die das erfindungsgemäße Verfahren ausführt, werden die Verteilung des Klebstoffs zwischen den zwei plattenförmigen Objekten und das Wegschleudern eventuellen überschüssigen Klebstoffs von den Außenrändern beider Objekte durch Veränderung der Dreh geschwindigkeit beider Objekte in geeigneter Weise als Funktion der im Laufe des Verfahrens verstrichenen Zeit günstig beeinflusst.
Eine weitere Ausführungsform eines erfindungsgemäßen Verfahrens ist dadurch gekennzeichnet, dass parallel zur Drehachse gesehen die plattenförmigen Objekte bei einer Annäherungsgeschwindigkeit, die als Funktion der im Laufe des Verfahrens verstrichenen Zeit verändert wird, aufeinander zu bewegt werden.
Eine weitere Ausführungsform einer Vorrichtung, die das erfindungsgemäße Verfahren ausführt, ist dadurch gekennzeichnet, dass eine Annäherungsgeschwindigkeit, bei der beide Halter mit Hilfe der Verlagerungseinheit aufeinander zu bewegt werden können, einstellbar ist.
Bei diesen weiteren Ausführungsformen des Verfahrens und der Vorrichtung, die das erfindungsgemäße Verfahren ausführt, wird die Verteilung des Klebstoffs zwischen den zwei plattenförmigen Objekten durch geeignete Veränderung der genannten Annäherungsgeschwindigkeit als Funktion der im Laufe des Verfahrens verstrichenen Zeit günstig beeinflusst.
Noch eine weitere Ausführungsform eines erfindungsgemäßen Verfahrens ist dadurch gekennzeichnet, dass die plattenförmigen Objekte mit einer Druckkraft gegeneinander gedrückt werden, die als Funktion der im Laufe des Verfahrens verstrichenen Zeit verändert wird.
Noch eine weitere Ausführungsform einer Vorrichtung, die das erfindungsgemäße Verfahren ausführt, ist dadurch gekennzeichnet, dass eine Druckkraft, mit der die Tragflächen der zwei Halter gegeneinander gedrückt werden können, mit Hilfe der Druckeinheit einstellbar ist.
Bei diesen noch weiteren Ausführungsformen des Verfahrens und der Vorrichtung, die das erfindungsgemäße Verfahren ausführt, wird die Verteilung des Klebstoffs zwischen den zwei plattenförmigen Objekten günstig beeinflusst, indem die genannte Druckkraft in geeigneter Weise als Funktion der im Laufe des Verfahrens verstrichenen Zeit verändert wird.
Eine spezielle Ausführungsform eines erfindungsgemäßen Verfahrens ist dadurch gekennzeichnet, dass die plattenförmigen Objekte während einer ersten Phase, bei der das zweite Objekt bereits mit dem auf das erste Objekt aufgebrachten Klebstoff in Kontakt ist, bei einer zuvor bestimmten Drehgeschwindigkeit gedreht werden, und bei einer zuvor bestimmten Annäherungsgeschwindigkeit aufeinander zu bewegt werden, wobei die Objekte während einer nachfolgenden zweiten Phase bei einer weiteren zuvor bestimmten Drehgeschwindigkeit gedreht werden und mit einer zuvor bestimmten Druckkraft gegeneinander gedrückt werden.
Eine spezielle Ausführungsform einer Vorrichtung, die das erfindungsgemäße Verfahren ausführt, ist dadurch gekennzeichnet, dass im Betrieb während einer ersten Phase die beiden Halter mit Hilfe der Rotationseinheit bei einer zuvor bestimmten Drehgeschwindigkeit gedreht werden können und mit Hilfe der Verlagerungseinheit bei einer zuvor bestimmten Annäherungsgeschwindigkeit aufeinander zu bewegt werden können, während bei einer nachfolgenden zweiten Phase beide Halter mit Hilfe der Rotationseinheit bei einer weiteren zuvor bestimmten Drehgeschwindigkeit gedreht werden können und mit einer zuvor bestimmten Druckkraft mit Hilfe der Druckeinheit gegeneinander gedrückt werden können.
Bei diesen speziellen Ausführungsformen des Verfahrens und der Vorrichtung, die das erfindungsgemäße Verfahren ausführt, wird an dem ersten plattenförmigen Objekt Klebstoff im Überschuss angebracht. Während der genannten ersten Phase werden die plattenförmigen Objekte bei einer relativ niedrigen Drehgeschwindigkeit gedreht und bei einer relativ niedrigen Annäherungsgeschwindigkeit aufeinander zu bewegt. Auf diese Weise wird erreicht, dass sich der Klebstoff sehr gleichförmig über die einander zugewandten Seiten beider Objekte verteilt und so weit wie möglich in eventuelle Unregelmäßigkeiten auf den genannten Seiten eindringt. Ein relativ großer Teil des an dem ersten Objekt angebrachten Klebstoffs wird von den Außenrändern der Objekte weggeschleudert. Während der genannten zweiten Phase werden die Objekte bei relativ hoher Drehgeschwindigkeit gedreht und mit relativ niedriger Druckkraft gegeneinander gedrückt. Bei dieser zweiten Phase wird erreicht, dass der zwischen den Objekten vorhandene Klebstoff sich weiter verteilt, um eine relativ dünne homogene Klebstoffschicht zu bilden, sodass zwischen den zwei Objekten eine starke Bindung erreicht wird. Infolge der relativ hohen Drehgeschwindigkeit ist die benötigte Druckkraft begrenzt, während die Außenränder der zusammenzufügenden Objekte nahezu klebstofffrei bleiben.
Eine weitere Ausführungsform eines erfindungsgemäßen Verfahrens ist dadurch gekennzeichnet, dass, gemäß dem Verfahren, ein scheibenförmiges Halbleitersubstrat und ein scheibenförmiger Träger für das Halbleitersubstrat zusammengefügt werden. Diese weitere Ausführungsform des erfindungsgemäßen Verfahrens wird bei der Herstellung so genannter SOA-Halbleiteranordnungen (Silicon-On-Anything) verwendet. Bei diesem Her stellungsprozess wird das erfindungsgemäße Verfahren verwendet, um ein scheibenförmiges Halbleitersubstrat mit einem isolierenden Träger aus beispielsweise Glas oder Kunststoff zusammenzufügen. Ein solches scheibenförmiges Halbleitersubstrat umfasst eine große Zahl identischer Halbleiteranordnungen, die, nachdem das Halbleitersubstrat mit dem Träger zusammengefügt worden ist, voneinander getrennt werden. Da die Haftung jeder einzelnen so erhaltenen SOA-Halbleiteranordnung von guter Qualität sein sollte, sollte die Bindung zwischen dem ursprünglichen Halbleitersubstrat und dem Träger so homogen wie möglich sein. So werden die Vorteile des erfindungsgemäßen Verfahrens besonders deutlich, wenn das Verfahren in der oben beschriebenen Weise für die Herstellung der genannten SOA-Halbleiteranordnungen verwendet wird.
Eine weitere Ausführungsform einer Vorrichtung, die das erfindungsgemäße Verfahren ausführt, ist dadurch gekennzeichnet, dass die Vorrichtung weiterhin eine Auffangkammer für Klebstoff umfasst, die um zumindest einen der Halter herum angeordnet ist. Eventueller überschüssiger Klebstoff, der bei der Drehung von zwei zusammenzufügenden plattenförmigen Objekten von den Außenrändern der Objekte aus weggeschleudert wird, wird, sofern die Drehgeschwindigkeit der beiden Halter ausreicht, in der um den betreffenden Halter herum angeordneten Auffangkammer aufgefangen, sodass der weggeschleuderte Klebstoff keine Verunreinigung der anderen Teile der Vorrichtung bewirkt.
Noch eine andere Ausführungsform einer Vorrichtung, die das erfindungsgemäße Verfahren ausführt, ist dadurch gekennzeichnet, dass zumindest einer der zwei Halter um seine Tragfläche herum mit einem Schaufelkranz versehen ist. Der um die Tragfläche des betreffenden Halters herum angebrachte Schaufelkranz bewirkt bei der Drehung der Halter mit darauf den plattenförmigen Objekten eine Zunahme des Luftstroms entlang den Außenrändern der Objekte, sodass das Abführen von überschüssigem Klebstoff von den Außenrändern der Objekte verbessert wird.
Eine spezielle Ausführungsform einer Vorrichtung, die das erfindungsgemäße Verfahren ausführt, ist dadurch gekennzeichnet, dass, in Drehrichtung der Halter gesehen, beide Halter miteinander gekoppelt sind. Da beide Halter, in Drehrichtung gesehen, miteinander gekoppelt sind, wird während der Drehung der Halter mit den darauf angebrachten plattenförmigen Objekten eine Winkelverschiebung der Objekte relativ zueinander in Drehrichtung verhindert, sodass die Haftung zwischen den Objekten durch eine solche Winkelverschiebung nicht gestört wird.
Eine weitere Ausführungsform einer Vorrichtung, die das erfindungsgemäße Verfahren ausführt, ist dadurch gekennzeichnet, dass beide Halter in einem Rotorgehäuse untergebracht sind, das mit Hilfe der Rotationseinheit gedreht werden kann, wobei beide Halter, in Drehrichtung gesehen, mit dem Rotorgehäuse gekoppelt sind. Die Verwendung des genannten Rotorgehäuses ermöglicht es, beide Halter in einfacher und praktischer Weise in Drehrichtung aneinander zu koppeln.
Zur Lösung der oben genannten Aufgabe ist eine Vorrichtung zum Zusammenfügen eines ersten plattenförmigen Objekts mit einem zweiten plattenförmigen Objekt mit Hilfe eines Klebstoffs, wobei die Vorrichtung einen ersten Halter mit einer Tragfläche für das erste Objekt, einen zweiten Halter mit einer Tragfläche für das zweite Objekt, eine Verlagerungseinheit, mit der die zwei Halter mit den Tragflächen aufeinander zu bewegt werden können, und eine Druckeinheit, mit der die Tragflächen beider Halter gegeneinander gedrückt werden können, umfasst, wobei die Vorrichtung weiterhin eine Rotationseinheit umfasst, mit der beide Halter bei gleicher Drehgeschwindigkeit gedreht werden können, dadurch gekennzeichnet, dass die Vorrichtung weiterhin eine Auffangkammer für den Klebstoff umfasst, die um zumindest einen der Halter herum angeordnet ist, wobei die Auffangkammer ein Gebiet umfasst, das auf einem Niveau unter und ausschließlich neben dem ersten Halter verläuft.
Eine alternative Vorrichtung zum Zusammenfügen eines ersten plattenförmigen Objekts mit einem zweiten plattenförmigen Objekt mit Hilfe eines Klebstoffs, wobei die Vorrichtung einen ersten Halter mit einer Tragfläche für das erste Objekt, einen zweiten Halter mit einer Tragfläche für das zweite Objekt, eine Verlagerungseinheit, mit der die zwei Halter mit den Tragflächen aufeinander zu bewegt werden können, und eine Druckeinheit, mit der die Tragflächen beider Halter gegeneinander gedrückt werden können, umfasst, wobei die Vorrichtung weiterhin eine Rotationseinheit umfasst, mit der beide Halter bei gleicher Drehgeschwindigkeit gedreht werden können, ist dadurch gekennzeichnet, dass zumindest einer der zwei Halter um seine Tragfläche herum mit einem Schaufelkranz versehen ist.
Ausführungsbeispiele der Erfindung sind in der Zeichnung dargestellt und werden im Folgenden näher beschrieben.
Es zeigen:
1 eine erfindungsgemäße Vorrichtung, mit der ein erfindungsgemäßes Verfahren ausgeführt werden kann und
2a bis 2j schematisch eine Anzahl aufeinander folgender Schritte eines erfindungsgemäßen Verfahrens.
1 zeigt eine erfindungsgemäße Vorrichtung, die ein Gestell 1 umfasst, dass auf einem Fußboden aufgestellt werden kann. Die Vorrichtung umfasst weiterhin eine Rotationseinheit 3, die eine zentrale Welle 5 und einen Elektromotor 7 umfasst. Mittels eines Kugellagers 9 wird die zentrale Welle 5 relativ zum Gestell 1 um eine vertikale Drehachse 13 drehbar montiert und kann mit Hilfe des Motors 7 angetrieben werden. An der zentralen Welle 5 ist ein Flansch 15 befestigt. Die Rotationseinheit 3 umfasst weiterhin ein buchsenförmiges Rotorgehäuse 17, das mit dem Flansch 15 über eine Verbindungshülse 19 verbunden ist. Eine Seitenwand 21 des Rotorgehäuses 17 ist mit einer Anzahl Öffnungen 23 versehen, über die eine in dem Rotorgehäuse 17 gelegene Kammer 25 von außen zugänglich ist. In der Kammer 25 des Rotorgehäuses 17 sind ein erster Halter 27 und ein zweiter Halter 29 angeordnet. Der erste Halter 27 umfasst eine Tragfläche 31, die nahezu senkrecht zur Rotationsachse 13 verläuft, während der zweite Halter 29 eine Tragfläche 33 umfasst, die nahezu senkrecht zur Drehachse 13 verläuft und die zur Tragfläche 31 des ersten Halters 27 hin gerichtet ist. Die Tragflächen 31, 33 können mit einer Schutzschicht versehen sein, beispielsweise aus Gummi, um Beschädigung von auf die genannten Tragflächen 31, 33 gelegten Objekten zu verhindern. Der erste Halter 27 ist an einem Bodenteil 35 des Rotorgehäuses 17 befestigt. Der zweite Halter 29 ist an einer weiteren Welle 37 befestigt, deren Mittellinie 39 mit der Drehachse 13 zusammenfällt. Die weitere Welle 37 wird in einer Lagerbuchse 41 geführt, sodass sie darin axial bewegbar ist, welche Lagerbuchse an dem Rotorgehäuse 17 mit Hilfe eines weiteren Flansches 43 befestigt ist und mit Hilfe eines weiteren Lagers 45 relativ zum Gestell 1 um die Drehachse 13b drehbar montiert ist. Der zweite Halter 29 ist weiterhin mittels einer Anzahl Blattfedern 47, die quer zur Drehachse 13 verlaufen, in dem Rotorgehäuse 17 aufgehängt. Durch Verwendung dieser Blattfedern 47 sind der zweite Halter 29 und die mit dem genannten zweiten Halter 29 verbundene weitere Welle 37 in Drehrichtung der zentralen Welle 5 gesehen in einfacher und praktischer Weise mit der zentralen Welle 5, dem Rotorgehäuse 17 und dem ersten Halter 27 gekoppelt, während der zweite Halter 29 und die weitere, mit dem zweiten genannten Halter verbundene Welle 37 relativ zum ersten Halter axial verlagert werden können, wodurch sie die Blattfedern 47 elastisch verformen.
Wie in 1 gezeigt, umfasst die erfindungsgemäße Vorrichtung weiterhin eine Verlagerungseinheit 49, mit der die zwei Halter 27, 29 mit den Tragflächen 31, 33 aufeinander zu bewegt werden können. Die Verlagerungseinheit 49 umfasst ein Antriebsrad 51, das relativ zum Gestell 1 um eine weitere Drehachse 53, die senkrecht zur Drehachse 13 verläuft, drehbar montiert ist. Das Antriebsrad 51 kann mit Hilfe eines weiteren Elektromotors angetrieben werden, der der Einfachheit halber in 1 nicht dargestellt ist, und umfasst nahe einem Umfang 55 ein Nockenprofil 57. Die Verlagerungseinheit 49 enthält weiterhin einen Arm 59, der relativ zum Gestell 1 schwenkbar um eine Schwenkachse 61 montiert ist, die parallel zu der weiteren Drehachse 53 verläuft. Nahe einem Ende 63 des Arms 59 gibt es ein Mitnehmerrad 65, das relativ zum Arm 59 schwenkbar um noch eine andere Drehachse 67 montiert ist, die parallel zu der weiteren Drehachse 53 verläuft. Der Arm 59 greift über das Mitnehmerrad 65 in das Nockenprofil 57 des Antriebsrades 51. Hierzu umfasst die Verlagerungseinheit 49 übliche, an sich bekannte Vorspannungsmittel, wie z. B. eine mechanische Feder oder ein an dem Arm 59 befestigtes Gegengewicht, die in 1 der Einfachheit halber nicht abgebildet sind. Zusätzlich ist an dem Arm 49 eine zylindrische Druckkammer 69 befestigt, welche Druckkammer einen Kolben 71 aufnimmt, der ungefähr parallel zur Drehachse 13 verlagert werden kann. Die Druckkammer 69 ist mit einer einstellbaren Gasdruckquelle verbunden, die der Einfachheit halber in 1 nicht dargestellt ist. 1 zeigt eine Anfangsposition der erfindungsgemäße Vorrichtung, in der unter dem Einfluss eines Gasdrucks in der Druckkammer 69 der Kolben 71 sich in einer dem Rotorgehäuse 17 zugewandten äußersten Position befindet, in welcher Position der Kolben 71 gegen einen Anschlag 73 der Druckkammer 69 anliegt. Die Druckkammer 69, der Kolben 71 und die genannte einstellbare Gasdruckquelle bilden zusammen eine Druckeinheit 75, mit der die Tragflächen 31, 33 der zwei Halter 27, 29 gegeneinander gedrückt werden können, wie weiter unten mehr im einzelnen beschrieben werden soll. Mit dem Kolben 71 ist hier eine Verbindungswelle 77 verbunden, die über eine Doppelgelenkverbindung 79 mit einer weiteren Lagerbuchse 81 gekoppelt ist, in der ein Endabschnitt 83 der weiteren Welle 37 drehbar montiert ist. Wenn von der Anfangsposition von 1 aus das Antriebsrad 51 um die weitere Drehachse 53 gedreht wird, folgt das Mitnehmerrad 65 dem Nockenprofil 57, sodass der Arm 59 um die Schwenkachse 61 geschwenkt wird und die weitere Welle 37 mit den zweiten Haltern 29 in axialer Richtung relativ zum Rotorgehäuse 17 und dem ersten Halter 27 bewegt wird. Durch Verwendung der Doppelgelenkverbindung 79 wird verhindert, dass beim Schwenken des Arms 59 die weitere Welle 37 einer mechanischen Belastung in Richtungen senkrecht zur Drehachse 13 ausgesetzt wird. Infolge der Tatsache, dass die weitere Welle 37 in der weiteren Lagerbuchse 81 drehbar montiert ist, sind der zweite Halter 29 und die zweite Welle 37 gleichzeitig um die Drehachse 13 drehbar und in axialer Richtung bewegbar.
Die oben beschriebene erfindungsgemäße Vorrichtung ist geeignet, um ein erfindungsgemäßes Verfahren zum Zusammenfügen eines ersten plattenförmigen Objekts 85 mit einem zweiten plattenförmigen Objekt 87 mit Hilfe eines Klebstoffs auszuführen. 2a bis 2j zeigen schematisch, wie gemäß dem oben genannten Verfahren das erste plattenförmige Objekt 85 auf der Tragfläche 31 des ersten Halters platziert wird, während das zweite plattenförmige Objekt 87 auf der Tragfläche 33 des zweiten Halters 29 platziert wird. Hierzu ist die Vorrichtung mit einer gewöhnlichen, an sich bekannten Transporteinheit, die der Einfachheit halber in 1 nicht dargestellt ist, und mit einem Hebemechanismus 89 versehen. Wie in 1 gezeigt, umfasst der Hebemechanismus 89 einen buchsenförmigen Träger 91, der axial bewegbar entlang der zentralen Welle 5 geführt wird. Drei Tragstifte 93, die als Dreieck angeordnet sind, sind in dem buchsenförmigen Träger 91 vorgesehen; 1 zeigt nur zwei der Tragstifte. Die Tragstifte 93 sind axial bewegbar in drei Kanälen 95 geführt, die in dem ersten Halter 27 vorhanden sind. Weiter umfasst der Hebemechanismus 89 einen ersten Aktuator 97, der an dem Gestell 1 befestigt ist, und einen zweiten Aktuator 99, der in einer Richtung parallel zur Drehachse 13 mit Hilfe des ersten Aktuators bewegt werden kann. Mit Hilfe des genannten zweiten Aktuators 99 kann ein Kopplungsstift 101 des Hebemechanismus 89 rechtwinklig zur Drehachse 13 durch eine Öffnung 103 bewegt werden, die in der Verbindungsbuchse 19 gebildet ist. Um die plattenförmigen Objekte 85 und 87 auf den zwei Haltern 27 bzw. 29 zu platzieren, wird zuerst der Kopplungsstift 101 mit dem buchsenförmigen Träger 91 mit Hilfe des zweiten Aktuators 99 gekoppelt. Anschließend wird, wie schematisch in 2a gezeigt, das zweite plattenförmige Objekt mit Hilfe eines Arms 105 der genannten Transporteinheit über eine der in der Seitenwand 21 des Rotorgehäuses vorhandenen Öffnungen 23 in der Kammer 25 des Rotorgehäuses 17 zwischen den zwei Haltern 27, 29 angeordnet. Danach wird der buchsenförmige Träger 91 des Hebemechanismus 89 mit Hilfe des ersten Aktuators 97 in axialer Richtung zum ersten Halter 27 bewegt, sodass das zweite plattenförmige Objekt 87, wie in 2b schematisch dargestellt, mittels der Tragstifte 93 vom Arm 105 zur Transporteinheit gehoben wird und gegen die Tragfläche 33 des zweiten Halters 29 gedrückt wird. In der Tragfläche 33 des zweiten Halters 29 gibt es übliche Vakuumkammern 107, mit denen das zweite plattenförmige Objekt 87 an der Tragfläche 33 befestigt wird. Danach werden die Tragstifte 93 mit Hilfe des ersten Aktuators 97 des Hebemechanismus 89 in dem ersten Halter 27 versenkt und, wie in 2c schematisch dargestellt, das erste plattenförmige Objekt 85 in der Kammer 25 des Rotorgehäuses 17 zwischen den zwei Haltern 27, 29 mit Hilfe der genannten Transporteinheit über eine der Öffnungen 23 in der Seitenwand 21 des Rotorgehäuses 17 platziert. Wie in 2d schematisch dargestellt, werden die Tragstifte 93 anschließend mit Hilfe des ersten Aktuators 97 des Hebemechanismus 89 wieder in axialer Richtung zu dem zweiten Halter 27 bewegt, sodass das erste plattenförmige Objekt 85 mit Hilfe der Tragstifte 91 von dem Arm 105 der Transporteinheit gehoben wird. Anschließend werden die Tragstifte 93, wie in 2e gezeigt, mit Hilfe des ersten Aktuators 97 des Hebemechanismus 29 wieder in dem ersten Halter versenkt, sodass das erste plattenförmige Objekt 85 auf der Tragfläche 31 des ersten Halters 27 platziert wird. Auch in der Tragfläche 31 des ersten Halters 27 sind übliche Vakuumkammern 190 vorgesehen, mit denen das erste plattenförmige Objekt 85 an der Tragfläche 31 befestigt wird.
Nachdem die plattenförmigen Objekte 85, 87, wie oben beschrieben, mit Hilfe der genannten Transporteinheit und des Hebemechanismus 29 auf den Tragflächen 31, 33 der zwei Halter 27, 29 platziert worden sind, wird, wie in 2f schematisch gezeigt wird, in die Kammer 25 über eine der in der Seitenwand 21 des Rotorgehäuses 17 vorhandenen Öffnungen 23 ein Hilfsstück 111 für die Zuführung eines Klebstoffs eingebracht. Mit Hilfe des genannten Hilfsstücks 111 wird eine Menge von Klebstoff 113 auf einen zentralen Teil des ersten plattenförmigen Objekts 85 aufgebracht. Es sei bemerkt, dass die besten Ergebnisse erhalten werden, wenn eine Auslassöffnung 112 des Hilfsstücks 111 während der Zufuhr des Klebstoffs in relativ kurzem Abstand von der Oberfläche des ersten Objekts 85 angeordnet ist, sodass ein kontinuierlicher Fluss von Klebstoff zwischen der Auslassöffnung 112 und dem Objekt 85 erhalten wird. Daraufhin wird das Antriebsrad 51 der Verlagerungseinheit 49 von der in 1 gezeigten Anfangsposition aus gedreht, sodass das Mitnehmerrad 65 einem ersten relativ steilen Teil 115 des Nockenprofils 57 folgt und der zweite Halter 29 mit dem zweiten plattenförmigen Objekt 87 bei relativ hoher Geschwindigkeit v₁ zu einer in 2g schematisch dargestellten Position bewegt wird, in der das zweite plattenförmige Objekt 87 mit dem Klebstoff 113, der auf dem ersten plattenförmigen Objekt 85 aufgebracht ist, in Kontakt gelangt. Die in 2g gezeigte Position gibt den Anfang einer ersten Phase des Zusammenfügeprozesses an, die in 2h schematisch gezeigt wird. In dieser genannten ersten Phase werden die Halter 27, 29 mit den plattenförmigen Objekten 85, 87 mit Hilfe der Rotationseinheit 3 bei einer zuvor bestimmten Drehgeschwindigkeit ω₁ um eine Drehachse 13 gedreht. In der genannten ersten Phase folgt das Mitnehmerrad 65 einem zweiten spiralförmigen Teil 117 des Nockenprofils 57, der eine relativ geringe Neigung hat. Daher werden die Halter 27, 29 mit den plattenförmigen Objekten 85, 87 in der genannten ersten Phase bei einer relativ kleinen Annäherungsgeschwindigkeit v₂ aufeinander zu bewegt, welche durch die genannte Neigung des zweiten Teils 117 des Nockenprofils 57 bestimmt wird. Da in der ersten Phase des Zusammenfügeprozesses die plattenförmigen Objekte 85, 87 gleichzeitig aufeinander zu bewegt werden und um die Drehachse 13 gedreht werden, wird zwischen den Objekten 85, 87 vorhandener Klebstoff 113 sehr gleichförmig über die einander zugewandten Seiten 119, 121 beider Objekte 85, 87 verteilt. Da beide Objekte 85, 87 um die Drehachse 13 gedreht werden, wird auf den Klebstoff 113 eine Zentrifugalkraft ausgeübt, die bewirkt, dass der genannte Klebstoff 113 sehr gleichmäßig über die einander zugewandten Seiten 119, 121 beider Objekte 85, 87 verteilt werden. Auf diese Weise wird zwischen den zwei Objekten 85, 87 eine relativ dünne, homogene Klebstoffschicht 113 gebildet. Es sei bemerkt, dass mit Hilfe des Hilfsstücks 111 am ersten Objekt 85 ein Überschuss an Klebstoff 113 angebracht wird. Dadurch wird erreicht, dass der Klebstoff 113 so vollständig wie möglich in eventuelle Unregelmäßigkeiten, die auf den genannten Seiten 119, 121 der Objekte 85, 87 vorhanden sind, eindringt. In der ersten Phase wird ein relativ großer Teil des angebrachten Klebstoffs 113 von den Außenrändern 123, 125 der Objekte 85, 87 unter dem Einfluss der genannten Zentrifugalkraft weggeschleudert. Bei einer genügend hohen Drehgeschwindigkeit der Halter 27, 29 wird der weggeschleuderte Klebstoff 113 in einer Anfangkammer 127 der Vorrichtung aufgefangen, die in 1 zu erkennen ist und die in dem Rotorgehäuse 17 liegt und um den ersten Halter 27 herum angeordnet ist. Durch Verwendung der genannten Auffangkammer 127 wird eine Verunreinigung der anderen Teile der Vorrichtung durch den weggeschleuderten Klebstoff 113 in praktischer und wirksamer Weise verhindert. Wie in 2h schematisch gezeigt wird, ist eine Seitenwand 129, 131 jedes der zwei Halter 27, 29 mit einem Schaufelkranz 133, 135 versehen, der um die Tragfläche 31, 33 des zugehörigen Halters 27, 29 verläuft. Wie in 2h schematisch dargestellt, erzeugt der Schaufelkranz 133 des ersten Halters 27 während der Drehung einen Luftstrom 137', der zum zweiten Halter 29 gerichtet ist, während der Schaufelkranz 135 des zweiten Halters 29 einen Luftstrom 137'' erzeugt, der zum ersten Halter 27 gerichtet ist. Somit erzeugen während der Drehung der zwei Halter 27, 29 beide Schaufelkränze eine Zunahme des Luftstroms entlang den Außenrändern 23, 125 der auf den Haltern 27, 29 vorhandenen Objekte 85, 87, sodass das Entfernen von überschüssigem Klebstoff von den Außenrändern 123, 125 verbessert wird.
Nachdem das Mitnehmerrad 65 einen Endpunkt 139 des zweiten Teils 117 des Nockenprofils 57 erreicht hat, wird das Antriebsrad 51 angehalten und befinden sich die Halter 27, 29 mit den plattenförmigen Objekten 85, 87 in einer in 2i gezeigten Position, in der eine zweite Phase des Zusammenfügeprozesses beginnt, die in 2j schematisch dargestellt wird. In der genannten zweiten Phase werden die Halter 27, 29 mit den plattenförmigen Objekten 85, 87 mit Hilfe der Rotationseinheit 3 bei einer zuvor bestimmten relativ hohen Drehgeschwindigkeit ω₂ um die Drehachse 13 gedreht, während die plattenförmigen Objekte 85, 87 bei einer zuvor bestimmten Druckkraft F_p mit Hilfe der genannten Druckeinheit 75 gegeneinander gedrückt werden. Gegen Ende der ersten Phase des Zusammenfügeprozesses überschreitet eine von dem Arm 59 der Verlagerungseinheit 49 auf die Druckkammer 69 ausgeübte Kraft eine während der ersten Phase auf den Kolben 71 ausgeübte Gasdruckkraft, sodass der genannte Kolben 71 sich vom Anschlag 73 löst und in die Druckkammer 69 bewegt wird. Auf diese Weise wird erreicht, dass eine auf den zweiten Halter 29 ausgeübte Druckkraft während des Endes der ersten Phase und während der zweiten Phase durch den Gasdruck in der Druckkammer 69 bestimmt wird, der mit Hilfe der genannten Gasdruckquelle der Druckeinheit 75 eingestellt werden kann. Während der zweiten Phase des Zusammenfügeprozesses ist der in der Druckkammer 69 eingestellte Gasdruck relativ hoch, sodass beide Objekte 27, 29 mit relativ großer Druckkraft F_p von der Druckeinheit 75 gegeneinander gedrückt werden. Auf diese Weise wird in der zweiten Phase des Zusammenfügeprozesses erreicht, dass der zwischen den Objekten 85, 87 vorhandene Klebstoff sich weiter verteilt und so eine sehr dünne homogene Klebstoffschicht bildet, was zur Bildung einer sehr starken und homogenen Bindung zwischen den zwei Objekten 85, 87 führt. Die relativ hohe Drehgeschwindigkeit der Objekte 85, 87 begünstigt die weitere Verteilung des Klebstoffs, sodass die notwendige Druckkraft F_p der Druckeinheit 75 begrenzt wird. Unter dem Einfluss der relativ großen Zentrifugalkraft, die auf den Klebstoff ausgeübt wird, wird nahezu aller Klebstoff, der sich zwischen den Objekten 85, 87 nahe den Außenrändern 123, 125 der genannten Objekte 85, 87 verteilt, von den Außenrändern 123, 125 weggeschleudert, sodass nahezu kein Klebstoff auf den zusammengefügten Objekten 85, 87 zurückbleibt und ein reines Endprodukt erhalten wird. Da beide Halter 27, 29, in Drehrichtung der Rotationseinheit 3 gesehen, miteinander gekoppelt sind, wird erreicht, dass beide Halter 27, 29 mit darauf den Objekten 85, 87 bei gleicher Drehgeschwindigkeit ω₂ um die Drehachse 13 gedreht werden. Dadurch wird während der Drehung der Halter 27, 29 eine Winkelverlagerung der Objekte 85, 87 relativ zueinander verhindert, sodass die Bindung zwischen den Objekten 85, 87 nicht durch eine solche Winkelverlagerung der Objekte 85, 87 relativ zueinander gestört wird.
Nachdem beide Objekte 85, 87 in der zweiten Phase des Zusammenfügeprozesses wie oben beschrieben zusammengefügt worden sind, wird das Vakuum in den Vakuumkammern 107 des zweiten Halters 29 aufgehoben, sodass das zweite Objekt 87 sich vom zweiten Halter 29 löst. Daraufhin bewirkt eine Drehung des Antriebsrades 51 vom Endpunkt 139 des zweiten Teils 117 des Nockenprofils 57 zur Anfangsposition von 1, dass der zweite Halter 29 vom ersten Halter 27 mit darauf den zusammengefügten Objekten 85, 87 wegbewegt wird. Nachfolgend wird auch das Vakuum in den Vakuumkammern 109 des ersten Halters 27 aufgehoben, sodass das erste Objekt 85 sich vom ersten Halter 27 löst. Danach werden die zusammengefügten Objekte 85, 87 mit Hilfe des Hebemechanismus 89 vom ersten Halter 27 aus hoch gehoben und mit Hilfe der genannten Transporteinheit aus dem Rotorgehäuse 17 entfernt.
Das oben beschriebene Verfahren und die Vorrichtung gemäß der Erfindung sind sehr geeignet, um ein scheibenförmiges Halbleitersubstrat und einen scheibenförmigen Träger für dieses Halbleitersubstrat bei der Fertigung von so genannten SOA-Halbleiteranordnungen (Silicon-On-Anything-Halbleiteranordnungen) zusammenzufügen. Bei der Herstellung solcher SOA-Halbleiteranordnungen wird ein scheibenförmiges Halbleitersubstrat, auf dem eine große Zahl identischer Halbleiteranordnungen angebracht sind, mit einem isolierenden Träger aus beispielsweise Glas oder Kunststoff zusammengefügt. Nachdem das Halbleitersubstrat mit dem Träger zusammengefügt worden ist, werden die einzelnen Halbleiteranordnungen mit Hilfe beispielsweise eines Schneideprozesses voneinander getrennt. Die Haftung jeder einzelnen so erhaltenen SOA-Halbleiteranordnung sollte eine sehr hohe Qualität aufweisen, sodass die Haftung des ursprünglichen Halbleitersubstrats am Träger sehr homogen und stark ist. Da, wie oben beschrieben, das Verfahren und die Vorrichtung gemäß der Erfindung eine besonders homogene und starke Bindung zwischen zwei plattenförmigen Objekten ermöglichen, sind das genannte Verfahren und die Vorrichtung außerordentlich gut zum Zusammenfügen von Halbleitersubstraten mit Isolierträgern bei der Herstellung von SOA-Halbleiteranordnungen geeignet. Es sei bemerkt, dass das Verfahren und die Vorrichtung gemäß der Erfindung auch zum Zusammenfügen von anderen Arten von plattenförmigen Objekten geeignet sind, wie z. B. Objekten aus Glas oder aus einem transparenten Kunststoff.
Bei dem oben beschriebenen Verfahren und der Vorrichtung gemäß der Erfindung werden in der ersten Phase des Zusammenfügeprozesses die plattenförmigen Objekte 85, 87 bei der zuvor bestimmten relativ niedrigen Drehgeschwindigkeit ω₁ um die Drehachse 13 gedreht und bei der zuvor bestimmten relativ niedrigen Annäherungsgeschwindigkeit v₂ aufeinander zu bewegt, während in der zweiten Phase des Zusammenfügeprozesses die plattenförmigen Objekte 85, 87 bei der zuvor bestimmten relativ hohen Drehgeschwindigkeit ω₂ um die Drehachse 13 gedreht werden und mit der zuvor bestimmten Druckkraft F_p gegeneinander gedrückt werden. Es sei bemerkt, dass die genannten zuvor bestimmten Drehgeschwindigkeiten ω₁ und ω₂, die zuvor bestimmte Annäherungsgeschwindigkeit v₂ und die zuvor bestimmte Druckkraft F_p nicht konstant zu sein brauchen. Beispielsweise können die Drehgeschwindigkeit ω₁ und die Annäherungsgeschwindigkeit v₂ als Funktion der während der ersten Phase des Verfahrens verstrichenen Zeit verändert werden, während die Drehgeschwindigkeit ω₂ und die Druckkraft F_p beispielsweise als Funktion der während der zweiten Phase des Verfahrens verstrichenen Zeit verändert werden können. Gemäß der Erfindung kann die Drehgeschwindigkeit der plattenförmigen Objekte 85, 87 auch in anderer Weise als Funktion der während des Verfahrens verstrichenen Zeit verändert werden, kann die Annäherungsgeschwindigkeit der plattenförmigen Objekte 85, 87 auch in anderer Weise als Funktion der während des Verfahrens verstrichenen Zeit verändert werden und/oder kann die Druckkraft, mit der die Objekte 85, 87 gegeneinander gedrückt werden, in anderer Weise als Funktion der während des Verfahrens verstrichenen Zeit verändert werden. Hierzu kann die erfindungsgemäße Vorrichtung mit bekannten, üblichen Mitteln zum Setzen oder Einstellen der Drehgeschwindigkeit beider Halter 27, 29, mit bekannten und üblichen Mitteln zum Setzen oder Einstellen der Annäherungsgeschwindigkeit beider Halter 27, 29 und/oder mit bekannten und üblichen Mitteln zum Setzen oder Einstellen der Druckkraft, mit der beide Halter 27, 29 mittels der Druckeinheit 75 gegeneinander gedrückt werden können, versehen sein. Die Weise, in der die Drehgeschwindigkeit beider Halter 27, 29, die Annäherungsgeschwindigkeit beider Halter 27, 29 und/oder die Druckkraft der Druckeinheit 75 sich als Funktion der während des Verfahrens verstrichenen Zeit ändern müssen, kann beispielsweise zuvor experimentell bestimmt werden. Indem die genannte Drehgeschwindigkeit, Annäherungsgeschwindigkeit und/oder Druckkraft als Funktion der während des Verfahrens verstrichenen Zeit geeignet verändert werden, wird die Verteilung des Klebstoffs zwischen den zwei plattenförmigen Objekten 85, 87 günstig beeinflusst, sodass die Homogenität der Bindung zwischen den zwei Objekten 85, 87 verbessert wird.
Schließlich sei bemerkt, dass die Erfindung auch Verfahren umfasst, bei denen die zusammenzufügenden plattenförmigen Objekte nicht gedreht werden, wenn sie aufeinander zu bewegt werden; in dem genannten Verfahren werden die Objekte erst gedreht, wenn sie gegeneinander gedrückt werden. Bei einer solchen Ausführungsform des erfindungsgemäßen Verfahrens wird eine kleinere Menge an Klebstoff verwendet, der sich weitgehend zwischen den Objekten verteilt, wenn diese Objekte gegeneinander gedrückt werden. Die Objekte werden gedreht, wenn sie gegeneinander gedrückt werden, wodurch das Verteilen des Klebstoffs verbessert wird und die notwendige Druckkraft begrenzt wird. Aus diesem Grund umfasst die Erfindung Verfahren, in denen die zwei plattenförmigen Objekte zumindest für eine Zeitdauer, in der die Objekte gegeneinander gedrückt werden, bei gleicher Drehgeschwindigkeit gedreht werden.

Claims

Verfahren zum Zusammenfügen eines ersten plattenförmigen Objekts (85) mit einem zweiten plattenförmigen Objekt (87) mit Hilfe eines Klebstoffs, wobei der Klebstoff an zumindest einer Seite des ersten Objekts angebracht wird, dadurch gekennzeichnet, dass das Zusammenfügen eine erste Phase umfasst, in der die plattenförmigen Objekte gedreht werden, und eine zweite Phase, in der die plattenförmigen Objekte gedreht werden und gegeneinander gedrückt werden, wobei die genannte Seite des ersten Objekts und eine Seite des zweiten Objekts gegeneinander gedrückt werden, wobei zumindest für eine Zeitdauer, während der die plattenförmigen Objekte gegeneinander gedrückt werden, diese bei gleicher Drehgeschwindigkeit um eine Drehachse gedreht werden, die nahezu senkrecht zu den genannten Seiten der Objekte verläuft.
Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die plattenförmigen Objekte während der ersten Phase bei einer zuvor bestimmten Drehgeschwindigkeit gedreht werden und bei einer zuvor bestimmten Annäherungsgeschwindigkeit aufeinander zu bewegt werden, wobei die Objekte während der zweiten Phase bei einer weiteren zuvor bestimmten Drehgeschwindigkeit gedreht werden und bei einer zuvor bestimmten Druckkraft gegeneinander gedrückt werden.
Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass eine Menge des Klebstoffes auf einem zentralen Teil des ersten plattenförmigen Objekts aufgebracht wird.
Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die plattenförmigen Objekte mit einer Druckkraft gegeneinander gedrückt werden, die während der zweiten Phase des Zusammenfügens als Funktion der Zeit verändert wird.
Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass ein scheibenförmiges Halbleitersubstrat und ein scheibenförmiger Träger für das Halbleitersubstrat zusammengefügt werden.
Vorrichtung, die das Verfahren nach Anspruch 1 ausführt, welche Vorrichtung mit zwei Haltern (27, 29) versehen ist, um die Objekte (85, 87) zu tragen, und weiterhin mit Mitteln (3) zum Einstellen der Drehgeschwindigkeit der Halter, Mitteln zum Einstellen der Annäherungsgeschwindigkeit der Halter und Mitteln (75) zum Einstellen der Druckkraft, um die Halter gegeneinander zu drücken.
Vorrichtung nach Anspruch 6, bei der das Mittel zum Einstellen der Drehgeschwindigkeit eine Rotationseinheit (3) umfasst.
Vorrichtung nach Anspruch 6, bei der das Mittel zum Einstellen der Annäherungsgeschwindigkeit der Halter eine Verlagerungseinheit (49) umfasst.
Vorrichtung nach Anspruch 6, bei der das Mittel zum Einstellen der Druckkraft zum Gegeneinanderdrücken der Halter eine Druckeinheit (75) umfasst.
Vorrichtung nach Anspruch 6, wobei die Vorrichtung weiterhin eine Auffangkammer (127) für den Klebstoff umfasst, die um zumindest einen der Halter (27, 29) herum angeordnet ist.
Vorrichtung nach Anspruch 6, bei der zumindest einer der zwei Halter (27, 29) um seine Tragfläche (31, 33) herum mit einem Schaufelkranz (133, 135) versehen ist.
Vorrichtung nach Anspruch 6, bei der, in einer Drehrichtung der Halter gesehen, die Halter miteinander gekoppelt sind.
Vorrichtung nach Anspruch 12, bei der die Halter in einem Rotorgehäuse (17) untergebracht sind, das mit Hilfe der Rotationseinheit (3) gedreht werden kann, wobei die Halter (27, 29), in Drehrichtung gesehen, mit dem Rotorgehäuse gekoppelt sind.
Vorrichtung nach einem der Ansprüche 6–13, wobei die Vorrichtung weiterhin ein Hilfsstück (111) umfasst, das eine Auslassöffnung (112) zum Abgeben des Klebstoffs aufweist.
Vorrichtung nach Anspruch 6, wobei die Vorrichtung weiterhin eine Auffangkammer (127) zum Auffangen von beim Gebrauch weggeschleudertem Klebstoff umfasst
Vorrichtung zum Zusammenfügen eines ersten plattenförmigen Objekts (85) mit einem zweiten plattenförmigen Objekt (87) mit Hilfe eines Klebstoffs, wobei die Vorrichtung einen ersten Halter (27) mit einer Tragfläche (31) für das erste Objekt (85), einen zweiten Halter (29) mit einer Tragfläche (33) für das zweite Objekt (87), eine Verlagerungseinheit (49), mit der die zwei Halter mit den Tragflächen aufeinander zu bewegt werden können, und eine Druckeinheit (75), mit der die Tragflächen beider Halter gegeneinander gedrückt werden können, umfasst, wobei die Vorrichtung weiterhin eine Rotationseinheit (3) umfasst, mit der beide Halter bei gleicher Drehgeschwindigkeit gedreht werden können, dadurch gekennzeichnet, dass zumindest einer der zwei Halter (27, 29) um seine Tragfläche (31, 33) herum mit einem Schaufelkranz (133, 135) versehen ist und dass die Vorrichtung weiterhin eine Auffangkammer (127) für den Klebstoff umfasst, die um zumindest einen der Halter herum angeordnet ist, wobei die Auffangkammer (127) ein Gebiet umfasst, das auf einem Niveau unter dem ersten Halter (27) verläuft.