DE19922736C2 - Vorrichtung zum Herstellen eines Einkristalls - Google Patents
Vorrichtung zum Herstellen eines EinkristallsInfo
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Description
Die vorliegende Erfindung betrifft eine Vorrichtung
zum Herstellen eines Verbindungshalbleiter-Einkristalls nach
der vertikalen Bridgeman-Methode des Züchtens eines Einkri
stalls durch graduelles Verfestigen einer Halbleiterschmelze
vom unteren Teil zum oberen Teil eines Tiegels.
In den letzten Jahren wurde dem vertikalen Bridgeman-
Verfahren als Verfahren zum Erhalten von großen GaAs-Kristal
len mit Durchmessern über 76,2 mm (3 Zoll) und geringer Ver
setzungsdichte vermehrt Aufmerksamkeit geschenkt. Beim verti
kalen Bridgeman-Verfahren wird ein Tiegel für das Material
und einen Kristallkeim innerhalb der Heizelemente eines ver
tikalen elektrischen Ofens angeordnet und das Material im
oberen Teil aufgeschmolzen. Danach wird der Keim in die
Schmelze getaucht und vom unteren Teil zum oberen Teil des
Tiegels ein Einkristall gezogen, das heißt vom unteren Teil
auf Seiten des Kristallkeims zum oberen Teil.
Das Verfahren zum Züchten eines Kristalls durch Bewe
gen des Tiegels und der Heizvorrichtung relativ zueinander
wird VB-Verfahren (vertikales Bridgeman-Verfahren) genannt.
Ein Verfahren zum Züchten eines Kristalls durch Vorgeben ei
nes Temperaturgradienten, bei dem die Temperatur im oberen
Teil hoch ist und im unteren Teil niedriger, und des Verrin
gerns der Temperatur insgesamt, während der Temperaturgra
dient aufrecht erhalten wird, wird VGF-Verfahren (vertikales
Gradientenabkühlen) genannt.
Beim Züchten eines GaAs-Einkristalls läßt man B2O3
auf der Oberfläche des Materials schwimmen, um eine Diasozia
tion des As zu verhindern, oder es wird der ganze Tiegel in
einer Quarzampulle eingeschlossen und der Einkristall gezüch
tet, während der Druck in der Ampulle auf 1 Bar (1 atm) ge
halten wird, dem Dissoziationsdruck von As in GaAs.
Als Heizvorrichtung für den Teil, der die Grenzfläche zwi
schen Festkörper und Flüssigkeit steuert, wird bisher immer
eine Heizvorrichtung verwendet, die ohne jeden Spalt in Um
fangsrichtung kontinuierlich verläuft, das heißt eine Heiz
vorrichtung mit einem kreisförmigen Querschnitt, und zwar aus
folgendem Grund: Wenn die Temperatur in Umfangsrichtung vari
iert, wird die Grenzfläche zwischen Festkörper und Schmelze
flach. Die elektrischen Eigenschaften in der Ebene eines Wa
fers, der aus dem Kristall geschnitten wird, ändern sich da
her möglicherweise stark. Entsprechende Heizvorrichtungen
sind aus DE 195 80 737 T1 und Journal of Crystal Growth 167
(1996, Seite 292 bis 294) bekannt.
Bei eingehenden Studien der Erfinder der vorliegenden
Erfindung hat sich jedoch gezeigt, daß, wenn eine runde Heiz
vorrichtung verwendet wird, die Grenzfläche zwischen Festkör
per und Schmelze insgesamt eingetieft ist, und daß ein Nach
teil darin besteht, daß die Ausbeute an Einkristallwachstum
gering ist.
Es ist daher Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine
Vorrichtung zum Herstellen eines Einkristalls nach der verti
kalen Bridgeman-Methode zu schaffen, bei der sich das obige
Problem der eingetieften Grenzfläche zwischen Festkörper und
Schmelze nicht stellt und bei der eine sichere Ausbeute an
Einkristallen erhalten werden kann.
Diese Aufgabe wir erfindungsgemäß durch die Vorrichtung nach
Anspruch 1 gelöst. Dadurch, daß die Wärme des Tiegels nicht
nur in vertikaler sondern auch in seitlicher Richtung abflie
ßen kann, bildet sich die Grenzfläche zwischen Festkörper und
Schmelze am Umfang unterschiedlich aus. In Wachstumsrichtung
gesehen ergibt sich ein Bereich mit eingetiefter Vorderseite
und ein Bereich mit vorstehender Vorderseite an der Grenzflä
che. Diese Form vermindert Kristalldefekte und erhöht die
Ausbeute an Einkristallen.
In den Weiterbildungen nach Anspruch 2 und 3 ist die
Heizvorrichtung zweigeteilt und ermöglicht so eine sattelför
mige bzw. symmetrisch sattelförmige Grenzfläche.
Die alternativen Kühleinrichtungen nach Anspruch 4 er
möglichen eine weitere Beeinflussung der Grenzflächengeome
trie.
Ausführungsbeispiele der Erfindung werden im folgen
den anhand der Zeichnungen näher erläutert. Es zeigen:
Fig. 1 eine perspektivische Ansicht der aufgeteilten
Heizvorrichtung bei einer ersten Ausführungsform einer Vor
richtung zum Züchten eines Einkristalls und die Form der
Grenzfläche zwischen Festkörper und Schmelze;
Fig. 2A einen vertikalen Schnitt durch die Vorrich
tung der Fig. 1; und
Fig. 2B einen Querschnitt durch die Vorrichtung der
Fig. 1 längs der Linie B-B in der Fig. 2A.
Im folgenden wird das Züchten eines undotierten GaAs-
Einkristalls mit einem Durchmesser von 76,2 mm (3 Zoll) nach
dem VGF-Verfahren (vertikales Gradientenabkühlen) mit einem
VGF-Ofen wie in den Fig. 2A und 2B gezeigt als Ausführungs
beispiel beschrieben.
Am unteren Ende eines Tiegels 7 aus PBN ist ein Keim
kristall 3 angeordnet. Der Tiegel 7 enthält als polykristal
lines Material einer Verbindung der Gruppen III-V einen GaAs-
Polykristall. Der Tiegel 7 befindet sich auf einer Tiegelhal
terung in einer Kammer 5 im Inneren der Heizvorrichtung 6 ei
nes vertikalen elektrischen Ofens.
Die Heizvorrichtung 6 des vertikalen elektrischen
Ofens besteht aus einer zylindrischen Heizvorrichtung außer
halb des Tiegels 7, die den Tiegel 7 umgibt. Die Heizvorrich
tung 6 weist in vertikaler Richtung drei Stufen auf, um eine
vorgegebene Temperaturverteilung mit einem Temperaturgradien
ten zu erzeugen, bei dem die Temperatur im unteren Teil nied
riger ist als im oberen Teil. Die Heizvorrichtung 6 besteht
somit aus einer Heizvorrichtung 6a zum Kontrollieren der Po
sition der Grenzfläche zwischen Festkörper und Schmelze, die
in der Mitte angeordnet ist und die als der Teil der Heizvor
richtung zum Kontrollieren der Grenzfläche zwischen Festkör
per und Schmelze dient und die die Grenzflächenheizeinheit
bildet; einer Heizvorrichtung 6b zum Erzeugen der Schmelze,
die im oberen Teil angeordnet ist und die eine Hochtempera
turheizung darstellt; und einer Heizvorrichtung 6c, die im
unteren Teil angeordnet ist und eine Niedertemperaturheizung
darstellt.
In der Heizvorrichtung 6 ist die Heizvorrichtung 6a
zum Kontrollieren der Position der Grenzfläche zwischen Fest
körper und Schmelze, die sich als der Teil der Heizvorrich
tung zum Kontrollieren der Grenzfläche zwischen Festkörper
und Schmelze in der Mitte befindet, vertikal in zwei Teile
geteilt, das heißt in einen rechten und einen linken Teil,
die getrennte Abschnitte 61 und 62 bilden. Zwischen den ge
trennten Abschnitten 61 und 62 sind Lücken 63 zum Abführen
der Wärme des Tiegels in radialer Richtung nach außen ausge
bildet. Die Wärme des Tiegels 7 kann daher nicht nur in ver
tikaler Richtung, sondern auch in radialer Richtung durch die
Lücken 63 nach außen abfließen, wie es durch die Pfeile in
der Fig. 1 angezeigt ist.
Der Kristall wird derart gezüchtet, daß der GaAs-Po
lykristall im Tiegel 7 von der Heizvorrichtung 6 aufgeschmol
zen wird, um eine GaAs-Schmelze 2 zu bilden, und die Heizvor
richtung 6 wird graduell abgekühlt, um einen GaAs-Kristall 1
als Einkristall einer Verbindung aus Elementen der Gruppen
III-V, der die gleiche Orientierung wie der Keimkristall 3
hat, im Tiegel 7 von unten nach oben auszubilden. Auf die
GaAs-Schmelze 2 wird als flüssiges Abschlußmittel 4 B2O3 ge
geben, um eine Dissoziation der GaAs-Schmelze 2 zu verhin
dern.
Wie erwähnt, ist die Heizvorrichtung 6a zum Kontrol
lieren der Grenzfläche zwischen Festkörper und Schmelze ver
tikal geteilt, um die vertikalen Lücken 63 als diejenigen Ab
schnitte auszubilden, in denen sich in Umfangsrichtung der
Heizvorrichtung 6a keine Heizvorrichtung befindet, and die
Wärme kann durch die Lücken 63 (zwei Stellen, die in Richtung
des Durchmessers symmetrisch liegen) entweichen oder abge
führt werden. Auf diese Weise kann die Wärme nicht nur in der
Richtung von oben nach unten abfließen, sondern auch in Um
fangsrichtung (in seitlicher Richtung).
Wenn der GaAs-Einkristall mit der Vorrichtung dieses
Aufbaus gezüchtet wird, schreitet die Grenzfläche des Berei
ches, der in Umfangsrichtung gekühlt wird, voran, und die
Grenzfläche des Bereiches, der der Heizvorrichtung gegenüber
liegt, bleibt zurück. Folglich hat die Grenzfläche zwischen
Festkörper und Schmelze eine Sattelform, wie es in der Fig. 1
gezeigt ist. Das heißt, daß bei der Form der Fig. 1 eine ein
getiefte Vorderseite, die bei A-E-C gezeigt ist, und eine
vorstehende Vorderseite, die bei B-E-D gezeigt ist, in Rich
tungen ausgebildet werden, die sich senkrecht schneiden.
Wenn eine Grenzfläche mit einer solchen Sattelform in
Wachstumsrichtung (in der Fig. 1 von oben) betrachtet wird,
liegen die Bereiche mit eingetiefter Vorderseite und die Be
reiche mit vorstehender Vorderseite an der Grenzfläche zwi
schen Festkörper und Schmelze gemischt vor. In dieser Form
treten weniger Kristalldefekte auf, und die Ausbeute an Ein
kristallwachstum nimmt zumindest im Vergleich zu dem Fall,
daß die Grenzfläche zwischen Festkörper und Schmelze insge
samt eine eingetiefte Vorderseite hat, erheblich zu.
Es wurde überraschenderweise festgestellt, daß das
Ausmaß der Eintiefung des am meisten eingetieften Bereichs
(des Bereichs E in der Fig. 1) im Vergleich zu dem Fall, daß
eine runde Heizvorrichtung verwendet wird, gering wird, wenn
die Grenzfläche mittels der in Hälften aufgeteilten Heizvor
richtung 6 in Sattelform ausgebildet wird. Das heißt, daß Va
riationen in den elektrischen Eigenschaften einer Ebene, wenn
ein Wafer ausgebildet wird, im Vergleich zu einem Kristall,
der mit einem herkömmlichen runden Heizvorrichtung erzeugt
wurde, klein werden.
Der optimale Wert der Breite des Abschnittes, an dem
sich in Umfangsrichtung keine Heizvorrichtung befindet, das
heißt die Breite der Lücke 63 zwischen den getrennten Teilen
61 und 62, läßt sich nicht leicht als numerische Zahl aus
drücken. Wenn die Breite zu groß ist, wird die Eintiefung und
der Vorsprung der Sattelform zu groß. Wenn sie zu klein ist,
kann keine Sattelform erhalten werden. Der optimale Wert der
Lücke 63 ändert sich mit der Kristallgröße, das heißt der
Größe der Heizvorrichtung.
In jedem Fall wird, wenn die in Hälften aufgeteilte
Heizvorrichtung 6a verwendet wird, die Vertiefung in der
Grenzfläche zwischen Festkörper und Schmelze verbessert.
Folglich lassen sich Vorteile wie eine erheblich verbesserte
Ausbeute an einkristallinem Wachstum und eine gleichmäßige
Verteilung der elektrischen Eigenschaften an der Oberfläche
der herausgeschnittenen Wafer erhalten.
Anhand der Fig. 2A und 2B wird eine konkrete Ausfüh
rungsform näher beschrieben. Der Keimkristall 3, 3000 g des
GaAs-Materials, ein Dotierstoff Si und 200 g B2O3 4 werden in
einen PBN-Tiegel 7 mit einem Innendurchmesser von 80 mm gege
ben. Der Tiegel 7 wird in den elektrischen Ofen gesetzt. Die
Heizvorrichtung 6 hat einen Innendurchmesser von 120 mm und
ist in Hälften aufgeteilt. Die Breite der Lücke 63 ohne Heiz
vorrichtung beträgt etwa 20 mm.
Nachdem das atmosphärische Gas in der Kammer 5 durch
N2-Gas ersetzt wurde, wurde die Temperatur erhöht. Der Tempe
raturgradient wurde auf 4°C/cm eingestellt, das Material ge
schmolzen und der Keim in die Schmelze eingetaucht. Danach
wurde die Temperatur mit 1°C/h abgesenkt, um den Kristall zu
züchten. Nach dem Ende des Züchtens wurde der Kristall mit 25
bis 100°C/h auf Raumtemperatur gekühlt und dann herausgenom
men.
Nach dem zehnmaligen Ausführen des Züchtvorganges auf
ähnliche Weise erreichte die Ausbeute an einkristallinem
Wachstum 90%. Als jeder dieser Einkristalle vertikal ge
schnitten und die Grenzfläche zwischen Festkörper und Schmel
ze durch Striation untersucht wurde, stellte sich heraus, daß
die Grenzfläche eine Sattelform hatte, wie es in der Fig. 1
gezeigt ist.
Als aus dem Kristall ein Wafer geschnitten und die
Ladungsträgerkonzentration in der Ebene gemessen wurde, zeig
te sich, daß die Ladungsträgerkonzentration 1,0 × 1018 cm-3
betrug und die Variation innerhalb von ±3% lag. Dieser Wert
ist besser als im folgenden Vergleichsbeispiel.
Unter den gleichen Bedingungen wie oben mit dar Aus
nahme, daß eine runde Heizvorrichtung verwendet wurde, wurde
ein Vergleichskristall gezogen. Die Ausbeute an einkristalli
nem Wachstum war bei einer zehnmal wiederholten Ausführung
des Ziehvorganges 60%. Bei der Untersuchung der Grenzfläche
zwischen Festkörper und Schmelze wurde festgestellt, daß die
eingetiefte Vorderseite insgesamt groß war. Es stellte sich
auch heraus, daß von dem Teil des Meniskus, der mit dem Tie
gel in Kontakt stand, viele Defekte ausgehen.
Als aus dem Kristall ein Wafer geschnitten und die
Ladungsträgerkonzentration in der Ebene gemessen wurde, zeig
te sich, daß die Ladungsträgerkonzentration 1,0 × 1018 cm-3
betrug und die Variation innerhalb von ±10% lag.
Die vorliegende Erfindung ist nicht auf die vorste
hende Ausführungsform beschränkt, sondern kann wie folgt mo
difiziert werden.
- 1. Neben GaAs können als Material für den Kristall alle Verbindungshalbleiter verwendet werden. Beispiele für Halbleitermaterialien, die bei der Erfindung verwendet werden können, sind Verbindungen der Gruppen III-V wie GaAs, InAs, GaSb, InSb, GaP und InP, Verbindungen der Gruppen II-VI wie CdTe, ZnSe, ZnS und HgTe, Elemente der Gruppe IV wie Si und Ge und Mischkristalle aus einer oder mehreren Arten der obi gen Elemente.
- 2. Es kann sowohl das VB-Verfahren (das vertikale Bridgeman-Verfahren) als auch das VGF-Verfahren (das vertika le Gradientenabkühlverfahren) angewendet werden.
- 3. Auch wenn die Anzahl der vertikalen Unterteilun gen der Heizvorrichtung, das heißt die Aufteilung der Heizvorrichtung in Umfangsrichtung in zwei Teile erfolgt ist, wird eine Aufteilung in bis zu vier Teile als effektiv zur Ausbildung der Grenzfläche zwischen Festkörper und Schmelze in Sattelform betrachtet. Eine stärkere Unterteilung der Heizvorrichtung ist unter dem Gesichtspunkt des Ausbildens der Grenzfläche zwischen Festkörper und Schmelze in Sattel form nicht erforderlich.
- 4. Da die Heizvorrichtung 6 in Hälften unterteilt ist, um die Wärme des Tiegels in den Abschnittes in Umfangs richtung in radialer Richtung nach außen abzuführen, in denen sich keine Heizvorrichtung befindet (die den Lücken 63 ent sprechenden Abschnitte), kann die Wärme auch dadurch in Um fangsrichtung (seitlich) abgeführt werden, daß eine runde Heizvorrichtung verwendet und eine Kühlvorrichtung (zum Bei spiel ein wassergekühltes Rohr, eine teilweise entfernte Wär meisolierung oder dergleichen) an in Umfangsrichtung symme trischen Stellen vorgesehen wird, mit der die Wärme auch in Umfangsrichtung (seitlich) abgeführt werden kann. Diese Mög lichkeit wird von der Erfindung auch erfaßt.
- 5. Da sich wie erwähnt der optimale Wert für die Breite des Abschnittes in Umfangsrichtung ohne Heizvorrich tung (der Abschnitt mit der Lücke 63 oder der Abschnitt mit der Kühlvorrichtung) mit der Größe des zu erhaltenden Einkri stalls (dem Durchmesser der Heizvorrichtung 6) und dem Mate rial und der Form des Isoliermaterials, wenn als Mittel zur Kühlung ein Teil des Isoliermaterials am Umfang der Heizvor richtung entfernt wird, ändert, kann die Breite nicht ein heitlich festgelegt werden. In jedem Fall wird jedoch, wenn die Heizvorrichtung 6a verwendet wird, die in Hälften unter teilt ist, die eingetiefte Ebene der Grenzfläche zwischen Festkörper und Schmelze verbessert.
Folglich lassen sich die Vorteile einer erheblich
verbesserten Ausbeute an einkristallinem Wachstum und einer
gleichmäßigen Verteilung der elektrischen Eigenschaften in
der Ebene eines aus dem Kristall herausgeschnittenen Wafers
erhalten.
Erfindungsgemäß lassen sich somit die folgenden Wir
kungen erhalten.
- 1. Beim Herstellen eines Einkristalls wird ein Teil zum Abführen der Wärme des Tiegels in radialer Richtung nach außen zumindest teilweise in Umfangsrichtung des Teiles der Heizvorrichtung zum Kontrollieren der Grenzfläche zwischen Festkörper und Schmelze, die den Tiegel umgibt, vorgesehen, und der Einkristall wird gezüchtet, während die Wärme des Tiegels nicht nur in vertikaler Richtung, sonder auch in ra dialer Richtung nach außen abgeführt wird. Damit liegt die Grenzfläche des Bereiches, der in Umfangsrichtung gekühlt wird, vorn und die Grenzfläche des Bereiches, der der Heiz vorrichtung gegenüberliegt, hinten. Bei der Betrachtung der Form der Grenzfläche zwischen Festkörper und Schmelze in Wachstumsrichtung liegen daher in der Grenzfläche zwischen Festkörper und Schmelze die Bereiche mit eingetiefter Vorder seite und mit vorstehender Vorderseite gemischt vor. In die ser Form der Grenzfläche zwischen Festkörper und Schmelze treten weniger Kristalldefekte auf, und die Ausbeute an ein kristallinem Wachstum nimmt stark zu, verglichen mit dem Fall, daß die Grenzfläche insgesamt eingetieft ist. Die Ver teilung der elektrischen Eigenschaften in der Ebene von aus dem Kristall geschnittenen Wafern ist gleichmäßig.
- 2. Der Einkristall wird gezüchtet, während die Grenzfläche zwischen Festkörper und Schmelze sattelförmig ge halten wird. Bei der Betrachtung der Form der Grenzfläche zwischen Festkörper und Schmelze in Wachstumsrichtung liegen daher in der Grenzfläche zwischen Festkörper und Schmelze die Bereiche mit eingetiefter Vorderseite und mit vorstehender Vorderseite gemischt vor. In dieser Form der Grenzfläche zwi schen Festkörper und Schmelze treten weniger Kristalldefekte auf, und die Ausbeute an einkristallinem Wachstum nimmt stark zu, verglichen mit dem Fall, daß die Grenzfläche insgesamt eingetieft ist. Die Verteilung der elektrischen Eigenschaften in der Ebene von aus dem Kristall geschnittenen Wafern ist gleichmäßig.
- 3. Bei der Vorrichtung zur Herstellung des Einkri stalls ist wenigstens der Teil der Heizvorrichtung zum Kon trollieren der Grenzfläche zwischen Festkörper und Schmelze vertikal um den Tiegel herum in eine Anzahl von Teilen unter teilt, wobei die Lücken zum Abführen der Wärme des Tiegels in radialer Richtung nach außen in der Heizvorrichtung in Um fangsrichtung ausgebildet sind und die Wärme des Tiegels nicht nur in vertikaler Richtung, sondern auch von den Lücken in radialer Richtung nach außen abströmen kann. Folglich geht die Grenzfläche des Bereiches, der in Umfangsrichtung gekühlt wird, voran, und die Grenzfläche des Bereiches, der der Heiz vorrichtung gegenüberliegt, bleibt zurück. Im Ergebnis hat die Grenzfläche zwischen Festkörper und Schmelze eine Form, bei der die Bereiche mit eingetiefter Vorderseite und die Be reiche mit vorstehender Vorderseite gemischt vorliegen, gese hen in Wachstumsrichtung. Bei dieser Form der Grenzfläche zwischen Festkörper und Schmelze treten weniger Kristallde fekte auf, und die Ausbeute an einkristallinem Wachstum nimmt stark zu, verglichen mit dem Fall, daß die Grenzfläche insge samt eingetieft ist. Die Verteilung der elektrischen Eigen schaften in der Ebene von aus dem Kristall geschnittenen Wa fern ist gleichmäßig.
Claims (4)
1. Vorrichtung zum Herstellen eines Verbindungshalbleiter-
Einkristalls (1) nach der vertikalen Bridgeman-Methode, mit
einer einen Schmelztiegel (7) ringförmig umgebenden, vertikal
angeordneten Heizeinrichtung (6), dadurch gekennzeichnet, daß
der die Grenzfläche zwischen festem Halbleiter und Halblei
terschmelze (2) beheizende Teil (6a) der Heizeinrichtung (6)
an mindestens einer Stelle seines Umfangs durch eine Lücke
(63) oder Kühleinrichtung unterbrochen ist.
2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß
der die Grenzfläche beheizende Teil (6a) der Heizeinrichtung
(6) durch zwei vertikal verlaufende Lücken (63) bzw. Kühlein
richtungen unterbrochen ist.
3. Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß
die beiden Lücken (63) bzw. Kühleinrichtungen einander diame
tral gegenüber liegen.
4. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, da
durch gekennzeichnet, daß die Kühleinrichtung ein mit einer
wassergekühlten Leitung versehener oder ein von Isoliermate
rial befreiter Abschnitt der Heizeinrichtung (6) ist.
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2001
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Patent Citations (1)
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