DE19912417A1

DE19912417A1 - IC-Testgerät

Info

Publication number: DE19912417A1
Application number: DE19912417A
Authority: DE
Inventors: Takeshi Onishi
Original assignee: Advantest Corp
Current assignee: Advantest Corp
Priority date: 1998-03-20
Filing date: 1999-03-19
Publication date: 1999-09-30
Anticipated expiration: 2019-03-20
Also published as: CN1229924A; KR19990078097A; CN1135395C; US6198274B1; KR100295249B1; DE19912417B4; JP3805888B2; TW419591B; JPH11271397A; SG79250A1

Abstract

Es wird ein IC-Testgerät bereitgestellt, bei dem ein bei dem Wechsel eines an einem Testkopf montierten Meßabschnitts auftretender Unfall verhindert werden kann. Eine Typensignalerzeugungseinrichtung 301 ist an jedem der Meßabschnitte vorgesehen, so daß ein Typensignaltyp von der Typensignalerzeugungseinrichtung 301 ausgegeben werden kann, wenn ein Meßabschnitt 300 an einem Testkopf 200 angebracht ist. Das Typensignal wird von einer Typensignalleseeinrichtung 102 gelesen, die in einem IC-Tester 100 vorhanden ist. Das Typensignal wird zu einer Handhabungseinrichtung 400 zusammen mit der Anzahl SUM von gleichzeitigen Tests übermittelt, die aus einem Testprogramm herausgegriffen wird, das in einer Hauptsteuereinrichtung 101 des IC-Testers geladen ist. In der Handhabungseinrichtung beurteilt eine Beurteilungseinrichtung 402 auf der Grundlage der übermittelten Anzahl von gleichzeitigen Tests und dem Typensignal, ob das Testprogramm geeignet ist oder nicht und ob die in der Handhabungseinrichtung eingestellte Anordnung von IC-Sockeln mit der Anordnung der IC-Sockel des Meßabschnitts übereinstimmt. Eine in dem IC-Tester vorgesehene Start/Stop-Steuereinrichtung 104 erzeugt einen Startbefehl zum Starten eines Tests, wenn alle Beurteilungsergebnisse "Gut" lauten, oder erzeugt einen Befehl "Anhalten des Startens" zum Verhindern eines Startens des IC-Testers, wenn auch nur eines der Beurteilungsergebnisses "Nicht gut" lautet.

Description

HINTERGRUND DER ERFINDUNG 1. Gebiet der Erfindung

Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf ein IC-Testgerät zum Testen eines Halbleiterbauele ments, das durch eine integrierte Halbleiterschaltung (im folgenden als IC bezeichnet) wie etwa durch einen Speicher-IC oder einen Logik-IC gebildet ist.

2. Beschreibung des Standes der Technik

Fig. 3 zeigt den schematischen Aufbau einer Ausführungsform eines herkömmlichen IC-Testge räts. Ein IC-Testgerät umfaßt hauptsächlich einen IC-Tester 100, der ein Testmustersignal, das an einen im Test befindlichen IC anzulegen ist, ein Adreßsignal, ein Steuersignal, ein Erwar tungswertsignal und dergleichen erzeugt und auf der Grundlage eines als Antwort erhaltenen Ausgangssignals, das aus dem im Test befindlichen IC ausgelesen wird, ermittelt, ob der im Test befindliche IC fehlerfrei (ein akzeptables oder auslegungskonformes Bauteil) oder fehlerhaft (defektes oder nicht auslegungskonformes Bauteil) ist, und eine Handhabungseinrichtung (Halbleiterbauelement-Transport- und Handhabungseinrichtung) 400, die zu testende ICs von einem Beschickungsabschnitt zu einem Testabschnitt transportiert, damit ein elektrischer Kontakt zwischen einem im Test befindlichen IC und einem IC-Sockel hergestellt wird, und den getesteten IC nach dem Abschluß des Tests aus dem Testabschnitt heraus zu einem Entladeabschnitt transportiert, in dem die getesteten ICs auf der Grundlage der Testergebnisse sortiert oder klassifiziert werden.

Der IC-Tester 100 weist einen Testkopf 200 auf, der als separater Körper ausgebildet und über ein Kabel KB1 mit dem Hauptkörper des IC-Testers elektrisch verbunden ist. Bei dem als Beispiel dienenden IC-Testgerät ist dieser Testkopf 200 in der vorbestimmten Position unterhalb des Testabschnitts der Handhabungseinrichtung 400 angeordnet. Der Testkopf 200 enthält üblicher weise eine Treibergruppe zum Anlegen eines Testmustersignals und/oder eines Adreßsignals, das von dem IC-Tester 100 erzeugt wird, an einen im Test befindlichen IC, und eine Vergleicher gruppe zum Vergleichen eines als Antwort erhaltenen Ausgangssignals, das aus dem Test befindlichen IC ausgelesen wird, mit einem Erwartungswertsignal. Ein von der Vergleichergruppe abgegebenes Ausgangssignal wird über das Kabel KB1 zu dem IC-Tester 100 geleitet.

An dem oberen Abschnitt des Testkopfs 200 ist ein Element oder eine Befestigungseinrichtung 300 abnehmbar angebracht, die als Meßabschnitt bezeichnet wird, durch den eine Gruppe von Treibern und eine Gruppe von Vergleichern in dem Testkopf mit IC-Sockeln SK elektrisch verbunden werden. Mit den IC-Sockeln SK werden Leitungsanschlüsse des im Test befindlichen ICs elektrisch kontaktiert (das Element 300 wird im folgenden einfach als ein Meßabschnitt bezeichnet). Eine vorbestimmte Anzahl von IC-Sockeln ist an der oberen Oberfläche des Meßab schnitts 300 angebracht, der in dem Testabschnitt der Handhabungseinrichtung 400 angeordnet ist.

Die Handhabungseinrichtung 400 bewirkt, daß der im Test befindliche IC nach seinem Transport zu dem Testabschnitt der Handhabungseinrichtung mit dem IC-Sockel SK in Kontakt gebracht wird, und es legt der IC-Tester 100 ein vorbestimmtes Testmustersignal an den im Test befindli chen IC über das Kabel KB1, den Testkopf 200, den Meßabschnitt 300 und den IC-Sockel SK an, um hierdurch den Test des im Test befindlichen ICs zu bewerkstelligen. Der getestete IC wird von dem IC-Sockel durch die Handhabungseinrichtung 400 abgenommen und dann aus dem Testabschnitt heraus zu dem Entladeabschnitt transportiert.

Der IC-Tester 100 arbeitet in Übereinstimmung mit einem Testprogramm, das in einer Haupt steuereinrichtung 101 gespeichert ist, und testet den im Test befindlichen IC mit Hilfe des IC- Sockels, der an dem Meßabschnitt 300 angebracht ist. Dies bedeutet, daß ein Testmustersignal von dem IC-Tester 100 über das Kabel KB1, den Testkopf 200 und den Meßabschnitt 300 an den im Test befindlichen IC angelegt wird. Das von dem im Test befindlichen IC erhaltene Antwortsignal wird durch den Testkopf 200 über den Meßabschnitt 300 abgegriffen, und es wird das Antwortsignal mit einem den erwarteten Wert besitzenden Signal bzw. Erwartungswert signal, das von dem IC-Tester 100 zugeführt wird, durch die in dem Testkopf 200 angeordnete Vergleichergruppe verglichen. Das Vergleichsergebnis wird dann über das Kabel KB1 zu dem IC- Tester 100 geleitet. Der IC-Tester 100 führt auf der Grundlage des Ergebnisses des Vergleichs zwischen dem Antwortsignal und dem Erwartungswertsignal einen Ermittlungsvorgang aus, um hierdurch die Fehlerstelle des im Test befindlichen ICs oder dgl. zu identifizieren.

Nachfolgend wird der Grund erläutert, weshalb der Meßabschnitt 300 an dem Testkopf 200 in abnehmbarer Weise angebracht ist.

Es gibt viele Arten von zu testenden ICs. Wenn daher ICs getestet werden, die jeweils Anschluß stifte mit einer Anzahl aufweisen, die sich von der Anzahl der Anschlußstifte eines anderen ICs unterscheidet, muß der Meßabschnitt 300 durch einen anderen Meßabschnitt 300 ersetzt werden, an dem ein IC-Sockel angebracht ist, der an den speziellen, im Test befindlichen IC anpaßbar ist.

Da sich ferner die Anzahl von Anschlußstiften eines ICs von mehreren Zehn bis zu mehreren Hundert in Abhängigkeit von der Art des ICs ändern kann, schwankt die Anzahl von ICs, die jeweils zur gleichen Zeit getestet werden können, d. h. die Anzahl von ICs, die gleichzeitig getestet werden können (im folgenden wird dies als die Anzahl von gleichzeitigen Tests bezeich net) in starkem Maße. Genauer erläutert, liegt die Anzahl von Kanälen, durch die Testmuster signale oder Versorgungsspannungen, Bauelement-Steuersignale und dgl. zu einem im Test befindlichen IC von dem IC-Tester 100 übertragen werden können, im allgemeinen bei ungefähr 1.000, genauer gesagt 1.024. Einige der 1.024 Kanäle der Signalpfade sind einem jeweiligen IC- Sockel SK zur Durchführung des Tests geeignet zugeordnet. Wenn demzufolge ICs getestet werden, die eine kleine Anzahl von Anschlußstiften aufweisen, kann die Anzahl von gleichzeiti gen Tests groß sein. Wenn demgegenüber ICs getestet werden, die jeweils mehrere Hundert Anschlußstifte umfassen, ergibt sich als zwangsläufige Folge, daß die Anzahl von gleichzeitigen Tests klein wird.

Aus dem vorstehend angegebenen Grund ist eine Mehrzahl von Meßabschnitten 300 bereitge stellt, an denen jeweils IC-Sockel einer Art, und zwar bezogen auf die Anschlußstifte, angebracht sind. Einer dieser Meßabschnitte 300 ist an dem Testkopf 200 in Abhängigkeit von der Art (den Spezifikationen) des im Test befindlichen ICs montiert, so daß der Test von unterschiedlichen Arten von ICs ausgeführt werden kann.

In den Fig. 4 bis 10 sind Beispiele für unterschiedliche Arten von Meßabschnitten dargestellt. Die Fig. 4A, 4B und 4C zeigen schematische Draufsichten, die jeweils den Aufbau eines Meßabschnitts 300 veranschaulichen, der als Type Nr. 5 (Typ =5) bezeichnet wird. Hierbei bezeichnet in jeder der Darstellungen gemäß den Fig. 4 bis 10 eine quadratische Fläche in dem Meßabschnitt 300, die durch eine punktierte Linie dargestellt ist, eine Montageposition eines IC-Sockels SK, wobei eine in der quadratischen Fläche vorhandene Ziffer eine Nummer angibt, die einem jeweiligen IC-Sockel SK fest zugeordnet ist (diese entspricht auch einer Nummer, die einem im Test befindlichen IC fest zugeordnet ist, der mit dem IC-Sockel in Kontakt zu bringen ist).

Fig. 4A zeigt einen Meßabschnitt 300, bei dem die Anzahl SUM von gleichzeitigen Tests gleich 16 ist (SUM = 16), und bei dem die IC-Sockel in 4 Zeilen × 4 Spalten angeordnet sind (4 × 4). Fig. 4C zeigt einen Meßabschnitt 300, bei dem die Anzahl SUM von gleichzeitigen Tests gleich 8 ist (SUM = 8), und bei dem die IC-Sockel in 4 Reihen × 2 Spalten angeordnet sind (4 × 2). Weiterhin bezeichnet in den Fig. 4B und 4C ein Abschnitt, zu dem eine 0 hinzugefügt ist, eine Position, an der kein IC-Sockel vorhanden ist. Die gemeinsamen Eigenschaften der in den Fig. 4A, 4B und 4C gezeigten Meßabschnitte 300 des Typs=5 bestehen darin, daß die IC-Sockel SK in allen 4 Reihen angeordnet sind und daß die Nummern der IC-Sockel in der horizontalen Richtung indexiert sind bzw. fortlaufen.

Im Gegensatz hierzu sind in den Fig. 5A, 5B und SC schematische Draufsichten gezeigt, die jeweils den Aufbau eines Meßabschnitts 300 veranschaulichen, der als Type Nr. 4 (Typ =4) bezeichnet wird. In Fig. 5A ist ein Meßabschnitt 300 dargestellt, bei dem die Anzahl SUM von gleichzeitigen Tests gleich 32 ist (SUM=32), und bei dem die IC-Sockel in 4 Reihen × 8 Spalten angeordnet sind (4×8). Fig. 5B zeigt einen Meßabschnitt 300, bei dem die Anzahl SUM von gleichzeitigen Tests gleich 16 ist (SUM = 16), und bei dem die IC-Sockel in 4 Reihen × 4 Spalten (4×4) angeordnet sind. Fig. 5C zeigt einen Meßabschnitt 300, bei dem die Anzahl SUM von gleichzeitigen Tests gleich 8 ist (SUM=8), und bei dem die IC-Sockel in 4 Reihen × 2 Spalten (4×2) angeordnet sind. Die Charakteristik des Meßabschnitts des Typs =4, die sich von der Charakteristik des in Fig. 4 gezeigten Meßabschnitts gemäß dem Typ = 5 unterscheidet, besteht darin, daß bei dem Meßabschnitt gemäß dem Typ =4 die Nummern der IC-Sockel in der vertika len Richtung indexiert bzw. fortgezählt sind. Ferner wird die Zuordnung der Nummern zu den IC- Sockeln auf der Basis der Wünsche jedes Benutzers festgelegt, wobei es keinen technischen Unterschied zwischen den Numerierungsmethoden gibt.

Fig. 6 zeigt eine schematische Draufsicht, die den Aufbau eines Meßabschnitts 300 veranschau licht, der als Type Nr. 3 (Typ = 3) bezeichnet wird. Der Meßabschnitt 300 gemäß dem Typ = 3 ist ein Meßabschnitt, bei dem die Anzahl SUM von gleichzeitigen Tests gleich 8 ist (SUM = 8), und bei dem die IC-Sockel in 2 Reihen × 4 Spalten (2×4) angeordnet sind. Die Charakteristik des Meßabschnitts 300 gemäß dem Typ =3 besteht darin, daß die Montagepositionen und die fortlaufenden Nummern der IC-Sockel SK in kreuzstichartiger Anordnung positioniert sind. Es steht lediglich eine Art dieses Typs gemäß der Darstellung in Fig. 6 zur Verfügung.

Die Fig. 7A, 7B und 7C zeigen schematische Draufsichten, die jeweils den Aufbau eines Meßabschnitts 300 veranschaulichen, der als Type Nr. 2 (Typ =2) bezeichnet wird. Fig. 7A zeigt einen Meßabschnitt 300, bei dem die Anzahl SUM von gleichzeitigen Tests gleich 16 ist (SUM = 16), und bei dem die IC-Sockel in 2 Reihen × 8 Spalten (2×8) angeordnet sind. Fig. 7B zeigt einen Meßabschnitt 300, bei dem die Anzahl SUM von gleichzeitigen Tests gleich 8 ist (SUM =8), und bei dem die IC-Sockel in 2 Reihen × 4 Spalten (2×4) angeordnet sind. Fig. 7C zeigt einen Meßabschnitt 300, bei dem die Anzahl SUM von gleichzeitigen Tests gleich 4 ist (SUM =4), und bei dem die IC-Sockel in 2 Reihen × 2 Spalten (2×2) angeordnet sind. Bei dem Meßabschnitt 300 gemäß dem Typ=2 sind die Nummern der IC-Sockel SK jeweils sämtlich in der horizontalen Richtung indexiert bzw. fortlaufend angeordnet.

In den Fig. 8A, 8B und 8C sind schematische Draufsichten gezeigt, die jeweils den Aufbau eines Meßabschnitts 300 veranschaulichen, der als Type Nr. 1 (Typ = 1) bezeichnet wird. Fig. 8A zeigt einen Meßabschnitt 300, bei dem die Anzahl SUM von gleichzeitigen Tests gleich 16 ist (SUM = 16), und bei dem die IC-Sockel in 2 Reihen × 8 Spalten (2×8) angeordnet sind. Fig. 8B zeigt einen Meßabschnitt 300, bei dem die Anzahl SUM von gleichzeitigen Tests gleich 8 ist (SUM=8), und bei dem die IC-Sockel in 2 Reihen × 4 Spalten (2×4) angeordnet sind. Fig. 8C zeigt einen Meßabschnitt 300, bei dem die Anzahl SUM von gleichzeitigen Tests gleich 4 ist (SUM =4), und bei dem die IC-Sockel in 2 Reihen × 2 Spalten (2×2) angeordnet sind. In dem Meßabschnitt 300 gemäß dem Typ = 1 sind alle Nummern der IC-Sockel SK jeweils in der vertikalen Richtung fortlaufend angeordnet.

In den Fig. 9 und 10 sind Beispiele für spezielle Meßabschnitte dargestellt. Fig. 9 zeigt eine schematische Draufsicht, in der der Aufbau eines Meßabschnitts 300 veranschaulicht ist, der als Type Nr. 6 (Typ=6) bezeichnet wird. Der Meßabschnitt 300 gemäß dem Typ =6 ist ein Meßab schnitt, bei dem die Anzahl SUM von gleichzeitigen Tests gleich 8 ist (SUM=8), und bei dem die IC-Sockel in einer Reihe angeordnet sind (1×8).

Fig. 10 zeigt eine schematische Draufsicht, die den Aufbau eines Meßabschnitts 300 veran schaulicht, der als Type Nr. 7 (Typ =7) bezeichnet wird. Der Meßabschnitt 300 gemäß dem Typ = 7 ist ein Meßabschnitt, bei dem die Anzahl SUM von gleichzeitigen Tests gleich 16 ist (SUM = 16), und bei dem die IC-Sockel in 2 Reihen (2×8) angeordnet sind.

Wie vorstehend beschrieben, sind unterschiedliche Typen von Meßabschnitten 300 vorgesehen, und es wird einer dieser Typen von Meßabschnitten entsprechend den im Test befindlichen ICs ausgewählt. Der ausgewählte Meßabschnitt wird an dem Testkopf 200 angebracht, um hierdurch den Test der im Test befindlichen ICs ausführen zu können.

Allerdings müssen die nachfolgend angegebenen Vorbereitungsmaßnahmen ausgeführt werden, bevor ein Test bezüglich der zu testenden ICs begonnen werden kann.

(1) Es wird ein Meßabschnitt 300, an dem IC-Sockel SK angebracht sind, die Anschlußstifte mit einer Anzahl aufweisen, die der Anzahl von Anschlußstiften eines zu testenden ICs entsprechen, ausgewählt und an dem Testkopf 200 angebracht.
(2) Es wird ein Testprogramm in der Hauptsteuereinrichtung 101 des IC-Testers (s. Fig. 3) geladen, wobei dieses Testprogramm eine derartige Funktion ausübt, daß es die Nummer jedes der im Test befindlichen ICs in Übereinstimmung mit dem Typ des angebrachten Meßabschnitts 300 indexiert bzw. hochzählt, um hierdurch jeden im Test befindlichen IC jeweils zu identifizie ren.
(3) Damit die Handhabungseinrichtung 400 den Vorgang des Transports von im Test befindlichen ICs zu den IC-Sockeln SK in Übereinstimmung mit dem Typ des angebrachten Meßabschnitts 300 ausführen kann, wird in einer Einstelleinrichtung 401 der Handhabungseinrichtung 400 der Anordnungstyp 4×8, 4×4, 4×2, . . . oder dgl. eingestellt.

Nachdem die vorstehend beschriebenen Vorbereitungsschritte abgeschlossen sind, wird der Test der im Test befindlichen ICs ausgeführt. Da jedoch bei einem herkömmlichen System keine Einrichtung vorhanden ist, durch die sichergestellt werden könnte, welche Art von Meßabschnitt 300 an dem Testkopf 200 angebracht ist, muß ein Benutzer zuverlässig dann, wenn der Meßabschnitt 300 durch einen anderen Meßabschnitt ersetzt wird, den Vorgang gemäß der Maßnahme (2) hinsichtlich des IC-Testers 100 sowie den Vorgang gemäß der Maßnahme (3) hinsichtlich der Handhabungseinrichtung 400 ausführen.

Falls der Benutzer diese Vorgänge aber nicht bzw. fehlerhaft ausführen sollte, wird der Test nicht in der normalen Weise ausgeführt, und es werden im schlimmsten Fall sogar die IC-Zufuhreinrich tung der Handhabungseinrichtung 400 und/oder die IC-Sockel SK, die an dem Meßabschnitt 300 angebracht sind, und dergl. beschädigt. Ferner tritt das Problem auf, daß ein schwerer Fehler wie etwa eine fehlerhafte Klassifizierung auftritt, während die Klassifizierung der getesteten ICs bei dem Entladeabschnitt auf der Grundlage der Testergebnisse ausgeführt wird, was auf einer fehlerhaften Erkennung der Nummer eines IC-Sockels SK beruht.

Kurzfassung der Erfindung

Es ist eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, ein IC-Testgerät und ein Verfahren zu schaffen, durch das verhindert werden kann, daß das IC-Testgerät einen fehlerhaften Betrieb ausführt, wodurch ein fehlerhafter Betrieb oder ein fehlerhafter Arbeitsvorgang, der auf eine fehlerhafte Betätigung seitens eines Benutzers zurückzuführen ist, verhindert werden kann.

Es ist eine weitere Aufgabe der vorliegenden Erfindung, ein IC-Testgerät und ein Verfahren zu schaffen, durch das verhindert werden kann, daß das IC-Testgerät einen fehlerhaften Ablauf ausführt, bei dem ein Test nicht ausgeführt wird, falls die Betätigungen seitens eines Benutzers entsprechend einem an einem Testkopf angebrachten Meßabschnitt noch nicht abgeschlossen sind.

Es ist eine weitere Aufgabe der vorliegenden Erfindung, ein IC-Testgerät und ein Verfahren zu schaffen, durch das verhindert werden kann, daß das IC-Testgerät einen fehlerhaften Ablauf ausführt, bei dem dann, wenn ein einem Typ entsprechender Meßabschnitt an einem Testkopf angebracht ist, der IC-Tester so lange nicht gestartet wird, bis die Betätigungen seitens eines Benutzers entsprechend diesem Typ des Meßabschnitts sowohl im Hinblick auf den IC-Tester als auch im Hinblick auf eine Handhabungseinrichtung vollständig abgeschlossen sind.

Zur Lösung der vorstehend genannten Aufgaben wird gemäß einem ersten Gesichtspunkt der vorliegenden Erfindung ein IC-Testgerät geschaffen, das einen IC-Tester und eine Handhabungs einrichtung umfaßt, wobei das IC-Testgerät aufweist: Eine Typensignalerzeugungseinrichtung, die in einem Meßabschnitt vorgesehen ist und zum Abgeben eines Typensignals dient, das den Typ des Meßabschnitts repräsentiert, an dem IC-Sockel angebracht sind; eine Typensignalempfangs einrichtung, die in dem IC-Tester vorgesehen ist und zum Aufnehmen eines Typensignals dient, das den Typ des Meßabschnitts repräsentiert; eine Einrichtung zum Übertragen mindestens des empfangenen Typensignals zu der Handhabungseinrichtung; eine Beurteilungseinrichtung, die in der Handhabungseinrichtung vorgesehen ist und dazu dient, auf der Basis des von dem IC-Tester zugeführten Typensignals zu ermitteln, ob der Typ eines Meßabschnitts, der in der Handha bungseinrichtung eingestellt ist, korrekt ist oder nicht; eine Einrichtung zum Übertragen eines elektrischen Signals, das das Ergebnis der Beurteilung, das von der Beurteilungseinrichtung abgegeben wird, repräsentiert, zu dem IC-Tester; und eine Start/Stop-Steuereinrichtung, die dazu dient, einen Start des IC-Testers zu verhindern, wenn das elektrische Signal, das von der Handhabungseinrichtung übertragen wird und das Ergebnis der Beurteilung repräsentiert, ein elektrisches Signal ist, das angibt, daß die Einstellung des Typs eines Meßabschnitts in der Handhabungseinrichtung nicht korrekt ist.

Der Meßabschnitt ist an einem Testkopf in abnehmbarer Weise angebracht und es ist der IC- Tester derart ausgelegt daß er ein Testmustersignal über den Testkopf, den Meßabschnitt und den IC-Sockel an einen im Test befindlichen IC anlegt und ein von dem im Test befindlichen IC erhaltenes Antwortsignal ausliest, um das Antwortsignal mit einem Erwartungswertsignal zu vergleichen und um hierdurch zu ermitteln, ob der im Test befindliche IC fehlerhaft ist oder nicht. Die Handhabungseinrichtung ist derart aufgebaut, daß sie einen zu testenden IC zu dem Meßabschnitt transportiert und den getesteten IC aus dem Meßabschnitt heraus transportiert, nachdem das Testen des ICs abgeschlossen worden ist, sowie die getesteten ICs auf der Grundlage der Testergebnisse sortiert.

Bei einem bevorzugten Ausführungsbeispiel gibt der IC-Tester zusammen mit dem Typensignal die Anzahl von gleichzeitigen Tests von ICs an die Handhabungseinrichtung ab, wobei die Anzahl von gleichzeitigen Tests von ICs diejenige Anzahl von ICs darstellt, die zur gleichen Zeit gemes sen werden und die durch ein in dem IC-Tester gespeichertes Testprogramm bezeichnet werden. Die Beurteilungseinrichtung der Handhabungseinrichtung entscheidet auf der Grundlage des Typensignals und der Anzahl von gleichzeitigen Tests, die von dem IC-Tester abgegeben werden, ob in der Handhabungseinrichtung ein korrekter oder fehlerhafter Typ eines Meßabschnitts eingesetzt ist, und ob in dem IC-Tester ein korrektes Testprogramm gespeichert ist oder nicht und gibt ein Signal "gut" aus, wenn der eingestellte Meßabschnitt und das Testprogramm korrekt sind, oder gibt ein Signal "nicht gut" ab, wenn der eingesetzte Meßabschnitt und das Testpro gramm nicht korrekt sind. Der IC-Tester enthält eine Start/Stop-Steuereinrichtung zum Erzeugen eines Startbefehls für den IC-Tester, wenn alle Beurteilungsausgangssignale, die von der Beurteilungseinrichtung ausgegeben werden, die Signale "gut" sind, oder erzeugt einen Befehl "Starten anhalten", um hierdurch den IC-Tester an einem Start zu hindern, wenn mindestens eines der von der Beurteilungseinrichtung ausgegebenen Beurteilungsausgangssignale das Signal "nicht gut" ist.

Zusätzlich wird die Anordnung der IC-Sockel eines Meßabschnitts, der an dem Testkopf zu montieren ist, in der Handhabungseinrichtung eingestellt, und es beurteilt die Beurteilungseinrich tung der Handhabungseinrichtung auf der Grundlage des Typensignals und der Anzahl von gleichzeitigen Tests, die von dem IC-Tester zugeführt werden, ob die Anordnung der IC-Sockel, die in der Handhabungseinrichtung eingestellt ist, mit der Anordnung der IC-Sockel, die an dem Meßabschnitt angebracht worden sind, übereinstimmt oder nicht.

Bei einem speziellen Ausführungsbeispiel ist die Handhabungseinrichtung mit einer Referenz tabelle versehen, durch die eine Anordnung der IC-Sockel, die an dem Meßabschnitt angebracht worden sind, auf der Grundlage eines Typensignals und der Anzahl von gleichzeitigen Tests spezifiziert werden kann, und es spezifiziert die Beurteilungseinrichtung der Handhabungseinrich tung auf der Grundlage des Typensignals und der Anzahl von gleichzeitigen Tests, die von dem IC-Tester zugeführt werden, die Anordnung der IC-Sockel des Meßabschnitts, der an dem Testkopf angebracht worden ist, unter Heranziehung der Referenztabelle und beurteilt, ob die Anordnung der IC-Sockel, die in der Handhabungseinrichtung vorhanden sind, mit der Anordnung der IC-Sockel, die an dem Meßabschnitt angebracht worden sind, übereinstimmt oder nicht.

Zusätzlich entscheidet die Beurteilungseinrichtung der Handhabungseinrichtung, daß das in dem IC-Tester gespeicherte Testprogramm nicht korrekt ist, wenn keine entsprechende Relation zwischen dem Typensignal und der Anzahl von gleichzeitigen Tests, die von dem IC-Tester übertragen werden, in einer Referenztabelle vorhanden ist, durch die die Anordnung der IC- Sockel, die an dem Meßabschnitt angebracht sind, auf der Grundlage eines Typensignals und der Anzahl von gleichzeitigen Tests spezifiziert werden kann, und wenn demzufolge die Anordnung der IC-Sockel des Meßabschnitts, der an dem Testkopf angebracht worden ist, nicht ermittelt werden kann.

Bei einem modifizierten Ausführungsbeispiel beurteilt der IC-Tester auf der Basis des empfange nen Typensignals und der Anzahl von gleichzeitigen IC-Tests, die durch ein in dem IC-Tester gespeichertes Testprogramm bezeichnet werden, ob der Typ des Meßabschnitts, die Anordnung der IC-Sockel des Meßabschnitts und die Anzahl von gleichzeitigen Tests dem Testprogramm entsprechen oder nicht, und teilt die Anordnung der IC-Sockel der Handhabungseinrichtung mit, wenn die entsprechende Beziehung zwischen diesen gegenseitig übereinstimmt, und es ermittelt die Beurteilungseinrichtung der Handhabungseinrichtung, ob die Anordnung der IC-Sockel, die von dem IC-Tester her übertragen wird, mit der Anordnung der IC-Sockel übereinstimmt, die in der Handhabungseinrichtung eingestellt ist.

Gemäß einem zweiten Gesichtspunkt der vorliegenden Erfindung ist ein Verfahren zum Verhin dern eines fehlerhaften Betriebs eines IC-Testgeräts geschaffen, das einen IC-Tester und eine Handhabungseinrichtung umfaßt, wobei das Verfahren die Schritte aufweist: Aussenden eines Typensignals, das den Typ eines Meßabschnitts repräsentiert, von dem Meßabschnitt, an dem IC-Sockel angebracht sind; Empfangen des Typensignals durch den IC-Tester; Übertragen mindestens des empfangenen Typensignals zu der Handhabungseinrichtung; Ermitteln, ob ein korrekter Typ eines Meßabschnitts in der Handhabungseinrichtung vorgegeben ist oder nicht, wobei die Ermittlung auf der Basis des Typensignals erfolgt, das von dem IC-Tester her übertra gen wird; Übertragen eines elektrischen Signals, das das Ergebnis der Beurteilung repräsentiert, zu dem IC-Tester; und Verhindern, daß der IC-Tester gestartet wird, wenn das elektrische Signal, das das Ergebnis der Beurteilung repräsentiert, ein elektrisches Signal ist, das angibt, daß die Vorgabe des Typs des Meßabschnitts in der Handhabungseinrichtung nicht korrekt ist.

Bei dem Beurteilungsschritt wird auf der Basis des Typensignals, das von dem IC-Tester her übertragen wird, ermittelt, ob die Anordnung der IC-Sockel, die in der Handhabungseinrichtung vorgegeben sind, mit der Anordnung der IC-Sockel übereinstimmt oder nicht, die an dem Meßabschnitt angebracht sind.

Bei einem bevorzugten Ausführungsbeispiel umfaßt der Schritt der Übertragung des Typensignals zu der Handhabungseinrichtung einen Schritt, bei dem zusammen mit dem Typensignal die Anzahl von gleichzeitigen Tests von ICs zu der Handhabungseinrichtung übertragen wird, wobei die Anzahl von gleichzeitigen Tests von ICs die Anzahl von ICs ist, die zur gleichen Zeit gemes sen werden und die durch ein in dem IC-Tester gespeichertes Testprogramm bezeichnet werden. Der Beurteilungsschritt enthält einen Schritt, bei dem auf der Basis des Typensignals und der Anzahl von gleichzeitigen Tests, die von dem IC-Tester her übertragen werden, ermittelt wird, ob ein korrekter Typ eines Meßabschnitts in der Handhabungseinrichtung eingesetzt ist oder nicht, und ob ein korrektes Testprogramm in dem IC-Tester gespeichert ist oder nicht, und bei dem ein Signal "gut" ausgegeben wird, wenn der eingesetzte Meßabschnitt und das Testprogramm korrekt sind, oder bei dem ein Signal "nicht gut" ausgegeben wird, wenn der eingesetzte Meßabschnitt und das Testprogramm nicht korrekt sind. Der Schritt des Verhinderns eines Starts des IC-Testers umfaßt einen Schritt, bei dem ein Startbefehl für den IC-Tester erzeugt wird, wenn alle bei dem Beurteilungsschritt ausgegebenen Signale die Signale "gut" sind, oder bei dem ein Befehl "Start anhalten" zum Verhindern eines Starts des IC-Testes erzeugt wird, wenn mindestens eines der Signale, die bei dem Beurteilungsschritt ausgegeben werden, das Signal "nicht gut" ist.

Zusätzlich wird bei dem Schritt, bei dem ermittelt wird, ob ein korrekter Typ eines Meßabschnitts in der Handhabungseinrichtung eingesetzt ist oder nicht, auf der Basis des Typensignals und der Anzahl von gleichzeitigen Tests, die von dem IC-Tester zugeführt werden, erfaßt, ob die Anordnung der IC-Sockel, die in der Handhabungseinrichtung eingesetzt sind, mit der Anordnung der an dem Meßabschnitt angebrachten IC-Sockel übereinstimmt oder nicht.

Bei einem speziellen Ausführungsbeispiel wird bei dem Schritt, bei dem ermittelt wird, ob ein korrekter Typ eines Meßabschnitts in der Handhabungseinrichtung eingesetzt ist oder nicht, unter Heranziehung einer Referenztabelle, durch die die Anordnung der IC-Sockel, die an dem Meßab schnitt angebracht sind, auf der Basis eines Typensignals und der Anzahl von gleichzeitigen Tests spezifiziert werden kann, die Anordnung der IC-Sockel des Meßabschnitts auf der Grund lage des Typensignals und der Anzahl von gleichzeitigen Tests, die von dem IC-Tester her übertragen werden, festgelegt, und es wird ermittelt, ob die in der Handhabungseinrichtung eingestellte Anordnung der IC-Sockel mit der Anordnung der an dem Meßabschnitt angebrachten IC-Sockel übereinstimmt oder nicht.

Zusätzlich wird bei dem Schritt, bei dem ermittelt wird, ob ein korrektes Testprogramm in dem IC-Tester gespeichert ist oder nicht, ermittelt, daß ein in dem IC-Tester gespeichertes Testpro gramm nicht korrekt ist, wenn eine entsprechende Beziehung zwischen dem Typensignal und der Anzahl von gleichzeitigen Tests, die von dem IC-Tester her übertragen werden, in einer Referenz tabelle, durch die die Anordnung der an dem Meßabschnitt angebrachten IC-Sockel auf der Grundlage eines Typensignals und der Anzahl von gleichzeitigen Tests spezifiziert werden kann, nicht vorhanden ist und demzufolge die Anordnung der IC-Sockel des Meßabschnitts nicht festgelegt werden kann.

Bei einem modifizierten Ausführungsbeispiel ist weiterhin ein Schritt enthalten, bei dem auf der Basis des Typensignals, das von dem IC-Tester her empfangen wird, und der Anzahl von gleichzeitigen Tests von ICs, die durch ein in dem IC-Tester gespeichertes Testprogramm bezeichnet wird, ermittelt wird, ob der Typ des Meßabschnitts, die Anordnung der IC-Sockel des Meßabschnitts und die Anzahl von gleichzeitigen Tests dem Testprogramm entsprechen oder nicht, und bei dem die Anordnung der IC-Sockel zu der Handhabungseinrichtung übertragen wird, wenn die entsprechende Beziehung dazwischen jeweils miteinander übereinstimmt. Bei dem Ermittlungsschritt wird ermittelt, ob die Anordnung der IC-Sockel, die von dem IC-Tester her übertragen wird, mit der Anordnung der IC-Sockel übereinstimmt oder nicht, die in der Handha bungseinrichtung eingestellt sind.

Gemäß der Ausgestaltung der vorliegenden Erfindung trifft die Beurteilungseinrichtung nur dann, wenn die Betätigungen bzw. Einstellungen für den IC-Tester und die Handhabungseinrichtung nach einem Austausch des Meßabschnitts korrekt ausgeführt worden sind, eine Entscheidung, daß das Testgerät korrekt eingestellt worden ist. Es besteht daher keine Möglichkeit, daß der IC- Tester in einem Zustand gestartet wird, bei dem die Einstellungen für den IC-Tester und die Handhabungseinrichtung, die mit der Änderung des Meßabschnitts zusammenhängen, nicht ausgeführt worden sind. Demzufolge besteht keine Gefahr, daß ein Unfall hervorgerufen wird, bei dem der Test unter den falschen Betriebszuständen ausgeführt wird und die Handhabungseinrich tung beschädigt wird. Zusätzlich besteht keine Gefahr, daß ein Unfall hervorgerufen wird, bei dem die Testergebnisse fehlerhaft erkannt werden und die getesteten ICs fehlerhaft klassifiziert werden. Als Ergebnis dessen wird der Vorteil erzielt, daß ein IC-Testgerät bereitgestellt werden kann, das einfach zu handhaben und sehr zuverlässig ist.

Kurze Beschreibung der Zeichnungen

Fig. 1 zeigt ein Blockschaltbild, in dem ein Ausführungsbeispiel eines IC-Testgeräts gemäß der vorliegenden Erfindung dargestellt ist;

Fig. 2 zeigt eine schematische Darstellung, die ein Beispiel für eine Referenztabelle veran schaulicht, die bei dem in Fig. 1 gezeigten IC-Testgerät benutzt wird;

Fig. 3 zeigt ein Blockschaltbild, das ein Ausführungsbeispiel eines herkömmlichen IC- Testgerät veranschaulicht;

Fig. 4 zeigt eine schematische Darstellung zur Erläuterung eines von mehreren Typen von Meßabschnitten, die in einem IC-Testgerät zum Einsatz kommen;

Fig. 5 zeigt eine schematische Darstellung zur Erläuterung eines weiteren Typs von Meßab schnitten;

Fig. 6 zeigt eine schematische Darstellung zur Erläuterung eines anderen Typs eines Meßab schnitts;

Fig. 7 zeigt eine schematische Darstellung zur Erläuterung eines weiteren Typs eines Meßabschnitts;

Fig. 8 zeigt eine schematische Darstellung zur Erläuterung eines anderen Typs eines Meßab schnitts;

Fig. 9 zeigt eine schematische Darstellung zur Erläuterung eines weiteren Typs eines Meßabschnitts; und

Fig. 10 zeigt eine schematische Darstellung zur Erläuterung eines anderen Typs eines Meßab schnitts.

Detaillierte Beschreibung der bevorzugten Ausführungsbeispiele

Es werden nun einige bevorzugte Ausführungsbeispiele der vorliegenden Erfindung unter Bezugnahme auf die Fig. 1 und 2 im einzelnen beschrieben. Aus Gründen der Klarheit sind hierbei in Fig. 1 gezeigte Abschnitte oder Elemente, die den in Fig. 3 gezeigten Abschnitten oder Elementen entsprechen, mit den gleichen, zu ihnen hinzugefügten Bezugszeichen veranschau licht, und es wird deren Beschreibung weggelassen, sofern sie nicht erforderlich ist.

Fig. 1 zeigt ein Blockschaltbild, das ein Ausführungsbeispiel des IC-Testgeräts gemäß der vorliegenden Erfindung veranschaulicht. Bei diesem Ausführungsbeispiel ist an jedem der Meßabschnitte, die an dem Testkopf 200 anzubringen sind, jeweils eine Typensignalerzeugungs einrichtung 301 angebracht, die zum Erzeugen und Ausgeben eines elektrischen Signals, das den Typ (Type) des Meßabschnitts repräsentiert, dient, wenn ein Meßabschnitt an dem Testkopf 200 angebracht ist. Als Typensignalerzeugungseinrichtung 301 kann eine Kontaktsignalerzeugungs einrichtung benutzt werden, die derart aufgebaut ist, daß ein mehrere Bits umfassendes logisches Signal, das aus einem logischen Signal H (hoher Pegel) und einem logischen Signal L (niedriger Pegel) besteht, beispielsweise mit Hilfe einer Einstelleinrichtung erzeugt wird, bei der ein DIP- Schalter (ein Schalter, der in ein IC-Gehäuse des DIP-Typs eingebaut ist) oder "Jumper"- bzw. Verbinder-Drahtverbindungen auf einer Anschlußplatine zum Einsatz kommen. Die Typennummer des Meßabschnitts 300 wird in Form eines elektrischen Signals unter Heranziehung des mehrere Bits umfassenden logischen Signals erzeugt und ausgegeben.

Die Typensignalerzeugungseinrichtung 301, die an jedem Meßabschnitt 300 angebracht ist, ist dann, wenn ein bestimmter Meßabschnitt 300 an dem Testkopf 200 angebracht ist, zusammen mit den IC-Sockeln mit dem Testkopf 200 elektrisch verbunden. Zusätzlich ist die Typensignaler zeugungseinrichtung 301 über das Kabel KB1 mit einer Typensignalleseeinrichtung 102 elektrisch verbunden, die in dem IC-Tester 100 vorgesehen ist. Diese Typensignalleseeinrichtung 102 liest ein Typensignal TYPE, das von der Typensignalerzeugungseinrichtung 301 zugeführt wird, die an dem Meßabschnitt 300 angebracht ist. Die Typensignalleseeinrichtung 102 gibt das gelesene Typensignal TYPE an eine Übertragungseinrichtung 103 ab.

Ein Testprogramm ist in einer Hauptsteuereinrichtung 101 des IC-Testers 100 bereits vorab geladen worden, und es wird die Anzahl SUM von gleichzeitigen Tests, die in dem Testprogramm eingestellt ist, aus dem Testprogramm herausgegriffen und in die Übertragungseinrichtung 103 eingespeist. Die Anzahl SUM von gleichzeitigen Tests, die in die Übertragungseinrichtung 103 eingespeist worden ist, wird über ein Kabel KB2 zusammen mit dem Typensignal TYPE zu der Handhabungseinrichtung 400 übertragen.

Bei diesem Ausführungsbeispiel sind eine Beurteilungseinrichtung 402, eine Referenztabelle 403, eine Sendeeinrichtung 404 und ein Alarmgenerator 405 in der Handhabungseinrichtung 400 zusätzlich zu der Einstelleinrichtung 401 vorgesehen. Das Typensignal TYPE und die Anzahl SUM von gleichzeitigen Tests, die von dem IC-Tester her zugeführt worden sind, werden in die Beurteilungseinrichtung 402 der Handhabungseinrichtung 400 eingegeben.

Die Beurteilungseinrichtung 402 identifiziert die Anordnung der IC-Sockel SK des Meßabschnitts 300, der an dem Testkopf 200 angebracht ist, unter Zugriff auf die Referenztabelle 403 und auf der Basis des Typensignals TYPE und der Anzahl SUM von gleichzeitigen Tests.

Genauer gesagt, ist, wie in Fig. 2 gezeigt ist, die Referenztabelle 403 derart aufgebaut, daß in der Referenztabelle 403 die entsprechenden Beziehungen zwischen den Typensignalen TYPE und den Anzahlen SUM von gleichzeitigen Tests gespeichert sind. Wenn ein Typensignal TYPE und eine Anzahl aus den Anzahlen SUM von gleichzeitigen Tests erkannt worden sind, kann die Anordnung der IC-Sockel SK aus der Referenztabelle ausgelesen werden.

Wenn das Typensignal TYPE beispielsweise gleich TYPE = 1 ist und die Anzahl SUM von gleichzeitigen Tests SUM = 16 ist, wird hierdurch festgelegt, daß die Anordnung der IC-Sockel SK gleich 2×8 ist (2 Zeilen × 8 Spalten), wie dies aus Fig. 2 ersichtlich ist. Als Ergebnis kann dadurch ermittelt werden, daß die Anordnung der IC-Sockel demjenigen Aufbau des Meßab schnitts entspricht, der in Fig. 8A gezeigt ist.

Wenn ferner das Typensignal TYPE gleich TYPE=4 ist und die Anzahl SUM von gleichzeitigen Tests gleich SUM = 32 ist, wird hierdurch festgelegt, daß die Anordnung der IC-Sockel SK gleich 4×8 (4 Zeilen × 8 Spalten) ist, wie dies aus Fig. 2 ersichtlich ist. Als Ergebnis kann damit erkannt werden, daß die Anordnung der IC-Sockel demjenigen Aufbau des Meßabschnitts entspricht, der in Fig. 5A gezeigt ist.

Wenn andererseits das Typensignal TYPE gleich TYPE=5 ist und die Anzahl SUM von gleichzei tigen Tests gleich SUM = 8 ist, wird hierdurch angezeigt daß die Anordnung der IC-Sockel SK gleich 4×2 (4 Zeilen × 2 Spalten) ist, wie dies aus Fig. 2 ersichtlich ist. Als Ergebnis kann damit erkannt werden, daß die Anordnung der IC-Sockel demjenigen Aufbau des Meßabschnitts entspricht, der in Fig. 4C gezeigt ist.

Auf diese Weise kann die Handhabungseinrichtung 400 die Anordnung der IC-Sockel des an dem Testkopf 200 angebrachten Meßabschnitts 300 auf der Grundlage des Typensignals TYPE und der Anzahl SUM von gleichzeitigen Tests, die von dem IC-Tester 100 ausgegeben werden, identifizieren. Durch Vergleich der Anordnung der IC-Sockel, die auf der Basis der Referenztabelle 403 ermittelt wird, mit der Anordnung der IC-Sockel, die in der Einstelleinrichtung 401 der Handhabungseinrichtung 400 eingestellt ist, kann daher ermittelt werden, ob die in der Handha bungseinrichtung 400 eingestellte Anordnung der IC-Sockel mit der Anordnung der IC-Sockel des aktuell angebrachten Meßabschnitts 300 übereinstimmt oder nicht.

Falls die entsprechende Beziehung zwischen dem Typensignal TYPE und der Anzahl SUM von gleichzeitigen Tests, die von dem IC-Tester 100 zugeführt wird, nicht in der Referenztabelle 403 vorhanden ist, läßt sich zudem erfassen, daß das Testprogramm, das bereits zuvor in der Hauptsteuereinrichtung 101 des IC-Testers 100 geladen worden ist, nicht mit dem Typ des Meßabschnitts 300 übereinstimmt, der an dem Testkopf 200 angebracht ist. Dies bedeutet, daß dann, wenn das Typensignal TYPE gleich 4 oder 5 ist, die Anzahl von gleichzeitigen Tests, die der TYPE=4 oder der TYPE=5 entspricht, in der Referenztabelle 403 nicht vorhanden ist, falls die Anzahl SUM von gleichzeitigen Tests, die aus dem Testprogramm herausgegriffen wird, gleich SUM=4 oder SUM=2 ist. Daher kann ermittelt werden, daß das in der Hauptsteuerein richtung 101 des IC-Testers 100 geladene Testprogramm nicht das korrekte Programm ist.

Es ist demzufolge möglich, auf der Seite der Handhabungseinrichtung 400 zu erkennen, ob die in der Einstelleinrichtung 401 der Handhabungseinrichtung 400 eingestellte Anordnung der IC- Sockel mit der Anordnung der IC-Sockel des aktuell angebrachten Meßabschnitts 300 überein stimmt oder nicht, und ob das in der Hauptsteuereinrichtung 101 des IC-Testers 100 geladene Testprogramm das korrekte Programm ist oder nicht.

Die vorstehend erläuterte Entscheidung wird von der Beurteilungseinrichtung 402 der Handha bungseinrichtung 400 ausgeführt. Das von der Beurteilungseinrichtung 402 getroffene Beurtei lungsergebnis wird an den Alarmgenerator 405 und zur gleichen Zeit auch über die Sendeeinrich tung 404 und ein Kabel KB3 an eine Start/Stop-Steuereinrichtung 104 abgegeben, die in dem IC- Tester 100 vorgesehen ist. Wenn von der Handhabungseinrichtung 400 ein Signal OK "Korrekte Einstellung" abgegeben wird, das angibt, daß die in der Handhabungseinrichtung 400 eingestellte Anordnung der IC-Sockel mit der Anordnung der IC-Sockel des Meßabschnitts 300 überein stimmt (d. h. angibt, daß die Handhabungseinrichtung korrekt eingestellt ist), erzeugt diese Start/Stop-Steuereinrichtung 104 einen Startbefehl oder ein Startkommando (Startsignal) und gibt diesen Startbefehl an die Hauptsteuereinrichtung 101 zum Beginnen des Tests ab.

Wenn auf der anderen Seite aber durch die Beurteilungseinrichtung 402 der Handhabungseinrich tung 400 ein Signal NG "Unkorrekte Einstellung" abgegeben wird, das angibt, daß die Anordnung der IC-Sockel, die in der Handhabungseinrichtung 400 eingestellt ist, nicht mit der Anordnung der IC-Sockel des Meßabschnitts 300 übereinstimmt (d. h. angibt, daß die Handhabungseinrich tung nicht korrekt eingestellt ist), wird der Alarmgenerator 405 der Handhabungseinrichtung 400 aktiviert und erzeugt einen Alarm. Zu der gleichen Zeit erzeugt die Start/Stop-Steuereinrichtung 104 des IC-Testers 100 einen Befehl oder ein Kommando "Beenden des Starts" (ein Signal zum Verhindern eines Starts des IC-Testers) und gibt den Befehl "Anhalten des Starts" an die Hauptsteuereinrichtung 101 ab, um diese darüber zu informieren, daß die Einstellung der Handhabungseinrichtung 400 nicht korrekt ist. Durch diesen Vorgang wird verhindert, daß die Hauptsteuereinrichtung 101 aktiviert wird, und es kann demzufolge der IC-Tester 100 den Test nicht starten. Zur gleichen Zeit steuert die Hauptsteuereinrichtung 101 die Anzeigeeinrichtung 105 zur Anzeige, daß die Einstellung der Handhabungseinrichtung nicht korrekt ist. Darüber hinaus kann die Hauptsteuereinrichtung 101 bei Bedarf den Alarmgenerator 106 zum Erzeugen eines Alarms aktivieren.

Weiterhin ist das IC-Testgerät bei dem vorstehend erläuterten Ausführungsbeispiel derart aufgebaut, daß drei Arten von Meßabschnitten mit den jeweiligen Typennummern Nr. 1, Nr. 2, Nr. 4 oder Nr. 5 allgemein durch ein Typensignal (TYPE = 1, 2, 4 oder 5) bezeichnet werden. Falls jedoch in der zulässigen Anzahl von Bits, die durch die Typensignalerzeugungseinrichtung 301 erzeugt werden können, noch Platz sein sollte, kann eine Typennummer für jeden einzelnen Typ aus allen Typen (TYPE) von Meßabschnitten verliehen werden. Auf diese Weise kann der IC- Tester 100 dann, wenn eine Typennummer für alle jeweiligen Typen von Meßabschnitten zugeordnet ist, ermitteln, ob nicht nur die Typennummer des Meßabschnitts 300, sondern auch die Anordnung der IC-Sockel und die Anzahl von gleichzeitigen Tests dem Testprogramm entsprechen oder nicht.

Wenn das IC-Testgerät in diesem Fall derart aufgebaut ist, daß auf der Seite des IC-Testers 100 erkannt werden kann, ob die Beziehung zwischen dem Meßabschnitt 300 und dem Testpro gramm korrekt ist oder nicht, wenn das Beurteilungsergebnis das Ergebnis "Korrekt" anzeigt, die Anordnung der IC-Sockel zu der Handhabungseinrichtung 400 gemeldet wird, und die Handha bungseinrichtung 400 die Anordnung der IC-Sockel, die in der Handhabungseinrichtung 400 eingestellt ist, mit der von dem IC-Tester 100 gemeldeten Anordnung der IC-Sockel vergleicht, können doppelte Überprüfungen ausgeführt werden und es kann demzufolge die Zuverlässigkeit des IC-Testgeräts noch weiter verbessert werden.

Wie aus der vorstehenden Erläuterung ersichtlich ist, wird gemäß der vorliegenden Erfindung dann, wenn ein Meßabschnitt, der an dem Testkopf angebracht ist, in Abhängigkeit von einer Änderung des IC-Typs der im Test befindlichen ICs ausgetauscht wird, ein Typensignal von dem neu angebrachten Meßabschnitt übertragen, da jeder Meßabschnitt eine Typensignalübertra gungseinrichtung aufweist, und es kann danach dieses Typensignal gelesen werden. Durch Übertragung des Typensignals und der Anzahl von gleichzeitigen Tests, die aus dem Testpro gramm herausgegriffen worden ist, zu der Handhabungseinrichtung kann auf der Seite der Handhabungseinrichtung zudem die Anordnung des an dem Testkopf angebrachten Meßab schnitts unter Bezugnahme auf die Referenztabelle und auf der Grundlage des Typensignals und der Anzahl von gleichzeitigen Tests erkannt werden. Es läßt sich demzufolge aufgrund der Tatsache, daß auf der Seite der Handhabungseinrichtung erkannt werden kann, ob die aus der Referenztabelle ausgelesene Anordnung der IC-Sockel mit der Anordnung der IC-Sockel überein stimmt, die in der Einstelleinrichtung der Handhabungseinrichtung eingestellt ist oder nicht, eine Überprüfung ausführen, um zu ermitteln, ob die in der Handhabungseinrichtung eingestellte Anordnung der IC-Sockel korrekt ist.

Wenn ferner die Anzahl von gleichzeitigen Tests, die von der Handhabungseinrichtung gemeldet wird, ein numerischer Wert ist, der in dem Typensignal nicht existiert, bedeutet dies, daß das in dem IC-Tester geladene Testprogramm nicht an den Typ des an dem Testkopf angebrachten Meßabschnitts anpaßbar ist. Daher kann auch eine Überprüfung erfolgen, um zu ermitteln, ob ein korrektes Programm in der Hauptsteuereinrichtung des IC-Testers geladen ist.

Wenn alle diese Entscheidungsergebnisse "Korrekt" sind, kann der IC-Tester dann gestartet werden und es kann der Test begonnen werden. Falls demgegenüber aber auch nur eines der Testergebnisse "Unkorrekt" lautet, wird der IC-Tester nicht gestartet. Als Ergebnis dessen tritt kein fehlerhafter Betrieb auf.

Wie vorstehend erläutert, tritt gemäß der vorliegenden Erfindung keine Störung wie etwa diejenige auf, daß der IC-Tester mit einer fehlerhaften Einstellung gestartet wird und demzufolge ein mechanischer Abschnitt der Handhabungseinrichtung beschädigt wird, oder daß ICs fehler haft sortiert werden. Mit der vorliegenden Erfindung läßt sich daher der erhebliche Vorteil erzielen, daß ein IC-Testgerät bereitgestellt werden kann, das einfach zu handhaben und hoch zuverlässig ist.

Auch wenn die vorliegende Erfindung unter Bezugnahme auf das gezeigte bevorzugte Ausfüh rungsbeispiel erläutert worden ist, ist es für den Fachmann ersichtlich, daß verschiedene Modifikationen, Änderungen und Verbesserungen desselben ausgeführt werden können, ohne von dem Sinngehalt und Umfang der Erfindung abzuweichen. Demzufolge ist die vorliegende Erfindung nicht auf das gezeigte Ausführungsbeispiel beschränkt und es ist beabsichtigt, daß alle derartigen Modifikationen, Änderungen und Verbesserungen in den Bereich der Erfindung eingeschlossen sind, der durch die beigefügten Ansprüche definiert ist.

Claims

1. IC-Testgerät mit einem IC-Tester und einer Handhabungseinrichtung, wobei das IC- Testgerät umfaßt:
eine Typensignalerzeugungseinrichtung, die in einem Meßabschnitt zum Senden eines Typensignals vorgesehen ist, das den Typ des Meßabschnitts repräsentiert, an dem IC-Sockel angebracht sind,
eine Typensignalempfangseinrichtung, die in dem IC-Tester zum Empfangen eines Typensignals, das den Typ des Meßabschnitts repräsentiert, vorgesehen ist,
eine Einrichtung zum Übertragen mindestens des empfangenen Typensignals zu der Handhabungseinrichtung,
eine Beurteilungseinrichtung, die in der Handhabungseinrichtung vorgesehen ist und dazu dient, auf der Grundlage des von dem IC-Tester übertragenen Typensignals zu entscheiden, ob der Typ eines in der Handhabungseinrichtung eingesetzten Meßabschnitts korrekt ist oder nicht,
eine Einrichtung zum Übertragen eines elektrischen Signals, das das von der Beurtei lungseinrichtung ausgegebene Beurteilungsergebnis repräsentiert, zu dem IC-Tester und
eine Start/Stop-Steuereinrichtung zum Verhindern, daß der IC-Tester zu arbeiten be ginnt, wenn das das Beurteilungsergebnis darstellende und von der Handhabungseinrichtung übertragene elektrische Signal ein elektrisches Signal ist, das angibt, daß die Einstellung des Typs eines Meßabschnitts in der Handhabungseinrichtung nicht korrekt ist.

2. IC-Testgerät nach Anspruch 1, bei dem
der Meßabschnitt an einem Testkopf in abnehmbarer Weise angebracht ist,
der IC-Tester derart ausgelegt ist, daß er ein Testmustersignal an einen im Test befindli chen IC über den Testkopf, den Meßabschnitt und den IC-Sockel anlegt und ein von dem im Test befindlichen IC erhaltenes Antwortsignal ausliest, um das Antwortsignal mit einem Erwartungs wertsignal zu vergleichen und hierdurch zu ermitteln, ob der im Test befindliche IC fehlerhaft ist oder nicht, und
die Handhabungseinrichtung derart aufgebaut ist, daß sie einen zu testenden IC zu dem Meßabschnitt transportiert und den getesteten IC aus dem Meßabschnitt nach dem Abschluß des Testens des ICs heraustransportiert und die getesteten ICs auf der Grundlage der Testergebnisse sortiert.

3. IC-Testgerät nach Anspruch 1, bei dem
der IC-Tester zusammen mit dem Typensignal die Anzahl von gleichzeitigen Tests von ICs zu der Handhabungseinrichtung überträgt, wobei die Anzahl von gleichzeitigen Tests von ICs die Anzahl von zur gleichen Zeit gemessenen ICs ist und durch ein Testprogramm bezeichnet ist, das in dem IC-Tester gespeichert ist,
die Beurteilungseinrichtung der Handhabungseinrichtung auf der Grundlage des Typen signals und der Anzahl von gleichzeitigen Tests, die von dem IC-Tester zugeführt werden, ermittelt, ob in der Handhabungseinrichtung ein korrekter Typ eines Meßabschnitts eingestellt ist oder nicht und ob ein korrektes Testprogramm in dem IC-Tester gespeichert ist oder nicht, und ein Signal "Gut" ausgibt, wenn die Einstellung und das Testprogramm korrekt sind, oder ein Signal "Nicht gut" ausgibt, wenn die Einstellung und das Testprogramm nicht korrekt sind, und
der IC-Tester eine Start/Stop-Steuereinrichtung zum Erzeugen eines Startbefehls des IC- Testers, wenn alle Beurteilungsausgangssignale der Beurteilungseinrichtung Signale "Gut" sind, oder zum Erzeugen eines Befehls "Anhalten des Startens" enthält, um den IC-Tester an einem Betriebsbeginn zu hindern, wenn mindestens eines der Beurteilungsausgangssignale der Beurtei lungseinrichtung ein Signal "Nicht gut" ist.

4. IC-Testgerät nach Anspruch 2, bei dem
der IC-Tester zusammen mit dem Typensignal die Anzahl von gleichzeitigen Tests von ICs zu der Handhabungseinrichtung überträgt, wobei die Anzahl von gleichzeitigen Tests von ICs die Anzahl von zur gleichen Zeit gemessenen ICs ist und durch ein Testprogramm bezeichnet wird, das in dem IC-Tester gespeichert ist,
die Beurteilungseinrichtung der Handhabungseinrichtung auf der Grundlage des Typen signals und der Anzahl von gleichzeitigen Tests, die von dem IC-Tester übertragen werden, beurteilt, ob ein korrekter Typ eines Meßabschnitts in der Handhabungseinrichtung eingestellt ist oder nicht, und ob ein korrektes Testprogramm in dem IC-Tester gespeichert ist oder nicht, und ein Signal "Gut" ausgibt, wenn die Einstellung und das Testprogramm korrekt sind, oder ein Signal "Nicht gut" ausgibt, wenn die Einstellung und das Testprogramm nicht korrekt sind, und
der IC-Tester eine Start/Stop-Steuereinrichtung zum Erzeugen eines Startbefehls des IC- Testers dann, wenn alle Beurteilungsausgangssignale der Beurteilungseinrichtung die Signale "Gut" sind, oder zum Erzeugen eines Befehls "Beenden des Starts" enthält, um den IC-Tester an einem Betriebsbeginn zu hindern, wenn mindestens eines der Beurteilungsausgangssignale der Beurteilungseinrichtung das Signal "Nicht gut" ist.

5. IC-Testgerät nach Anspruch 4, bei dem
eine Anordnung der IC-Sockel eines an dem Testkopf anzubringenden Meßabschnitts in der Handhabungseinrichtung eingestellt wird und
die Beurteilungseinrichtung der Handhabungseinrichtung auf der Grundlage des Typen signals und der Anzahl von gleichzeitigen Tests, die von dem IC-Tester übertragen werden, beurteilt, ob die in der Handhabungseinrichtung eingestellte Anordnung der IC-Sockel mit der Anordnung der IC-Sockel übereinstimmt oder nicht, die an dem Meßabschnitt angebracht sind.

6. IC-Testgerät nach Anspruch 4, bei dem
eine Anordnung der IC-Sockel eines an dem Testkopf anzubringenden Meßabschnitts in der Handhabungseinrichtung eingestellt wird,
die Handhabungseinrichtung mit einer Referenztabelle versehen ist, durch die eine An ordnung der IC-Sockel, die an dem Meßabschnitt angebracht sind, auf der Grundlage eines Typensignals und der Anzahl von gleichzeitigen Tests bezeichnet werden kann, und
die Beurteilungseinrichtung der Handhabungseinrichtung auf der Grundlage des Typen signals und der Anzahl von gleichzeitigen Tests, die von dem IC-Tester übertragen werden, die Anordnung der IC-Sockel des Meßabschnitts, der an dem Testkopf angebracht worden ist, unter Heranziehung der Referenztabelle festlegt und beurteilt, ob die in der Handhabungseinrichtung eingestellte Anordnung der IC-Sockel mit der Anordnung der IC-Sockel übereinstimmt oder nicht, die an dem Meßabschnitt angebracht worden sind.

7. IC-Testgerät nach Anspruch 4, bei dem die Beurteilungseinrichtung der Handhabungseinrichtung ermittelt, daß das in dem IC- Tester gespeicherte Testprogramm nicht korrekt ist, wenn eine entsprechende Beziehung zwischen dem Typensignal und der Anzahl von gleichzeitigen Tests, die von dem IC-Tester übertragen werden, in einer Referenztabelle, durch die eine Anordnung der IC-Sockel, die an dem Meßabschnitt angebracht worden sind, auf der Grundlage eines Typensignals und der Anzahl von gleichzeitigen Tests ermittelt werden kann, nicht vorhanden ist und demzufolge die Anordnung der IC-Sockel des Meßabschnitts, der an dem Testkopf angebracht ist, nicht ermittelt werden kann.

8. IC-Testgerät nach Anspruch 1 oder 2, bei dem
der IC-Tester auf der Grundlage des empfangenen Typensignals und der Anzahl von gleichzeitigen IC-Tests, die durch ein in dem IC-Tester gespeichertes Testprogramm bezeichnet wird, ermittelt, ob der Typ des Meßabschnitts, die Anordnung der IC-Sockel des Meßabschnitts und die Anzahl von gleichzeitigen Tests dem Testprogramm entsprechen oder nicht, und die Anordnung der IC-Sockel zu der Handhabungseinrichtung überträgt, wenn die entsprechende Beziehung zwischen diesen gegenseitig übereinstimmt, und
die Beurteilungseinrichtung der Handhabungseinrichtung ermittelt, ob die von dem IC- Tester übertragene Anordnung der IC-Sockel mit der in der Handhabungseinrichtung eingestellten Anordnung der IC-Sockel übereinstimmt oder nicht.

9. Verfahren zum Verhindern eines fehlerhaften Betriebs eines IC-Testgeräts, das einen IC-Tester und eine Handhabungseinrichtung umfaßt, wobei das Verfahren die Schritte aufweist:
Senden eines den Typ eines Meßabschnitts repräsentierenden Typensignals von dem Meßabschnitt, an dem IC-Sockel angebracht sind,
Empfangen des Typensignals durch den IC-Tester,
Übertragen mindestens des empfangenen Typensignals zu der Handhabungseinrichtung,
Beurteilen, auf der Grundlage des von dem IC-Tester übertragenen Typensignals, ob ein korrekter Typ eines Meßabschnitts in der Handhabungseinrichtung eingestellt ist oder nicht,
Übertragen eines das Ergebnis der Beurteilung repräsentierenden elektrischen Signals zu dem IC-Tester, und
Verhindern eines Starts des IC-Testers, wenn das das Ergebnis der Beurteilung reprä sentierende elektrische Signal ein elektrisches Signal ist, das angibt, daß die Einstellung des Typs eines Meßabschnitts in der Handhabungseinrichtung nicht korrekt ist.

10. Verfahren nach Anspruch 9, bei dem bei dem Beurteilungsschritt auf der Grundlage des von dem IC-Tester gesendeten Typensignals ermittelt wird, ob die in der Handhabungsein richtung eingestellte Anordnung der IC-Sockel mit der Anordnung der an dem Meßabschnitt angebrachten IC-Sockel übereinstimmt oder nicht.

11. Verfahren nach Anspruch 9, bei dem
der Schritt der Übertragung des Typensignals zu der Handhabungseinrichtung den Schritt des Sendens der Anzahl von gleichzeitigen Tests von ICs zu der Handhabungseinrichtung zusammen mit dem Typensignal umfaßt, wobei die Anzahl von gleichzeitigen Tests von ICs die Anzahl von zur gleichen Zeit gemessenen ICs ist und durch ein in dem IC-Tester gespeichertes Testprogramm bezeichnet wird,
der Beurteilungsschritt einen Schritt umfaßt, bei dem auf der Basis des Typensignals und der Anzahl von gleichzeitigen Tests, die von dem IC-Tester zugeführt werden, beurteilt wird, ob in der Handhabungseinrichtung ein korrekter Typ eines Meßabschnitts eingestellt ist oder nicht und ob ein korrektes Testprogramm in dem IC-Tester gespeichert ist oder nicht, und bei dem ein Signal "Gut" ausgegeben wird, wenn die Einstellung und das Testprogramm korrekt sind, oder ein Signal "Nicht gut" ausgegeben wird, wenn die Einstellung und das Testprogramm nicht korrekt sind, und
der Schritt des Verhinderns eines Startens des IC-Testers einen Schritt der Erzeugung eines Startbefehls für den IC-Tester, wenn alle bei dem Beurteilungsschritt ausgegebenen Signale die Signale "Gut" sind, oder zum Erzeugen eines Befehls "Anhalten des Startens" zum Verhin dern eines Startens des IC-Testers umfaßt, wenn mindestens eines der bei dem Beurteilungs schritt ausgegebenen Signale das Signal "Nicht gut" ist.

12. Verfahren nach Anspruch 11, bei dem der Schritt des Beurteilens, ob ein korrekter Typ eines Meßabschnitts in der Handhabungseinrichtung eingestellt ist oder nicht, ein Schritt ist, bei dem auf der Grundlage des Typensignals und der Anzahl von gleichzeitigen Tests, die von dem IC-Tester zugeführt werden, beurteilt wird, ob die in der Handhabungseinrichtung einge stellte Anordnung der IC-Sockel mit der Anordnung der an dem Meßabschnitt angebrachten IC- Sockel übereinstimmt oder nicht.

13. Verfahren nach Anspruch 11, bei dem der Schritt der Beurteilung, ob ein korrekter Typ eines Meßabschnitts in der Handhabungseinrichtung eingestellt ist oder nicht, einen Schritt umfaßt, bei dem unter Heranziehung einer Referenztabelle, durch die eine Anordnung der an dem Meßabschnitt angebrachten IC-Sockel auf der Grundlage eines Typensignals und der Anzahl von gleichzeitigen Tests ermittelt werden kann, die Anordnung der IC-Sockel des Meßabschnitts auf der Grundlage des Typensignals und der Anzahl von gleichzeitigen Tests, die von dem IC-Tester zugeführt werden, ermittelt wird und bei dem beurteilt wird, ob die in der Handhabungseinrich tung eingestellte Anordnung der IC-Sockel mit der Anordnung der an dem Meßabschnitt angebrachten IC-Sockel übereinstimmt oder nicht.

14. Verfahren nach Anspruch 11, bei dem der Schritt der Beurteilung, ob ein korrektes Testprogramm in dem IC-Tester gespeichert ist oder nicht, einen Schritt umfaßt, bei dem entschieden wird, daß ein in dem IC-Tester gespeichertes Testprogramm nicht korrekt ist, wenn eine entsprechende Beziehung zwischen dem Typensignal und der Anzahl von gleichzeitigen Tests, die von dem IC-Tester übertragen werden, in einer Referenztabelle nicht vorhanden ist, durch die eine Anordnung der an dem Meßabschnitt angebrachten IC-Sockel auf der Grundlage eines Typensignals und der Anzahl von gleichzeitigen Tests ermittelt werden kann, und demzu folge die Anordnung der IC-Sockel des Meßabschnitts nicht spezifiziert werden kann.

15. Verfahren nach Anspruch 9, das weiterhin den Schritt umfaßt:
Beurteilen, auf der Grundlage des von dem IC-Tester empfangenen Typensignals und der Anzahl von gleichzeitigen Tests von ICs, die durch ein in dem IC-Tester gespeichertes Testprogramm bezeichnet wird, ob der Typ des Meßabschnitts, die Anordnung der IC-Sockel des Meßabschnitts und die Anzahl von gleichzeitigen Tests dem Testprogramm entsprechen oder nicht, und
Übermitteln der Anordnung der IC-Sockel zu der Handhabungseinrichtung, wenn die entsprechende, zwischen diesen vorhandene Beziehung miteinander übereinstimmt, und bei dem der Beurteilungsschritt ermittelt, ob die von dem IC-Tester übermittelte Anordnung der IC-Sockel mit der in der Handhabungseinrichtung eingestellten Anordnung der IC-Sockel übereinstimmt oder nicht.