DE19822765A1

DE19822765A1 - Handhabungsvorrichtung

Info

Publication number: DE19822765A1
Application number: DE1998122765
Authority: DE
Inventors: Stefan Wasserthal
Original assignee: Individual
Current assignee: Individual
Priority date: 1998-05-20
Filing date: 1998-05-20
Publication date: 1999-12-02

Abstract

Die Erfindung betrifft eine Handhabungsvorrichtung (10) mit einem Rahmen (11), einer an dem Rahmen (11) verschieblich geführten Aufbauplatte (15), einem Horizontalschlitten (16) und einem Vertikalschlitten (17). Die Antriebe (18, 19, 20) für die Aufbauplatte (15), den Horizontalschlitten (16) und den Vertikalschlitten (17) sind am Rahmen (11) angebracht und über Kraftübertragungsmittel (22, 23, 24, 40) mit der Aufbauplatte (15), dem Horizontalschlitten (16) und dem Vertikalschlitten (17) gekoppelt.

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft eine Handhabungsvorrichtung mit einem Rahmen, einer Aufbauplatte, die in einer ersten Richtung parallel zu dem Rahmen an diesem verschieblich geführt ist, einem Horizontal schlitten, der an der Aufbauplatte in einer zweiten Richtung senkrecht zur ersten Richtung verschieblich ist, einem Vertikalschlitten, der an dem Horizontalschlitten in einer dritten Richtung senkrecht zu der er sten und der zweiten Richtung verschieblich ist, und Antrieben für die Aufbauplatte, den Horizontalschlitten und den Vertikalschlitten.

Bei bekannten derartigen Handhabungsvorrichtungen sind für jede der drei Richtungen Antriebe vorgesehen, die zusammen mit den bewegli chen Bauteilen verfahren werden. Nachteilig hierbei ist, daß die beweg te Masse um das Gewicht der Antriebe erhöht wird. Hierdurch werden stärkere Antriebe erforderlich, die die bewegte Masse auf Grund ihres höheren Eigengewichts weiter erhöhen. Wegen der großen bewegten Masse sind die dynamischen Eigenschaften der bekannten Handha bungsvorrichtungen relativ schlecht. Darüber hinaus sind die Kosten für diese Handhabungsvorrichtungen vergleichsweise hoch, da starke und teure Antriebe verwendet werden müssen. Ein weiterer Nachteil ist der hohe Energieverbrauch.

Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es daher, eine bekannte Hand habungsvorrichtung dahingehend zu verbessern, daß die bewegte Mas se verringert und ein besseres dynamisches Verhalten erreicht wird.

Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe bei einer Handhabungsvorrich tung der eingangs genannten Art dadurch gelöst, daß die Antriebe am Rahmen angebracht sind und über Kraftübertragungsmittel mit der Aufbauplatte, dem Horizontalschlitten und dem Vertikalschlitten ge koppelt sind.

Das Anbringen der Antriebe am Rahmen verringert die bewegte Masse. Hierdurch wird ein besseres dynamisches Verhalten der erfindungsge mäßen Handhabungsvorrichtung erreicht. Gleichzeitig können kleinere Antriebe verwendet werden, so daß die Kosten und der Energiever brauch sinken. Ein weiterer Vorteil der erfindungsgemäßen Handha bungsvorrichtung ist eine vereinfachte Wartung, da alle Antriebe am Rahmen angeordnet sind.

Vorteilhafte Weiterbildungen und Ausgestaltungen der Erfindung gehen aus den Unteransprüchen hervor.

Vorteilhaft sind die Kraftübertragungsmittel formschlüssige Zugmittel, insbesondere Zahnriemen oder Ketten. Derartige Zugmittel sind vielen verschiedenen Varianten und Baugrößen preisgünstig erhältlich und weisen nur ein geringes Eigengewicht auf.

In vorteilhafter Ausgestaltung sind die Antriebe zur Kontrolle und Er fassung der Position der Aufbauplatte, des Horizontalschlittens und des Vertikalschlittens mit einer Winkelmeßeinrichtung versehen. Zusammen mit formschlüssigen Zugmitteln als Kraftübertragungsmittel kann auf eine Positionserfassung direkt an der Aufbauplatte, dem Horizontal schlitten und dem Vertikalschlitten verzichtet werden. Hierdurch wird der konstruktive Aufbau der erfindungsgemäßen Handhabungsvorrich tung vereinfacht und verbilligt.

In vorteilhafter Weiterbildung sind Anschläge zur Begrenzung der Be wegung der Aufbauplatte, des Horizontalschlittens und des Vertikal schlittens vorgesehen. Diese Anschläge verhindern eine unzulässige Bewegung der Aufbauplatte, des Horizontalschlittens und des Vertikal schlittens.

Gemäß einer vorteilhaften Ausgestaltung sind die Antriebe an einem Ende des Rahmens angeordnet. Diese räumliche Nähe der Antriebe zu einander vereinfacht die Wartung.

In vorteilhafter Weiterbildung verlaufen die Kraftübertragungsmittel parallel zum Rahmen und sind an dem einen Ende des Rahmens über eine von dem zugeordneten Antrieb drehbare Scheibe, und an dem an deren Ende des Rahmens über eine frei drehbare Scheibe umgelenkt. Diese Konstruktion ist einfach zu realisieren, wartungsfreundlich und kostengünstig.

Vorteilhaft ist der Abstand zwischen den Scheiben einstellbar. Hier durch können Längenänderungen der Kraftübertragungsmittel durch Verstellen des Abstands zwischen den jeweiligen Scheiben ausgegli chen werden, so daß die für einen störungsfreien Betrieb erforderliche Zugspannung der Kraftübertragungsmittel stets gewährleistet ist.

In vorteilhafter Ausgestaltung ist das der Aufbauplatte zugeordnete Kraftübertragungsmittel an der Aufbauplatte befestigt. Die Aufbauplat te kann somit direkt durch eine Bewegung des zugeordneten Kraftüber tragungsmittels in der ersten Richtung bewegt werden.

Gemäß einer vorteilhaften Weiterbildung der Erfindung weist die Auf nahmeplatte einen Kugelspindeltrieb zur Bewegung des Horizontal schlittens und des Vertikalschlittens auf. Derartige Kugelspindeltriebe werden von der Firma THK Corporation Ltd., Tokio, Japan vertrieben. Sie bieten die Funktion einer Kugelumlaufspindel und einer Keilwellen führung und ermöglichen lineare, rotatorische oder spiralförmige Bewe gungen.

Vorteilhaft weist der Kugelspindeltrieb eine Spindel sowie eine an der Spindel angreifende Torsionseinheit und Gewindeeinheit auf, wobei die Torsionseinheit geeignet ist, die Spindel zu verdrehen und gleichzeitig in der zweiten Richtung zu verschieben und die Gewindeeinheit geeig net ist, die Spindel in der zweiten Richtung zu verschieben. Wird ledig lich die Gewindeeinheit angetrieben, so wird die Spindel ohne Drehung zusammen mit dem Horizontalschlitten gegenüber der Aufbauplatte in der zweiten Richtung verschoben. Werden die Gewindeeinheit und die Torsionseinheit gemeinsam gegensinnig angetrieben, so gleichen sich die Verschiebungen in Richtung der Längsachse der Spindel aus. Die Spindel rotiert dann um ihre Längsachse und kann ein Drehmoment übertragen. Wird lediglich die Torsionseinheit angetrieben, so rotiert die Spindel und bewegt sich gleichzeitig in Richtung ihrer Längsachse.

Vorteilhaft umgreift das Kraftübertragungsmittel für die Bewegung des Horizontalschlittens die Gewindeeinheit und ist geeignet, die Gewinde einheit in Drehung zu versetzen. Eine Bewegung des Horizontalschlit tens wird somit allein über eine Verdrehung der Gewindeeinheit er reicht.

Gemäß einer vorteilhaften Ausgestaltung umgreift das Kraftübertra gungsmittel für die Bewegung des Vertikalschlittens die Torsionseinheit und ist geeignet, die Torsioneinheit in Drehung zu versetzen. Durch eine Verdrehung der Torsionseinheit wird eine Verdrehung der Spindel bei gleichzeitiger Verschiebung erreicht. Diese Verschiebung kann durch eine entgegengesetzte Drehung der Gewindeeinheit aufgehoben werden. Durch eine gleichzeitige, auf einander abgestimmte Drehung von Gewindeeinheit und Torsionseinheit wird somit lediglich eine Ver drehung der Spindel erreicht, während der Horizontalschlitten stillsteht.

Vorteilhaft ist die die Spindel drehfest mit einer Scheibe verbunden, an der ein weiteres Kraftübertragungsmittel zur Bewegung des Vertikal schlittens angreift. Die Bewegung des Vertikalschlittens wird dadurch erreicht, daß die Spindel durch gleichzeitige Drehung der Gewindeein heit und der Torsionseinheit lediglich in Drehung versetzt wird, aber keine Bewegung in ihrer Längsrichtung ausführt.

Nachfolgend wird die Erfindung anhand eines Ausführungsbeispiels näher erläutert, das in schematischer Weise in der Zeichnung darge stellt ist. Dabei zeigt:

Fig. 1 eine schematische, dreidimensionale Darstellung der erfin dungsgemäßen Handhabungsvorrichtung;

Fig. 2 eine vergrößerte Einzelheit, teilweise im Schnitt, aus Fig. 1, und

Fig. 3 eine schematische Darstellung des Antriebskonzepts der er findungsgemäßen Handhabungsvorrichtung.

Die erfindungsgemäße Handhabungsvorrichtung 10 weist einen Rah men 11 auf, der im wesentlichen aus einem in Horizontalrichtung ver laufenden Querträger 12 sowie vertikalen Stützen 13 mit Fußplatten 14 besteht. Auf dem Rahmen 11 sind eine Aufbauplatte 15, ein Hori zontalschlitten 16 sowie ein Vertikalschlitten 17 mit den jeweils zuge ordneten Antrieben 18, 19, 20 angebracht. Die Antriebe 18, 19, 20 sind über eine Antriebsglocke 21 abgedeckt. Zur Kraftübertragung von den Antrieben 18, 19, 20 auf die Aufbauplatte 15, den Horizontal schlitten 16 und den Vertikalschlitten 17 dienen Zahnriemen 22, 23, 24. Der Rahmen 11 ist an dem den Antrieben 18, 19, 20 gegenüber liegenden Stirnende mit einer Abdeckung 25 abgeschlossen.

Im dargestellten Ausführungsbeispiel dienen der Antrieb 18 sowie der zugeordnete Zahnriemen 22 für eine Bewegung in X-Richtung, der An trieb 19 sowie der Zahnriemen 23 für eine Bewegung in Y-Richtung und der Antrieb 20 mit dem Zahnriemen 24 für eine Bewegung in Z- Richtung. Eine Schilderung des Steuerungskonzepts und des Zusam menwirkens der einzelnen Antriebe 18, 19, 20 erfolgt anhand von Fig. 3.

Die Abdeckung 25 sowie die Antriebsglocke 21 weisen Anschläge 48 zur Begrenzung der Bewegung der Aufbauplatte 15 in X-Richtung auf.

In der vergrößerten Darstellung gemäß Fig. 2 sind weitere Anschläge 49 zur Begrenzung der Bewegung des Horizontalschlittens 16 in Y- Richtung sowie Anschläge 50 zur Begrenzung der Bewegung des Ver tikalschlittens 17 in Z-Richtung dargestellt.

Jeder der Antriebe 18, 19, 20 ist mit einer Winkelmeßeinrichtung 47 versehen. Die Winkelmeßeinrichtung 47 erlaubt zusammen mit den Zahnriemen 22, 23, 24 den Verzicht auf Mittel zur Bestimmung der Position der Aufbauplatte 15, der Horizontalschlittens 16 und des Ver tikalschlittens 17. Die Verwendung eines formschlüssigen Zugmittels zusammen mit der Winkelmeßeinrichtung stellt sicher, daß die Verdre hung eines Antriebs 18, 19, 20 um einen bestimmten Winkel reprodu zierbar auf die Aufbauplatte 15, den Horizontalschlitten 16 und/oder den Vertikalschlitten 17 übertragen wird. Zur Nullpunktsetzung dienen mechanisch betätigte elektronische Endschalter, die räumlich nahe bei den Anschlägen 48, 49, 50 montiert sind.

Fig. 2 zeigt eine vergrößerte Einzelheit aus Fig. 1, teilweise im Schnitt. Zur Führung der Aufbauplatte 15 an dem Querträger 12 die nen Führungsschienen 26 an dem Querträger 12 sowie zugeordnete Führungswagen 27 an der Aufbauplatte 15. Der Horizontalschlitten 16 ist ebenfalls mit Führungsschienen 28 versehen, die in Führungswagen 29 auf der Aufbauplatte 15 gleiten. Die Führung des Vertikalschlittens 17 gegenüber dem Horizontalschlitten 16 erfolgt analog über Füh rungsschienen 30 an dem Vertikalschlitten 17 und Führungswagen 29 an dem Horizontalschlitten 16.

Zur Bewegung des Horizontalschlittens 16 und des Vertikalschlittens 17 ist ein Kugelspindeltrieb 51 vorgesehen, der eine Spindel 32, eine Torsionseinheit 34 und eine Gewindeeinheit 35 aufweist. Die Torsi onseinheit 34 und die Gewindeeinheit 35 sind drehbar, aber unver schieblich an einem Lagerbock 33 der Aufbauplatte 15 gelagert und umgreifen die Spindel 32. Die Spindel 32 ist in Richtung der Y-Achse verschieblich und um die Y-Achse drehbar. Die Spindel 32 ist weiter drehbar, aber unverschieblich an dem Horizontalschlitten 16 gelagert. Sie weist an ihrem dem Vertikalschlitten 17 zugewandten Ende eine Scheibe 38 auf, die drehfest mit der Spindel 32 verbunden ist.

Der Zahnriemen 23 umgreift die Gewindeeinheit 35 und ist geeignet, sie in Drehung zu versetzen. Zur Führung des Zahnriemens 23 ist an der Aufbauplatte 15 ein Paar von Umlenkrollen 36 angebracht. In ähn licher Weise umgreift der Zahnriemen 24 die Torsionseinheit 34 und wird über ein Paar von Umlenkrollen 37 geführt. Die Scheibe 38 wird teilweise von einem Zahnriemen 40 umschlungen, der über ein Paar von drehbar an dem Horizontalschlitten 16 gelagerten Umlenkrollen 39 geführt ist. Der Zahnriemen 40 ist mit seinen beiden Enden fest mit dem Vertikalschlitten 17 verbunden. Eine Drehung der Scheibe 38 bewirkt entsprechend eine Bewegung des Zahnriemens 40 und damit eine Bewegung des Vertikalschlittens 17 in Z-Richtung.

Nachfolgend wird die Funktionsweise des Kugelspindeltriebs 51 be schrieben:

Die Gewindeeinheit 35 greift derart an der Spindel 32 an, daß eine Drehung der Gewindeeinheit 35 eine Verschiebung der Spindel 32 in Y- Richtung ohne Verdrehung der Spindel 32 bewirkt. Die Torsionseinheit 34 bewirkt bei einer Verdrehung der Torsionseinheit 34 sowohl eine Verschiebung der Spindel 32 in Y-Richtung als auch eine Verdrehung der Spindel 32. Wird allein der Zahnriemen 23 über den zugeordneten Antrieb 19 in Bewegung versetzt, so wird die Gewindeeinheit 35 ver dreht. Diese Verdrehung bewirkt eine Verschiebung der Spindel 32 in Y-Richtung und damit eine Bewegung des Horizontalschlittens 16. Der Vertikalschlitten 17 wird hierbei zusammen mit dem Horizontalschlitten 16 bewegt, aber nicht in Z-Richtung verfahren. Wird die Torsionsein heit 34 über den Zahnriemen 24 und den zugeordneten Antrieb 20 in Drehung versetzt, so dreht sich die Spindel 32 und bewegt sich gleich zeitig in Y-Richtung. Hierdurch werden der Horizontalschlitten 16 in Y- Richtung und gleichzeitig der Vertikalschlitten 17 in Z-Richtung verfah ren. Durch eine entsprechende Gegendrehung der Gewindeeinheit 35 kann die Verschiebung der Spindel 32 aufgehoben werden, so daß le diglich der Vertikalschlitten 17 in Z-Richtung verfährt, während der Horizontalschlitten 16 stillsteht.

Zur Bewegung der Aufbauplatte 15 dient der Zahnriemen 22 mit dem zugeordneten Antrieb 18. Die Aufbauplatte 15 kann über den Zahnrie men 22 in X-Richtung bewegt werden, wobei die Zahnriemen 23, 24 bei einer derartigen Bewegung gleichzeitig die Torsionseinheit 34 und die Gewindeeinheit 35 in Drehung versetzen. Um Bewegungen des Horizontalschlittens 16 und des Vertikalschlittens 17 während der Be wegung der Aufbauplatte 15 zu verhindern, müssen daher die Zahn riemen 23, 24 von ihren Antrieben 19, 20 zum Ausgleich angetrieben werden.

Fig. 3 zeigt eine schematische Darstellung des Antriebssystems. Die Zahnriemen 22, 23, 24 verlaufen über paarweise angeordnete Schei ben 41 und 42, 43 und 44 sowie 45 und 46. Die Scheiben 41, 42, 43, 44, 45, 46 sind ebenso wie die Torsionseinheit 34 und die Gewin deeinheit 35 mit nicht näher dargestellten, auf die Zahnriemen 22, 23, 24 abgestimmten Zähnen versehen, um einen Formschluß zu gewähr leisten. Zum Ausgleich von Längenänderungen der Zahnriemen 22, 23, 24 ist der Abstand zwischen den Scheiben 41 und 42, 43 und 44 so wie 45 und 46 einstellbar. Auf den Scheiben 41, 43, 45 ist die als po sitiv bezeichnete Drehrichtung jeweils mit einem Pluszeichen gekenn zeichnet. Alle Scheiben 41, 43, 45 weisen eine positive Drehung im Uhrzeigersinn auf, die einer Bewegung in Richtung des dargestellten Koordinatenkreuzes zugeordnet ist.

Die nachstehende Tabelle gibt eine Übersicht über die erforderliche Drehung der Scheiben 41, 43, 45, um eine Bewegung der Aufbauplat te 15 in X-Richtung, eine Bewegung des Horizontalschlittens 16 in Y- Richtung oder eine Bewegung des Vertikalschlittens 17 in Z-Richtung zu erreichen.

Aus dieser Tabelle lassen sich die erforderlichen Drehzahlen der einzel nen Antriebe 18, 19, 20 für die jeweils gewünschte Bewegung errech nen. Wird eine Bewegung der Aufbauplatte 15 in X-Richtung ge wünscht, während der Horizontalschlitten 16 und der Vertikalschlitten 17 gegenüber der Aufbauplatte 15 stillstehen sollen, so werden alle drei Antriebe 18, 19, 20 in der in Fig. 3 dargestellten positiven Rich tung angetrieben. Entsprechend erfordert eine Bewegung des Horizon talschlittens 16 in Y-Richtung, während der die Aufbauplatte 15 still steht und der Vertikalschlitten 17 nicht in Z-Richtung verfahren wird, lediglich den Antrieb 19. Für eine Bewegung des Vertikalschlittens 17 in Z-Richtung bei stillstehender Aufbauplatte 15 und stillstehendem Horizontalschlitten 16 sind die Antriebe 19 und 20 erforderlich.

Wird eine Bewegung in mehrere Richtungen gleichzeitig gewünscht, werden die entsprechenden Zeilen der obigen Tabelle addiert. So erfor dert eine gleichzeitige Bewegung in X-Richtung und Y-Richtung eine einfache Drehzahl der Antriebe 18 und 20 sowie eine verdoppelte Drehzahl des Antriebs 19.

Zum Erreichen unterschiedlicher Geschwindigkeiten in die einzelnen Richtungen und/oder zum Ausgleich unterschiedlicher Durchmesser der Scheiben 41, 43, 45 sowie der Torsionseinheit 34 und der Gewinde einheit 35 werden der die jeweiligen Antrieben 18, 19, 20 zugeordne ten Drehzahlen mit entsprechenden Gewichtungsfaktoren multipliziert. Soll die Bewegung des Horizontalschlittens 16 in Y-Richtung doppelt so schnell erfolgen wie die Bewegung der Aufbauplatte 15 in X- Richtung, so wird zunächst für die Bewegung in Y-Richtung die Dreh zahl des Antriebs 19 verdoppelt und anschließend die einfache Dreh zahl zum Ausgleich der Bewegung in X-Richtung hinzugerechnet. In diesem Beispiel wäre dann die Drehzahl des Antriebs 19 dreimal so groß wie die Drehzahl der Antriebe 18, 20. Ist die dem Antrieb 18 zu geordnete Scheibe 41 doppelt so groß wie die Scheiben 43, 45 der Antriebe 19, 20, so muß die Drehzahl des Antriebs 18 halbiert werden.

Für eine Bewegung entgegen dem dargestellten Koordinatenkreuz muß das Vorzeichen geändert werden.

Durch eine geeignete Ansteuerung der Antriebe 18, 19, 20 können die Aufbauplatte 15, der Horizontalschlitten 16 sowie der Vertikalschlitten 17 einzeln, paarweise oder alle gemeinsam in jede der gewünschten Richtungen verfahren werden.

Die erfindungsgemäße Handhabungsvorrichtung 10 verringert die be wegte Masse und ermöglicht somit ein besseres dynamisches Verhal ten. Gleichzeitig können die Antriebe 18, 19, 20 kleiner dimensioniert werden. Hierdurch sinken die Anschaffungskosten und der Energiever brauch. Gleichzeitig wird die Wartungsfreundlichkeit verbessert, da sämtliche Antriebe 18, 19, 20 am Rahmen 11 angebracht und leicht zugänglich sind.

Claims

1. Handhabungsvorrichtung mit einem Rahmen (11), einer Aufbau platte (15), die in einer ersten Richtung (X) parallel zu dem Rah men (11) an diesem verschieblich geführt ist, einem Horizontal schlitten (16), der an der Aufbauplatte (15) in einer zweiten Richtung (Y) senkrecht zur ersten Richtung (X) verschieblich ist, einem Vertikalschlitten (17), der an dem Horizontalschlitten (16) in einer dritten Richtung (Z) senkrecht zu der ersten und der zweiten Richtung (X, Y) verschieblich ist, und Antrieben (18, 19, 20) für die Aufbauplatte (15), den Horizontalschlitten (16) und den Vertikalschlitten (17), dadurch gekennzeichnet, daß die An triebe (18, 19, 20) am Rahmen (11) angebracht sind und über Kraftübertragungsmittel (22, 23, 24, 40) mit der Aufbauplatte (15), dem Horizontalschlitten (16) und dem Vertikalschlitten (17) gekoppelt sind.

2. Handhabungsvorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekenn zeichnet, daß die Kraftübertragungsmittel (22, 23, 24, 40) formschlüssige Zugmittel, insbesondere Zahnriemen oder Ketten, sind.

3. Handhabungsvorrichtung nach einem der vorhergehenden An sprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Antriebe (18, 19, 20) zur Kontrolle und Erfassung der Position der Aufbauplatte (15), des Horizontalschlittens (16) und des Vertikalschlittens (17) mit einer Winkelmeßeinrichtung (47) versehen sind.

4. Handhabungsvorrichtung nach einem der vorhergehenden An sprüche, dadurch gekennzeichnet, daß Anschläge (48, 49, 50) zur Begrenzung der Bewegung der Aufbauplatte (15), des Hori zontalschlittens (16) und des Vertikalschlittens (17) vorgesehen sind.

5. Handhabungsvorrichtung nach einem der vorhergehenden An sprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Antriebe (18, 19, 20) an einem Ende des Rahmens (11) angeordnet sind.

6. Handhabungsvorrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekenn zeichnet, daß die Kraftübertragungsmittel (22, 23, 24) parallel zum Rahmen (11) verlaufen und an dem einen Ende des Rah mens (11) über eine von dem zugeordneten Antrieb (18, 19, 20) drehbare Scheibe (41, 43, 45) und an dem anderen Ende des Rahmens (11) über eine frei drehbare Scheibe (42, 44, 46) um gelenkt sind.

7. Handhabungsvorrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekenn zeichnet, daß der Abstand zwischen den Scheiben (41, 42; 43, 44; 45, 46) einstellbar ist.

8. Handhabungsvorrichtung nach Anspruch 6 oder 7, dadurch ge kennzeichnet, daß das der Aufbauplatte (15) zugeordnete Kraftübertragungsmittel (20) an der Aufbauplatte (15) befestigt ist.

9. Handhabungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Aufnahmeplatte (15) einen Ku gelspindeltrieb (51) zur Bewegung des Horizontalschlittens (16) und des Vertikalschlittens (17) aufweist.

10. Handhabungsvorrichtung nach Anspruch 9, dadurch gekenn zeichnet, daß der Kugelspindeltrieb (51) eine Spindel (32) sowie eine an der Spindel (32) angreifende Torisionseinheit (34) und Gewindeeinheit (35) aufweist, wobei die Torsionseinheit (34) geeignet ist, die Spindel (32) zu verdrehen und gleichzeitig in der zweiten Richtung (Y) zu verschieben, und die Gewindeeinheit (35) geeignet ist, die Spindel (32) zusammen mit dem Horizon talschlitten (16) in der zweiten Richtung (Y) zu verschieben.

11. Handhabungsvorrichtung nach Anspruch 10, dadurch gekenn zeichnet, daß das Kraftübertragungsmittel (23) für die Bewegung des Horizontalschlittens (16) die Gewindeeinheit (35) umgreift und geeignet ist, die Gewindeeinheit (35) in Drehung zu verset zen.

12. Handhabungsvorrichtung nach Anspruch 10 oder 1 l, dadurch gekennzeichnet, daß das Kraftübertragungsmittel (24) für die Bewegung des Vertikalschlittens (17) die Torsionseinheit (34) umgreift und geeignet ist, die Torsioneinheit (34) in Drehung zu versetzen.

13. Handhabungsvorrichtung nach Anspruch 12, dadurch gekenn zeichnet, daß die Spindel (32) mit einer Scheibe (38) drehfest verbunden ist, an der ein weiteres Kraftübertragungsmittel (40) zur Bewegung des Vertikalschlittens (17) angreift.