DE3805971C2 - - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft ein Handhabungsgerät, insbesondere für Wafer, mit einem zwischen mindestens zwei Arbeitsstellungen über ein Gelenkgetriebe in einer Ebene bewegbaren Greifer, wobei das Gelenkgetriebe zwei über je ein Getriebe miteinander gekoppelte Schenkelpaare aufweist, die freien Enden der einen Schenkel auf je einer Antriebswelle befestigt um etwa 180° schwenkbar sind und die freien Enden der anderen Schenkel über je ein Gelenk den Greifer tragen und die beiden über je ein Getriebe miteinander gekoppelten Schenkel so miteinander gekoppelt sind, daß die den Verdrehwinkeln der Antriebswellen entsprechenden Schwenkwinkel der einen Schenkel relativ zum Greifer gleich groß aber entgegengesetzt den Schwenkwinkeln der anderen Schenkel relativ zum Greifer sind, und bei dem ferner die Antriebswellen durch eine zum Greifer parallele Platte geführt sind und die beiden Schenkel über dieser Platte vorgesehen sind, und daß die beiden Schenkelpaare zu ihrer senkrecht zur Platte verlaufenden Symmetrieebene stets den gleichen aber entgegengesetzten Schwenkwinkel aufweisen, wobei das Gelenkgetriebe mit seinem Antrieb und den Greifer als Baueinheit ausgebildet ist und diese Baueinheit um eine Drehachse senkrecht zur Bewegungsebene des Greifers drehbar ist und die Antriebswellen über mindestens je ein Ritzel von einem mit diesem kämmenden Verzahnungselement antreibbar sind.

Ein derartiges Handhabungsgerät ist aus der EP 00 66 014 bekannt. Dieses weist zwei starre Arme auf, welche sich senkrecht zu einer Drehachse in diametral entgegengesetzte Richtungen erstrecken. Am Ende eines jedem Armes sind zwei über je ein Getriebe miteinander gekoppelte Schenkelpaare angeordnet, deren freie Enden über je ein Gelenk einen Greifer tragen. Die Schwenkbewegung der miteinander gekoppelten Schenkelpaare wird durch eine Zahnstange angetrieben, welche einerseits über einen Exzenter mit der Drehachse der beiden starren Arme gekoppelt ist und andererseits mit einem die beiden Schenkelpaare eines jedem Arms des Handhabungsgeräts koppelnden Getriebes zusammenwirkt. Nachteilig an dem bekannten Handhabungsgerät ist, daß die Endstellungen der Greifer bei allen Drehstellungen die gleiche ist. Es ist also nicht möglich, ein derartiges Handhabungsgerät in eine Transferstraße einzubauen, bei der die Anschlußpositionen der Greifer etwas voneinander abweichen.

Es ist daher Aufgabe der Erfindung, ein Handhabungsgerät der eingangs genannten Art derart weiterzubilden, daß in der jeweils vorgelegten Winkellage der Baueinheit mindestens eine Endlage des Greifers individuell einstellbar ist.

Zur Lösung dieser Aufgabe sieht die Erfindung vor, daß das Verzahnungselement mittels eines Arbeitszylinders antreibbar ist und daß auf einer die Baueinheit tragenden Grundplatte den verschiedenen Winkellagen der Baueinheit zugeordnet verstellbare Anschläge für jeweils mindestens eine Endlage der Kolbenstange des Antriebszylinders vorgesehen sind.

Um möglichst exakte individuell einstellbare Endlagen der Greiferplatte zu erhalten, können auf der Grundplatte den verschiedenen Winkellagen der Baueinheit zugeordnet einstellbare Anschläge für jeweils mindestens eine Endlage der Zahnstange des Antriebs der Antriebswelle vorgesehen sein.

Das Einstellspiel kann in besonders vorteilhafter Weise dadurch minimiert werden, daß mindestens ein Ende der Zahnstange zwei Zentrierschrägen für die verstellbaren Anschläge aufweist, wobei auch die Anschläge angepaßte Konusflächen tragen. Den gewünschten Winkellagen zugeordnet können die verstellbaren Anschläge auf einem Einstellring an dessen Umfang verschiebbar und feststellbar angeordnet sein.

Eine Einstellung von vier besonders exakten Winkellagen kann dadurch erreicht werden, daß der weitere Arbeitszylinder ein Doppelzylinder ist mit zwei Kolbenstangen, wobei diese unterschiedliche Längen aufweisen, so daß durch die Endlagen dieser Kolbenstangen insgesamt vier Gesamtlängen des weiteren Arbeitszylinders exakt reproduzierbar einstellbar sind. Dabei kann das freie Ende einer Kolbenstange eines Kolbens des Doppelzylinders an einem Festlager einer Winkelschiene angelenkt sein, und das freie Ende der Kolbenstange des anderen Kolbens kann mit der Zahnstange verbunden sein, wobei die Zahnstange zweckmäßigerweise an der Winkelschiene geführt ist und die Führungsschiene die Zahnstange und der Doppelzylinder parallel zueinander verlaufen und senkrecht zur Drehachse der Baueinheit angeordnet sind.

In besonders vorteilhafter Weise kann die Antriebswelle durch eine zum Greifer parallele Platte geführt sein, wobei die beiden Schenkel über dieser Platte vorgesehen sind und wobei weiter die beiden Schenkel zu ihrer Symmetrieebene senkrecht zu dieser Platte stets den gleichen aber entgegengesetzten Schwenkwinkel dank der Kopplung über das Getriebe aufweisen.

Konstruktiv besonders einfach kann zur Bildung des Getriebes auf der Platte konzentrisch zur Antriebswelle eine Zahnscheibe fest angeordnet sein, wobei ferner fest am anderen Schenkel im Gelenk eine weitere Zahnscheibe angeordnet ist, wobei diese weitere Zahnscheibe die halbe Zähnezahl gegenüber der ersten fest auf der Platte angeordneten Zahnscheibe aufweist, und die Zahnscheiben über ein Koppelglied, vorzugsweise in Form eines Zahnriemens miteinander gekoppelt sind. Anstelle des Zahnriemens kann auch eine Kette, ein Gliederband oder dgl. verwendet werden.

Platzsparend und geschützt kann der eine Schenkel gehäuseartig ausgebildet sein und das obere Ende der Antriebswelle die beiden Zahnscheiben und das Koppelglied mindestens teilweise umschließen, so daß auch eine Verschmutzungsgefahr der Umgebung durch Verschleiß das Handhabungsgerät in einem Reinraum oder Reinstraum störungsfrei über lange Zeit funktionieren muß.

Ein exakter Antrieb kann dadurch ermöglicht werden, daß die Antriebswelle über ein Zahnrad und eine Zahnstange mittels eines Arbeitszylinders antreibbar ist, wobei zweckmäßigerweise die Antriebswelle zwischen der Platte und einer unteren Platte gelagert ist und auf der unteren Platte die Zahnstange verschiebbar geführt und der Arbeitszylinder gehalten ist.

Platzsparend kann die Baueinheit über ein Ritzel und einer mit diesem zusammenwirkenden Zahnstange mittels eines weiteren Arbeitszylinders drehbar sein.

Der Greifer ist auf der von der Antriebswelle durchdrungenen Platte in der Symmetrieebene längsverschiebbar zwischen zwei Endlagen geführt. Die gerade Verschiebbarkeit des Greifers in der Symmetrieebene kann besonders exakt durch die spiegelbildliche symmetrische Anordnung einer weiteren Antriebswelle und über ein Gelenk miteinander gekoppelten Schenkeln in Form eines an sich bekannten Sechsgelenktriebs (frog leg) erfolgen, wobei die freien Enden der weiteren Schenkel den Greifer tragen.

Ein synchroner Antrieb der Antriebswellen kann besonders einfach dadurch erfolgen, daß die Zahnstange symmetrisch beiderseits jeweils eine Verzahnung aufweist, wobei die eine Verzahnung mit dem Ritzel der Antriebswelle und die andere Verzahnung mit dem Ritzel der weiteren Antriebswelle zusammenwirkt.

Weitere Vorteile der Erfindung werden in der nachfolgenden Beschreibung anhand der Figuren näher erläutert. Es zeigt

Fig. 1 eine Explosionsdarstellung des Handhabungsgeräts,

Fig. 2.1-2.3 Draufsichten auf einen Gelenkantrieb des Handhabungsgeräts in verschiedenen Stellungen,

Fig. 3 eine Teilschrägansicht des Antriebs des Gelenkgetriebes,

Fig. 4 eine Schrägansicht eines Drehantriebs für eine Baueinheit des Handhabungsgeräts,

Fig. 5 eine Teilschrägansicht einer anderen Ausführungsform des Gelenkantriebs.

Das in den Fig. 1 bis 4 dargestellte Handhabungsgerät weist einen plattenförmigen ebenen Greifer 1 auf, der auf seiner Oberseite eine mit einer nicht dargestellten Unterdruckquelle verbundene Ansaugöffnungen 2 für das oder die zu handhabenden nicht dargestellten Gegenstände z. B. plattenförmige Wafer aufweist.

Der plattenförmige Greifer 1 ist durch vier Schenkel 3, 3′, 4, 4′ eines aus zwei Getrieben 5, 5′ zusammengesetzten Gelenkgetriebes 6 getragen. Dieses Gelenkgetriebe 6 ist im wesentlichen ein an und für sich bekanntes Sechsgelenk, dessen Aufbau zu einer senkrecht zum Greifer 1 verlaufenden Symmetrieebene 7 spiegelbildlich ist. Im Abstand von dieser Symmetrieebene 1 durchragt eine Antriebswelle 8 eine Platte 9. Auf dem die Platte 9 überragenden Ende dieser Antriebswelle 8 ist der Schenkel 3 drehfest angeordnet. Am freien Ende des Schenkels 3 ist der andere Schenkel 4 über einen Bolzen 10 schwenkbar gelagert, wobei dieser Bolzen 10 drehfest am anderen Schenkel 4 befestigt und im Schenkel 3 schwenkbar gelagert ist.

Der Schenkel 3 selbst ist gehäuseförmig nach unten offen ausgebildet. Am unteren Ende des dort hineinragenden Bolzens 10 ist eine Zahnscheibe 11 drehfest am Bolzen 10 angeordnet. Korrespondierend ist konzentrisch zur Antriebswelle 8 auf der Platte 9 eine weitere Zahnscheibe 12 fest angeordnet. Über beide Zahnscheiben 11, 12 ist ein Zahnriemen 13 geführt, wobei der Durchmesser der auf der Platte 9 fest angeordneten Zahnscheibe 12 doppelt so groß ist wie der Durchmesser der Zahnscheibe 11 des anderen Schenkels 4. Erfolgt nun eine Schwenkung des Schenkels 3, so wird gleichzeitig durch den Zahnriemen 13 der andere Schenkel 4 zwangsweise so verschwenkt, daß die Schenkel 3 und 4 gegenüber der Symmetrieebene 7 immer den gleichen aber entgegengesetzten Winkel aufweisen. Bei einer Verschwenkung des Schenkels 3 um 180° von einer Lage parallel zur Symmetrieebene 7 in die andere zur Symmetrieebene 7 parallelen Lage erfolgt die Verschwenkung des anderen Schenkels 4 so, daß in diesen Parallellagen des Schenkels 3 zur Symmetrieebene 7 auch der andere Schenkel 4 jeweils nach außen ausgestreckt parallel zur Symmetrieebene 7 liegt. Durch diese Bewegung erfolgt eine Verschiebung des Greifers 1 von einer Endlage über eine Mittelstellung in die andere Endlage, wie dies in den Fig. 2.1 bis 2.3 in verschiedenen Stellungen dargestellt ist. In Fig. 2.2 ist die Mittellage und in Fig. 2.3 das Erreichen nahezu einer der Endlagen des Greifers 1 dargestellt.

Zum Antrieb der Antriebswelle 8 ist, wie in Fig. 3 in größerem Maßstab dargestellt, im unteren Bereich der Antriebswelle 8 ein Ritzel 14 angeordnet, das in einer in der Symmetrieebene 7 liegenden Zahnstange 15 kämmt. Die Zahnstange selbst ist über einen Arbeitszylinder 16 zwischen zwei Endlagen bewegbar, wobei der Arbeitszylinder 16 parallel zur Zahnstange 15 auf einer zur Platte 9 parallelen unteren Platte 17 angeordnet ist, in der auch die Antriebswelle 8 und die Antriebswelle 8′ des spiegelbildlich ausgebildeten Getriebes 5′ gelagert ist. In den Figuren sind die entsprechenden Einzelteile der spiegelbildlich ausgebildeten Getriebe 5, 5′ mit normalen bzw. mit Bezugszeichen mit Strich bezeichnet. Nachdem die Getriebe 5, 5′ spiegelbildlich identisch ausgebildet sind, erübrigt sich eine nähere Beschreibung.

Die Kolbenstange 18 des Arbeitszylinders 16 ist über ein Joch 19 mit der Zahnstange 15 gekoppelt.

Die in Richtung des Doppelpfeils 20 verschiebbare Zahnstange 15 ist an ihrem einen Ende mit zwei prismenförmig V-förmig verlaufenden Zentrierschrägen 21 versehen, die mit einer im Winkel angepaßten Konusfläche 22 eines verstellbaren Anschlags 23 zusammenwirkt.

Die Platte 9 und die untere Platte 17 mit dem gesamten beschriebenen Gelenkgetriebe 6 ist als Baueinheit ausgebildet und insgesamt um eine Drehachse 24 drehbar gelagert, die senkrecht zur Ebene des Greifers 1 verläuft und in der Symmetrieebene 7 liegt.

Zur Bewerkstelligung der Drehbewegung der beschriebenen Baueinheit 25 ist die untere Platte 17 über eine Achse 26, ein Ritzel 27, eine Zahnstange 28 und einen weiteren Arbeitszylinder 29 antreibbar. Dieser Drehantrieb 30 ist in Fig. 4 besonders dargestellt. Das eine freie Ende einer Kolbenstange 31 des als Doppelzylinder ausgebildeten weiteren Arbeitszylinders 29 ist an einem Festlager 32 an einer Winkelschiene 33 befestigt. Das weitere freie Ende einer zweiten Kolbenstange 34 ist über ein Joch 35 mit der Zahnstange 28 verbunden, wobei dem Ritzel 27 gegenüber die Zahnstange 28 in einer Führung 36 der Winkelschiene 33 geführt ist.

Die Kolbenstangen 31 und 34 sind unterschiedlich lang, so daß durch entsprechende Ansteuerung des Doppelkolben-Arbeitszylinders 29 insgesamt vier Drehstellungen des Ritzels 27 und damit der Baueinheit 25 exakt reproduzierbar erhalten werden können, nämlich die Endlagen bei ganz eingefahrenen bzw. ausgefahrenen Kolbenstangen und Zwischenstellungen bei jeweils einer eingefahrenen und einer ausgefahrenen Kolbenstange 31 bzw. 34. Entsprechend kann also die Symmetrieebene 7 der Baueinheit 25 in vier verschiedene exakt definierte Lagen verdreht werden. Entsprechend sind mehrere Anschläge 23 vorgesehen, die am Umfang eines Einstellrings 27 verschoben und entsprechend der definierten Winkellagen der Baueinheit 25 gemäß der Auslegung der Kolbenstangen 31, 34 des weiteren Arbeitszylinders 29 festgelegt werden. Durch Verstellung des jeweiligen Anschlags 23 in Richtung des Doppelpfeils 38 kann die in Fig. 2.3 dargestellte Endlage des Greifers 1 exakt reproduzierbar sehr feinfühlig eingestellt werden, und zwar in jeder der vier Winkellagen der Baueinheit 25 unabhängig.

Bei einer anderen in Fig. 5 dargestellten Ausführungsform des der Fig. 3 entsprechenden Antriebs für den Gelenktrieb 6 ist über die Ritzel 14, 14′ der Antriebswellen 8, 8′ und eine Umlenkrolle 40 ein Zahnriemen 15′ geführt. Dieser Zahnriemen 15′ weist eine Innenverzahnung und eine Außenverzahnung auf, wobei die Antriebswelle 8 mit dem Ritzel 14 von der Außenverzahnung und die andere Antriebswelle 8′ über ihr Ritzel 14′ von der Innenverzahnung des Zahnriemens 15′ synchron aber mit entgegengesetzter Drehrichtung angetrieben werden. Am tangential zwischen dem Ritzel 14′ und der Umlenkrolle 40 verlaufenden Trum des Zahnriemens 15′ ist über einen Bügel 41 der Arbeitszylinder 16′ gekoppelt, wobei beide Enden der Kolbenstange 16′′ mit dem Bügel 41 verbunden sind.

Analog zur Ausbildung und Funktion der Zahnstange 15 sind an den Enden der Kolbenstange 16′′ Zentrierschrägen 21′, 21′′ angeordnet, die mit verstellbaren Anschlägen 23 zur Endlageneinstellung des Greifers 1 zusammenwirken, wie dies bezüglich der Zahnstange 15 zu Fig. 3 beschrieben wurde. Die Herstellung und Montage des Zahnriemens 15′ ist einfacher und billiger gegenüber der Ausbildung mit der Zahnstange 15 gemäß Fig. 3.

Claims (19)

1. Handhabungsgerät, insbesondere für Wafer, mit einem zwischen mindestens zwei Arbeitsstellungen über ein Gelenkgetriebe (6) in einer Ebene bewegbaren Greifer (1), wobei das Gelenkgetriebe (6) zwei über je ein Getriebe (5, 5′) miteinander gekoppelte Schenkelpaare (3, 4; 3′, 4′) aufweist, die freien Enden der einen Schenkel (3, 3′) auf je einer Antriebswelle (8, 8′) befestigt um etwa 180° schwenkbar sind und die freien Enden der anderen Schenkel (4, 4′) über je ein Gelenk den Greifer (1) tragen und die beiden über je ein Getriebe (5, 5′) miteinander gekoppelten Schenkel (3, 4; 3′, 4′) so miteinander gekoppelt sind, daß die den Verdrehwinkeln der Antriebswellen (8, 8′) entsprechenden Schwenkwinkel der einen Schenkel (3, 3′) relativ zum Greifer (1) gleich groß aber entgegengesetzt den Schwenkwinkeln der anderen Schenkel (4, 4′) relativ zum Greifer (1) sind, und bei dem ferner die Antriebswellen (8, 8′) durch eine zum Greifer (1) parallele Platte (9) geführt sind und die beiden Schenkel (3, 4; 3′, 4′) über dieser Platte (9) vorgesehen sind, und daß die beiden Schenkelpaare (3, 4; 3′, 4′) zu ihrer senkrecht zur Platte (9) verlaufenden Symmetrieebene (7) stets den gleichen aber entgegengesetzten Schwenkwinkel aufweisen, wobei das Gelenkgetriebe (6) mit seinem Antrieb und dem Greifer (1) als Baueinheit (25) ausgebildet ist und diese Baueinheit (25) um eine Drehachse senkrecht zur Bewegungsebene des Greifers (1) drehbar ist und die Antriebswellen (8, 8′) über mindestens je ein Ritzel (14, 14′) von einem mit diesem kämmenden Verzahnungselement (15; 15′) antreibbar sind, dadurch gekennzeichnet, daß das Verzahnungselement (15; 15′) mittels eines Arbeitszylinders (16) antreibbar ist und daß auf einer die Baueinheit (25) tragenden Grundplatte (39) den verschiedenen Winkellagen der Baueinheit (25) zugeordnet verstellbare Anschläge (23) für jeweils mindestens eine Endlage der Kolbenstange (16′′; 18) des Antriebszylinders (16) vorgesehen sind.

2. Handhabungsgerät nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Verzahnungselement als Zahnstange (15) ausgebildet ist.

3. Handhabungsgerät nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Antriebswelle (8, 8′) zwischen der Platte (9) und einer unteren Platte (17) gelagert ist und auf der unteren Platte (17) die Zahnstange (15) verschiebbar geführt ist und der Arbeitszylinder (16) gehalten ist und durch die Kolbenstange des Arbeitszylinders (16) die Zahnstange (15) bewegbar ist.

4. Handhabungsgerät nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß zur Bildung des Getriebes (5, 5′) auf der Platte (9) konzentrisch zu den Antriebswellen (8, 8′) erste Zahnscheiben (12, 12) fest angeordnet sind und daß an den anderen Schenkeln (4, 4′) jeweils eine weitere Zahnscheibe (11, 11′) fest angeordnet ist und daß diese weitere Zahnscheibe (11, 11′) die halbe Zähnezahl gegenüber der ersten Zahnscheibe (12, 12′) aufweist und daß die Zahnscheiben (11, 12; 11′, 12′) über ein Koppelglied, vorzugsweise in Form eines Zahnriemens (13), miteinander gekoppelt sind.

5. Handhabungsgerät nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die einen Schenkel (3, 3′) gehäuseartig ausgebildet sind und die oberen Enden der Antriebswellen (8, 8′) und die beiden Zahnscheiben (11, 12) und das Koppelglied mindestens teilweise umschließen.

6. Handhabungsgerät nach einem der Ansprüche 2 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß die beiden Platten (9, 17) mit dem Arbeitszylinder (16), der Zahnstange (15) und den Antriebswellen (8, 8′), die beiden Schenkel (3, 4; 3′, 4′) des Gelenkgetriebes (6) und der Greifer (1) als Baueinheit (25) ausgebildet sind und daß diese Baueinheit (25) über einen Drehantrieb um eine senkrecht zur Ebene des Greifers (1) verlaufende Drehachse (26) drehbar ist.

7. Handhabungsgerät nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß die beiden Platten (9, 17) der Baueinheit (25) vorzugsweise kreisscheibenförmig sind und mindestens eine der Platten (17) auf der Grundplatte (39) drehbar geführt sind.

8. Handhabungsgerät nach Anspruch 2 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Zahnstange (15) über ein Joch (19) mit der Kolbenstange (18) des Arbeitszylinders (16) verbunden ist und daß mindestens ein Ende der Zahnstange (15) zwei Zentrierschrägen (21) für den verstellbaren Anschlag (23) aufweist, wobei auch der Anschlag (23) eine angepaßte Konusfläche (22) aufweist.

9. Handhabungsgerät nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß die verstellbaren Anschläge (23) auf einem mit der Grundplatte (39) verbundenen Einstellring (37) an dessen Umfang verschiebbar angeordnet sind.

10. Handhabungsgerät nach Anspruch 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, daß die Baueinheit (25) über ein Ritzel (27) und einer mit diesem zusammenwirkenden weiteren Zahnstange (28) mittels eines weiteren Arbeitszylinders drehbar ist.

11. Handhabungsgerät nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß der weitere Arbeitszylinder (29) ein Doppelzylinder mit zwei Kolben und zwei Kolbenstangen (31, 34) ist, daß diese Kolbenstangen (31, 34) unterschiedliche Längen aufweisen und daß durch die Endlagen dieser Kolbenstangen (31, 34) insgesamt vier Winkellagen der Baueinheit (25) exakt reproduzierbar einstellbar sind.

12. Handhabungsgerät nach Anspruch 10 oder 11, dadurch gekennzeichnet, daß das freie Ende einer Kolbenstange (31) eines Kolbens des weiteren Arbeitszylinders (29) an einem Festlager (32) einer Winkelschiene (33) angelenkt ist und das freie Ende der Kolbenstange (34) des anderen Kolbens mit der weiteren Zahnstange (28) verbunden ist und daß diese weitere Zahnstange (28) an der Winkelschiene (33) verschiebbar geführt ist, wobei die Winkelschiene (33), die weitere Zahnstange (28) und der weitere Arbeitszylinder (29) parallel zueinander verlaufen und senkrecht zur Drehachse (26) der Baueinheit (25) angeordnet sind.

13. Handhabungsgerät nach Anspruch 2 oder einem der folgenden, dadurch gekennzeichnet, daß die Zahnstange (15) symmetrisch beiderseits jeweils eine Verzahnung aufweist und die eine Verzahnung mit dem Ritzel (14) der einen Antriebswelle (8) und die andere Verzahnung mit dem Ritzel (14′) der symmetrisch angeordneten weiteren Antriebswelle (8′) zusammenwirkt und so eine synchrone Schwenkbewegung der Schenkel (3, 3′; 4′, 4′) über die Getriebe (5, 5′) bewirkt.

14. Handhabungsgerät nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Verzahnungselement als Zahnriemen (15′) ausgebildet ist.

15. Handhabungsgerät nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, daß der Zahnriemen (15′) mit einer Innenverzahnung und einer Außenverzahnung versehen ist und daß eine Antriebswelle (8) über ihr Ritzel (14) und die Außenverzahnung und die andere Antriebswelle (8′) über ihr Ritzel (14′) und die Innenverzahnung des Zahnriemens (15′) synchron aber mit entgegengesetzter Drehrichtung drehbar ist.

16. Handhabungsgerät nach Anspruch 15, dadurch gekennzeichnet, daß der Zahnriemen (15′) über die Ritzel (14, 14′) der Antriebswellen (8, 8′) und eine Umlenkrolle (40) geführt ist.

17. Handhabungsgerät nach Anspruch 16, dadurch gekennzeichnet, daß ein Trum des Zahnriemens (15′) durch das Ritzel (14) über die Außenverzahnung nach innen zwischen das andere Ritzel (14′) und die Umlenkrolle (4′) gedrückt ist und das andere Trum des Zahnriemens (15′) tangential zwischen dem Ritzel (14′) und der Umlenkrolle (40) verläuft und daß dort der Antrieb durch den Arbeitszylinder (16′) des Zahnriemens (15′) erfolgt.

18. Handhabungsgerät nach Anspruch 14 bis 17, dadurch gekennzeichnet, daß der Zahnriemen (15′) über einen gabelartigen Bügel (41) mit den Enden der durchgehenden Kolbenstange (16′′) des Arbeitszylinders (16′) verbunden ist.

19. Handhabungsgerät nach Anspruch 18, dadurch gekennzeichnet, daß mindestens ein Ende der Kolbenstange (16′′) zwei Zentrierschrägen (21, 21′′) für den verstellbaren Anschlag (23) aufweist.