DE19817152C2 - Elektromagnetische Abschirmvorrichtung und Verfahren zum Abschirmen eines Kabelbündels - Google Patents

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft eine elektromagnetische Abschirmvorrichtung und ein Verfahren zum Abschirmen eines zwischen einem elektronischen Gerät und einer Peripherievorrichtung verlaufenden Kabelbündels zum Verhindern einer Beeinflussung des elektronischen Gerätes durch elektromagnetisches Rauschen.

Elektronische Vorrichtungen sind häufig durch mehrere Kabel verbunden, die für elektromagnetische Störwellen (Rau­ schen) anfällig sein können. Beispielsweise weist ein Halb­ leiterprüfsystem eine Zentraleinheit und eine Peripherievor­ richtung auf, wie beispielsweise einen Prüfkopf (Station), die durch ein Bündel aus vielen Kabeln miteinander verbunden sind, das durch eine geeignete Maßnahme oder Vorrichtung ge­ gen elektromagnetisches Rauschen geschützt werden muß.

Ein Konfigurationsbeispiel eines aus dem Stand der Technik bekannten Halbleiterprüfsystems ist in den Fig. 7 und 8 dargestellt. Im in den Fig. 7 und 8 dargestellten Beispiel weist das Halbleiterprüfsystem auf: eine Zentraleinheit 11 eines Halbleiterprüfgeräts zum Erzeugen von zu prüfenden Halbleiterbausteinen 14 und 15 zu­ zuführenden Prüfsignalen und zum Auswerten der von den zu prüfenden Halbleiterbausteinen erhaltenen Signale, einen Ar­ beitsplatz 10 als Schnittstelle zwischen dem Prüfsystem und einem Benutzer zum Ausführen von Prüfoperationen und Prüf­ stationen 12 und 13 mit elektrischen Schaltungen und Kon­ takteinrichtungen, auf denen die zu prüfenden Halbleiterbau­ steine 14 und 15 angeordnet werden.

Zwischen der Zentraleinheit 11 und dem Arbeitsplatz 10 und zwischen der Zentraleinheit 11 und den Prüfstationen 12 und 13 werden mehrere Kabelbündel 40 verwendet. Über zahl­ reiche Kabel in jedem Kabelbündel 40 werden verschiedenarti­ ge elektrische Versorgungsspannungen, Steuersignale, Prüfsi­ gnale und ähnliche Signale zwischen der Zentraleinheit 11 und dem Arbeitsplatz 10 oder den Prüfstationen 12 und 13 übertragen.

Die Kabelbündel 40 weisen eine ausreichende Länge auf, um zu ermöglichen, daß der Arbeitsplatz 10 und die Prüfsta­ tionen 12 und 13 innerhalb eines begrenzten Bereichs für ei­ ne flexible Positionierung beweglich sind. Typischerweise sind in einem in den Fig. 7 und 8 dargestellten Halblei­ terprüfsystem 4-10 Kabelbündel zwischen der Zentraleinheit 11 und den Peripherievorrichtungen 10, 12 und 13 vorgesehen, wobei jedes Kabelbündel eine Länge von beispielsweise 3 m hat.

Ein Beispiel eines Kabelbündels 40 ist in Fig. 6 dar­ gestellt, wobei mehrere Koaxialkabel 43 zum Übertragen von Prüf-, Steuer- und Taktsignalen und mehrere Strom- oder Spannungsversorgungskabel 44 als Bündel zusammengestellt sind. Die Koaxialkabel 43 und die Spannungsversorgungskabel 44 sind durch ein Reißverschlußrohr- oder -schlauchelement 41 ummantelt, um sie vor äußeren Belastungen zu schützen. Das Reißverschlußschlauchelement 41 ist ein aus Vinyl herge­ stelltes Schutzschlauchelement mit einer Reißverschlußvor­ richtung, in dem die Kabel 43 und 44 auf einfache Weise ein­ geschlossen werden können.

Aufgrund der zunehmenden Arbeits- oder Operationsge­ schwindigkeiten von Halbleiterprüfsystemen und der zu prü­ fenden Halbleiterbausteine nehmen die Amplitudenpegel der über die Koaxialkabel 43 übertragenen Prüf-, Steuer- und Taktsignale ab. Daher können diese Signale durch elektroma­ gnetisches Rauschen aus der Umgebung über die Koaxialkabel 43 und die Spannungsversorgungskabel 44 beeinflußt werden.

Darüber hinaus werden viele Halbleiterprüfsysteme an­ statt in einer Laborumgebung in einer Fabrikumgebung verwen­ det, in der verschiedene Rauschsignalarten vorhanden sind. Daher wird erwartet, daß ein Halbleiterprüfsystem eine hoch­ wertigere Schutzeinrichtung gegen elektromagnetisches Rau­ schen aufweist als in Labors verwendete Instrumente oder Ge­ räte. Beispielsweise wird bei einem typischen Prüfvorgang zum Auswerten der Störsicherheit eines Halbleiterprüfsystems bezüglich elektromagnetischem Rauschen ein Prüfkabel paral­ lel auf dem Kabelbündel 40 angeordnet, um eine kapazitive Kopplung zwischen den Kabeln zu erzeugen. Ein Prüfimpuls mit einer Anstiegszeit von 2 ns und einer Spannung von 1 kV wird dem Prüfkabel zugeführt, um zu bestimmen, ob in der Funktion oder Operation des Halbleiterprüfsystems ein Fehler auf­ tritt.

Daher muß für die Kabelbündel im Halbleiterprüfsystem eine Maßnahme gegen elektromagnetisches Rauschen getroffen werden. Eine solche Maßnahme gegen elektromagnetisches Rau­ schen ist in Fig. 9 dargestellt. Im Beispiel von Fig. 9 weist die Rauschschutzeinrichtung Ferritkerne 60 für jeden End- oder Anschlußabschnitt des Koaxialkabels 43 im Kabelbündel 40 und Ferritkerne 61 für jeden End- oder Anschlußab­ schnitt der Spannungsversorgungskabel 44 auf. Es ist jedoch anerkannt, daß durch dieses Verfahren für den vorstehend er­ wähnten Prüfvorgang keine ausreichende Rauschunterdrückung oder Störsicherheit erhalten werden kann.

Die besten Wirkungen für eine Rauschunterdrückung wer­ den erhalten, wenn das Kabelbündel 40 insgesamt oder voll­ ständig in Abschirmkästen angeordnet werden kann. Eine sol­ che Abschirmstruktur ist jedoch unpraktisch, weil gewünscht wird, daß der Arbeitsplatz 10 und die Prüfstationen 12 und 13 für eine Positionierung frei beweglich sind. Daher be­ steht in elektronischen Systemen, wie beispielsweise einem Halbleiterprüfsystem, Bedarf an einer effektiveren Maßnahme oder Vorrichtung zum Schützen eines Kabelbündels vor elek­ tromagnetischem Rauschen.

EP 0586 841 A1 offenbart eine Abschirmvorrichtung für Verteilersysteme bei der Installation von Schwachstrom­ anlagen, die zwischen einem elektrischen/elektronischen Gerät und einem peripheren Gerät positioniert ist, wobei die Geräte über abgeschirmte Kabel miteinander verbunden sind. Diese Abschirmvorrichtung des Standes der Technik hat nicht die spezifische Struktur des Klemmechanismuses der vorliegenden Erfindung.

DE 93 03 465 U1 und GB 527,634 offenbaren Abschirm­ vorrichtungen zwischen elektrischen/elektronischen Geräten und peripheren Geräten, die über abgeschirmte Kabel miteinander verbunden sind. Ein Klemmechanismus wird zur Halterung und Kontaktierung der Kabelabschirmung verwendet.

DE 35 42 685 A1 offenbart einen Klemmechanismus für ein Kabel mit einer Abschirmung aus Metallgeflecht an einer Metallplatte zur Erdung. Der Klemmechanismus besteht aus Vorrichtungen zur Befestigung der Kabel mittels eines kastenförmigen, mit Rastverzahnung versehenen Klemm­ elements.

US 5,122,068 A offenbart eine Abschirmvorrichtung für abgeschirmte Kabel, wobei die Abschirmung der Kabel aus einem Metallgeflecht oder metallisiertem Plastikmaterial bestehen kann. US 5,122,068 zeigt eine Sandwichstruktur zur Klemmbefestigung der abgeschirmten Kabel. Der Klem­ mechanismus für das abgeschirmte Kabel besteht jedoch aus zwei gleichen Grundelementen, die jeweils halbzylindrische Rinnen aufweisen.

DE 90 04 554 U1 offenbart Erdungsklemmen für abgeschirmte Kabel, wobei die Abschirmung des Kabels mit einem zusätzlichen Gewebe oder Stoff aus leitendem elastischen Material, das ein Metallgeflecht oder ein leitendes Elastomer sein kann, umhüllt ist. Die Erdungsklemme gemäß diesem Stand der Technik ist einstückig und weist nicht einen Klemmrahmen und ein Klemmbefestigungselement auf.

US 5,028,742 offenbart ein Kabelabschirmungs- Verbindungsstück für abgeschirmte Kabel, wobei die Abschirmung des Kabels mit einem zusätzlichen Gewebe oder Stoff aus leitendem elastischen Material umhüllt ist, das ein Metallgeflecht oder ein leitendes Elastomer sein kann. Das Kabelabschirmungs-Verbindungsstück erfordert ein Draht­ geflecht und eine Halterungsvorrichtung (Feder) zur Verbindung der Abschirmungsschicht des Kabels mit dem Drahtgeflecht. Ferner ist die Halterungsvorrichtung eine einstückige Feder.

EP 0 272 199 A2 offenbart einen Klemmrahmen zur Verbindung eines Erdungsleiters mit der Erdungsplatte, wobei der Klemmrahmen U-förmig ausgebildet ist.

Aufgabe der Erfindung ist es, eine elektromagnetische Abschirmvorrichtung und ein Verfahren zum Abschirmen eines Kabelbündels bereitzustellen, die eine verbesserte Rauschunterdrückung bezüglich externem, elektromagnetischem Rauschen gewährleisten.

Diese Aufgabe wird durch die in den Ansprüchen 1 und 8 angegebenen Merkmale gelöst.

Die Abschirmeinrichtung weist auf: eine Erdungsplatte, die in der Nähe einer Zentraleinheit des elektronischen Garäts angeord­ net oder an der Zentraleinheit befestigt ist und elektro­ nisch mit der Zentraleinheit verbunden ist, um das Erdpoten­ tial bereitzustellen, ein leitfähiges elastisches Material zum Umhüllen oder Ummanteln im wesentlichen des gesamten Ka­ belbündels außerhalb des elektronischen Geräts und der Peri­ pherievorrichtung und einen Klemm- oder Einspannmechanismus zum Befestigen des Kabelbündels an der Erdungsplatte zum Herstellen einer elektrischen Verbindung zwischen dem leit­ fähigen elastischen Material und der Erdungsplatte, wobei der Klemmmechanismus aus Metall hergestellt ist und einen Klemmrahmen aufweist, der das Kabelbündel über dem leitenden, elastischen Material umschließt, sowie ein Klemmbefestigungselement, das einen Teil des leitenden elastischen Materials zwischen dem Klemmrahmen und dem Klemmbefestigungselement unter Druck festklemmt, und wobei der Klemmmechanismus einen Ansatz und eine Nute umfaßt, in die der Ansatz eingeführt ist, wenn das Klemmbefestigungselement an dem Klemmrahmen befestigt ist.

Erfindungsgemäß ist im wesentlichen das gesamte Kabel­ bündel durch das elektrisch leitfähige Gewebe umhüllt oder ummantelt, und die elektrische Verbindung wird zwischen dem leitfähigen Gewebe und der Erdungsplatte hergestellt. Da­ durch wird elektromagnetisches Rauschen durch das leitfähige Gewebe geeignet zur Erdungsplatte umgeleitet, ohne daß die Funktion oder Operation des Halbleiterprüfsystems beeinflußt wird. Daher hat die erfindungsgemäße elektromagnetische Ab­ schirmvorrichtung eine hochgradig rauschunterdrückende Wir­ kung, um eine ausreichende Störsicherheit der Kabel bezüg­ lich externem Rauschen zu erhalten.

Außerdem hat die erfindungsgemäße elektromagnetische Abschirmvorrichtung eine relativ einfache Struktur, so daß durch das leitfähige Gewebe und den Klemm- oder Einspannme­ chanismus eine kostengünstige und einfache Montage ermög­ licht wird. Darüber hinaus wird durch die erfindungsgemäße Abschirmvorrichtung eine freie Positionierung von Periphe­ rievorrichtungen ermöglicht, weil die Erdungsplatte und das Kabelbündel frei angeordnet sind und in der letzten Phase der Positionierung der Peripherievorrichtungen aneinander befestigt werden. Durch die erfindungsgemäße elektromagneti­ sche Abschirmvorrichtung wird die Emission von elektromagne­ tischem Rauschen von den Kabeln des Halbleiterprüfsystems an die Umgebung reduziert und verhindert, daß elektromagneti­ sches Rauschen in die Kabel induziert wird oder eindringt.

Das Verfahren zum Abschirmen eines Kabelbündels weist folgende Schritte auf:
Anordnen einer Erdungsplatte auf einem Boden in der Nähe einer Zentralstation des elektrischen Geräts und elektronisches Verbinden der Erdungsplatte mit der Zentralstation, um ein Erdungspotential bereitzustellen, Umhüllen des Kabelbündels durch ein leitfähiges, elastisches Material außerhalb des elektronischen Geräts und der Peripherievorrichtung und Befestigen des Kabelbündels an der Erdungsplatte und Herstellen einer elektrischen Verbindung zwischen dem leitfähigen elastischen Material und der Erdungsplatte, wobei der Klemmmechanismus aus Metall hergestellt ist und einen Klemmrahmen aufweist, der das Kabelbündel über dem leitenden elastischen Material umschließt, sowie ein Klemmbefestigungselement, das einen Teil des leitenden elastischen Materials zwischen dem Klemmrahmen und dem Klemmbefestigungselement unter Druck festklemmt, und wobei der Schritt des Befestigens des Kabelbündels an der Erdungsplatte den Schritt der Einführung eines Ansatzes in eine entsprechende Nute, wenn das Klemmbefestigungselement am Klemmrahmen befestigt wird, umfaßt.

Die Erfindung wird nachstehend anhand eines Ausführungsbeispiels, auf der Grundlage des in der Beschreibungseinleitung beschriebenen Standes der Technik erläutert. Es zeigen:

Fig. 1 eine perspektivische Ansicht zum Darstellen ei­ ner Gesamtstruktur mit Hauptkomponenten der erfindungsgemä­ ßen elektromagnetischen Abschirmvorrichtung;

Fig. 2 eine schematische Draufsicht zum Darstellen ei­ ner für ein Halbleiterprüfsystem verwendeten erfindungsgemä­ ßen elektromagnetischen Abschirmvorrichtung;

Fig. 3 eine perspektivische Ansicht zum Darstellen ei­ ner mechanischen Struktur der erfindungsgemäßen elektroma­ gnetischen Abschirmvorrichtung, wobei ein Klemmrahmen über eine Halteleiste auf der Erdungsplatte angeordnet ist;

Fig. 4 eine perspektivische Ansicht zum Darstellen ei­ nes Beispiels der Struktur eines in der erfindungsgemäßen elektromagnetischen Abschirmvorrichtung verwendeten Klemm­ mechanismus;

Fig. 5 eine perspektivische Ansicht zum Darstellen ei­ nes Beispiels eines Kabelbündels, das durch das erfindungs­ gemäße Abschirmgewebe abgeschirmt ist;

Fig. 6 eine perspektivische Ansicht zum Darstellen eines herkömmlichen Beispiels eines Kabelbündels mit mehreren Koaxialkabeln und Spannungsversorgungskabeln;

Fig. 7 ein schematisches Diagramm zum Darstellen einer perspektivischen Ansicht eines herkömmlichen Halbleiterprüfsystems;

Fig. 8 eine Draufsicht des herkömmlichen Halbleitersystems von Fig. 7; und

Fig. 9 eine perspektivische Ansicht zum Darstellen ei­ ner Gesamtstruktur einer herkömmlichen Vorrichtung zum Un­ terdrücken von elektromagnetischem Rauschen.

Nachstehend wird die auf ein Halbleiterprüfsystem ange­ wendete erfindungsgemäße elektromagnetische Abschirmvorrich­ tung unter Bezug auf die Fig. 1 bis 5 erläutert. Fig. 1 zeigt eine Gesamtstruktur der erfindungsgemäßen elektroma­ gnetischen Abschirmvorrichtung, und Fig. 2 zeigt einen Fall, bei dem die elektromagnetische Abschirmvorrichtung von Fig. 1 für ein Halbleiterprüfsystem verwendet wird.

Wie in den Fig. 1 und 2 dargestellt, sind die Haupt­ komponenten der elektromagnetischen Abschirmvorrichtung eine Erdungsplatte 20, die über ein Erdungs- oder Massekabel 50 mit einer Zentraleinheit 11 eines Halbleiterprüfsystems verbunden ist, ein leitfähiger Stoff, wie ein Textilerzeugnis oder Gewebe 42, der ein Kabelbündel 40 umgibt und abschirmt, wie in den Fig. 1 und 5 darge­ stellt, ein Klemmrahmen 31, der das Kabelbündel 40 fest hält, und ein Klemmbefestigungselement 33, durch das das leitfähige Gewebe 42 am Klemmrahmen 31 festgeklemmt wird, um eine elektrische Verbindung zwischen dem leitfähigen Gewebe 42 und der Erdungsplatte 20 herzustellen. Der Klemmrahmen 31 und das Klemmbefestigungselement 33 bilden einen in den Fig. 3 und 4 dargestellten Klemmechanismus 30.

Die Erdungsplatte 20 ist beispielsweise eine Aluminium­ platte mit einem Flächenmaß von 300 mm × 900 mm und einer Dicke von 3 mm. Es können mehrere Erdungsplatten 20 verwen­ det werden, um eine geeignete Größe und Form für die Erdung der Kabelbündel 40 zu bilden. Die Erdungsplatte 20 ist in der Nähe der Zentraleinheit 11 des Prüfsystems angeordnet oder an der Zentraleinheit 11 befestigt. Wie in Fig. 3 dar­ gestellt, die eine perspektivische Ansicht zum Darstellen einer mechanischen Struktur der vorliegenden Erfindung zeigt, ist der Klemmrahmen 31 über eine Halteleiste 21 an der Erdungsplatte 20 montiert. In den Beispielen der Fig. 1 bis 5 ist die Halteleiste 21 an der Erdungsplatte 20 befe­ stigt, und der Klemmrahmen 31 ist durch Schrauben 35 an der Halteleiste 21 befestigt und dadurch elektrisch mit der Er­ dungsplatte 20 verbunden.

Die Erdungsplatte 20 weist Schraubenlöcher in den Randabschnitten auf, so daß sie über eine Verbindungsleiste oder -schiene 22 mit einer anderen Erdungsplatte 20 verbun­ den werden kann. Die Schraubenlöcher sind so ausgebildet, daß die Erdungsplatten 20 in Längs- und Querrichtung frei erweiterbar sind. Die Erdungsplatten 20 und die Erdung der Zentraleinheit 11 des Halbleiterprüfsystems sind über ein Masseverbindungskabel 50 verbunden. Dadurch liegt an den Er­ dungsplatten 20 und an der Zentraleinheit 11 ein Erdungs- oder Massepotential mit niedriger Impedanz an.

Fig. 5 zeigt eine perspektivische Ansicht zum Darstellen eines Beispiels eines durch einen elektrisch leitfähigen Stoff 42 abgeschirmten Kabelbündels. Der leitfähige Stoff 42, der das Kabelbündel 40 umschließt, ist ein Stoff oder Gewebe mit einer Dicke von 0,2 mm und ist beispielsweise aus nickelbe­ schichtetem Acrylfasermaterial hergestellt. Die Oberfläche des elektrisch leitfähigen Gewebes 42 ist so groß, daß es das gesamte Kabelbündel umgibt und einschließt. Das leitfä­ hige Gewebe 42 weist aufgrund seiner niedrigen Impedanz pro Längeneinheit eine ausreichende Abschirmwirkung auf. Wie in Fig. 5 dargestellt, wird das Bündel aus Koaxialkabeln 43 und Spannungsversorgungskabeln 44 sowie das Reißverschluß­ schlauchelement 41, das die Kabel für einen mechanischen Schutz umgibt, durch das leitfähige Gewebe 42 umschlossen und abgeschirmt.

Fig. 4 zeigt eine perspektivische Ansicht zum Darstel­ len eines Beispiels der Struktur des in der erfindungsgemä­ ßen elektromagnetischen Abschirmvorrichtung verwendeten Klemmechanismus. Der Klemmechanismus 30 weist einen Klemm­ rahmen 31 und ein Klemmbefestigungselement 33 auf. Das Klemmbefestigungselement 33 weist ein Paar Nuten 34 auf, die auf ein Paar Klemmansätze 32 auf dem Klemmrahmen 31 passen, um das leitfähige Gewebe 42 festzuklemmen.

Der Klemmechanismus 30 besteht aus Metall, um eine ge­ eignete elektrische Verbindung zwischen dem leitfähigen Ge­ webe 42 und der Erdungsplatte 20 zu erhalten. Der Klemm­ mechanismus 30 muß außerdem eine ausreichende mechanische Festigkeit oder Stabilität aufweisen, um einen ausreichenden Kontakt zwischen der Erdungsplatte 20 und dem leitfähigen Gewebe 42 zu erhalten. Daher sind Materialien, wie bei­ spielsweise eine nichtrostende Platte mit einer Dicke von 1,5 mm, bevorzugt.

Wie in Fig. 1 dargestellt, ist das Kabelbündel 40 durch den Klemmrahmen 31 über die Halteleiste 21 an der Er­ dungsplatte 20 befestigt. Das leitfähige Gewebe 42 um­ schließt das Kabelbündel 40, und ein Teil des leitfähigen Gewebes 42 ist zwischen dem Klemmrahmen 31 und dem Klemmbe­ festigungselement 33 festgeklemmt, um eine ausreichende elektrische Verbindung zur Erdungsplatte zu gewährleisten. Im Beispiel der Fig. 1 bis 4 wird das leitfähige Gewebe 42 durch den Klemmechanismus 30 festgeklemmt, indem das Klemmbefestigungselement 33 so verschoben wird, daß die Klemmansätze 32 in die Klemmnuten 34 eingreifen. Es sind je­ doch auch andere Strukturen zum elektrischen Verbinden des leitfähigen Gewebes 42 mit der Erdungsplatte möglich, z. B. unter Verwendung von Schrauben.

Durch die erfindungsgemäße elektromagnetische Abschirm­ vorrichtung wird verhindert, daß Umgebungsrauschen in die Kabel eindringt. D. h., Umgebungsrauschen wird in das elek­ trisch leitfähige Gewebe 42 induziert, wobei Rauschströme durch das elektrische Gewebe 42, den Klemmechanismus 30 und die Halteleiste 21 zur Erdungsplatte 20 fließen. Die Er­ dungsplatte 20 ist eine große leitfähige Platte mit niedri­ gem Widerstandswert und ist mit der Masse des Halbleiter­ prüfsystems 11 verbunden. Dadurch wird das gleiche Erdungs- oder Massepotential aufrechterhalten, auch wenn die Rausch­ ströme zur Erdungsplatte fließen. D. h., das Rauschen wird durch das Erdungs- oder Massepotential absorbiert, wodurch verhindert wird, daß Rauschen in die Kabelbündel induziert wird oder eindringt.

Dadurch wird im vorstehend erwähnten Prüfvorgang zum Auswerten der Störsicherheit eines Halbleiterprüfsystems be­ züglich elektromagnetischem Rauschen ein Fehler in der Funk­ tion oder Operation des Prüfsystems erst dann erzeugt, wenn die Amplitude eines Prüfimpulses auf 2 kV erhöht wird. Die­ ser Pegel ist wesentlich höher als der unter Verwendung der herkömmlichen Technik erhaltene Pegel, bei der Ferritkerne verwendet werden und bereits durch einen Prüfimpuls mit ei­ ner Amplitude von etwa 1,3 kV Fehler in der Funktion oder Operation des Prüfsystems erzeugt werden. Daher wird durch die erfindungsgemäße elektromagnetische Abschirmvorrichtung eine wesentlich bessere Schutzwirkung erhalten.

In den vorstehenden Beispielen werden die Koaxialkabel 43 und die Spannungsversorgungskabel 44 im Kabelbündel 40 zur Signal- und Leistungsübertragung verwendet. Im Kabelbün­ del können jedoch auch andersartige Kabel verwendet werden, um ähnliche rauschunterdrückende Wirkungen zu erzielen. Sol­ che andersartigen Kabel sind beispielsweise Flachkabel, ver­ drillte Kabel, geflochtene Kabel und ähnliche.

Außerdem ist im vorstehenden Beispiel der Klemmechanis­ mus zum Befestigen des Kabelbündels 40 über die Halteleiste 21 an der Erdungsplatte 20 befestigt. Der Klemmechanismus 30 kann jedoch auch durch Schrauben oder eine andere Einrich­ tung direkt an der Erdungsplatte 20 befestigt werden.

Das vorstehende Beispiel stellt einen Fall dar, bei dem das elektrisch leitfähige Gewebe 42 durch den Klemmrahmen 31 und das Klemmbefestigungselement 33 mit der Erdungsplatte 20 verbunden ist. Es kann jedoch auch eine andere Struktur zum Verbinden des leitfähigen Gewebes 42 mit der Erdungsplatte vorgesehen sein, beispielsweise kann das leitfähige Gewebe 42 direkt mit der Erdungsplatte 20 verbunden werden.

Außerdem kann das leitfähige Gewebe 42 durch einen leitfähigen Überzug bzw. eine Schicht, ein Bahnenmaterial oder einen leitfähigen Film ersetzt werden, z. B. durch einen elastischen Metallfilm oder ein Metallmaschen-Bahnenmaterial.

Wie vorstehend beschrieben, wird erfindungsgemäß im we­ sentlichen das gesamte Kabelbündel durch das elektrisch leitfähige Gewebe umhüllt, und die elektrische Verbindung wird zwischen dem leitfähigen Gewebe und der Erdungsplatte hergestellt. Dadurch wird elektromagnetisches Rauschen über das leitfähige Gewebe geeignet zur Erdungsplatte umgeleitet, ohne daß die Funktion oder Operation des Halbleiterprüfsy­ stems beeinflußt wird. Daher ist die erfindungsgemäße elek­ tromagnetische Abschirmvorrichtung hochgradig wirksam als Rauschschutz, um eine ausreichende Störsicherheit der Kabel bezüglich externem Rauschen zu erhalten.

Darüber hinaus weist die erfindungsgemäße elektromagne­ tische Abschirmvorrichtung eine relativ einfache Struktur auf, so daß durch das leitfähige Gewebe und den Klemmecha­ nismus eine kostengünstige und einfache Montage ermöglicht wird. Außerdem wird durch die erfindungsgemäße Abschirmvor­ richtung eine freie Positionierung von Peripherievorrichtungen ermöglicht, weil die Erdungsplatte und das Kabelbündel frei angeordnet und in der letzten Phase der Positionierung der Peripherievorrichtungen aneinander befestigt werden kön­ nen. Durch die erfindungsgemäße elektromagnetische Abschirm­ vorrichtung wird die Emission von elektromagnetischem Rau­ schen von den Kabeln des Halbleiterprüfsystems an die Umge­ bung reduziert und verhindert, daß elektromagnetisches Rau­ schen in die Kabel induziert wird oder eindringt.

Claims (8)

1. Elektromagnetische Abschirmvorrichtung für ein zwischen einem elektronischen Gerät und einer Peripherievorrichtung verlaufendes Kabelbündel zum Verhindern einer Beeinflussung des elektronischen Geräts durch elektromagnetisches Rauschen, mit:
einer Erdungsplatte (20), die in der Nähe einer Zentraleinheit des elektronischen Geräts angeordnet ist oder an der Zentraleinheit befestigt ist und elektronisch mit der Zentraleinheit verbunden ist, um ein Erdungspotential bereitzustellen;
einem leitfähigen elastischen Material (42) zum Umhüllen des gesamten Kabelbündels (40) außerhalb des elektronischen Geräts und der Peripherievorrichtung; und
einem Klemmechanismus (30) zum Befestigen des Kabelbündels (40) an der Erdungsplatte (20) zum Herstellen einer elektrischen Verbindung zwischen dem leitfähigen elastischen Material (42) und der Erdungsplatte (20);
wobei der Klemmechanismus (30) aus Metall hergestellt ist und einen Klemmrahmen (31) aufweist, der das Kabelbündel (40) über dem leitenden elastischen Material (42) umschließt, sowie ein Klemmbefestigungselement (33), das einen Teil des leitenden elastischen Materials (42) zwischen dem Klemmrahmen (31) und dem Klemmbefestigungselement (33) unter Druck festklemmt, und wobei der Klemmechanismus (30) einen Ansatz (32) und eine Nute (34) umfaßt, in die der Ansatz (32) eingeführt ist, wenn das Klemmbefestigungselement (33) an dem Klemmrahmen (31) befestigt ist.

2. Vorrichtung nach Anspruch 1, ferner mit einer Verbindungsleiste (22) zum Verbinden von zwei oder mehr Erdungsplatten, um die Gesamtfläche der Erdungsplatten (20) zum Bereitstellen des Erdungspotentials zu vergrößern.

3. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, ferner mit einer auf der Erdungsplatte (20) angeordneten Halteleiste (21) zum Halten des auf der Erdungsplatte (20) angeordneten Klemmechanismus (30) über die Halteleiste (21).

4. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, wobei das leitfähige elastische Material (42) ein leitfähiges Gewebe oder ein leitfähiger Stoff (42) ist.

5. Vorrichtung nach Anspruch 4, wobei das leitfähige Gewebe oder der leitfähige Stoff (42) aus nickelbeschichtetem Acrylfasermaterial besteht.

6. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, wobei das leitfähige elastische Material (42) ein Metallmaschen-Bahnenmaterial (42) ist.

7. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 6, wobei der Ansatz (32) ein auf dem Klemmrahmen (31) vorgesehenes Ansatz-Paar ist, und die Nute (34) ein auf dem Klemmbefestigungselement (33) vorgesehenes Nuten-Paar ist.

8. Verfahren zum Abschirmen eines zwischen einem elektronischen Gerät und einer Peripherievorrichtung verlaufenden Kabelbündels, um zu verhindern, daß das elektronische Gerät durch elektromagnetisches Rauschen beeinflußt wird, mit den Schritten:
Anordnen einer Erdungsplatte (20) auf einem Boden in der Nähe einer Zentralstation des elektronischen Geräts und elektronisches Verbinden der Erdungsplatte (20) mit der Zentralstation, um ein Erdungspotential bereitzustellen;
Umhüllen des Kabelbündels durch ein leitfähiges elastisches Material (42) außerhalb des elektronischen Geräts und der Peripherievorrichtung; und
Befestigen des Kabelbündels (40) an der Erdungsplatte (20) und Herstellen einer elektrischen Verbindung zwischen dem leitfähigen elastischen Material (42) und der Erdungsplatte (20);
wobei der Klemmechanismus (30) aus Metall hergestellt ist und einen Klemmrahmen (31) aufweist, der das Kabelbündel (40) über dem leitenden elastischen Material (42) umschließt, sowie ein Klemmbefestigungselement (33), das einen Teil des leitenden elastischen Materials (42) zwischen dem Klemmrahmen (31) und dem Klemmbefestigungselement (33) unter Druck festklemmt, und wobei der Schritt des Befestigens des Kabelbündels (40) an der Erdungsplatte (20) den Schritt der Einführung eines Ansatzes (32) in eine entsprechende Nute (34), wenn das Klemmbefestigungselement (33) am Klemmrahmen (31) befestigt wird, umfaßt.