DE19817152A1 - Elektromagnetische Abschirmvorrichtung für Kabel - Google Patents
Elektromagnetische Abschirmvorrichtung für KabelInfo
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Description
Die vorliegende Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum
Unterdrücken von elektromagnetischem Rauschen für zwischen
elektronischen Vorrichtungen angeordnete Kabel und insbeson
dere eine elektromagnetische Abschirmvorrichtung für ein Ka
belbündel, über das ein Halbleiterprüfsystem mit seinen Pe
ripherievorrichtungen verbunden ist.
Elektronische Vorrichtungen sind häufig durch mehrere
Kabel verbunden, die für elektromagnetische Störwellen (Rau
schen, anfällig sein können. Beispielsweise weist ein Halb
leiterprüfsystem eine Zentraleinheit und eine Peripherievor
richtung auf, wie beispielsweise einen Prüfkopf (Station),
die durch ein Bündel aus vielen Kabeln miteinander verbunden
sind, das durch eine geeignete Maßnahme oder Vorrichtung ge
gen elektromagnetisches Rauschen geschützt werden muß.
Ein Konfigurationsbeispiel eines Halbleiterprüfsystems
ist in den Fig. 7 und 8 dargestellt. Im in den Fig. 7
und 8 dargestellten Beispiel weist das Halbleiterprüfsystem
auf: eine Zentraleinheit 11 eines Halbleiterprüfgeräts zum
Erzeugen von zu prüfenden Halbleiterbausteinen 14 und 15 zu
zuführenden Prüfsignalen und zum Auswerten der von den zu
prüfenden Halbleiterbausteinen erhaltenen Signale, einen Ar
beitsplatz 10 als Schnittstelle zwischen dem Prüfsystem und
einem Benutzer zum Ausführen von Prüfoperationen und Prüf
stationen 12 und 13 mit elektrischen Schaltungen und Kon
takteinrichtungen, auf denen die zu prüfenden Halbleiterbau
steine 14 und 15 angeordnet werden.
Zwischen der Zentraleinheit 11 und dem Arbeitsplatz 10
und zwischen der Zentraleinheit 11 und den Prüfstationen 12
und 13 werden mehrere Kabelbündel 40 verwendet. Über zahl
reiche Kabel in jedem Kabelbündel 40 werden verschiedenarti
ge elektrische Versorgungsspannungen, Steuersignale, Prüfsi
gnale und ähnliche Signale zwischen der Zentraleinheit 11
und dem Arbeitsplatz 10 oder den Prüfstationen 12 und 13
übertragen.
Die Kabelbündel 40 weisen eine ausreichende Länge auf,
um zu ermöglichen, daß der Arbeitsplatz 10 und die Prüfsta
tionen 12 und 13 innerhalb eines begrenzten Bereichs für ei
ne flexible Positionierung beweglich sind. Typischerweise
sind in einem in den Fig. 7 und 8 dargestellten Halblei
terprüfsystem 4-10 Kabelbündel zwischen der Zentraleinheit
11 und den Peripherievorrichtungen 10, 12 und 13 vorgesehen,
wobei jedes Kabelbündel eine Länge von beispielsweise 3 m
hat.
Ein Beispiel eines Kabelbündels 40 ist in Fig. 6 dar
gestellt, wobei mehrere Koaxialkabel 43 zum übertragen von
Prüf-, Steuer- und Taktsignalen und mehrere Strom- oder
Spannungsversorgungskabel 44 als Bündel zusammengestellt
sind. Die Koaxialkabel 43 und die Spannungsversorgungskabel
44 sind durch ein Reißverschlußrohr- oder -schlauchelement 41
ummantelt, um sie vor äußeren Belastungen zu schützen.
Das Reißverschlußschlauchelement 41 ist ein aus Vinyl herge
stelltes Schutzschlauchelement mit einer Reißverschlußvor
richtung, in dem die Kabel 43 und 44 auf einfache Weise ein
geschlossen werden können.
Aufgrund der zunehmenden Arbeits- oder Operationsge
schwindigkeiten von Halbleiterprüfsystemen und der zu prü
fenden Halbleiterbausteine nehmen die Amplitudenpegel der
über die Koaxialkabel 43 übertragenen Prüf-, Steuer- und
Taktsignale ab. Daher können diese Signale durch elektroma
gnetisches Rauschen aus der Umgebung über die Koaxialkabel
43 und die Spannungsversorgungskabel 44 beeinflußt werden.
Darüber hinaus werden viele Halbleiterprüfsysteme an
statt in einer Laborumgebung in einer Fabrikumgebung verwen
det, in der verschiedene Rauschsignalarten vorhanden sind.
Daher wird erwartet, daß ein Halbleiterprüfsystem eine hoch
wertigere Schutzeinrichtung gegen elektromagnetisches Rau
schen aufweist als in Labors verwendete Instrumente oder Ge
räte. Beispielsweise wird bei einem typischen Prüfvorgang
zum Auswerten der Störsicherheit eines Halbleiterprüfsystems
bezüglich elektromagnetischem Rauschen ein Prüfkabel paral
lel auf dem Kabelbündel 40 angeordnet, um eine kapazitive
Kopplung zwischen den Kabeln zu erzeugen. Ein Prüfimpuls mit
einer Anstiegszeit von 2 ns und einer Spannung von 1 kV wird
dem Prüfkabel zugeführt, um zu bestimmen, ob in der Funktion
oder Operation des Halbleiterprüfsystems ein Fehler auf
tritt.
Daher muß für die Kabelbündel im Halbleiterprüfsystem
eine Maßnahme gegen elektromagnetisches Rauschen getroffen
werden. Eine solche Maßnahme gegen elektromagnetisches Rau
schen ist in Fig. 9 dargestellt. Im Beispiel von Fig. 9
weist die Rauschschutzeinrichtung Ferritkerne 60 für jeden
End- oder Anschlußabschnitt des Koaxialkabels 43 im Kabel
bündel 40 und Ferritkerne 61 für jeden End- oder Anschlußab
schnitt der Spannungsversorgungskabel 44 auf. Es ist jedoch
anerkannt, daß durch dieses Verfahren für den vorstehend er
wähnten Prüfvorgang keine ausreichende Rauschunterdrückung
oder Störsicherheit erhalten werden kann.
Die besten Wirkungen für eine Rauschunterdrückung wer
den erhalten, wenn das Kabelbündel 40 insgesamt oder voll
ständig in Abschirmkästen angeordnet werden kann. Eine sol
che Abschirmstruktur ist jedoch unpraktisch, weil gewünscht
wird, daß der Arbeitsplatz 10 und die Prüfstationen 12 und
13 für eine Positionierung frei beweglich sind. Daher be
steht in elektronischen Systemen, wie beispielsweise einem
Halbleiterprüfsystem, Bedarf an einer effektiveren Maßnahme
oder Vorrichtung zum Schützen eines Kabelbündels vor elek
tromagnetischem Rauschen.
Es ist eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine
elektromagnetische Abschirmvorrichtung für Kabelbündel be
reitzustellen, die eine hohe rauschunterdrückende Wirkung
aufweist, um eine ausreichende Störsicherheit bezüglich ex
ternem Rauschen zu erhalten.
Es ist eine andere Aufgabe der vorliegenden Erfindung,
eine elektromagnetische Abschirmvorrichtung für Kabelbündel
bereitzustellen, die eine einfache Struktur hat, um eine ko
stengünstige und einfache Montage zu ermöglichen.
Es ist eine weitere Aufgabe der vorliegenden Erfindung,
eine elektromagnetische Abschirmvorrichtung für Kabelbündel
eines Halbleiterprüfsystems bereit zustellen, durch die Peri
phierievorrichtungen frei positioniert werden können, wäh
rend eine verbesserte Rauschunterdrückung erhalten wird.
Es ist eine weitere Aufgabe der vorliegenden Erfindung,
eine elektromagnetische Abschirmvorrichtung - für Kabelbündel
eines Halbleiterprüfsystems bereitzustellen, durch die die
Emission von elektrischem Rauschen von den Kabeln des Halb
leiterprüfsystems an die Umgebung effektiv reduziert wird.
Die erfindungsgemäße elektromagnetische Abschirmvor
richtung wird für ein zwischen einem elektronischen Gerät
und einer Peripherievorrichtung verlaufendes Kabelbündel
verwendet, um zu verhindern, daß das elektronische Gerät
durch elektromagnetisches Rauschen beeinflußt wird. Die Ab
schirmeinrichtung weist auf: eine Erdungsplatte, die in der
Nähe einer Zentraleinheit des elektronischen Geräts angeord
net oder an der Zentraleinheit befestigt ist und elektro
nisch mit der Zentraleinheit verbunden ist, um das Erdpoten
tial bereit zustellen, ein leitfähiges elastisches Material
zum Umhüllen oder Ummanteln im wesentlichen des gesamten Ka
belbündels außerhalb des elektronischen Geräts und der Peri
pherievorrichtung und einen Klemm- oder Einspannmechanismus
zum Befestigen des Kabelbündels an der Erdungsplatte zum
Herstellen einer elektrischen Verbindung zwischen dem leit
fähigen elastischen Material und der Erdung oder Masse.
Erfindungsgemäß ist im wesentlichen das gesamte Kabel
bündel durch das elektrisch leitfähige Gewebe umhüllt oder
ummantelt, und die elektrische Verbindung wird zwischen dem
leitfähigen Gewebe und der Erdungsplatte hergestellt. Da
durch wird elektromagnetisches Rauschen durch das leitfähige
Gewebe geeignet zur Erdungsplatte umgeleitet, ohne daß die
Funktion oder Operation des Halbleiterprüfsystems beeinflußt
wird. Daher hat die erfindungsgemäße elektromagnetische Ab
schirmvorrichtung eine hochgradig rauschunterdrückende Wir
kung, um eine ausreichende Störsicherheit der Kabel bezüg
lich externem Rauschen zu erhalten.
Außerdem hat die erfindungsgemäße elektromagnetische
Abschirmvorrichtung eine relativ einfache Struktur, so daß
durch das leitfähige Gewebe und den Klemm- oder Einspannme
chanismus eine kostengünstige und einfache Montage ermög
licht wird. Darüber hinaus wird durch die erfindungsgemäße
Abschirmvorrichtung eine freie Positionierung von Periphe
rievorrichtungen ermöglicht, weil die Erdungsplatte und das
Kabelbündel frei angeordnet sind und in aber letzten Phase
der Positionierung der Peripherievorrichtungen aneinander
befestigt werden. Durch die erfindungsgemäße elektromagneti
sche Abschirmvorrichtung wird die Emission von elektromagne
tischem Rauschen von den Kabeln des Halbleiterprüfsystems an
die Umgebung reduziert und verhindert, daß elektromagneti
sches Rauschen in die Kabel induziert wird oder eindringt.
Die Erfindung wird nachstehend unter Bezug auf die bei
gefügten Zeichnungen beschrieben; es zeigen:
Fig. 1 eine perspektivische Ansicht zum Darstellen ei
ner Gesamtstruktur mit Hauptkomponenten der erfindungsgemä
ßen elektromagnetischen Abschirmvorrichtung;
Fig. 2 eine schematische Draufsicht zum Darstellen ei
ner für ein Halbleiterprüfsystem verwendeten erfindungsgemä
ßen elektromagnetischen Abschirmvorrichtung;
Fig. 3 eine perspektivische Ansicht zum Darstellen ei
ner mechanischen Struktur der erfindungsgemäßen elektroma
gnetischen Abschirmvorrichtung, wobei ein Klemmrahmen über
eine Halteleiste auf der Erdungsplatte angeordnet ist;
Fig. 4 eine perspektivische Ansicht zum Darstellen ei
nes Beispiels der Struktur eines in der erfindungsgemäßen
elektromagnetischen Abschirmvorrichtung verwendeten Klemm
mechanismus;
Fig. 5 eine perspektivische Ansicht zum Darstellen ei
nes Beispiels eines Kabelbündels, das durch das erfindungs
gemäße Abschirmgewebe abgeschirmt ist;
Fig. 6 eine perspektivische Ansicht zum Darstellen ei
nes Beispiels eines Kabelbündels mit mehreren Koaxialkabeln
und Spannungsversorgungskabeln;
Fig. 7 ein schematisches Diagramm zum Darstellen einer
perspektivischen Ansicht eines Halbleiterprüfsystems;
Fig. 8 eine Draufsicht des Halbleiterprüfsystems von
Fig. 7; und
Fig. 9 eine perspektivische Ansicht zum Darstellen ei
ner Gesamtstruktur einer herkömmlichen Vorrichtung zum Un
terdrücken von elektromagnetischem Rauschen.
Nachstehend wird die auf ein Halbleiterprüfsystem ange
wendete erfindungsgemäße elektromagnetische Abschirmvorrich
tung unter Bezug auf die Fig. 1 bis 5 erläutert. Fig. 1
zeigt eine Gesamtstruktur der erfindungsgemäßen elektroma
gnetischen Abschirmvorrichtung, und Fig. 2 zeigt einen
Fall, bei dem die elektromagnetische Abschirmvorrichtung von
Fig. 1 für ein Halbleiterprüfsystem verwendet wird.
Wie in den Fig. 1 und 2 dargestellt, sind die Haupt
komponenten der elektromagnetischen Abschirmvorrichtung eine
Erdungsplatte 20, die über ein Erdungs- oder Massekabel 50
mit einer Zentraleinheit 11 eines Halbleiterprüfsystems
verbunden ist, ein leitfähiger Stoff, wie ein
Textilerzeugnis oder Gewebe 42, der ein Kabelbündel
40 umgibt und abschirmt, wie in den Fig. 1 und 5 darge
stellt, ein Klemmrahmen 31, der das Kabelbündel 40 fest
hält, und ein Klemmbefestigungselement 33, durch das das
leitfähige Gewebe 42 am Klemmrahmen 31 festgeklemmt wird, um
eine elektrische Verbindung zwischen dem leitfähigen Gewebe
42 und der Erdungsplatte 20 herzustellen. Der Klemmrahmen 31
und das Klemmbefestigungselement 33 bilden einen in den Fig.
3 und 4 dargestellten Klemmechanismus 30.
Die Erdungsplatte 20 ist beispielsweise eine Aluminium
platte mit einem Flächenmaß von 300 mm x 900 mm und einer
Dicke von 3 mm. Es können mehrere Erdungsplatten 20 verwen
det werden, um eine geeignete Größe und Form für die Erdung
der Kabelbündel 40 zu bilden. Die Erdungsplatte 20 ist in
der Nähe der Zentraleinheit 11 des Prüfsystems angeordnet
oder an der Zentraleinheit 11 befestigt. Wie in Fig. 3 dar
gestellt, die eine perspektivische Ansicht zum Darstellen
einer mechanischen Struktur der vorliegenden Erfindung
zeigt, ist der Klemmrahmen 31 über eine Halteleiste 21 an
der Erdungsplatte 20 montiert. In den Beispielen der Fig.
1 bis 5 ist die Halteleiste 21 an der Erdungsplatte 20 befe
stigt, und der Klemmrahmen 31 ist durch Schrauben 35 an der
Halteleiste 21 befestigt und dadurch elektrisch mit der Er
dungsplatte 20 verbunden.
Die Erdungsplatte 20 weist Schraubenlöcher in den
Randabschnitten auf, so daß sie über eine Verbindungsleiste
oder -schiene 22 mit einer anderen Erdungsplatte 20 verbun
den werden kann. Die Schraubenlöcher sind so ausgebildet,
daß die Erdungsplatten 20 in Längs- und Querrichtung frei
erweiterbar sind. Die Erdungsplatten 20 und die Erdung der
Zentraleinheit 11 des Halbleiterprüfsystems sind über ein
Masseverbindungskabel 50 verbunden. Dadurch liegt an den Er
dungsplatten 20 und an der Zentraleinheit 11 ein Erdungs-
oder Massepotential mit niedriger Impedanz an.
Fig. 5 zeigt eine perspektivische Ansicht zum Darstellen
eines Beispiels eines durch einen elektrisch leitfähigen Stoff
42 abgeschirmten Kabelbündels. Der leitfähige Stoff 42, der
das Kabelbündel 40 umschließt, ist ein Stoff oder Gewebe mit
einer Dicke von 0,2 mm und ist beispielsweise aus nickelbe
schichtetem Acrylfasermaterial hergestellt. Die Oberfläche
des elektrisch leitfähigen Gewebes 42 ist so groß, daß es
das gesamte Kabelbündel umgibt und einschließt. Das leitfä
hige Gewebe 42 weist aufgrund seiner niedrigen Impedanz pro
Längeneinheit eine ausreichende Abschirmwirkung auf. Wie in
Fig. 5 dargestellt, wird das Bündel aus Koaxialkabeln 43
und Spannungsversorgungskabeln 44 sowie das Reißverschluß
schlauchelement 41, das die Kabel für einen mechanischen
Schutz umgibt, durch das leitfähige Gewebe 42 umschlossen
und abgeschirmt.
Fig. 4 zeigt eine perspektivische Ansicht zum Darstel
len eines Beispiels der Struktur des in der erfindungsgemä
ßen elektromagnetischen Abschirmvorrichtung verwendeten
Klemmechanismus. Der Klemmechanismus 30 weist einen Klemm
rahmen 31 und ein Klemmbefestigungselement 33 auf. Das
Klemmbefestigungselement 33 weist ein Paar Nuten 34 auf, die
auf ein Paar Klemmansätze 32 auf dem Klemmrahmen 31 passen,
um das leitfähige Gewebe 42 festzuklemmen.
Der Klemmechanismus 30 besteht aus Metall, um eine ge
eignete elektrische Verbindung zwischen dem leitfähigen Ge
webe 42 und der Erdungsplatte 20 zu erhalten. Der Klemm
mechanismus 30 muß außerdem eine ausreichende mechanische
Festigkeit oder Stabilität aufweisen, um einen ausreichenden
Kontakt zwischen der Erdungsplatte 20 und dem leitfähigen
Gewebe 42 zu erhalten. Daher sind Materialien, wie bei
spielsweise eine nichtrostende Platte mit einer Dicke von
1,5 mm, bevorzugt.
Wie in Fig. 1 dargestellt, ist das Kabelbündel 40
durch den Klemmrahmen 31 über die Halteleiste 21 an der Er
dungsplatte 20 befestigt. Das leitfähige Gewebe 42 um
schließt das Kabelbündel 40, und ein Teil des leitfähigen
Gewebes 42 ist zwischen dem Klemmrahmen 31 und dem Klemmbe
festigungselement 33 festgeklemmt, um eine ausreichende
elektrische Verbindung zur Erdungsplatte zu gewährleisten.
Im Beispiel der Fig. 1 bis 4 wird das leitfähige Gewebe
42 durch den Klemmechanismus 30 festgeklemmt, indem das
Klemmbefestigungselement 33 so verschoben wird, daß die
Klemmansätze 32 in die Klemmnuten 34 eingreifen. Es sind je
doch auch andere Strukturen zum elektrischen Verbinden des
leitfähigen Gewebes 42 mit der Erdungsplatte möglich, z. B.
unter Verwendung von Schrauben.
Durch die erfindungsgemäße elektromagnetische Abschirm
vorrichtung wird verhindert, daß Umgebungsrauschen in die
Kabel eindringt. D.h., Umgebungsrauschen wird in das elek
trisch leitfähige Gewebe 42 induziert, wobei Rauschströme
durch das elektrische Gewebe 42, den Klemmechanismus 30 und
die Halteleiste 21 zur Erdungsplatte 20 fließen. Die Er
dungsplatte 20 ist eine große leitfähige Platte mit niedri
gem Widerstandswert und ist mit der Masse des Halbleiter
prüfsystems 11 verbunden. Dadurch wird das gleiche Erdungs- oder
Massepotential aufrechterhalten, auch wenn die Rausch
ströme zur Erdungsplatte fließen. D.h., das Rauschen wird
durch das Erdungs- oder Massepotential absorbiert, wodurch
verhindert wird, daß Rauschen in die Kabelbündel induziert
wird oder eindringt.
Dadurch wird im vorstehend erwähnten Prüfvorgang zum
Auswerten der Störsicherheit eines Halbleiterprüfsystems be
züglich elektromagnetischem Rauschen ein Fehler in der Funk
tion oder Operation des Prüfsystems erst dann erzeugt, wenn
die Amplitude eines Prüfimpulses auf 2 kV erhöht wird. Die
ser Pegel ist wesentlich höher als der unter Verwendung der
herkömmlichen Technik erhaltene Pegel, bei der Ferritkerne
verwendet werden und bereits durch einen Prüfimpuls mit ei
ner Amplitude von etwa 1,3 kV Fehler in der Funktion oder
Operation des Prüfsystems erzeugt werden. Daher wird durch
die erfindungsgemäße elektromagnetische Abschirmvorrichtung
eine wesentlich bessere Schutzwirkung erhalten.
In den vorstehenden Beispielen werden die Koaxialkabel
43 und die Spannungsversorgungskabel 44 im Kabelbündel 40
zur Signal- und Leistungsübertragung verwendet. Im Kabelbün
del können jedoch auch andersartige Kabel verwendet werden,
um ähnliche rauschunterdrückende Wirkungen zu erzielen. Sol
che andersartigen Kabel sind beispielsweise Flachkabel, ver
drillte Kabel, geflochtene Kabel und ähnliche.
Außerdem ist im vorstehenden Beispiel der Klemmechanis
mus zum Befestigen des Kabelbündels 40 über die Halteleiste
21 an der Erdungsplatte 20 befestigt. Der Klemmechanismus 30
kann jedoch auch durch Schrauben oder eine andere Einrich
tung direkt an der Erdungsplatte 20 befestigt werden.
Das vorstehende Beispiel stellt einen Fall dar, bei dem
das elektrisch leitfähige Gewebe 42 durch den Klemmrahmen 31
und das Klemmbefestigungselement 33 mit der Erdungsplatte 20
verbunden ist. Es kann jedoch auch eine andere Struktur zum
Verbinden des leitfähigen Gewebes 42 mit der Erdungsplatte
vorgesehen sein, beispielsweise kann das leitfähige Gewebe
42 direkt mit der Erdungsplatte 20 verbunden werden.
Außerdem kann das leitfähige Gewebe 42 durch einen
leitfähigen Überzug bzw. eine Schicht, ein Bahnenmaterial
oder einen leitfähigen Film ersetzt werden, z. B. durch einen
elastischen Metallfilm oder ein Metallmaschen-Bahnenmaterial.
Wie vorstehend beschrieben, wird erfindungsgemäß im we
sentlichen das gesamte Kabelbündel durch das elektrisch
leitfähige Gewebe umhüllt, und die elektrische Verbindung
wird zwischen dem leitfähigen Gewebe und der Erdungsplatte
hergestellt. Dadurch wird elektromagnetisches Rauschen über
das leitfähige Gewebe geeignet zur Erdungsplatte umgeleitet,
ohne daß die Funktion oder Operation des Halbleiterprüfsy
stems beeinflußt wird. Daher ist die erfindungsgemäße elek
tromagnetische Abschirmvorrichtung hochgradig wirksam als
Rauschschutz, um eine ausreichende Störsicherheit der Kabel
bezüglich externem Rauschen zu erhalten.
Darüber hinaus weist die erfindungsgemäße elektromagne
tische Abschirmvorrichtung eine relativ einfache Struktur
auf, so daß durch das leitfähige Gewebe und den Klemmecha
nismus eine kostengünstige und einfache Montage ermöglicht
wird. Außerdem wird durch die erfindungsgemäße Abschirmvor
richtung eine freie Positionierung von Peripherievorrichtun
gen ermöglicht, weil die Erdungsplatte und das Kabelbündel
frei angeordnet und in der letzten Phase der Positionierung
der Peripherievorrichtungen aneinander befestigt werden kön
nen. Durch die erfindungsgemäße elektromagnetische Abschirm
vorrichtung wird die Emission von elektromagnetischem Rau
schen von den Kabeln des Halbleiterprüfsystems an die Umge
bung reduziert und verhindert, daß elektromagnetisches Rau
schen in die Kabel induziert wird oder eindringt.
Claims (10)
1. Elektromagnetische Abschirmvorrichtung für ein zwischen
einem elektronischen Gerät und einer Peripherievorrich
tung verlaufendes Kabelbündel zum Verhindern einer Be
einflussung des elektronischen Geräts durch elektroma
gnetisches Rauschen, mit:
einer Erdungsplatte, die in der Nähe einer Zen traleinheit des elektronischen Geräts angeordnet ist oder an der Zentraleinheit befestigt ist und elektro nisch mit der Zentraleinheit verbunden ist, um ein Er dungspotential bereit zustellen;
einem leitfähigen elastischen Material zum Umhül len im wesentlichen des gesamten Kabelbündels außerhalb des elektronischen Geräts und der Peripherievorrich tung; und
einem Klemmechanismus zum Befestigen des Kabelbün dels an der Erdungsplatte zum Herstellen einer elektri schen Verbindung zwischen dem leitfähigen elastischen Material und der Erdung.
einer Erdungsplatte, die in der Nähe einer Zen traleinheit des elektronischen Geräts angeordnet ist oder an der Zentraleinheit befestigt ist und elektro nisch mit der Zentraleinheit verbunden ist, um ein Er dungspotential bereit zustellen;
einem leitfähigen elastischen Material zum Umhül len im wesentlichen des gesamten Kabelbündels außerhalb des elektronischen Geräts und der Peripherievorrich tung; und
einem Klemmechanismus zum Befestigen des Kabelbün dels an der Erdungsplatte zum Herstellen einer elektri schen Verbindung zwischen dem leitfähigen elastischen Material und der Erdung.
2. Vorrichtung nach Anspruch 1, ferner mit einer Verbin
dungsleiste zum Verbinden von zwei oder mehr Erdungs
platten, um die Gesamtfläche der Erdungsplatten zum Be
reitstellen des Erdungspotentials zu vergrößern.
3. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, ferner mit einer
auf der Erdungsplatte angeordneten Halteleiste zum Hal
ten des auf der Erdungsplatte angeordneten Klemmecha
nismus über die Halteleiste.
4. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, wobei das
leitfähige elastische Material ein leitfähiges Gewebe
oder ein leitfähiger Stoff ist.
5. Vorrichtung nach Anspruch 4, wobei das leitfähige
Gewebe oder der leitfähige Stoff aus nickelbeschich
tetem Acrylfasermaterial besteht.
6. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, wobei das
leitfähige elastische Material ein Metallmaschen-
Bahnenmaterial ist.
7. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 6, wobei der
Klemmechanismus aus Metall hergestellt ist und einen
Klemmrahmen aufweist, der das Kabelbündel über dem
leitfähigen elastischen Material umschließt, und ein
Klemmbefestigungselement, das einen Teil des leitfähi
gen elastischen Materials zwischen dem Klemmrahmen und
dem Klemmbefestigungselement unter Druck festklemmt.
8. Vorrichtung nach Anspruch 7, wobei der Klemmrahmen ein
Paar Ansätze aufweist, die in ein Paar Nuten des Klemm
befestigungselements eingeführt werden, wenn das Klemm
befestigungselement am Klemmrahmen befestigt wird.
9. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 8, wobei das
elektronische Gerät ein Halbleiterprüfsystem ist und
die Peripherievorrichtung eine Prüfstation, auf der ein
zu prüfender Halbleiterbaustein angeordnet wird, oder
ein Arbeitsplatz ist, der als Schnittstelle zwischen
einem Benutzer und dem Halbleiterprüfsystem dient.
10. Verfahren zum Abschirmen eines zwischen einem elektro
nischen Gerät und einer Peripherievorrichtung verlau
fenden Kabelbündels, um zu verhindern, daß das elektro
nische Gerät durch elektromagnetisches Rauschen beein
flußt wird, mit den Schritten:
Anordnen einer Erdungsplatte auf einem Boden in der Nähe einer Zentralstation des elektronischen Geräts und elektronisches Verbinden der Erdungsplatte mit der Zentralstation, um ein Erdungspotential bereitzustel len;
Umhüllen des Kabelbündels durch ein leitfähiges elastisches Material außerhalb des elektronischen Ge räts und der Peripherievorrichtung; und
Befestigen des Kabelbündels an der Erdungsplatte und Herstellen einer elektrischen Verbindung zwischen dem leitfähigen elastischen Material und der Erdung.
Anordnen einer Erdungsplatte auf einem Boden in der Nähe einer Zentralstation des elektronischen Geräts und elektronisches Verbinden der Erdungsplatte mit der Zentralstation, um ein Erdungspotential bereitzustel len;
Umhüllen des Kabelbündels durch ein leitfähiges elastisches Material außerhalb des elektronischen Ge räts und der Peripherievorrichtung; und
Befestigen des Kabelbündels an der Erdungsplatte und Herstellen einer elektrischen Verbindung zwischen dem leitfähigen elastischen Material und der Erdung.
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