JP2009229083A - 半導体試験装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】テスタ本体1とテストステーション2間を接続するケーブル束3が、導電性部材からなる複数のケーブルダクト15A〜15Cの下に敷設された半導体試験装置において、前記各ケーブルダクト15A〜15Cが搭載された金属板9と、この金属板9、前記テスタ本体1の筐体および隣接する前記ケーブルダクト15A〜15Cを電気的に導通させる複数の接触部154と、前記各ケーブルダクト15A〜15Cの側面を覆うシールド材152,155,156,159とを具備することを特徴とする。
【選択図】 図1
Description
テスタ本体とテストステーション間を接続するケーブル束が、導電性部材からなる複数のケーブルダクトの下に敷設された半導体試験装置において、
前記各ケーブルダクトが搭載された金属板と、
この金属板、前記テスタ本体の筐体および隣接する前記ケーブルダクトを電気的に導通させる複数の接触部と、
前記各ケーブルダクトの側面を覆うシールド材と
を具備することを特徴とする。
請求項1記載の半導体試験装置において、
端の位置に設置される前記ケーブルダクトの少なくとも1つは、前記ケーブル束が引き出される開口部を有したシールド材を備え、
前記ケーブル束を覆うシールドカバーの一端が、前記開口部を有するシールド材に接続され、他端が前記テストステーションの筐体に接続されることを特徴とする。
請求項1または2記載の半導体試験装置において、
前記各ケーブルダクトは、前記ケーブル束がその間を通る、対向する2側面に前記シールド材が取り付けられることを特徴とする。
請求項1乃至3のいずれかに記載の半導体試験装置において、
前記側面のシールド材は、前記ケーブル束により伝送される信号波長より十分短い径の通風孔を備えたことを特徴とする。
請求項1乃至4のいずれかに記載の半導体試験装置において、
前記接触部近傍の隙間は前記ケーブル束により伝送される信号波長より十分短い長さであることを特徴とする。
請求項1乃至5のいずれかに記載の半導体試験装置において、
テスタ本体、ケーブル束およびケーブルダクトが前記金属板の上に設置されることを特徴とする。
ケーブルダクト15Bは、図5のケーブルダクト群5を構成する既存のケーブルダクトを利用した、天板151と4本の脚160からなる机状の台に、長辺側の対向する2側面に電磁波シールド用の側板152が取り付けられ、その間をケーブル束3が通過可能とされている。半導体試験装置を空冷する為の風を通す必要がある場合は、側板152に、ケーブル束3により伝送される高速信号の波長よりも十分短い径の通風孔153をあけることにより、電磁波遮蔽効果を損なうことなく、通風を確保することができる。ケーブルダクトの外形寸法の一例を示すと、長辺=500mm、短辺=300mm、高さ=200mmである。
2 テストステーション
3 ケーブル束
9 金属板
15A〜15C ケーブルダクト
151 天板
152,155,156,159 シールド材
153 通風孔
154 接触部
Claims (6)
- テスタ本体とテストステーション間を接続するケーブル束が、導電性部材からなる複数のケーブルダクトの下に敷設された半導体試験装置において、
前記各ケーブルダクトが搭載された金属板と、
この金属板、前記テスタ本体の筐体および隣接する前記ケーブルダクトを電気的に導通させる複数の接触部と、
前記各ケーブルダクトの側面を覆うシールド材と
を具備することを特徴とする半導体試験装置。 - 端の位置に設置される前記ケーブルダクトの少なくとも1つは、前記ケーブル束が引き出される開口部を有したシールド材を備え、
前記ケーブル束を覆うシールドカバーの一端が、前記開口部を有するシールド材に接続され、他端が前記テストステーションの筐体に接続されることを特徴とする請求項1記載の半導体試験装置。 - 前記各ケーブルダクトは、前記ケーブル束がその間を通る、対向する2側面に前記シールド材が取り付けられることを特徴とする請求項1または2記載の半導体試験装置。
- 前記シールド材は、前記ケーブル束により伝送される信号波長より十分短い径の通風孔を備えたことを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の半導体試験装置。
- 前記接触部近傍の隙間は前記ケーブル束により伝送される信号波長より十分短い長さであることを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載の半導体試験装置。
- テスタ本体、ケーブル束およびケーブルダクトが前記金属板の上に設置されることを特徴とする請求項1乃至5のいずれかに記載の半導体試験装置。
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JP2008071276A JP2009229083A (ja) | 2008-03-19 | 2008-03-19 | 半導体試験装置 |
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2019130411A1 (ja) * | 2017-12-26 | 2019-07-04 | 株式会社Fuji | 測定装置 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0712874A (ja) * | 1993-06-22 | 1995-01-17 | Nec Corp | 受信機温度検査装置 |
JPH10294587A (ja) * | 1997-04-18 | 1998-11-04 | Advantest Corp | 電磁波ノイズ対策装置 |
JP2001068515A (ja) * | 1999-06-30 | 2001-03-16 | Cascade Microtech Inc | 容量性電流を遮蔽するプローブステーション熱チャック |
JP2006014401A (ja) * | 2004-06-22 | 2006-01-12 | Nittetsu Steel Sheet Corp | ケーブル用ダクト |
JP2006258490A (ja) * | 2005-03-15 | 2006-09-28 | Agilent Technol Inc | テストシステム及びその接続箱 |
JP3131806U (ja) * | 2007-03-02 | 2007-05-24 | 星和電機株式会社 | ケーブルダクト |
-
2008
- 2008-03-19 JP JP2008071276A patent/JP2009229083A/ja active Pending
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0712874A (ja) * | 1993-06-22 | 1995-01-17 | Nec Corp | 受信機温度検査装置 |
JPH10294587A (ja) * | 1997-04-18 | 1998-11-04 | Advantest Corp | 電磁波ノイズ対策装置 |
JP2001068515A (ja) * | 1999-06-30 | 2001-03-16 | Cascade Microtech Inc | 容量性電流を遮蔽するプローブステーション熱チャック |
JP2006014401A (ja) * | 2004-06-22 | 2006-01-12 | Nittetsu Steel Sheet Corp | ケーブル用ダクト |
JP2006258490A (ja) * | 2005-03-15 | 2006-09-28 | Agilent Technol Inc | テストシステム及びその接続箱 |
JP3131806U (ja) * | 2007-03-02 | 2007-05-24 | 星和電機株式会社 | ケーブルダクト |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2019130411A1 (ja) * | 2017-12-26 | 2019-07-04 | 株式会社Fuji | 測定装置 |
JPWO2019130411A1 (ja) * | 2017-12-26 | 2021-01-14 | 株式会社Fuji | 測定装置 |
JP7404072B2 (ja) | 2017-12-26 | 2023-12-25 | 株式会社Fuji | 測定装置 |
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