DE19806692A1 - Vorrichtung zur Erzeugung eines Strahls von Atomen oder Radikalen - Google Patents
Vorrichtung zur Erzeugung eines Strahls von Atomen oder RadikalenInfo
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Description
Die vorliegende Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Er
zeugung eines Strahls von Atomen oder Radikalen durch ther
mische Dissoziation eines Gases, mit einem Rohr, das an sei
nem einen Ende an eine Gasquelle anschließbar ist und an
seinem anderen Ende eine Gasaustrittsöffnung aufweist, und
einer Heizvorrichtung, um das Rohr zu erwärmen.
Vorrichtungen zur Erzeugung eines Strahls von Atomen durch
thermische Dissoziation eines Gases in einem heißen, axial
durchströmten Rohr sind bekannt und beispielsweise in dem
Artikel "Some properties of hydrogenated amorphous silicon
produced by direct reaction of silicon and hydrogen atoms"
von R.E. Viturro und K. Weiser, erschienen im Philosophical
Magazine B, 1986, Vol. 53, Nr. 2, 93-103 beschrieben.
Für die thermische Dissoziation von Gasen sind sehr hohe
Temperaturen erforderlich, die beispielsweise bei Wasser
stoff- oder Sauerstoffgasen im Bereich von 1500 K bis 2500 K
liegen. Um das gasdurchströmte Rohr auf diese extrem hohe
Temperaturen zu erwärmen, werden bei den bekannten Vorrich
tungen sogenannte Elektroden-Bombardement-Heizungen verwen
det. Dabei wird ein außerhalb des Rohres befindlicher Glüh
faden durch direkten Stromdurchgang so hoch erhitzt, daß er
Elektronen emittiert, die aufgrund einer zwischen dem Glüh
faden und dem Rohr anliegenden Spannung in der Größenordnung
von etwa 1000 V auf das Rohr hin beschleunigt werden.
Diese Art der Heizung durch Elektronen-Bombardement hat zwar
den Vorteil, daß eine vergleichsweise große Heizleistung auf
das Rohr aufgebracht werden kann. Sie ist jedoch mit dem
Nachteil verbunden, daß zur Erzeugung der zwischen Glühfaden
und Rohr anliegenden Spannung der Glühfaden nahe Erdpotenti
al und das Rohr auf positiver Hochspannung liegen muß. Die
zum Rohr hin beschleunigten Elektronen haben daher in der
Rohrnähe ausreichend Energie für eine Stoßionisation des aus
der Gasaustrittsöffnung des Rohres austretenden Gases sowie
des Restgases. Die dabei entstehenden positiven Ionen werden
vom Rohr weg beschleunigt, wobei sie den Atomstrahl kreuzen
können und dann wegen ihrer hohen Energie eine unerwünschte
Verunreinigung des Atomstrahls darstellen.
Man kann die Verunreinigung durch Ionen dadurch vermeiden,
daß man das Rohr auf Erdpotential und den Glühfaden auf
Hochspannung legt. Dies hat aber den Nachteil, daß ein eben
falls auf Hochspannung liegender "Elektronen-Reflektor" so
angebracht werden muß, daß die Elektronen nur auf das Rohr
und nicht auf weitere auf Erdpotential liegende Bauteile hin
beschleunigt werden. Ferner ist es erforderlich, die auf
Hochspannung liegenden Bauteile zu isolieren und entweichen
de Elektronen zu unterdrücken, was mit zum Teil erheblichem
technischem Aufwand verbunden ist. Generell erfordert die
Isolation der auf Hochspannung liegenden Bauteile besondere
konstruktive Beachtung, da diese Bauteile zum Teil auf sehr
hohen Temperaturen liegen. Eine besondere Gefahr bildet das
Bedampfen der Isolatoren, das zum Versagen der Heizung
führt.
Weiterhin wird häufig als nachteilig angesehen, daß man für
die elektrische Versorgung einer Elektronen-Bombardement-
Heizung ein Hochspannungsgerät, welches einen Elektronen-
Emissionsstrom von etwa 60 mA bis 0,7 Ampère zuläßt, sowie
eine Elektronen-Emissionsstrom-Regelung, ohne die der Emis
sionsstrom wegen der positiven Rückkoppelung zwischen Rohr-
und Glühfadentemperatur instabil wäre, benötigt, da hier
durch die Vorrichtung teuer wird.
Aufgabe der Erfindung ist es daher, eine Vorrichtung zur Er
zeugung eines Strahls von Atomen oder Radikalen durch ther
mische Dissoziation eines Gases der eingangs genannten Art
so auszubilden, daß Verunreinigungen des Atomstrahls weitge
hend vermieden werden und gleichzeitig der Aufwand für die
elektrische Versorgung und elektrische Isolation gering ist.
Diese Aufgabe ist erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß die
Heizvorrichtung wenigstens einen Heizdraht zur Erwärmung des
Rohres durch Wärmestrahlung aufweist und der Heizdraht das
Rohr im Bereich der Gasaustrittsöffnung unter Herstellung
eines elektrischen Kontakts berührt, im übrigen aber mit Ab
stand umgibt. Erfindungsgemäß erfolgt die Erwärmung des
Rohrs auf die für die thermische Dissoziation eines Gases
erforderliche Temperatur nicht wie im Stand der Technik
durch Elektronen-Bombardement, sondern durch Wärmestrahlung.
Hierdurch können die mit der Verwendung einer Elektronen-
Bombardement verbundenen Nachteiie einer Stoßionisation des
aus der Mündung austretenden Gases durch die beschleunigten
Elektronen beziehungsweise des Erfordernisses eines Elektro
nen-Reflektors vermieden werden.
Da für eine Widerstandsheizung keine Hochspannung verwendet
zu werden braucht, sind auch das Vorhandensein eines Hoch
spannungsgeräts und der damit verbundenen aufwendigen Isola
tion sowie einer Elektronen-Emissionsstrom-Regelung nicht
erforderlich. Im Ergebnis ist damit die erfindungsgemäße
Vorrichtung zur Erzeugung eines Atomstrahls vergleichsweise
einfach im Aufbau und daher preiswert.
Durch die Kontaktierung des Heizdrahtes am Rohr wird des
weiteren erreicht, daß der den Heizdraht durchfließende
Heizstrom über das Rohr zur Erde abfließen kann.
In Ausbildung der Erfindung ist vorgesehen, daß der
Heizdraht, der beispielsweise wendelförmig ausgebildet sein
kann, im Bereich der Gasaustrittsöffnung in wenigstens einer
Windung ausläuft, wobei die enge Windung das Rohr umgibt und
an diesem anliegt, um einen elektrischen Kontakt mit diesem
zu bilden. Bei dieser Ausgestaltung dient das Rohr als Stüt
ze des Heizdrahtes im Bereich der Gasaustrittsöffnung, wo
durch verhindert werden kann, daß sich der Heizdraht in hei
ßem Zustand derart verformt, daß in dem Bereich, in dem er
das Rohr mit Abstand umgeben soll, ein Kurzschluß zum Rohr
stattfindet, durch den dann Teile des Heizdrahtes nicht
mehr vom Strom durchflossen würden. Desweiteren wird auch
effektiv verhindert, daß sich ein Kurzschluß zu Wärmereflek
toren wie beispielsweise Strahlungsblechen bildet, die das
Rohr und den Heizdraht bereichsweise umgeben können, um die
vom Heizdraht entwickelte Ohmsche Wärme effektiv zu nutzen.
Die Gefahr eines solchen Kurzschlusses würde insbesondere
dann bestehen, wenn in Abweichung von der beschriebenen Aus
gestaltung der Heizdraht das Rohr an keiner Stelle berühren
würde und gegenüber diesem vollständig isoliert aufgebaut
wäre.
Hinsichtlich weiterer vorteilhafter Ausgestaltungen der Er
findung wird auf die Unteransprüche sowie die nachfolgende
Beschreibung eines Ausführungsbeispieles unter Bezugnahme
auf die beiliegende Zeichnung verwiesen. In der Zeichnung
zeigt
Fig. 1 eine Ausführungsform einer Vorrichtung zur
Erzeugung eines Strahls von Atomen oder Radi
kalen gemäß der vorliegenden Erfindung im
Längsschnitt und
Fig. 2 die erfindungswesentlichen Teile der in Fig. 1
gezeigten Vorrichtungen in vergrößerter
Darstellung.
In den Figuren ist eine Ausführungsform einer erfindungsge
mäßen Vorrichtung zur Erzeugung eines Strahls von Atomen
oder Radikalen durch thermische Dissoziation eines Gases
dargestellt. Beispielsweise kann diese Vorrichtung verwendet
werden, um Wasserstoffgas durch Wärmeeinwirkung zu zersetzen
und so einen Strom von Wasserstoffatomen zu bilden. Die
thermische Dissoziation wird erreicht, indem das zu dissozi
ierende Gas durch ein Rohr 1 geführt und dabei auf eine zur
Zersetzung des Gases führende Temperatur, die etwa im Be
reich von 1500 bis 2500 K liegen kann, erhitzt wird. Hierzu
weist die Vorrichtung ein Rohr 1 auf, das an seinem einen
Ende an eine Gasleitung 2 angeschlossen ist und an seinem
anderen Ende eine Gasaustrittsöffnung 3 aufweist. Das Rohr 1
hat in der dargestellten Ausführungsform eine Länge von 64 mm
und einen Innendurchmesser von etwa einem mm.
Zur Erwärmung des Rohres 1 ist eine als Widerstandsheizung
ausgebildete Heizvorrichtung 4 vorgesehen. Zu dieser Heiz
vorrichtung 4 gehört ein wendelförmiger Heizdraht 5 aus ei
nem Wolframmaterial, der das Rohr 1 umgibt und etwa koaxial
zu diesem angeordnet ist. Der Heizdraht 5 hat im Vergleich
zum Rohr 1 eine große gestreckte Länge von etwa 300 mm und
hat einen Durchmesser von 0,5 mm. An seinem einen, zur Gas
austrittsöffnung 3 weisenden Ende läuft der Heizdraht 5 in
zwei enge Windungen 5a aus, die am Rohr 1 anliegen und einen
elektrischen Kontakt mit diesem bilden, und an seinem ande
ren Ende ist der Heizdraht 5 isoliert in einer Halterung 7
befestigt und über eine elektrische Leitung 8 mit einer
Spannungsquelle verbunden. Durch die Kontaktierung des
Heizdrahtes 5 am Rohr 1 wird erreicht, daß im Betrieb der
durch den Heizdraht 5 fließende Heizstrom über das Rohr 1
zur Erde abfließt. Des weiteren stützt das Rohr 1 den
Heizdraht 5 und verhindert, daß sich dieser in heißem Zu
stand so weit verformt, daß sich einerseits zwischen den
beiden engen Windungen 5a und der Halterung 7 ein Kurzschluß
vom Heizdraht 5 zum Rohr 1 bildet, der zur Folge hätte, daß
der Heizstrom direkt über das Rohr 1 abfließen und nicht
weiter durch den Heizdraht 5 bis zu den engen Windungen 5a
strömen würde, oder daß sich andererseits ein Kurzschluß
zwischen dem Heizdraht 5 und anderen Bauteilen bildet. Diese
Gefahr würde insbesondere dann bestehen, wenn beide Enden
des Heizdrahtes isoliert aus dem mit Strahlungsblechen 6 um
gebenen Raum herausgeführt würden.
Im Heizbereich, in dem das Rohr 1 durch die Heizvorrichtung
4 erwärmt wird, sind das Rohr 1 und der Heizdraht 5 von Wär
mereflektoren in der Form von einem Paket von Strahlungsble
chen 6 umgeben, die die vom Heizdraht 5 nach außen abgegebe
ne Wärmestrahlung zurück zum Rohr 1 reflektieren, um die von
der Heizwendel 5 entwickelte Wärme effektiv zu nutzen.
Außerhalb der Strahlungsbleche 6 befindet sich ein Gehäuse
9, das als zylindrischer Kupfermantel ausgebildet und mit
einer nur schematisch angedeuteten Wasserkühlung 10 verbun
den ist. In dem Gehäuse 9 sind die Strahlungbleche 6 durch
ein Bauteil 11, das aus einem Material höher Temperaturbe
ständigkeit besteht, gehalten. Des weiteren ist in dem Ge
häuse 9 eine Halterung 12 vorgesehen, die das gasleitungs
seitige Ende des Rohres 1 trägt und mit nicht dargestellten
Schrauben gegen den wassergekühlten Körper angezogen und ge
dichtet ist.
Im Betrieb wird die Heizwendel 5 mit einer Heizleistung von
150 Watt, die durch eine Heizspannung von 13 Volt und einem
Heizstrom von 11,5 Ampère erreicht wird, erwärmt. Versuche
haben gezeigt, daß hierdurch in der Nähe der Gasaustritts
öffnung 3 eine Rohrtemperatur von annähernd 2200 K erreicht
werden kann, die ausreichend ist, um Wasserstoff zu dissozi
ieren. Aus der Widerstandserhöhung der Wendel des Heizdrah
tes 5 kann abgeschätzt werden, daß die Wendeltemperatur bei
2350 K und damit nur 150 K über der Rohrtemperatur liegt.
Eine geringe Übertemperatur des Heizdrahtes gegenüber der
Temperatur des Rohres ist günstig für eine geringe Abdampf
rate von Wolfram von dem Heizdraht 5 und eine lange Lebens
dauer des Heizdrahtes.
Bei der Durchführung des Versuchs hat sich gezeigt, daß sich
die Winkelverteilung des aus der Gasaustrittsöffnung 3 aus
tretenden Strahls von atomarem Wasserstoff sowie dessen Dis
soziationsgrad qualitativ wie bei einer zuvor betriebenen
Quelle mit Elektronen-Bombardement-Heizung verhält, daß aber
die eingangs genannten Nachteile einer Elektronen-
Bombardement-Heizung vermieden werden können.
Claims (6)
1. Vorrichtung zur Erzeugung eines Strahls von Atomen oder
Radikalen durch thermische Dissoziation eines Gases, mit
einem Rohr (1), das an seinem einen Ende an eine Gasquel
le (2) anschließbar ist und an seinem anderen Ende eine
Gasaustrittsöffnung (3) aufweist, und einer Heizvorrich
tung (4), um das Rohr (1) zu erwärmen, dadurch gekenn
zeichnet, daß die Heizvorrichtung (4) wenigstens einen
Heizdraht (5) zur Erwärmung des Rohrs (1) durch Wär
mestrahlung aufweist und der Heizdraht (5) das Rohr (1)
im Bereich der Gasaustrittsöffnung (3) unter Herstellung
eines elektrischen Kontakts berührt, im übrigen aber mit
Abstand umgibt.
2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß
der wenigstens eine Heizdraht (5) wendelförmig ausgebil
det ist.
3. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeich
net, daß der Heizdraht (5) im Bereich der Gasaustritts
öffnung (3) in wenigstens einer engen Windung (5a) aus
läuft, die am Rohr (1) anliegt und einen elektrischen
Kontakt mit diesem bildet.
4. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch ge
kennzeichnet, daß die Heizvorrichtung (4) mehrere
Heizdrähte zur Erwärmung des Rohrs (1) durch Wärmestrah
lung aufweist.
5. Vorrichtung nach einem der vorherigen Ansprüche, dadurch
gekennzeichnet, daß das Rohr (1) und der Heizdraht (5)
zumindest in dem Bereich, in dem das Rohr (1) durch den
Heizdraht (5) erwärmt wird, von Wärmereflektoren, insbe
sondere von Strahlungsblechen (6), umgeben sind.
6. Vorrichtung nach einem der vorherigen Ansprüche, dadurch
gekennzeichnet, daß das Rohr (1) sowie die Heizvorrich
tung (4) in einem wassergekühlten Gehäuse (9) angeordnet
sind.
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