DE59906316D1 - Vorrichtung zur Erzeugung eines Strahls von Atomen oder Radikalen - Google Patents

Vorrichtung zur Erzeugung eines Strahls von Atomen oder Radikalen

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Karl G Tschersich
Johannes Fleischhauer
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    • H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05H—PLASMA TECHNIQUE; PRODUCTION OF ACCELERATED ELECTRICALLY-CHARGED PARTICLES OR OF NEUTRONS; PRODUCTION OR ACCELERATION OF NEUTRAL MOLECULAR OR ATOMIC BEAMS
    • H05H3/00—Production or acceleration of neutral particle beams, e.g. molecular or atomic beams
    • H05H3/02—Molecular or atomic beam generation
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