DE19749184A1 - Lötvorrichtung - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft eine Lötvorrichtung und ein Verfahren von Löten von Flachbaugruppen nach dem Oberbegriff der Ansprüche 1 und 18.

Die Entwicklung der Elektronik hat in den letzten Jahren nicht nur zu einer deutlichen Erhöhung der Integrationsdichte von Halbleiterbauelementen geführt, sondern brachte auch neue Anforderungen an die Leiterplattenfertigung. Insbesondere der Einsatz neuer Bauelemente (zum Beispiel BGA), neuer Oberflächen (zum Beispiel Ni-Pd-Anschlüsse) und die Verkleinerung der Anschlüsse selbst (fine pitch) führt zu einem steigenden Einsatz von Inertgasen beim Löten. Mit diesen können Prozeßfenster hinreichend vergrößert werden und die Qualität der Lötverbindungen entspricht den gewachsenen Anforderungen.

Da sich der Schwerpunkt der Flachbaugruppenproduktion mittlerweile auf die Reflow-Technik (SMDs) verlagert hat, befinden sich Wellenlötanlagen über längere Zeiträume (einige Stunden) hinweg im Leerlauf (Stand by). In dieser Zeit bildet sich auf der Oberfläche des . . .

Während sich eine Einhausung der gesamten Lötvorrichtung nicht für die Nachrüstung bestehender Wellenlötanlagen, die nicht von vornherein für den Einsatz von einem Schutzgas ausgelegt sind, eignet, da der Aufwand hierfür viel zu groß ist, führt der Einsatz neuer Bauelemente (z. B. BGA), neuer Oberflächen (z. B. Ni-Pb-Anschlüsse) und die Verkleinerung der Anschlüsse (fine pitch) zu einer steigenden Nachrüstung bestehender Wellenlötanlagen mit Hauben- oder Tunnelkonstruktionen. Diese eignen sich für die Nachrüstung bestehender Wellenlötanlagen besonders und ermöglichen den Einsatz von Schutzgasen.

Die Hauben- oder Tunnelkonstruktionen weisen dabei jeweils einen Einlaß und einen Auslaß für die Flachbaugruppen auf (EP 0 500 135 B1, DE 41 42 436 A1, DE 42 19 913 A1).

Um den Anteil des oxidierenden Gases (Sauerstoff) in der Ummantelung möglichst gering zu halten, werden die Ein- und Auslässe durch unterschiedliche Maßnahmen gegen Sauerstoffeintritt abgedichtet.

In der EP 0 500 135 B1 wird ein Vorhang aus einem dünnen, festen Werkstoff, der in lotrechte Streifen geschnitten ist, vorgesehen. Die DE 41 42 436 A1 offenbart ebenfalls Vorhänge aus einer Doppelreihe flexibler, z. B. aus Silikon bestehender Lamellen, wobei die Lamellen der einen Reihe gegenüber der anderen Reihe in Querrichtung verschoben sind. Darüber hinaus werden in der DE 42 19 913 A1 am Einlaß und Auslaß gegenüber blasende Spaltdüsen angeordnet, die einen Gasvorhang bilden.

Die in der EP 0 500 135 B1 vorgeschlagenen geschlitzten Vorhänge sind fest montiert und überdecken zum einen den gesamten Ein- und Auslaßbereich. Dabei kann es zu Beeinträchtigungen der Flachbaugruppen kommen, da die einzelnen Streifen des Vorhangs die Bauelemente berühren. Werden diese Streifen so gekürzt, daß sie keine Bauelemente mehr berühren und beschädigen oder umwerfen können, wird zwangsläufig die Abdichtfläche verringert und der Zustrom von Umgebungsluft erhöht.

Durch das Einschneiden des Vorhangmaterials zur Erzeugung der einzelnen Streifen wird ohnehin die Dichtfläche verringert, da die Streifen nicht komplett an den Schnittkanten zusammenstoßen und somit Öffnungen entstehen.

Darüber hinaus ist aus dem DE-U1 85 20 254 ein Schleusensystem für eine die gesamte Lötvorrichtung umgebende Einhausung bekannt, die automatisch betriebene Einlaß- und Auslaßklappen aufweist. Mit diesen automatisch betriebenen Einlaß- und Auslaßklappen kann eine hohe Dichtigkeit im Standby-Betrieb (Leerlauf) erreicht werden. Passiert eine Leiterplatte diese Klappe, so wird der gesamte Querschnitt geöffnet. Systeme mit zwei automatisch betriebenen Einlaß- und Auslaßklappen arbeiten in Form einer Schleuse, die hohen Steuerungsbedarf erfordert und nur für große eingehauste Lötvorrichtungen eingesetzt werden, deren Gasvolumen evakuiert wird. Die Systeme sind wartungsintensiv und besitzen hohe Ausfallraten und ermöglichen keinen kontinuierlichen Transport der Flachbaugruppen durch die Ummantelung.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, Lötvorrichtungen für den Transport von Flachbaugruppen durch eine Ummantelung zu schaffen, die einfach aufgebaut eine hohe Abdichtung des Ein- und Auslasses erzielen.

Diese Aufgabe wird durch die im Patentanspruch 1 gegebene Lehre gelöst.

Vorteilhafte Weiterbildungen sind in den Unteransprüchen angegeben.

Dadurch, daß der Ein- und Auslaß jeweils mit mindestens einer jeweils die Ein- und Auslaßöffnung der Ummantelung im wesentlichen abdeckenden, flexiblen Klappe verschließbar ist, wird eine nahezu vollständige Abdichtung des Ein- und Auslaßbereiches im Standby- Betrieb erreicht, die an die Dichtungsqualitäten automatisch betriebener Einlaß- und Auslaßklappen heranreicht. Die im oberen Teil der Ummantelung befestigten und dichten Klappen verschließen den gesamten Querschnitt der als Haube oder Tunnel ausgebildeten Ummantelung und liegen an den restlichen drei Seiten durch das Eigengewicht an der Wand der Ummantelung an. Bevorzugt bestehen die flexiblen Klappen aus einem leitfähigen Kunststoff, wobei mindestens eine Seite der Klappenunterkante mit einem Versteifungselement versehen ist und das Versteifungselement elektrisch leitfähig sein kann. Durch in die gesamte Breite der Klappen eingearbeitet oder aufgesetzte Versteifungen wird die Durchbiegung der Klappen beim Öffnen des Ein- und Auslasses während des kontinuierlichen Transports der Flachbaugruppen verhindert.

Das Versteifungselement kann an der der Transportrichtung zugewandten Seite der Klappe angeordnet und als vorzugsweise über die gesamte Breite leitfähige Kunststoffschürze ausgebildet sein. Durch die Ausbildung als leitfähige Kunststoffschürze wird vorteilhaft der Verschleiß der Klappen reduziert.

Nach einer weiteren Ausbildung ist das Versteifungselement an der der Transportrichtung abgewandten Seite der Klappe angeordnet und als vorzugsweise über die gesamte Breite in das Klappenmaterial eingeschlagenes Element ausgebildet. Dadurch, daß das Element an der der Transportrichtung abgewandten Seite der Klappe angeordnet ist, wird vorteilhaft die Höhe des Versteifungselementes reduziert und damit das Gewicht der Klappen verringert.

Die flexible Klappe ist vorzugsweise im oberen Teil der Ummantelung befestigt und weist hierzu eine metallische Ummantelung mit Befestigungsöffnungen auf. Hierdurch wird eine Beschädigung der Klappe bei kontinuierlicher Öffnung des Ein- und Auslasses während des kontinuierlichen Transportes der Flachbaugruppen verhindert und andererseits eine dichte Befestigung am oberen Teil der Ummantelung gewährleistet. Statische Aufladungen werden verbessert abgeleitet.

Die Flachbaugruppen werden vorzugsweise in Förderrahmen eingespannt, welche Öffnungsmittel aufweisen, die die Frontseite der Klappen selbsttätig anheben. Als Öffnungsmittel kann der Rahmen an sich eingesetzt werden, der mit seiner Frontseite die Klappen so öffnet, daß der Ein- oder Auslaß freigegeben wird und der Transport der Flachbaugruppen ohne Kontakt mit den Klappen erfolgt. Der Förderrahmen kann das Öffnungsmittel aber auch nur betätigen, bzw. dessen Bewegung auslösen, wenn das Öffnungsmittel z. B. als federbelasteter Hebel ausgebildet ist, der beim Transport des Förderrahmens durch dessen Lageveränderung sich aus seiner Ruhestellung in seine Öffnungsstellung bewegt.

Die Klappen nach der Erfindung liegen auf den beiden Rahmenseiten des Förderrahmens auf, verschließen unabhängig von der Position des Transportrahmes den darüber befindlichen Querschnitt des Ein- und Auslasses, wobei keine Bauteile der Flachbaugruppen berührt und so beschädigt, umgeworfen oder verschoben werden können. Nach dem Passieren des Förderrahmens fallen die Klappen durch das Eigengewicht selbsttätig in die alte Lage zurück und verschließen den gesamten Querschnitt des Ein- und Auslasses.

Die Klappen werden an die jeweilige Geometrie der Transportschienen angepaßt, der bewegliche Teil befindet sich bei allen Ausbildungen zwischen den Transportschienen.

Durch die Anordnung von jeweils zwei oder drei solcher Klappen jeweils im Einlaß- und Auslaß werden Schleusen aufgebaut.

Diese Schleusen sind dadurch gekennzeichnet, daß unabhängig vom Durchsatz zu keiner Zeit alle Klappen einer Schleuse geöffnet sind und so kein freies Abströmen des erwärmten Schutz- bzw. Inertgases gegeben ist. Abhängig von der Transportgeschwindigkeit und/oder dem Abstand der Flachbaugruppen zueinander und/oder den Abmessungen des Förderrahmens wird die Anzahl und der Abstand der Klappen festgelegt. Hierdurch kann ein minimaler Abstand zwischen zwei aufeinanderfolgenden Flachbaugruppen eingehalten werden. Die Schutzgasverluste bei der Durchfahrt eines Förderrahmens sind somit stark eingeschränkt und können durch die bevorzugt vorgesehenen Gasvorhänge, die vor oder hinter den Klappen angeordnet sind, ausgeglichen werden.

Eine Ausführung der Erfindung ist in der Zeichnung dargestellt und wird im folgenden näher beschrieben.

Es zeigen:

Fig. 1 eine schematische Darstellung einer Ummantelung eines Lotbehälters,

Fig. 2 eine schematische Darstellung einer Klappe,

Fig. 3 eine schematische Darstellung des Ein- und Auslasses mit einer Klappe und einem Förderrahmen,

Fig. 4 eine schematische Darstellung eines Schleusensystems mit zwei Klappen,

Fig. 5 eine schematische Darstellung eines Schleusensystems gemäß Fig. 4 mit zwei Gasvorhangsdichten und metallischer Versteifung der Klappen.

In Fig. 1 ist eine Lötvorrichtung 16 im Schnitt schematisch dargestellt, die im wesentlichen aus einem Vortunnel 17 mit einer Vorrichtung für den Flußmittelauftrag 18, einen Eingangstunnel 20, eine den Lotbehälter 22 umgebenden Haube 21 und einem Auslauftunnel 23 besteht. Unter Ummantelung wird im vorliegenden Fall mindestens die den Lotbehälter 22 abdeckende Haube 21 verstanden. Die Lotwelle ist mit 24 und Flachbaugruppen mit 12 bezeichnet. Die Leiterplatte 12 wird durch die Ummantelung 17, 20, 21 und 23 transportiert und während ihres Transportes durch die Ummantelung mit einer Lotwelle 24 in Kontakt gebracht. Die Ummantelung enthält einen Einlaß 25 auf einer Einlaßseite und einen Auslaß 26 für die Flachbaugruppen 12 auf einer Auslaßseite. Der Ein- und Auslaß 25, 26 wird durch Klappen 32, 33, 34, 35 und Gasvorhänge 60 von der Umgebungsatmosphäre abgeschirmt. Die Gasvorhangsdüsen 10, 11, 14, 15, 27, 28, 29, 30 sind als Spaltdüsen ausgelegt, und erzeugen über die gesamte Transportbreite des Ein- und Auslasses einen schmalen Gasstrahl. Die Gasvorhangsdüsen sind als Mehrkammerdüsen ausgebildet, und weisen mindestens zwei Entspannungskammern 50, 51, 52, 53 (Fig. 5) auf. Jede erste Entspannungskammer 50 bzw. 52, die mit einer Gasversorgung über Gaszuführung 54 bzw. 55 verbunden ist, ist über mehrere Öffnungen 56, 57 mit der jeweils zweiten Entspannungskammer 51 bzw. 53 verbunden, in der die spaltförmigen Ausstrittsöffnungen 58, 59 für den Gasvorhang 60 vorgesehen sind. Die Öffnungen 56, 57 sind in einer im wesentlichen rechtwinkligen Richtung zu den Gaszuführungen 54 bzw. 55 und die Austrittsflächen 58, 59 zu den Öffnungen 56, 57 ausgebildet.

Dadurch, daß die Öffnung 56; 57 in einer zum Eingang der Gaszuführung 54, 55 im wesentlichen rechtwinkeligen Richtung ausgebildet ist, erfolgt eine Entspannung des Schutzgases, eine Reduzierung der Strömungsgeschwindigkeit und die Umwandlung von Strömungsenergie, da den Öffnungen 56, 57 der ersten Entspannungskammer 50, 52 eine Wand der zweiten Entspannungskammer 51, 53 gegenüber steht, so daß der gerichtete Schutzgasstrom auf diese Wand trifft und die Strömung somit gebrochen und auf den Raum verteilt wird. Vorteilhaft wird durch die Verwendung von mehreren Entspannungskammern und der entsprechenden Anordnung von mehreren Öffnungen zwischen der ersten und zweiten Entspannungskammer eine gleichmäßige Verteilung über die gesamte Länge der Vorhangsdüsen erreicht. Dabei werden evtl. verbleibende Inhomogenitäten in der Druckverteilung der ersten Entspannungskammer 50, 52 über die Verteilung der Anzahl und Größe der Öffnungen 56, 57 ausgeglichen.

Eine im wesentlichen rechtwinklig zur Strömungsrichtung der Öffnungen 56, 57 der ersten Entspannungskammer 50, 52 angeordnete schlitzförmige Austrittsfläche 58, 59 ermöglicht den Austritt des Gasvorhangs 60.

In der Haube 22 sind Gasverteiler 19 und 31 angeordnet, über die ein nicht oxidierendes Gas in die Ummantelung gelangt. Der Gasverteiler 31 umgibt die Lotwelle 24 rahmenförmig an allen Seiten. Der Gasverteiler 31 ist unterhalb der Leiterplatte 12 und der Gasverteiler 19 oberhalb der Leiterplatte 12 angeordnet.

In Fig. 2 ist eine Klappe aus flexiblem leitfähigen Material, vorzugsweise Kunststoff, dargestellt. Die flexible Klappe 32 ist mindestens an einer Seite der Klappenunterkante 36 mit einem Versteifungselement 37 zur Verhinderung des Durchhängens versehen. Das Versteifungselement kann aus elektrisch leitfähigem Material gebildet sein, um die statischen Aufladungen der Flachbaugruppen abzuleiten. Nach einem Ausführungsbeispiel ist das Versteifungselement an der der Transportrichtung 38 zugewandten Seite der Klappe 32, 33, 34, 35 angeordnet und erstreckt sich über die gesamte Breite der Klappe 32, 33, 34, 35. Dieses Versteifungselement 37 ist als leitfähige Kunststoffschürze 63 ausgebildet.

Nach einer weiteren Ausbildung ist das Versteifungselement 37 an der der Transportrichtung 38 abgewandten Seite der Klappe 32, 33, 34, 35 angeordnet und erstreckt sich über die gesamte Breite der Klappe 32, 33, 34, 35. Dabei ist das Versteifungselement 37 als eingearbeitetes Element, beispielsweise als metallischer Draht 62, ausgebildet, der leitfähig ist und in die flexible Klappe eingearbeitet (Fig. 5) ist.

In den Fig. 3 bis 5 ist der Einlaß 25 schematisch dargestellt, wobei Fig. 3 eine geöffnete Klappe 32 zeigt und die Fig. 4 und 5 eine Schleuse, die aus zwei Klappen 32, 33 gebildet ist, zeigt. Die Klappen 32 bzw. 33, 34, 35 weisen an der Klappenoberkante 40 eine metallische Ummantelung 61 auf, die Befestigungsöffnungen 41, 42, 43, 44 (Fig. 2) aufweist. Die Klappen 32 bis 35 werden mit der Klappenoberkante an dem oberen Teil des Ein- und Auslasses mittels Schrauben 45 befestigt.

Die Klappen 32 bis 35 verschließen den gesamten Querschnitt des Ein- und Auslasses 25, 26 und liegen an den drei Seiten durch das Eigengewicht an der Ummantelung an. Die in Förderrahmen 46 eingespannten Flachbaugruppen werden kontinuierlich mittels nicht näher dargestellter Fördermittel durch die Ummantelung transportiert. Vorzugsweise an dem Förderrahmen 46 sind Öffnungsmittel 39 ausgebildet, beispielsweise die Frontkante des Förderrahmes oder von dem Förderrahmen abstehende Elemente, die die Klappen 32 bis 35 beim Transport der Flachbaugruppen in die Ummantelung und aus der Ummantelung so bewegen, daß der Ein- oder Auslaß 25, 26 freigegeben wird und der Transport der Flachbaugruppen 12 ohne Kontakt mit den Klappen erfolgt. Wie insbesondere Fig. 3 zeigt, öffnet der Förderrahmen 46 in Kontakt mit der Versteifung 37 die Klappe 32, die sich mit ihrer Oberfläche auf den Förderrahmen 46 auflegt und dabei unabhängig von der Position des Förderrahmes den darüber befindlichen Querschnitt verschließt. Es können keine Flachbaugruppen 12 von der Klappe 32 bis 35 berührt werden, da diese an der der Lotwelle 24 zugewandten Seite am Förderrahmen 46 hängend angeordnet sind. Die auf der Leiterplatte montierten Bauteile können so weder beschädigt, umgeworfen oder verschoben werden, da sie an der der Befestigungsseite der Klappen 32 bis 35 abgewandten Seite von dem Förderrahmen gehalten werden. Nach dem Passieren des Förderrahmens 46 fällt die Klappe 32 bis 35 durch das Eigengewicht selbsttätig in die alte Lage zurück und verschließt den Ein- und Auslaß.

In den Fig. 4 und 5 sind zwei Klappen 32 und 33 so hintereinander im Ein- und/oder Auslaß angeordnet, daß sich eine Schleuse bildet. Diese Schleusen sind dadurch gekennzeichnet, daß unabhängig vom Durchsatz zu keiner Zeit alle Klappen 32 bis 35 einer Schleuse für den Einlaß 25 oder Auslaß 26 geöffnet sind und so kein freies Abströmen des erwärmten Schutzgases erfolgt. Abhängig von der Transportgeschwindigkeit und/oder den Abmessungen des Förderrahmes 46 und/oder dem Abstand der Flachbaugruppen zueinander wird die Anzahl und der Abstand der Klappen 32, 33 bzw. 34, 35 festgelegt. Die Schutzgasverluste bei der Durchfahrt eines Förderrahmens werden durch die Klappen 32 bis 35 erheblich begrenzt.

In Fig. 5 ist eine Schleuse dargestellt, die aus zwei Klappen 32, 33 und zwei Gasvorhangsdüsen 10, 11 gebildet ist. Die Klappen 32, 33 weisen an der Klappenunterkante 36 ein metallisches Versteifungselement 37 auf, das als Draht 62 ausgebildet ist. Das Versteifungselement 37 ist in die Klappen 32 bis 35 eingearbeitet, indem die Klappen 32 bis 35 um den Draht 63 umgeschlagen und mit dem eingelegten Versteifungselement 37 verklebt sind.

Durch die von den Gasvorhangsdüsen 27, 28, 10, 11, 14, 15, 29, 30, die in Transportrichtung 38 vor oder hinter den Klappen 32 bis 35 angeordnet sind, gebildeten Gasvorhänge 60, erfolgt vorteilhaft eine weitere Reduzierung der Schutzgasverluste, so daß Restsauerstoffgehalte < 1000 ppm durch die Erfindung erzielt werden.

Claims (14)

1. Lötvorrichtung mit einem Lotbehälter und einer Ummantelung zur Aufnahme einer Schutzgasatmosphäre zum Löten von Flachbaugruppen, die während ihres Transportes durch die Ummantelung mit einer Lotwelle in dem Behälter in Kontakt gebracht werden, wobei die Ummantelung einen Einlaß für Flachbaugruppen auf einer Einlaßseite und einen Auslaß für Flachbaugruppen auf einer Auslaßseite aufweist, dadurch gekennzeichnet, daß der Ein- und Auslaß (25, 26) jeweils mit mindestens einer jeweils die Ein- und Auslaßöffnung der Ummantelung (17, 20, 21, 23) im wesentlichen abdeckenden flexiblen Klappe (32, 33; 34, 35) verschließbar ist.

2. Lötvorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die flexiblen Klappen (32, 33; 34, 35) aus einem Kunststoff bestehen, der elektrostatische Aufladungen abbauen kann.

3. Lötvorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß mindestens eine Seite der Klappenunterkante (36) mit einem Versteifungselement (37) versehen ist.

4. Lötvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß das Versteifungselement (37) an der der Transportrichtung (38) zugewandten Seite der Klappe (32, 33; 34, 35) angeordnet und als vorzugsweise über die gesamte Breite leitfähige Kunststoffschürze (63) ausgebildet ist.

5. Lötvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß das Versteifungselement (37) an der der Transportrichtung (38) abgewandten Seite der Klappe (32, 33; 34, 35) angeordnet und als vorzugsweise über die gesamte Breite in das Klappenmaterial eingearbeitetes Element (62) ausgebildet ist.

6. Lötvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß die flexiblen Klappen an der Klappenoberkante (40) Mittel zur Befestigung (41, 42, 43, 44, 61) am Ein- und Auslaß aufweisen.

7. Lötvorrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Mittel als metallische Ummantelung (61) ausgebildet sind, die Befestigungsöffnungen (41, 42, 43, 44) aufweisen.

8. Lötvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß Öffnungsmittel (39) vorgesehen sind, die die Klappen (32, 33; 34, 35) beim Transport der Flachbaugruppen (12) in die und aus der Ummantelung so bewegen, daß der Ein- oder Auslaß (25, 26) freigegeben wird und der Transport der Flachbaugruppen (12) ohne Kontakt mit den Klappen (32, 33; 34, 35) erfolgt.

9. Lötvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Flachbaugruppen (12) kontinuierlich transportiert werden.

10. Lötvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß ein Förderrahmen (46) für den Transport der Flachbaugruppen (12) vorgesehen ist und an dem Förderrahmen (46) die Öffnungsmittel (39) angeordnet sind.

11. Lötvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 10, dadurch gekennzeichnet, daß der Förderrahmen (46) als Öffnungsmittel (39) ausgebildet ist.

12. Lötvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 11, dadurch gekennzeichnet, daß mindestens zwei in Transportrichtung (38) hintereinander angeordnete Klappen (32, 33; 34, 35) jeweils im Ein- und Auslaß (25, 26) angeordnet sind, die eine Schleuse bilden.

13. Lötvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 12, dadurch gekennzeichnet, daß in Abhängigkeit von der Transportgeschwindigkeit und/oder dem Abstand der Flachbaugruppen zueinander und/oder dem Abmessungen des Förderrahmens die Anzahl und/oder der Abstand der Klappen (32, 33; 34, 35) so festgelegt wird, daß zu keiner Zeit alle Klappen geöffnet sind.

14. Lötvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 13, dadurch gekennzeichnet, daß im Ein- und Auslaß (25, 26) jeweils zwei gegenüberliegende Gasvorhangsdüsen (10, 11; 27, 28; 14, 15; 29, 30) angeordnet sind, die im Ein- und Auslaß der Ummantelung vor oder hinter den Klappen (32, 33; 34, 35) angeordnet sind