DE19749187A1 - Lötvorrichtung - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft eine Lötvorrichtung und ein Verfahren von Löten von Flachbaugruppen nach dem Oberbegriff der Ansprüche 1 und 18.

Die Entwicklung der Elektronik hat in den letzten Jahren nicht nur zu einer deutlichen Erhöhung der Integrationsdichte von Halbleiterbauelementen geführt, sondern brachte auch neue Anforderungen an die Leiterplattenfertigung. Insbesondere der Einsatz neuer Bauelemente (zum Beispiel BGA), neuer Oberflächen (zum Beispiel Ni-Pd-Anschlüsse) und die Verkleinerung der Anschlüsse selbst (fine pitch) führt zu einem steigenden Einsatz von Inertgasen beim Löten. Mit diesen können Prozeßfenster hinreichend vergrößert werden und die Qualität der Lötverbindungen entspricht den gewachsenen Anforderungen.

Da sich der Schwerpunkt der Flachbaugruppenproduktion mittlerweile auf die Reflow-Technik (SMDs) verlagert hat, befinden sich Wellenlötanlagen über längere Zeiträume (einige Stunden) hinweg im Leerlauf (Stand by). In dieser Zeit bildet sich auf der Oberfläche des Lotbehälters durch Oxidation eine Krätzeschicht aus, aus der ohne weitere Maßnahmen beim Löten Krätzepartikel von der Lotwelle mitgerissen werden und auf die Flachbaugruppen gelangen können. Daher werden Lotbehälter derartiger Wellenlötanlagen ummantelt und in der Ummantelung eine Schutzgasatmosphäre mit einem nicht oxidierenden Gas erzeugt, das die Krätzebildung wirkungsvoll unterdrückt.

Darüber hinaus ist es oft notwendig, auch beim Löten mit diesen älteren Wellenlötanlagen niedrige Restsauerstoffwerte in der Lötatmosphäre zu erreichen, da sich so das Lötergebnis deutlich verbessert: Bei Restsauerstoffgehalten ≦ 1% wird die Zahl der Lötperlen deutlich reduziert.

Da die wenigsten Wellenlötanlagen für den Einsatz von Schutzgasen vorgesehen sind, wären Ummantelungen und Gasverteilungen wünschenswert, mit denen die bestehenden Wellenlötanlagen nachrüstbar sind.

Hierzu sind bereits eine Vielzahl von Hauben- oder Tunnelkonstruktionen vorgeschlagen worden, die jedoch alle nur bedingt die Erfordernisse für die Nachrüstung von bestehenden Wellenlötanlagen erfüllen. In dem DE-U1 85 20 254 wird eine Einhausung einer Lötvorrichtung beschrieben, die sich nicht für die Nachrüstung bestehender Wellenlötanlagen eignet, da der Aufwand für eine nachträgliche Umrüstung viel zu hoch ist. Für die Nachrüstung bestehender Wellenlötanlagen, in denen Flachbaugruppen gelötet werden, sind in der DE 41 42 436 A1 und der EP 500 135 B1 Ummantelungen beschrieben. Die Hauben tauchen dabei zumindest teilweise in das Lötbad ein, so daß sich die Montage und Demontage z. B. zur Reinigung des Lotbehälters oder bei Reparaturen des Lotbehälters oder an der Lotwelle, in der Praxis als schwierig erweist. Darüber hinaus kann ein Lösen des Metalls der in das Lotbad eintauchenden Ummantelung den Lötvorgang bzw. die Lötqualität beeinträchtigen. In der EP 500 135 B1 ist es durch die Auslegung der Ummantelung als Haube, die nur den Lottiegel selbst, aber nicht die Zu- bzw. Abführung der Flachbaugruppen abschließt, nur bei sehr hohem Inertgasverbrauch möglich, überhaupt hinreichend niedrige Restsauerstoffwerte zu erzielen. Durch die Öffnung der Lötzone beim Eintritt von Flachbaugruppen gelangt auch in erheblichem Maße Umgebungsluft in den Bereich des Lotbades, was gerade während des Lötvorganges zu höheren Restsauerstoffgehalten führt.

Darüber hinaus wird in der EP 500 135 B1 nur der Bereich der Lotwelle von der Haube umschlossen. Die in das Lötbad hineinreichenden Geräte und/oder Elemente, z. B. die Pumpen, werden nur unzulänglich mit einer Schutzgasatmosphäre beaufschlagt. Es bleiben große Bereiche der Umgebungsatmosphäre ausgesetzt, die eine Oxidation des Lotbades ermöglichen und damit zur Ausbildung einer Krätzeschicht führen.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Ummantelung für eine Lötvorrichtung zu schaffen, mittels der bestehende Wellenlötanlagen einfach und kostengünstig nachgerüstet werden können.

Ausgehend von dem im Oberbegriff des Anspruchs 1 genannten Stand der Technik, ist diese Aufgabe gelöst mit den im Anspruch 1 angegebenen Merkmalen.

Vorteilhafte Weiterbildungen sind in den Unteransprüchen angegeben.

Gemäß der Erfindung ist die Ummantelung als Baugruppen und/oder Bauelemente aufweisender modularer Bausatz ausgebildet, bestehend aus vorzugsweise einem Vortunnel, einem Eingangstunnel, mindestens zwei Abdeckelementen, jeweils ein Abdeckelement für den die Leiterplatten und die Lotwelle und eine Abdeckelement für den die Geräte und/oder Elemente aufnehmenden Bereich des Lotbehälters, wobei die zwei Abdeckelemente eine in Transportrichtung der Flachbaugruppen verlaufende Verbindungsstelle aufweisen und zusammen eine den gesamten Lotbehälter abdeckende Haube mit auskragender Schürze bilden, einem Auslauftunnel und lösbaren Verbindungsmitteln an dem Lotbehälter und/oder den Baugruppen und/oder Bauelementen zum Verbinden der Baugruppen und/oder Bauelemente und dem Lotbehälter. Durch das erfindungsgemäße Ausbilden der Ummantelung aus modularen Baugruppen/­ Bauelementen, die mit geringem Aufwand an besonders ausgebildeten Verbindungsstellen zusammengefügt werden, wird die Montage und Demontage beim Kunden erheblich reduziert. Da die modularen Baugruppen/Bauelemente einfach aufgebaut sind, ist einerseits die Fertigung kostengünstig und andererseits eine hohe Flexibilität gewährleistet, da jede Baugruppe/Bauteile beim Kunden einfach an die bestehende Wellenlötanlage angepaßt werden können. Dabei ist der modulare Bausatz so gestaltet, daß er eine hohe Dichtheit gewährleistet und damit geringe Restsauerstoffwerte in der Schutzgasatmosphäre innerhalb der Ummantelung möglich sind. Beim Nachrüsten mit der Ummantelung ergibt sich für den Kunden dabei der Vorteil eines schnellen Einsatzes, weil die Ummantelung über das Verbinden der modularen Baugruppen/Bauelemente an den besonders ausgebildeten Verbindungsstellen zusammengefügt wird. Fehlerhafte Verbindungsstellen an den vorgefertigten modularen Baugruppen/Bauelementen sind dabei ausgeschlossen. Hinzu kommt, daß die Gasversorgung zum Einleiten und Verteilen des Schutzgases in der Ummantelung ebenso modular aufgebaut ist und somit die einzelnen Baugruppen/Bauelemente so miteinander verbunden werden, daß eine Inertisierung der bestehenden Wellenlötanlagen bei geringstem Schutzgasverbrauch möglich ist. Eine weitere Verringerung des Schutzgasverbrauchs bei gleichzeitiger Sicherstellung von geringen Restsauerstoffgehalten in der Schutzgasatmosphäre wird durch eine Steuerung der Gasverteilung erzielt.

Ein Ausführungsbeispiel der Erfindung ist in der Zeichnung dargestellt und wird im folgenden näher beschrieben.

Es zeigen

Fig. 1 eine schematische Schnittdarstellung der Ummantelung,

Fig. 2 eine schematische perspektivische Darstellung der Ummantelung,

Fig. 3 eine schematische Darstellung der Steuerung.

In Fig. 1 ist eine Lötvorrichtung im Schnitt schematisch dargestellt, die im wesentlichen aus einem Vortunnel 6, einem Eingangstunnel 18 der Heizmittel 8 umfassen kann, einer der Lotbehälter 1 umgebenden Haube 28, 4 und einem Auslauftunnel 7 besteht. Die Lotwelle ist mit 9 und eine Flachbaugruppe mit 12 bezeichnet. Die Flachbaugruppe 12 wird durch die Ummantelung 20 transportiert und während ihres Transportes durch die Ummantelung mit einer Lotwelle 9 in dem Lotbehälter 1 in Kontakt gebracht. Die Ummantelung enthält einen Einlaß 21 auf einer Einlaßseite und einen Auslaß 22 auf einer Auslaßseite. Der Ein- und Auslaß 21, 22 wird vorzugsweise durch Klappen 23, 24 verschlossen, die aus einem flexiblen Kunststoff bestehen und den gesamten Querschnitt des Ein- und Auslasses abdecken. Hinter den Klappen 21, 22 sind Spaltdüsen 10, 11, 14, 15 angeordnet, die schmale Gasströmungen über die gesamte Breite des Ein- und Auslasses 21, 22 erzeugen, die als Gasvorhänge wirken und den Ein- bzw. Auslaß bei geöffnetem Klappen 21 bzw. 22 von der Umgebungsatmosphäre abschirmen. In Fig. 1 sind jeweils zwei den Ein- und Auslaß abdichtende Klappen 23, 24 und Gasvorhänge erzeugende Spaltdüsen 10, 11, 14, 15 dargestellt. Es ist selbstverständlich auch eine Ausbildung mit mehreren Klappen und Gasvorhängen möglich, die Schleusen bilden.

Oberhalb der Flachbaugruppen 12 ist ein Gasverteiler 19 und unterhalb der Flachbaugruppe 12 ein Gasverteiler 13 angeordnet. Der Gasverteiler 13 umschließt rahmenförmig die Lotwellen 9. Beide Gasverteiler 19 und 13 weisen zum Lotbad 25 gerichtete spaltförmige Ausströmöffnungen auf, aus denen ein Verdrängungsgaspolster in Richtung des Lotbades 25 austritt. Das Verdrängungsgaspolster des Gasverteilers 13 erfährt aufgrund des warmen Lotbades 25 eine thermische Umlenkung und steigt auf. Diesem aufsteigenden Verdrängungsgaspolster wird das aus den Gasverteilern 19 austretende Verdrängungsgaspolster entgegengesetzt, das eine Zirkulation weitgehend unterbindet. Dabei vermischen sich die beiden Verdrängungsgaspolster und es findet ein Temperaturausgleich statt.

In Fig. 2 ist die als modularer Bausatz ausgebildete Ummantelung 20 schematisch dargestellt. Mit dem Bausatz kann eine einfache Nachrüstung von bestehenden Wellenlötanlagen erzielt werden. Die Geometrie der Ummantelung 20 ist daher universell gestaltet, damit im Einzelfall keine umfangreichen konstruktiven Änderungen vorzunehmen sind.

Gleiche Bauteile der Fig. 1 werden in der Fig. 2 mit gleichen Bezugsziffern bezeichnet. Die Ummantelung 20 hat zum Ziel, den Lötprozeß unter einer Schutzgasatmosphäre mit möglichst geringen Restsauerstoffkonzentrationen in der Ummantelung 20 zu erreichen. Die Ummantelung weist daher einen Vortunnel 6 auf, der mit einem Eingangstunnel 18 über lösbare Verbindungsmittel befestigt ist. In dem Eingangstunnel 18 sind Heizmittel 8 vorgesehen. Dieser geht in die den Lotbehälter 1 abdeckende Haube 28, 4 mit Schürze 4' über, die die gesamte Lötzone abschließt, d. h. auch die Bereiche des Lotbehälters die Durchführungen, etwa für Pumpen oder Abschöpfbereiche, enthalten. Die Haube 28, 4 mit Schürze 4' besteht aus zwei Abdeckelementen, jeweils ein Abdeckelement 28, für den die Flachbaugruppen 12 und die Lotwelle 9 aufnehmenden Bereich des Lotbehälters 1 und jeweils ein Abdeckelement 4 für den die Geräte 2 und/oder Elemente aufnehmenden Bereich des Lotbehälters 1. Die zwei Abdeckelemente 28, 4 weisen eine in Transportrichtung 26 verlaufende Verbindungsstelle 27 auf, an der die beiden Abdeckelemente 28, 4 über Verbindungsmittel, z. B. Schrauben, lösbar miteinander verbunden werden können. Die beiden Abdeckelemente 28, 4 bilden zusammen eine den gesamten Lotbehälter abdeckende Haube mit austragender Schürze 4', die den Bereich des Lotbehälters 1 abdeckt, der Durchführungen etwa für Pumpen oder Abschöpfbereiche enthält. Die Schürze 4' weist hierzu Öffnungen 29 auf, durch die die Geräte 2 und/oder Elemente bei der Montage der Ummantelung 20 hindurchtreten. Die Öffnungen 29 können an etwaige in den Lotbehälter 1 ragende Einbauten 2 oder Abschöpfbereiche einfach angepaßt werden. Die Geräte und/oder Elemente, wie Pumpen, werden nicht umschlossen.

Das Abdeckelement 4 für den die Geräte 2 und/oder Elemente aufnehmende Bereich des Lotbehälters ist im wesentlichen L-förmig ausgebildet, wobei der von der Schürze 4' unter einem Winkel 30, vorzugsweise unter einem nahezu rechten Winkel, verlaufende Teil als Seitenwand der Haube 28, 4 ausgebildet ist. An die Haube 28, 4 wird über Verbindungsmittel an nicht näher dargestellten Verbindungsstellen der Auslauftunnel 7 befestigt. Durch eine Anordnung des Auslauftunnels 7 unter einem fallenden und des vorgeschalteten Einlauftunnels 18 unter einem steigenden Winkel 32 wird ein Hochpunkt über den Lotwellen 9 geschaffen. Vorzugsweise ist dabei der Einlauf- und Auslauftunnel so weit verlängert, daß die obere Endkante 33, 34 unterhalb des Lotbades 25 angeordnet ist. Beim Einsatz eines Vortunnels 6 verlagert sich die Endkante 34 zu der Endkante des Vortunnels 6. Dadurch wird das erwärmte Schutzgas auch bei geöffneten Klappen 23, 24 über dem Lötbereich gehalten. Kalte Umgebungsluft, die beim Ein- oder Austritt von Flachbaugruppen 12 mit in die Lötvorrichtung eingespült wird, kann somit erst nach der Erwärmung in den Zentralbereich gelangen. Durch die Anordnung der Gasverteiler 19 und 13 wird ein weitgehender Eintrag von Umgebungsluft und die Vermischung von Umgebungsluft verhindert.

Zur einfachen Montage und Demontage sind alle Verbindungen als Schraub- und/oder Klemmverbindungen ausgebildet. Alle Abdichtungen zwischen den Verbindungsstellen 27 sind beispielsweise als wärmebeständige Silikondichtungen ausgeführt. Die Ummantelung 20 kann an beliebigen Stellen Sichtscheiben enthalten, die eine Beobachtung des Lötprozesses ermöglichen.

Der modulare Bausatz kann relativ einfach an die örtlichen Gegebenheiten angepaßt werden, was mit modernen CAD-Systemen schnell und kostengünstig ausgeführt werden kann. Die gesamte Ummantelung stellt nach ihrem Zusammenbau eine starre, dichte Baugruppe dar.

Zur Unterdrückung von Lotperlen ist eine Düse 16 in der Ummantelung im Auslauftunnel 7 angebracht, die die Abrißkante der zweiten Lotwelle gezielt inertisiert. Dieser Gasstrom ist gerichtet und kann außerdem durch in der Düse 16 angeordnete Heizmittel vorgewärmt werden, um eine zu schnelle Erstarrung des Lotes zu verhindern und überflüssiges Lot abzublasen.

Durch Kombination von weitflächigem Eintrag einer großen Gasmenge über die Gasverteiler 19, die keine Temperaturunterschiede in der großflächigen Verteilung des Gases erzeugen und im Eintrag einer geringen, aber gerichteten vorgewärmten Gasmenge direkt in die Abrißkante, wird eine Prozeßstabilisierung erreicht.

Zur Kühlung der Baugruppe leitet eine Düse 17 einen kalten Gasstrahl auf die Flachbaugruppen. Diese Düse 17 ist außerhalb der die Schutzgasatmosphäre umschließenden Ummantelung im Auslauftunnel 7 angeordnet.

Alle Gasverteiler 19,13 und Spaltdüsen 10, 11, 14, 15 werden über Ventile 35, 36, 37, 38 separat angesteuert (Fig. 3). Ihnen ist jeweils ein Handventil 39, 40, 41, 42 vorgeschaltet, um eine Menge einzustellen. Es ist selbstverständlich auch möglich, sämtliche Zuleitungen mehrfach auszulegen und durch geeignetes Zuschalten den Gasdurchsatz dem Betriebsablauf der Lötvorrichtung in weiten Bereichen anzupassen. Die Steuerung erfolgt entweder durch den Computer der Lötvorrichtung oder über eine separate speicherprogrammierbare Steuerung 43 (SBS). Die Schutzgasversorgung wird unmittelbar nach dem Anfahren durch Betätigung eines Schalters 44, der ein Startsignal erzeugt, ausgelöst. Über die Steuerung 43 werden die Restsauerstoffwerte in der Ummantelung im Bereich geringer Konzentrationen eingestellt. Dazu werden alle Gasverteiler 19, 13 und Spaltdüsen 10, 11, 14, 15 in der Reihenfolge 19 und 13 danach 14 und 15 dann 10 und 11 freigeschaltet. Nach Erreichen eines voreingestellten Restsauerstoffwertes wird nur noch ein deutlich geringerer Inergasstrom eingetragen, der nur die unvermeidlichen Verluste durch Undichtigkeiten kompensiert. Dazu werden nur noch die Gasverteiler 13, 19 betrieben. Die Spaltdüsen 10, 11, 14, 15 werden bei geschlossenen Klappen 23, 24 ausgeschaltet. Der Gasverteiler 19 wird entsprechend eines eingestellten Sollwertes angesteuert.

Zur Messung des Restsauerstoffhaltes ist ein Saugrohr in der Lötzone zwischen den Lotwellen 9 angebracht. Durch dieses wird mittels einer Meßgaspumpe Gas aus der Lötzone abgeführt. Das Gas wird noch vor der Saugpumpe durch eine Kühlfalle geleitet, worin etwaige Lötdämpfe zum Beispiel Flußmittel, kondensieren. Hierdurch werden Meßzellen von Lötrückständen freigehalten. Dann gelangt es durch einen Filtersatz, auf dem die Restbeladung absorbiert wird. Als Absorben wird nur schwer brennbares Material verwendet, z. B. Zeolite. Mittels Sauerstoffmeßzellen (z. B. Lambda-Sonden) wird der Restsauerstoffgehalt bestimmt. Da während des Anfahrvorganges in der Lötzone Sauerstoffgehalte im Prozentbereich vorliegen, werden zwei parallel geschaltete Meßzellen verwendet. Eine Meßzelle mit grober Empfindlichkeit bis hinunter zu 0,1% O₂, die andere Meßzelle für den Bereich darunter. Zuerst wird die Meßzelle für den oberen Bereich etwa mit den Ventilen 37, 38 freigeschaltet, so daß die Anfahrphase verfolgt werden kann. Erreichen die Sauerstoffkonzentrationen Werte an ihrer unteren Empfindlichkeitsgrenze, wird die andere Meßzelle freigeschaltet. Steigen die Werte gegen den oberen Empfindlichkeitswert an, wird diese Meßzelle wieder von der Gaszufuhr abgetrennt und Alarm ausgelöst.

Claims (21)

1. Lötvorrichtung mit einem Lotbehälter und einer Ummantelung zur Aufnahme einer Schutzgasatmosphäre zum Löten von Flachbaugruppen, die während ihres Transportes durch die Ummantelung mit einer Lotwelle in dem Behälter in Kontakt gebracht werden, wobei die Ummantelung einen Einlaß für Flachbaugruppen auf einer Einlaßseite und einen Auslaß für Flachbaugruppen auf einer Auslaßseite aufweist, sowie mit einer Versorgung für nicht oxidierendes Gas und mit einer Anordnung zum Einlassen von Gas in die Ummantelung, dadurch gekennzeichnet,
daß die Ummantelung (20) als Baugruppen und/oder Bauelemente aufweisender modularer Bausatz ausgebildet ist, bestehend aus

• - vorzugsweise einem Vortunnel (6)
• - einem Eingangstunnel (18)
• - mindestens zwei Abdeckelementen (28, 4), jeweils ein Abdeckelement (28) für den die Flachbaugruppen (12) und die Lotwelle (9) und ein Abdeckelement (4) für den die Geräte (2) und/oder Elemente aufnehmenden Bereich des Lotbehälters (1), wobei die zwei Abdeckelemente (28, 4) eine in Transportrichtung der Flachbaugruppen verlaufende Verbindungsstelle (27) aufweisen und zusammen eine den gesamten Lotbehälter (1) abdeckende Haube (28, 4) mit auskragender Schürze (4') bilden
• - einem Auslauftunnel (7) und lösbaren Verbindungsmitteln an dem Lotbehälter (1) und/oder den Baugruppen und/oder Bauelementen zum Verbinden der Baugruppen und/oder Bauelemente und dem Lotbehälter.

2. Lötvorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Abdeckelement (4) für den die Geräte (2) und/oder Elemente aufnehmenden Bereich des Lotbehälters (1) im wesentlichen L-förmig ausgebildet ist und die den Bereich des Lotbehalters (1) abdeckende Schürze Öffnungen (29) aufweist, durch die die Geräte (2) und/oder Elemente hindurchtreten.

3. Lötvorrichtung nach Anspruch 1 oder 2 dadurch gekennzeichnet, daß der von der Schürze (4) unter einem Winkel (30), vorzugsweise unter einem nahezu rechten Winkel, verlaufende Teil als Seitenwand der Haube (28, 4) ausgebildet ist.

4. Lötvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3 dadurch gekennzeichnet, daß der Auslauftunnel (7) unter einem zu der Haube (28, 4) abfallenden Winkel (31) und der Einlauftunnel (18) unter einem zu der Haube (28, 4) aufsteigenden Winkel (32) so angeordnet ist, daß ein Hochpunkt über den Lotwellen (9) entsteht

5. Lötvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 4 dadurch gekennzeichnet, daß die oberen Endkanten (33, 34) des Ein- und Auslauftunnels unterhalb des Lotbades angeordnet sind.

6. Lötvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 5 dadurch gekennzeichnet, daß der Eingangstunnel 18) und/oder der Vortunnel (6) Heizmittel umfaßt.

7. Lötvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 6

dadurch gekennzeichnet, daß die Verbindungsmittel als lösbare Schraub- oder Klemmverbindungen ausgebildet sind, die die Baugruppen und/oder Bauteile miteinander verbinden.

8. Lötvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 7 dadurch gekennzeichnet, daß in den Übergangsbereichen zwischen der Haube (28, 4) und dem Eingangs- (18) und dem Auslauftunnel (7) gegeneinander gerichtete Spaltdüsen (10, 11; 14, 15) angeordnet sind, die mit der Versorgung für nicht oxidierendes Gas verbunden sind und einen Schutzgasvorhang vor dem Ein- und Auslaß bilden, wobei das Schutzgas des Schutzgasvorhanges zum Eingangs- und Auslauftunnel abströmt.

9. Lötvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 8 dadurch gekennzeichnet, daß an den die Einlaß- und Auslaßseite (21, 22) verbindenden Seiten (45, 46) und/oder den diesen Seiten zugeordneten Bereichen der Haubenoberseite (47) jeweils ein Gasverteiler (19) oberhalb der Flachbaugruppen (12) angeordnet ist, der mit der Versorgung für nicht oxidierendes Gas verbunden ist und ein im wesentlichen in Richtung des Lotbehälters sich ausbreitendes Verdrängungsgaspolster erzeugt.

10. Lötvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 9 dadurch gekennzeichnet, daß unterhalb der Flachbaugruppe (12) ein die Lotwelle (9) umgebender Gasverteiler (13) mit mindestens einer zum Lotbad (25) gerichteten Austrittsöffnung angeordnet ist, der mit der Versorgung für nicht oxidierendes Gas verbunden ist und aus dem ein Verdrängungsgaspolster austritt.

11. Lötvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 10 dadurch gekennzeichnet, daß im Auslauftunnel (7) eine Düse (16) angeordnet ist, die mit der Versorgung für nicht oxidierendes Gas verbunden ist und eine gerichtete vorgewärmte Gasströmung auf die Abrißkante der Lotwelle (9) erzeugt.

12. Lötvorrichtung nach Anspruch 11 dadurch gekennzeichnet, daß in der Düse (16) Flächenheizungen angeordnet sind.

13. Lötvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 12 dadurch gekennzeichnet, daß im Auslauftunnel (7) eine Gasstrahldüse (17) angeordnet ist, die mit einem Kaltgasgenerator verbunden ist und einen auf die Flachbaugruppen (12) gerichteten Kaltgasstrahl erzeugt.

14. Lötvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 13 dadurch gekennzeichnet, daß mindestens die Spaltdüsen (10, 11, 14, 15) und die Gasverteiler (19, 13) über Zuführleitungen mit der Versorgung für nicht oxidierendes Gas verbunden sind und in jeder Leitung mindestens ein ansteuerbares Auf/Zu-Ventil (35, 36, 37, 38) angeordnet ist.

15. Lötvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 14 dadurch gekennzeichnet, daß den Ventilen (35, 36, 37, 38) jeweils ein Einstellventil (39, 40, 41, 42) vorgeschaltet ist.

16. Lötvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 15 dadurch gekennzeichnet daß die Ventile über Steuerleitungen mit einer Steuerung (43) verbunden sind.

17. Lötvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 16 dadurch gekennzeichnet, daß mindestens zwei parallel geschaltete Meßzellen angeordnet sind, die den Restsauerstoffgehalt der Schutzgasatmosphäre in Form eines Istwertes bestimmen, daß der Istwert mit einem in der Steuerung oder einer separaten Auswerteeinheit abgelegten Sollwert verglichen wird und daß bei einer Differenz zwischen Ist- und Sollwert die Ventile (19, 13) der Gasverteiler geöffnet oder geschlossen werden.

18. Verfahren zum Löten von Flachbaugruppen unter einer Schutzgasatmosphäre, die während ihres Transportes durch eine Ummantelung mit einer Lotwelle in Kontakt gebracht werden dadurch gekennzeichnet, daß vor dem Löten die Ummantelung (20) mit dem Schutzgas gespült und ein Restsauerstoffgehalt < 10000 ppm, insbesondere < 1000 ppm eingestellt und während des Lötens ein Druck < 1 bar in der Ummantelung (20) aufrechterhalten wird und das Schutzgas zu dem Eingangs- und Auslauftunnel abströmt.

19. Verfahren nach Anspruch 18 dadurch gekennzeichnet, daß in der Ummantelung (20) über einen unterhalb der Flachbaugruppe (12) angeordneten und die Lotwelle (9) umgebenden ersten Gasverteiler (13) ein auf das Lotbad (25) gerichtetes Verdrängungsgaspolster und über einen oberhalb der Flachbaugruppen (12) angeordneten zweiten Gasverteiler (19) ein sich in Richtung des Lotbades (25) ausbreitendes Verdrängungsgaspolster erzeugt wird.

20. Verfahren nach Anspruch 18 oder 19 dadurch gekennzeichnet, daß das unterhalb der Flachbaugruppen (12) auf das Lotbad gerichtete Verdrängungsgaspolster thermisch umgelenkt wird.