DE19707312A1 - Schaltungsanordnung zur Verbesserung der Zuverlässigkeit beim Prüfen integrierter Schaltkreise - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft eine Schaltungsanordnung zur Verbesserung der Zuverlässig­ keit der kontaktlosen Prüfung von integrierten Schaltkreisen, bei welcher die Be­ triebsspannung durch mindestens zwei voneinander elektrisch isolierte, den beiden Po­ lungen zuzuordnende Leitungsbahnnetze zugeführt wird, die einerseits mit makros­ kopischen Kontaktierinseln im Randbereich der Trägerscheibe und andererseits mit einem im peripheren Bereich eines jeden Schaltkreises lokalisierten integrierten Schal­ ter galvanisch verbunden sind, der verschaltet mit einer ebenfalls integrierten Fotodio­ de oder einem Fototransistor, das zeitweilige Einschalten, d. h. Herstellen der galva­ nischen Verbindung des jeweiligen Leitungsbahnnetzes mit der integrierten Schaltung während des Tests gewährleistet.

Solche, bereits vorgeschlagenen sogenannte Spannungsversorgungsnetze sind auf­ grund der besonderen Verschaltung der lichtempfindlichen Bauelemente, welche eine galvanische Verbindung nur während der Belichtung herstellen (im Folgenden als Fotoschalter bezeichnet), gegen Kurzschlüsse im Bereich der integrierten Schaltung, d. h. hinter dem Fotoschalter liegend, gesichert. Befindet sich jedoch an irgend einer Stelle eines spannungsführenden Leitungsbahnnetzes ein Kurzschluß, dann kommt es unweigerlich zu Fehlmessungen, aufgrund der bei der Messung zu berücksichtigen­ den, von der Lage der einzelnen Chip-Gruppen abhängigen Potentialänderungen, d. h. die gesamte Scheibe ist dann nicht meßfähig, was Ausschuß bedeutet.

Es ist Aufgabe der Erfindung, eine Schaltungsanordnung anzugeben, welche die elek­ trische Prüfung einer Vielzahl von auf einer Halbleiterscheibe befindlichen Bauelemen­ ten oder Bauelementeeinheiten, die zwecks Versorgung mit der Betriebsspannung durch Leitungsbahnnetze miteinander und mit am Rand der Halbleiterscheibe be­ findlichen Kontaktinseln verbunden sind, für den Fall gestattet, daß im jeweils span­ nungsführenden Leitungsbahnnetz ein oder mehrere Kurzschlüsse vorliegen.

Erfindungsgemäß wird die Aufgabe dadurch gelöst, daß eine Vielzahl von Sicherun­ gen in die Leitungsbahnen so integriert wird, daß jede Zuführungsbahn zu einem ein­ zelnen Bauelement und jeder Verzweigungsast jeweils im kleinstmöglichen Abstand zur zusammenführenden Verzweigungsstelle gesondert abgesichert ist.

Die Sicherungen können in der Art von einfachen Schmelzsicherungen oder elektro­ nisch aufgebaut sein. Sie werden integriert hergestellt, ohne daß zusätzliche technolo­ gische Schritte notwendig sind.

Da das Leitungsbahnnetz einen definierten Bahnenverlauf hat und gruppenweise glei­ che Bahnlängen vorliegen, können die durch die zwischengeschalteten Sicherungen auftretenden Spannungsverluste vorausbestimmt und bei der Prüfung berücksichtigt werden.

Durch Abtrennung des jeweiligen mit Kurzschluß behafteten Teillabschnittes ist die Voraussetzung für eine störungsfreie Prüfung der übrigbleibenden Bauelementeein­ heiten gegeben, wodurch größerer Ausschuß verhindert wird.

Claims (5)

1. Schaltungsanordnung zur Verbesserung der Zuverlässigkeit beim elektrischen Prüfen einer Vielzahl von auf einer Trägerscheibe, insbesondere auf einer Halbleiterscheibe befindlichen Bauelementen, insbesondere integrierten Schalt­ kreisen, wobei jedes Einzelbauelement über einen Schalter mit mindestens zwei Leitungsbannen, welche zu Kontakten an der Peripherie der Trägerschei­ be führen, verbunden ist, dadurch gekennzeichnet, daß Sicherungen in den spannungsführenden Leitungsbahnen vorhanden sind, so daß jede Zuführungs­ bahn zu einem einzelnen Bauelement und jeder Verzweigungsast abgesichert ist und im Fall eines Kurzschlusses im entsprechenden Leitungsstück dieses elektrisch abgetrennt wird.

2. Schaltungsanordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Si­ cherung jeweils im kleinstmöglichen Abstand zur nächsten zusammenführen­ den Verzweigungsstelle der jeweiligen Leitungsbahn liegt.

3. Schaltungsanordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Si­ cherungen integriert, mit der gleichen Technologie wie die Bauelemente her­ gestellt sind.

4. Schaltungsanordnung nach Anspruch 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Sicherungen als Schmelzsicherungen aufgebaut sind.

5. Schaltungsanordnung nach Anspruch 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Sicherungen als elektronische Abschalter aufgebaut sind.