KR960014952A - 반도체 웨이퍼의 번인 및 테스트방법과 그것에 사용되는 번인보드 - Google Patents

반도체 웨이퍼의 번인 및 테스트방법과 그것에 사용되는 번인보드 Download PDF

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KR960014952A
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가즈오 가네코
마사야스 가타야마
기요시 고치
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가즈오 가네코
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Abstract

(구성) 반도체 웨이퍼를 그곳에 형성된 집적회로중의 몇개를 포함하는 피검체블록으로 분할하고, 각 분할된 피검체블록에 그 피검체블록에 포함된 집적회로가 원래의 웨이퍼의 어느 부분에 위치한 것인가를 나타내는 위치정보를 기특하고, ID 코드를 부여한 캐리어를 각각 끼워맞춤과 이탈이 자유로운 복수의 소켓을 배열한 번인 보드를 준비하고, 피검체블록의 각각을 각 캐리어에 얹고, 이와 같이 피검체블록을 얹은 캐리어를 각각 대응하는 소켓에 끼워맞춤하여 번인 및 테스트를 행한다.
(효과) 얻어진 테스트결과와, 각 피검체블록의 위치정보와, 각 캐리어에 부여된 ID 코드로 부터 반도체 웨이퍼의 결함분석을 행할 수 있다.

Description

반도체 웨이퍼의 번인 및 테스트방법과 그것에 사용되는 번인보드
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명에 의해 반도체 웨이퍼를 피검체(被檢體) 블록으로 분할하는 사양의 1예를 설명하기 위한 개략 평면도,
제5도는 본 발명에 있어서 사용되는 번인보드와 피검체블록를 장착한 캐리어와의 관계를 설명하기 위한 개략도.

Claims (4)

  1. 다수의 집적회로를 형성한 반도체웨이퍼의 번인 및 테스트방법에 있어서, 상기 집적회로중의 몇개를 포함하는 피검체블록에 상기 반도체웨이퍼를 분할하고, 이 분할에 있어 각 분할된 피검체블록에 그 피검체블록에 포함된 집적회로가 상기 반도체웨이퍼의 어느 부분에 위치한 것인지를 나타내는 위치정보를 기록하고, ID 코드를 부여한 캐리어를 각각 끼워맞춤과 이탈이 자유로운 복수의 소켓을 배열한 번인보드를 준비하고, 상기 피검체블록의 각각을 캐리어에 얹고, 이와 같이 피검체블록을 얹은 캐리어를 각각 대응하는 소켓에 끼워맞춤하여 번인 및 테스트를 행하고, 이것에 의해 얻어진 테스트결과와, 상기 각 피검체블록의 상기 기록된 위치정보와, 상기 각 캐리어에 부여된 ID 코드로부터 상기 반도체웨이퍼의 결합분석을 행할 수 있게 하는 것을 특징으로 하는 반도체 웨이퍼의 번인 및 테스트방법.
  2. 제1항에 있어서, 상기 위치정보의 기록은 각 피검체블록에 목시가능한 표시를 부여함으로써 행해지는 것을 특징으로 하는 반도체웨이퍼의 번인 및 테스트방법.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 캐리어에 부여되는 ID 코드는 목시가능 또는 전기적으로 판독가능한 것임을 특징으로 하는 반도체 웨이퍼의 번인 및 테스트방법.
  4. 다수의 집적회로를 형성한 반도체 웨이퍼의 번인 및 테스트에 있어서 사용하는 번인 보드에 있어서, 복수의 소켓을 배열하고 또한 번인 및 테스트를 행하는 주장치와의 전기적 접속을 행하기 위한 복수의 단자 및 이들의 각 대응하는 단자와 상기 각 소켓의 각 대응하는 접촉자와의 사이의 전기적 접속을 행하는 전기도체를 가진 프린트기판과, 상기 반도체 웨어퍼로부터 분압된 복수의 집적회로를 포함하는 피검체블록을 얹어서 상기 프린트기판상의 상기 소켓의 각각에 끼워맞춤과 이탈이 자유로운 복수의 캐리어를 구비하고 있고, 상기 캐리어의 각각에는 ID 코드가 부여되어 있는 것을 특징으로 하는 번인보드.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019940029759A 1994-10-14 1994-11-14 반도체 웨이퍼의 번인 및 테스트방법과 그것에 사용되는 번인보드 KR960014952A (ko)

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