DE19707312C2 - Schaltungsanordnung zur Verbesserung der Zuverlässigkeit beim Prüfen integrierter Schaltkreise - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft eine Schaltungsanordnung zur Verbesserung der Zuverlässigkeit der kontaktlosen Prüfung von integrierten Schaltkreisen gemäß dem Oberbegriff des Anspruchs 1, wie sie beispiels­ weise aus der DE 44 00 118 A1 bekannt ist. Dabei wird die Betriebsspannung durch mindestens zwei voneinander elektrisch isolierte, den beiden Polungen zuzuordnende Leitungsbahnnetze zugeführt, die einerseits mit makroskopischen Kontaktierinseln im Randbereich der Trägerscheibe und ande­ rerseits mit einem im peripheren Bereich eines jeden Schaltkreises lokalisierten inte­ grierten Schalter galvanisch verbunden sind, der verschaltet mit einer ebenfalls in­ tegrierten Fotodiode oder einem Fototransistor, das zeitweilige Einschalten, d. h. Herstellen der galvanischen Verbindung des jeweiligen Leitungsbahnnetzes mit der integrierten Schaltung während des Tests gewährleistet.

Solche, bereits vorgeschlagenen sogenannten Spannungsversorgungsnetze sind aufgrund der besonderen Verschaltung der lichtempfindlichen Bauelemente, welche eine galvanische Verbin­ dung nur während der Belichtung herstellen (im Folgenden als Fotoschalter be­ zeichnet), gegen Kurzschlüsse im Bereich der integrierten Schaltung, d. h. hinter dem Fotoschalter liegend, gesichert. Befindet sich jedoch an irgend einer Stelle eines spannungsführenden Leitungsbahnnetzes ein Kurzschluß, dann kommt es unweiger­ lich zu Fehlmessungen, aufgrund der bei der Messung zu berücksichtigenden, von der Lage der einzelnen Chip-Gruppen abhängigen Potentialänderungen, d. h. die gesamte Scheibe ist dann nicht meßfähig, was Ausschuß bedeutet.

Es ist Aufgabe der Erfindung, eine Schaltungsanordnung anzugeben, welche die elektrische Prüfung einer Vielzahl von auf einer Halbleiterscheibe befindlichen Bauelementen oder Bauelementeeinheiten, die zwecks Versorgung mit der Betriebsspannung durch Leitungsbahnnetze miteinander und mit am Rand der Halbleiterterscheibe befindlichen Kontaktinseln verbunden sind, für den Fall gestattet, daß im jeweils spannungsführenden Leitungsbahnnetz ein oder mehrere Kurz­ schlüsse vorliegen.

Erfindungsgemäß wird die Aufgabe dadurch gelöst, daß eine Vielzahl von Sicherungen in die Leitungsbahnen so integriert wird, daß jede Zuführungsbahn zu einem einzelnen Bauelement und jeder Verzweigungsast jeweils im kleinstmöglichen Abstand zur zusammenführenden Verzweigungstelle gesondert abgesichert ist.

Die Sicherungen können in der Art von einfachen Schmelzsicherungen oder elektronisch aufgebaut sein. Sie werden integriert hergestellt, ohne daß zusätzliche technologische Schritte notwendig sind.

Da das Leitungsbahnnetz einen definierten Bahnenverlauf hat und gruppenweise gleiche Bahnlängen vorliegen, können die durch die zwischengeschalteten Sicherungen auftretenden Spannungsverluste vorausbestimmt und bei der Prüfung berücksichtigt werden.

Durch Abtrennung des jeweiligen mit Kurzschluß behafteten Teilabschnittes ist die Voraussetzung für eine störungsfreie Prüfung der übrigbleibenden Bauelementeeinheiten gegeben, wodurch größerer Ausschuß verhindert wird.

Claims (3)

1. Schaltungsanordnung zur Verbesserung der Zuverlässigkeit des Meßergebnisses beim elektrischen Prüfen einer Vielzahl von auf einer Trä­ gerscheibe, insbesondere einer Halbleiterscheibe befindlichen integrierten Schaltkreisen, wobei jeder integrierte Schaltkreis über einen Schalter mit mindestens zwei Leitungsbahnen, welche zu Kontakten an der Peripherie der Trägerscheibe führen, verbunden ist, dadurch gekennzeichnet, daß Sicherungen in den spannungsführenden Leitungsbahnen jeder Zuführung zu einem einzelnen integrierten Schaltkreis und in jedem Ast einer verzweigten Leitbahn an Stellen vorgesehen sind, für die die jeweiligen Abstände zur nächsten, Leitbahnäste zusammenführenden Verzweigungsstelle minimal gehalten sind.

2. Schaltungsanordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Sicherungen als Schmelzsicherungen aufgebaut sind.

3. Schaltungsanordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Sicherungen als elektronische Abschalter aufgebaut sind.