DE19615366A1 - Verfahren und Einrichtung zum Nachweis physikalischer, chemischer, biologischer oder biochemischer Reaktionen und Wechselwirkungen - Google Patents

Verfahren und Einrichtung zum Nachweis physikalischer, chemischer, biologischer oder biochemischer Reaktionen und Wechselwirkungen

Info

Publication number
DE19615366A1
DE19615366A1 DE19615366A DE19615366A DE19615366A1 DE 19615366 A1 DE19615366 A1 DE 19615366A1 DE 19615366 A DE19615366 A DE 19615366A DE 19615366 A DE19615366 A DE 19615366A DE 19615366 A1 DE19615366 A1 DE 19615366A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
samples
light
sample
beam path
reflected
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
DE19615366A
Other languages
English (en)
Other versions
DE19615366B4 (de
Inventor
Hans-Juergen Dobschal
Werner Dr Ing Fuchs
Dieter Dipl Phys Graefe
Guenter Prof Dr Gauglitz
Andreas Dr Brecht
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Biametrics GmbH
Original Assignee
Carl Zeiss Jena GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Carl Zeiss Jena GmbH filed Critical Carl Zeiss Jena GmbH
Priority to DE19615366A priority Critical patent/DE19615366B4/de
Priority to EP97920655A priority patent/EP0834066B1/de
Priority to US08/973,653 priority patent/US5999262A/en
Priority to PCT/EP1997/001809 priority patent/WO1997040366A1/de
Publication of DE19615366A1 publication Critical patent/DE19615366A1/de
Application granted granted Critical
Publication of DE19615366B4 publication Critical patent/DE19615366B4/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/17Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
    • G01N21/55Specular reflectivity
    • G01N21/552Attenuated total reflection
    • G01N21/553Attenuated total reflection and using surface plasmons

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)

Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Einrichtung zum Nachweis physikalischer, chemischer, biologischer oder biochemischer Reaktionen und Wechselwirkungen auf schichtförmigen biochemisch oder chemisch funktionalisierten Probenträgern aus der spektralen Reflexion nach Bestrahlung mit Licht unterschiedlicher Wellenlänge. Sie basiert sowohl auf den durch evaneszente Felder angeregten Resonanzphänomenen in planaren Wellenleitern und dünnen Metallfilmen, die auf Änderungen oder Anlagerungen der darüber befindlichen biosensitiven Schicht reagieren, als auch auf Interferenzerscheinungen, die durch Reflexion an den Grenzflächen dieser Schicht entstehen.
Aus der WO 93/14392 ist eine Einrichtung zum Nachweis derartiger Reaktionen und Wechselwirkungen bekannt, bei welcher kollimiertes, polychromatisches Licht an einer inneren Prismenfläche totalreflektiert wird. Das dabei entstehende evaneszente Feld koppelt bei geeigneter Wahl der Parameter einer Abstands- und einer darüberliegenden Cavityschicht in letztere resonanzartig ein, wobei in Abhängigkeit von der Probenwechselwirkung über der Cavityschicht die Resonanz bei unterschiedlicher Wellenlänge erfolgt. In einer nachgeschalteten wellenlängendispersiven Einheit wird die Resonanzwellenlänge als Extremwert im Spektrum bestimmt.
Eine weitere Einrichtung zum Nachweis biochemischer Interaktionen ist aus der EP 0 257 955 bekannt. Auch hier wird polychromatisches Licht über eine Vielfachpris­ menstruktur in eine transparente Platte eingekoppelt und dort mit einem Einfallswinkel, welcher größer als der kritische Winkel ist, zur Totalreflexion gebracht. Die senkrecht schwingende Polarisationskomponente des evaneszenten Feldes regt in einer auf der Grenzfläche aufgebrachten dünnen Metallschicht kollektive Elektro­ nendichteschwingungen (Oberflächenplasmonen) an. Diese Resonanzerscheinung wird durch Veränderungen an der Grenzfläche, die durch die Beschaffenheit der Probe bedingt ist, beeinflußt und als Absorption der jeweiligen Resonanzwellenlänge in einer nachgeordneten dispersiven Einrichtung detektiert. Durch Veränderungen an der Grenzfläche, die durch die Beschaffenheit der Probe bedingt sind, ergibt sich somit eine Verschiebung des Reflexionsminimums, die ein Kriterium für die Beschaffenheit der untersuchten Probe ist.
In der WO 93/01487 ist eine Anordnung zum selektiven Nachweis von Substanzen in chemischen, biochemischen und biologischen Meßproben durch Bestimmung von Änderungen der effektiven Brechzahl eines geführten Modes mit Hilfe eines Gitterkopplers beschrieben. Der Gitterkoppler ist auf einer durchsichtigen Substratplatte in der Grenzfläche zu einem aufgebrachten planaren Wellenleiter angeordnet und übernimmt sowohl die Funktionen der Strahlenein- als auch der Strahlenauskopplung. Die Koppeleffizienz der gesamten Anordnung hängt ab von der Polarisation, dem Einfallswinkel, den Wellenleitereigenschaften, den Gittereigenschaften und von dem Brechungsindex oberhalb des Wellenleiters. Im Einkoppeloptimum wird ein Mode im Wellenleiter angeregt, und die Reflektivität des Gitterkopplers erreicht bei einem bestimmten Koppelwinkel ein Minimum, das mit einem positionsempfindlichen Detektor aufgenommen wird.
Aus der DE 42 00 088 sind ein Verfahren und eine Vorrichtung zum Nachweis phy­ sikalischer, chemischer, biochemischer und biologischer Vorgänge bekannt, wobei Licht geeigneter Wellenlänge oder eines geeigneten Spektralbereiches auf eine Probe eingestrahlt wird, an der der Vorgang an oder in mindestens einer dünnen Schicht aus mindestens teilweise optisch transparentem Material abläuft. Es werden dabei die durch den Vorgang hervorgerufenen Interferenzerscheinungen detektiert und gemessen, die als Änderung der optischen Schichtdicke interpretiert und dargestellt werden können. Dabei läßt sich die absolute optische Schichtdicke aus der spektralen Lage der Interferenzextrema und deren Abständen voneinander berechnen. Auch aus der Intensitätsänderung bei einer oder mehreren Wellenlängen läßt sich die optische Schichtdicke bestimmen. Eine Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens umfaßt eine Lichtquelle, die Weißlicht aussendet, eine Probeneinrichtung, an der der zu untersuchende Vorgang durchgeführt werden kann, einen Detektor, beispielsweise ein Array fotoelektrischer Empfänger, sowie eine Auswerteeinrichtung, z. B. ein Computer. Dabei weist die Probeneinrichtung eine Unterlage mit einer einen dünnen Polymerfilm (z. B. Polysiloxanfilm) umfassenden Trägerschicht auf, in der der nachzuweisende Vorgang stattfindet. Die Unterlage kann ein Glasplättchen, ein handelsübliches Interferenzfilter oder ein geeignetes Substrat sein.
Allen diesen Einrichtungen haftet gemeinsam der Nachteil an, daß mit ihnen nur Einzelmessungen ausgeführt werden können. Zur gleichzeitigen Messung einer Vielzahl von Proben würde der technische Aufwand sich wesentlich erhöhen. Es ist nur eine Erweiterung dieser Messungen auf wenige parallele Meßobjekte und Proben möglich. Ein Beispiel einer solchen Einrichtung ist in der WO 93/25 909 beschrieben und dargestellt, mit welcher vier Proben ausgemessen werden können.
Ein weiterer Nachteil besteht darin, daß bei Anordnungen mit winkelselektiver Lichteinstrahlung bzw. Strahleinkopplung ein Übergang zur simultanen Vermessung einer Vielzahl von Proben in aufwendiger Weise eine Vervielfachung der Koppelstruktur erforderlich ist, wie es auch in der WO 92/0542 veranschaulicht ist.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Einrichtung zum simultanen Nachweis physikalischer, chemischer, biologischer oder biochemischer Reaktionen und Wechselwirkungen an oder in der Oberfläche von Proben zu schaffen, mit welcher mit geringem technischen Aufwand und hoher Präzision von einer Vielzahl von Proben ein Spektrum der an mindestens einer Grenzfläche der Proben reflektierten Strahlungsin­ tensitäten ermittelbar ist, aus welchem Parameter zur Beschaffenheit der Proben bestimmbar und ein hoher Parallelisierungsgrad der Messungen erzielbar sind.
Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe bei einem Verfahren zum Nachweis physikali­ scher, chemischer und/oder biochemischer Reaktionen und Wechselwirkungen an Proben, die auf einer Substratplatte mit Trägerschicht einer Trägerplatte angeordnet sind und über Einkoppelelemente mit Licht bestrahlt werden, mit den Merkmalen des kennzeichnenden Teils des ersten Anspruches gelöst. In den weiteren Ansprüchen sind eine Einrichtung zur Durchführung des Verfahrens und nähere Ausgestaltungen und Einzelheiten der Erfindung dargelegt.
Gemäß dem Verfahren werden alle Proben gleichzeitig mit Licht einer Wellenlänge bestrahlt und das reflektierte Licht einem Empfängerarray, z. B. einer CCD-Matrix oder einer Videokamera, zugeführt, und die erzeugten elektrischen Signale werden in einer Auswerteeinrichtung, die mit dem Empfängerarray verbunden ist, zur Meßwertgewinnung weiterverarbeitet. Nachdem alle Proben mit der einen Wellenlänge ausgewertet sind, werden alle Proben mit Licht einer anderen Wellenlänge bestrahlt, und es werden wieder in der oben beschriebenen Weise Meßwerte von den Reaktionen, Wechselwirkungen und/oder von der Beschaffenheit der Proben gewonnen. Auf die beschriebene Weise wird das gesamte Spektrum des von der Lichtquelle bereitgestellten Lichtes zu den Messungen herangezogen. Um alle Wellenlängen eines verwendeten Wellenlängenbereiches nacheinander zur Verfügung zu haben, ist es vorteilhaft, eine durchstimmbare Lichtquelle oder einen scannenden Monochromator, der der polychromatischen Lichtquelle nachgeordnet ist, zur Probenbeleuchtung zu verwenden, beispielsweise ein Lyot-Filter.
Eine erfindungsgemäße Einrichtung zur Durchführung des Verfahrens umfaßt eine Lichtquelle, die Licht mindestens einer Wellenlänge aussendet, welches über erste optische Elemente und diesen nachgeordnete Einkoppelelemente zur Bestrahlung auf die zu untersuchenden Proben geleitet wird, wobei die Proben auf einer mit einer transparenten Trägerplatte verbundenen Substratplatte angeordnet sind.
Es sind zweite optische Elemente oder Mittel vorgesehen, die das von der Trägerplatte reflektierte und durch die Probe beeinflußte Licht auf eine nachgeordnete, aus fotoelektrischen Empfängern bestehende Detektoranordnung leiten, wobei die Detektoranordnung mit einer Auswerteeinrichtung verbunden ist. Bei dieser Einrichtung ist auf einer strukturierten Substratplatte der Trägerplatte oder direkt auf der Trägerplatte selbst eine große Anzahl von zu untersuchenden Proben angeordnet. Dabei ist es wesentlich, daß zumindestens die der Substratplatte oder der Trägerplatte zugewandte Begrenzungsfläche der Proben mindestens teilweise reflektierend oder teilreflektierend ist. Die Positionen der zu untersuchenden Proben auf der Substratplatte oder der Trägerplatte sind matrixförmig angeordnet, in der Weise, daß eine Bestrahlung aller Proben gleichzeitig und wellenlängenselektiv realisiert wird. Die Detektoranordnung besteht aus matrixartig angeordneten fotoelektrischen Empfängern, z. B. CCD-Elementen, oder sie ist eine Videokamera. Wesentlich ist, daß die Detektoranordnung eine ortsaufgelöste Detektion der von jeder Probe reflektierten, und durch diese beeinflußten Strahlungsintensität ermöglicht.
Die erfindungsgemäße Einrichtung erlaubt die Auswahl von mehr als einer Beob­ achtungswellenlänge und die Zuordnung der Reflektivitäten der einzelnen Proben zu Positionen der Proben auf der Substratplatte. Aus den Änderungen im spektralen Reflexionsvermögen können auch unter Hinzuziehung von in einem Referenzstrah­ lengang erzeugter Referenzsignale in sehr vorteilhafter Weise biochemische, physi­ kalische und/oder chemische Prozesse in der Probe detektiert und quantifiziert werden. Insbesondere sind dieses Bindungsreaktionen, die eine Anlagerung von Molekülen aus der Probe an eine auf der Substratplatte angeordnete Sensorschicht bewirken, was zu einer lokalisierten Zunahme der Schichtdicke oder des Brechungsindexes führt.
Es ist vorteilhaft, wenn die in Lichtrichtung hintereinanderliegenden Begrenzungs­ flächen der Proben mindestens teilreflektierend sind. Dadurch wird es möglich, Interferenzen, die sich aus der Schichtdicke der untersuchten Probe ergeben, auszuwerten. Diese Interferenzen entstehen aus den an den Begrenzungsflächen reflektierten Strahlenanteilen und werden auf die Detektoranordnung abgebildet und durch eine nachgeordnete Auswerteeinrichtung zur Ermittlung von Probenparametern weiterverarbeitet.
Eine weitere vorteilhafte Anordnung ergibt sich, wenn die in Lichtrichtung hinter­ einanderliegenden optisch wirksamen Begrenzungsflächen der Trägerplatte parallel verlaufen oder einen kleinen Winkel einschließen und durchlässig verspiegelt sind.
Insbesondere bei der Variante mit der keilförmigen Trägerplatte ist es in einfacher Weise möglich, einen Referenzstrahlengang zu erzeugen, der einer separaten Detektoranordnung oder alternierend zu einem Meßstrahlengang ein und derselben Detektoranordnung zugeführt wird. Bei dieser Ausführung der keilförmigen Trägerplatte wird aus den an der in Lichtrichtung ersten (vorderen) Begrenzungsfläche reflektierten Strahlen ein Referenzstrahlengang und aus den an den Begrenzungsflächen reflektierten und durch die Proben beeinflußten Strahlen gebildeten Interferenzen oder Reflexionen ein Meßstrahlengang erzeugt, welche dann einer gemeinsamen oder zwei gesonderten Detektoranordnungen zugeleitet werden. Der Trägerplatte kann auch ein teleskopisches Abbildungssystem zur Abbildung des Meß- und Referenzstrahlenganges auf eine Blendenanordnung bzw. direkt auf die Detektoranordnung nachgeordnet sein, wobei die Blendenanordnung der Detektoranordnung vorgeschaltet ist. Bei Abbildung beider Strahlengänge auf eine Detektoranordnung ist die Blendenanordnung umschaltbar zu gestalten, um alternierend Meß- und Referenzstrahlengang auf die Detektoranordnung zeitlich versetzt zu erhalten.
Der Referenzstrahl erlaubt die Berücksichtigung der Intersitätsverteilung innerhalb des Strahlenbündels, so daß bei regelmäßiger Messung und Berücksichtigung dieser Verteilung sich eine verbesserte Stabilität des Signals oder der Signale erzielen läßt, da Driften der Lichtquelle und des folgenden Beleuchtungssystems ausreferenziert werden können.
Es ist ferner vorteilhaft, wenn die Proben durch die Trägerplatte hindurch senkrecht oder schräg bestrahlt werden. In besondere bei schräger Einstrahlung werden störende Reflexe an der Substratplatte oder an der Trägerplatte wirksam minimiert.
Es ist auch möglich, die Substratplatte mit der darauf befindlichen Probe auf der Hypotenusenfläche eines rechtwinkligen Prismas anzuordnen, wobei durch die eine Kathetenfläche des Prismas das beleuchtende Lichtbündel einkoppelbar und durch die andere Kathetenfläche der Meß- und Referenzstrahlengang auskoppelbar sind. Auch kann ein gleichschenkliges Prisma zum Einsatz kommen. Mit dieser Ausführung können mit Einfallswinkeln, die größer als der Grenzwinkel der inneren Totalreflexion sind, evaneszente Felder erzeugt werden. Damit ist die Einrichtung auf Biosensoren mit Oberflächenplasmonresonanz oder mit Resonanzreflektoren anwendbar.
Es ist weiterhin vorteilhaft, wenn in dem Raum zwischen der Trägerplatte und der Substratplatte eine Substanz mit einem geeigneten Brechungsindex zur Anpassung der Brechungsindices der optisch verbundenen Teile eingefügt ist. Damit können vor allem störende Reflexe beseitigt oder wesentlich minimiert und auch Lichtverluste vermieden werden.
Die Erfindung soll nachstehend an einem Ausführungsbeispiel näher erläutert werden.
In der zugehörigen Zeichnung zeigen
Fig. 1 ein Blockschaltbild einer erfindungsgemäßen Einrichtung,
Fig. 2 eine Einrichtung ohne Referenzstrahlengang mit senkrechter Probenbestrahlung,
Fig. 3 eine Einrichtung mit senkrechter Probenbestrahlung und Referenzstrahlengang,
Fig. 4 eine Einrichtung mit schräger Probenbestrahlung und Referenzstrahlengang,
Fig. 5 eine Einrichtung mit keilförmiger Trägerplatte ohne Referenzstrahlengang,
Fig. 6 eine Einrichtung mit keilförmiger Trägerplatte mit Referenzstrahlengang,
Fig. 7 eine Einrichtung mit Prismenkoppler und Keilplatte,
Fig. 8 den beispielsweisen Aufbau einer Trägerplatte und die Anordnung der Substratplatte und
Fig. 9 eine teleskopische Abbildungsoptik der Einrichtung mit Blendenumstellung.
Das Verfahren zum Nachweis physikalischer, chemischer, biologischer und/oder bio­ chemischer Reaktionen und Wechselwirkungen an und/oder in Proben, die auf einer Substratplatte mit einer Trägerschicht einer Trägerplatte angeordnet sind und über Einkoppelelemente mit Licht einer polychromatischen Lichtquelle bestrahlt werden, umfaßt eine zeitlich aufgelöste Bestrahlung oder Beleuchtung einer flächenhaften Anordnung einer Vielzahl von zu untersuchenden Proben mit Licht unterschiedlicher Wellenlänge einer durchstimmbaren Lichtquelle oder eines scannenden Monochromators, der dann einer polychromatischen Lichtquelle nachgeordnet ist. In einem weiteren Verfahrensschritt erfolgt die Abbildung des an mindestens einer Grenzfläche einer jeden Probe reflektierten Strahlenanteils oder der an in Lichtrichtung hintereinanderliegenden Begrenzungsflächen einer jeden Probe reflektierten bzw. interferierenden Strahlenanteile bzw. Interferenzen durch nachgeordnete optische Elemente auf ein ortsauflösendes, flächenhaftes Detektorarray oder eine Videokamera. Es erfolgt in einem folgenden Schritt eine wellenlängenselektive Detektion der durch die Proben beeinflußten reflektierten Strahlungsintensitäten bzw. der Intensitäten der abgebildeten Interferenzen, die Ermittlung eines einer jeden Probe zugeordneten Wellenlängenspektrums sowie die Ableitung von Parametern, die die zu unter­ suchenden Wechselwirkungen und Reaktionen kennzeichnen.
In den folgenden Fig. 1 bis 9 sollen gleiche Bezugszeichen gleiche oder gleich­ wirkende Elemente bezeichnen.
Gemäß dem in Fig. 1 dargestellten Blockschaltbild umfaßt die erfindungsgemäße Einrichtung eine polychromatische Lichtquelle 1, welche Licht mindestens einer Wellenlänge aussendet. Über einen nachgeordneten Kollimator 2 und einen Mono­ chromator 3, welcher monochromatisches Licht bestimmter Wellenlängen erzeugt, und über einen Polarisator 4 wird Licht definierter Polarisation direkt oder über einen Strahlenteiler 5 in einem Meßstrahlengang 6 auf die Probe 11 geleitet. Wird eine durchstimmbare Lichtquelle 1 verwendet, z. B. ein durchstimmbarer Laser, kann auf den Monochromator verzichtet werden, da dann die zu verwendende Wellenlänge an der Lichtquelle eingestellt wird. Durch den Strahlenteiler 5 wird weiterhin ein Referenzstrahlengang 7 erzeugt. Das an der Oberfläche der Probe 11 reflektierte und durch die Probe beeinflußte Licht und der Referenzstrahlengang werden durch eine nachgeordnete Abbildungsoptik 10 auf mindestens eine fotoelektrische Detektoranordnung 8 abgebildet, welche mit einer Auswerteeinrichtung 9 verbunden ist. Auf den Strahlenteiler 5 kann auch verzichtet werden, wenn nur das von der Probe 11 beeinflußte Licht ausgewertet werden soll.
Die Auswerteeinrichtung 9 oder ein Rechnersystem zur Steuerung, Datenerfassung und Auswertung erlaubt die Auswahl von mehr als einer Beobachtungswellenlänge und die Zuordnung von Reflektivitäten zu Positionen auf der die Proben 11 tragenden Substratplatte. Aus den Änderungen im spektralen Reflexionsvermögen der Proben, gegebenenfalls auch unter Einbeziehung von im Referenzstrahlengang erzeugter Referenzsignale, werden die oben genannten Reaktionen und Wechselwirkungen an den Proben detektiert und quantifiziert.
Die in Fig. 2 in einem Optikschema dargestellte Einrichtung besitzt die Lichtquelle
1, deren ausgestrahltes Licht durch einen Kollimator 2 parallelisiert wird. Ein dem Kollimator 2 nachgeschalteter Monochromator 3 erzeugt monochromatisches Licht, welches über einen einen gewünschten Polarisationszustand herstellenden Polarisator 4 und einen Strahlenteiler 5 mit einer strahlenteilenden, teildurchlässigen Schicht 5.1 senkrecht auf die zu untersuchende Probe 11 gelenkt wird. Die Probe 11 ist auf einer Substratplatte 12 aufgebracht, welche sich auf einer transparenten Trägerplatte 20 befindet. So kann z. B. die Probe 11 an ein an sich bekanntes Schichtsystem gebunden werden, welches sein spektrales Reflexionsverhalten in Abhängigkeit von der Schichtdicke oder dem lokalen Brechungsindex ändert. Für Anwendungen in Bereich biomolekularer Interaktion wird eine als Sensor dienende Sensorschicht mit einer flüssigen, typischerweise wäßrigen Probe beaufschlagt. Aus der Probe heraus können sich beispielsweise biologische und auch andere Komponenten selektiv oder auch unselektiv an diese Sensorschicht binden. Die einzelnen Proben 11 können auf der Substratplatte 12 in einer Vielzahl matrixartig aufgebracht sein. Weiterhin können auf einer solchen Sensorschicht mit Probe durch ortsaufgelöste Belegung mit verschiedenen, z. B. biologisch relevanten Molekülen Spezifitäten erzeugt werden. Hier kann auch bei Beschickung der gesamten Sensorschicht mit einer einheitlichen Probe eine Information über verschiedene Bindungsvorgänge erhalten werden. Weiterhin erlaubt ein Vergleich vorbehandelter und nicht vorbehandelter Areale auf der Oberfläche der die Probe beinhaltenden Schicht auf der Substratplatte 12 die Diskriminierung von spezifischen und unspezifischen Bindungseffekten. Solche an sich bekannte Schichtsysteme, die je nach Belegung mit zu untersuchenden Proben eine Änderung ihres spektralen Reflexionsvermögens zeigen, sind Gitterkoppler, dünne Edelmetallschichten, Prismenkoppler/Schichtwellenleiter oder Fabry-Perot-Kavitäten. So ergibt sich für die genannten Schichtsysteme ein Extrem um der Reflektivität, dessen charakteristische Wellenlänge von den aktuellen Bedingungen an der Sensorschicht abhängt.
Das von der probentragenden Oberfläche der Substratplatte reflektierte und durch die Probe 11 beeinflußte Strahlenbündel durchläuft die Trägerplatte und wird durch die strahlenteilende Schicht 5.1 umgelenkt und durch eine Abbildungsoptik 10 auf eine Detektoranordnung 8, die mit der Auswerteeinrichtung 9 verbunden ist, abgebildet. Die Detektoranordnung 8 umfaßt eine Vielzahl diskreter fotoelektrische Empfänger, vorzugsweise CCD-Elemente, die matrixartig angeordnet sind und so eine ortsauflösende flächenhafte Detektoranordnung ergeben. Durch die Abbildung ist eine Zuordnung von Positionen von Proben auf der Substratplatte 12 zu den einzelnen Empfängern der Detektoranordnung 8 möglich. Gegebenenfalls können im Strahlengang auch Blendensysteme (nicht dargestellt) vorgesehen werden, um Störlicht, welches nicht direkt von der Substratplatte 12 und damit von der Probe 11 kommt, auszublenden.
Bei der in Fig. 3 schematisch dargestellten Einrichtung wird ebenfalls die Probe 11 senkrecht bestrahlt. Das von der Lichtquelle 1 ausgehende, einen Kollimator 2, einen Monochromator 3 und Polarisatoren 4 und 4.1 passierende Lichtbündel wird durch einen Strahlenteiler 14 in einen Meßstrahlengang 15 und eine Referenzstrahlengang 16 aufgesplittet. Das den Referenzstrahlengang 16 bildende Teilbündel wird- von der Probe 11 unbeeinflußt, z. B. über einen Polarisator 17, durch ein Abbildungssystem 18 auf eine Detektoranordnung oder eine CCD-Kamera 19 abgebildet. Durch ein Blende 20 kann Störlicht ausgeschaltet werden. Das an der die Probe 11 reflektierte und durch die Probe 11 beeinflußte, den Meßstrahlengang 15 bildende Teilbündel wird an der reflektierenden Schicht 14.1 des Strahlenteilers 14 umgelenkt und durch ein Abbildungssystem 21 auf eine weitere, als Detektoranordnung dienende CCD-Kamera 22 abgebildet, wobei im Meßstrahlengang 15 ebenfalls ein Polarisator 23 und eine Blende 24 vorgesehen sind. Die beiden CCD-Kameras 19 und 22 sind ebenfalls mit einer Auswerteeinrichtung (nicht dargestellt) verbunden.
Durch die Verwendung eines Referenzstrahlenganges 16 zur Erzeugung von Refe­ renzsignalen kann z. B. der Intensitätsverteilung in Strahlenbündel Rechnung getragen werden. Bei regelmäßiger Messung und Beachtung dieser Verteilung kann eine Signalstabilisierung erreicht werden, da Driften der Lichtquelle 1 und des weiteren Beleuchtungsstrahlenganges ausreferenziert werden können. Diese Referenzierung erfolgt beispielsweise durch Normalisierung der für die Fläche der Probe 11 gefundenen Intensitäten auf die korrespondierenden Werte für den Referenzstrahlengang 16.
Eine Einrichtung, mit welcher die Probe 11 in einem schrägen Strahlengang beleuchtet wird und welche einen Referenzstrahlengang 15 umfaßt, ist in Fig. 4 dargestellt. Das von der Lichtquelle 1 ausgesandte Licht wird auch hier analog zu der Einrichtung nach Fig. 3 durch einen Strahlenteiler 14.4 in einen Meßstrahlengang 16.4 und einen Referenzstrahlengang 15.4 aufgeteilt, wobei das Strahlenbündel des Referenzstrahlenganges 15.4 auf eine CCD-Kamera 19 oder Detektoranordnung abgebildet wird. Im Meßstrahlengang 16.4 ist ein Einkoppelprisma 25 vorgesehen, auf dessen Hypotenusenfläche 25.1 die Trägerplatte 13 mit Substratplatte 12 und darauf befindlicher Probe 11 angeordnet ist, wobei durch die eine Kathetenfläche 25.2 das beleuchtende Lichtbündel eintritt und durch die andere Kathetenfläche 25.3 das von der Probe 11 beeinflußte Lichtbündel austritt. Durch die Verwendung des Einkoppelprismas 25 werden Einfallswinkel größer als der Grenzwinkel der Totalreflexion einstellbar, um ein evaneszentes Feld in der Probe und der darunter liegenden Resonanzstruktur 13.1 (z. B. Wellenleiter, dünner Metallfilm) zu erzeugen. Vorteilhaft ist es, eine Substanz zur Brechzahlanpassung zwischen dem Einkoppelprisma 25 und der Trägerplatte 13 und zwischen der Trägerplatte 13 und der Substratplatte 12 vorzusehen. Alternativ ist auch eine Vergütung aller Oberflächen mit einer reflexmindernden zur Vermeidung störender Reflexe möglich. Anstelle eines 90°- Prismas, wie es in Fig. 4 dargestellt ist, kann auch ein Prisma mit einem von 90° abweichenden Winkel oder ein gleichschenkliges Prisma im Strahlengang vorgesehen werden.
Eine Einrichtung mit keilförmiger Trägerplatte 26 anstelle eines Einkoppelprismas mit aufgesetzter planparalleler Trägerplatte (13 in Fig. 4) ist in Fig. 5 veranschaulicht. Bei dieser Einrichtung ist ein Referenzstrahlengang nicht vorgesehen, und die Beleuchtung der Probe 11 erfolgt über die gleichen strahlenführenden und -formenden optischen Elemente wie sie im Zusammenhang mit der Beschreibung der Fig. 4 genannt wurden. Der Lichtquelle 1 sind somit ein Kollimator 2 und ein Monochromator 3, beispielsweise ein an sich bekanntes Lyot-Filter, nachgeordnet. Die dargestellten Polarisatoren 4 und 4.1 dienen der Auswahl der Polarisationsrichtungen des beleuchtenden Strahlenganges. Die Proben 11 sind z. B. wiederum auf einer Substratplatte 12 aufgebracht, wobei die Substratplatte 12 auf der keilförmigen Trägerplatte 26, vorzugsweise unter Zwischenschaltung einer Substanz zur Brechungsindexanpassung, angeordnet ist. Diese Substanz ist in Fig. 5 nicht dargestellt. Die Proben 11 werden schräg beleuchtet. Das von der die Proben 11 tragenden Oberfläche der Substratplatte 12 reflektierte und durch die Proben beeinflußte Lichtbündel wird , wie es weiter oben bereits beschrieben wurde, auf die CCD-Kamera 22 oder eine andere geeignete flächenhafte Detektoranordnung abgebildet, welche mit einer Auswerteeinrichtung 9 in Verbindung steht.
In Gegensatz zu der Einrichtung nach Fig. 5 ist bei der in Fig. 6 dargestellten erfin­ dungsgemäßen Einrichtung eine keilförmige Trägerplatte 27 vorgesehen, deren, der Lichtquelle 1 zugewandte Oberfläche 27.1 es ermöglicht, einen Meßstrahlengang 28 und einen Referenzstrahlengang 29 zu erzeugen, wobei sie über den vorgesehenen Spektralbereich (beispielsweise 400-800 µm) so verspiegelt ist, daß die Intensität der Referenzstrahlung annähernd gleich der der Meßstrahlung ist. Der Keilwinkel der Trägerplatte 27 ist in der Größenordnung kleiner als 2°. Das von der Lichtquelle 1 ausgesendete Licht wird durch zwischengeschaltete optische Elemente schräg auf die Trägerplatte 27 eingestrahlt. Das an der Oberfläche 27.1 reflektierte Lichtbündel bildet den Referenzstrahlengang 29 und wird über den Polarisator 23 durch das Abbildungssystem 21 auf die CCD-Kamera 24 abgebildet. Das die keilförmige Trägerplatte 27 und die darauf befindliche Substratplatte 12 passierende, den Meßstrahlengang 28 bildende Lichtbündel wird an der die Proben 11 tragenden Oberfläche der Substratplatte 12, durch die Proben beeinflußt, reflektiert und wird durch die gleichen Elemente wie der Referenzstrahlengang 29 auf die CCD-Kamera 24 abgebildet. Durch die Verwendung der keilförmigen Trägerplatte 27 und durch die Reflexion des Lichtes an in Lichtrichtung in unterschiedlichen Ebenen liegenden Flächen wird ein Winkel zwischen dem Meß- und dem Referenzstrahlengang erzeugt mit dem Ergebnis, diese Strahlengänge zu trennen und damit die an unterschiedlichen Positionen auf der CCD-Kamera 24 oder der Detektoranordnung auftreffenden Strahlenanteile mittels eines vorgeschalteten Blendensystems 30 alternierend zu trennen. Beispielsweise können durch eine Verschiebung des Blendensystems 30 alternierend Meß- und Referenzstrahlengang ausgewertet werden.
Die in Fig. 6 dargestellte Einrichtung ermöglicht auch, von der Schichtdicke der Proben 11 abhängende Interferenzen aufzunehmen und entsprechend auszuwerten. Diese Interferenzen entstehen durch Reflexion des Lichtes an der die Proben 11 tragenden Oberfläche der Substratplatte 12 und an der freien Oberfläche der Proben 11. Aus den bei unterschiedlichen Wellenlängen erzeugten Interferenzen kann die Schichtdicke ermittelt werden, welche ein Maß für die zu untersuchenden Reaktionen und Wechselwirkungen darstellt.
In Fig. 7 ist eine Einrichtung mit keilförmiger Trägerplatte 31 mit einer Resonanzstruktur 31.1 dargestellt, wobei diese Trägerplatte 31 auf der Hypotenusenfläche 32.1 eines Koppelprismas 32, vorteilhaft unter Zwischenschaltung einer die Brechzahlen der verbundenen Teile anpassenden Substanz, angeordnet ist. Durch die Wirkung der keilförmigen Trägerplatte 31 wird auch hier ein Winkel zwischen dem Meßstrahlengang 28 und dem Referenzstrahlengang 29 erzeugt, so daß eine Trennung dieser Strahlengänge an unterschiedlichen Positionen auf der Detektoranordnung oder CCD-Kamera 24 ermöglicht wird. Durch eine zwischengeschaltete und vorteilhaft verschiebbare Blende 30 können die beiden Strahlengänge abwechselnd zur Abbildung gebracht werden. Diese Einrichtung ist besonders geeignet, um eine Vielzahl gleichzeitiger Messungen zum Nachweis von Reaktionen und Wechselwirkungen oben dargelegter Art unter Ausnutzung der Oberflächenplasmonresonanz durchzuführen, wobei das Koppelprisma 32 der verlustarmen Ein- und Auskopplung der Strahlengänge dient. Die dargestellten Polarisatoren 4 und 4.1 sind zur Auswahl der Polarisationsrichtungen der beleuchtenden Strahlengänge vorgesehen. Üblicherweise wird die senkrecht zur Einfallsebene der Strahlen liegende Polarisationsebene verwendet. Anordnungen sind auch denkbar, bei denen im Einkoppelstrahlengang eine unter 45 Grad liegende Polarisationsebene gewählt wird. Im Auskoppelstrahlengang wird dann der Polarisator 23 um 90 Grad in Bezug auf den Polarisator 4 gedreht.
In Fig. 8 ist eine keilförmige Trägerplatte 33 gezeigt, auf welcher unter Zwischen­ schaltung einer der Brechungsindexanpassung dienenden Substanz 34 die Substratplatte 35 angeordnet ist. Die Substratplatte 35 trägt vorteilhaft ebenfalls unter Zwischenschaltung einer weiteren Substanz 36 eine beispielsweise biospezifische oder chemospezifische Schicht 37, auf oder in welcher die zu untersuchenden Probe sich befindet. Die der Lichtquelle zugewandte Fläche 33.1 ist teildurchlässig verspiegelt. Das an ihr reflektierte, durch die Probe unbeeinflußte Licht bildet den Referenzstrahlengang 29, das an der Oberfläche 37.1 reflektierte und durch die Probe beeinflußte Licht bildet den Meßstrahlengang 28. Die Probe kann die Schicht oder die Eigenschaften derselben u. a. in der Weise beeinflussen, daß die Reflektivität der Oberfläche 37.1 oder die Schichtdicke verändert werden und ein Maß für zu untersuchende Reaktion oder Wechselwirkung sind.
Die Anordnung nach Fig. 8 zeigt den Strahlenverlauf, wie er bei der Bestimmung der Reflektivität der Schicht 37 realisiert ist. Bewirkt z. B. die Probe eine Dickenveränderung der Schicht 37, so werden die an den beiden Oberflächen 37.1 und 37.2 reflektierten Strahlenbündel 28 und 28.1 zur Interferenz gebracht, diese Interferenzen auf die Empfängeranordnung abgebildet und die erzeugten Signale weiterverarbeitet.
Fig. 9 zeigt den Strahlengang einer teleskopischen Abbildungsoptik 38 mit der Möglichkeit einer Blendenumstellung. Dabei ist in einer Fokusebene, in der Meß- und Referenzstrahlengang abgebildet werden, eine verstellbare Blende 39 vorgesehen, welche vorzugsweise durch einen Antrieb 40 schaltbar in der Weise ist, daß alternativ Meß- und Referenzstrahlengang auf die Detektoranordnung 8 abbildbar sind. Durch ein Ablenkprisma 41 im Referenzstrahlengang 29 wird erreicht, daß der Meßstrahlengang 28 und der Referenzstrahlengang 29 an gleichem Ort auf der Detektoranordnung 8 abgebildet wird. Dieses Ablenkprisma 41 kompensiert die durch die in Fig. 9 nicht dargestellte keilförmige Trägerplatte erzeugte Ablenkung (Divergenz) der beiden Strahlengänge 28 und 29 auf der Detektorebene, womit auch unterschiedliche Empfindlichkeiten der pixelförmigen Empfänger ausreferenziert werden können.

Claims (14)

1. Verfahren zum Nachweis physikalischer, chemischer und/oder biochemischer Reaktionen und Wechselwirkungen an und/oder in Proben, die auf einer Substratplatte mit Trägerschicht einer Trägerplatte angeordnet sind und über Einkoppelelemente mit Licht bestrahlt werden,
gekennzeichnet durch folgende Verfahrensschritte
  • - zeitlich aufgelöste Beleuchtung einer flächenhaften Anordnung von zu untersu­ chenden Proben mit Licht unterschiedlicher Wellenlänge einer durchstimmbaren Lichtquelle oder eines scannenden Monochromators, der einer polychromatischen Lichtquelle nachgeordnet ist,
  • - Abbildung des an mindestens einer Grenzfläche einer jeden Probe reflektierten Strahlenanteils oder der an in Lichtrichtung hintereinanderliegenden Begrenzungs­ flächen einer jeden Probe reflektierten und interferierenden Strahlenanteile bzw. Interferenzen durch optische Elemente auf ein ortsauflösendes, flächenhaftes Detektorarray oder eine Videokamera,
  • - und wellenlängenselektive Detektion der durch die Proben beeinflußten reflektierten Strahlungsintensitäten bzw. der Intensitäten der abgebildeten Interferenzen, Ermittlung eines einer jeden Probe zugeordneten Wellenlängenspektrums und Ableitung von Parametern, die die zu untersuchenden Wechselwirkungen und Reaktionen kennzeichnen.
2. Einrichtung zum Nachweis physikalischer, chemischer und/oder biochemischer Reaktionen und Wechselwirkungen an und/oder in Proben, umfassend
  • - eine Licht mindestens einer Wellenlänge aussendende Lichtquelle und dieser nachgeordnete, das Licht kollimierende optische Elemente und diesen nachgeordnete Einkoppelelemente,
  • - eine transparente Trägerplatte zur Aufnahme einer Substratplatte für die zu un­ tersuchenden Proben,
  • - erste optische Mittel, die das Licht der Lichtquelle auf die Trägerplatte lenken,
  • - und zweite optische Mittel, die das von der Trägerplatte reflektierte und durch die Probe beeinflußte Licht auf eine nachgeordnete, aus fotoelektrischen Empfängern bestehende Detektoranordnung leiten, wobei die Detektoranordnung mit einer Auswerteeinrichtung verbunden ist,
gekennzeichnet durch die Kombination folgender Merkmale:
  • - daß auf einer unstrukturierten Substratplatte oder auf der Trägerplatte selbst eine Vielzahl der zu untersuchenden Proben angeordnet ist, wobei zumindestens die der Substratplatte bzw. Trägerplatte zugewandte Begrenzungsfläche der Proben mindestens teilreflektierend oder teilweise reflektierend ist,
  • - daß die Positionen der zu untersuchenden Proben auf der Substratplatte oder Trägerplatte matrixförmig angeordnet sind, derart, daß eine Bestrahlung aller Proben gleichzeitig und wellenlängenselektiv realisierbar ist
  • - und daß eine aus matrixartig angeordneten Empfängern bestehende Detektoran­ ordnung oder eine Videokamera zur ortsaufgelösten Detektion der von jeder Probe reflektierten, über einen bestimmten Spektralbereich beeinflußten und von der Resonanzlage bzw. Schichtdicke abhängenden Strahlungsintensität vorgesehen ist.
3. Einrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die in Lichtrichtung hintereinanderliegenden Begrenzungsflächen der Proben mindestens teilreflektierend sind und die, aus diesen an den Begrenzungsflächen reflektierten Strahlen erzeugten Interferenzen auf die Detektoranordnung abbildbar sind.
4. Einrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die in Lichtrichtung hintereinanderliegenden optisch wirksamen Flächen der Trägerplatte parallel verlaufen oder einen kleinen Winkel einschließen und durchlässig verspiegelt sind.
5. Einrichtung nach mindestens einem der Ansprüche 2 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Bestrahlung der Proben durch die Trägerplatte hindurch erfolgt.
6. Einrichtung nach Anspruch 2 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß eine senkrechte oder schräge Bestrahlung der Proben vorgesehen ist.
7. Einrichtung nach mindestens einem der Ansprüche 2 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß die durchlässig verspiegelten Oberflächen der Probenaufnahme einen kleinen Winkel einschließen und damit eine Aufspaltung der an der Trägerplatte reflektierten und zur Interferenz gebrachten Strahlung in einen Meß- und einen Referenz­ strahlengang realisiert ist, wobei dem Meß- und dem Referenzstrahlengang mindestens eine flächenhafte Detektoranordnung zugeordnet ist.
8. Einrichtung nach mindestens einem der Ansprüche 2 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß dem Meß- und dem Referenzstrahlengang jeweils eine Detektoranordnung zugeordnet ist.
9. Einrichtung nach mindesten einem der Ansprüche, 2 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß ein durch Reflexion des eingestrahlten Lichtes an den Oberflächen der Trägerplatte erzeugter Referenzstrahlengang und ein durch Reflexion und Interferenz des eingestrahlten Lichtes an einer Oberfläche der Probeneinrichtung und an der Probenoberfläche erzeugter und durch die Schichtdicke der Probe beeinflußter Meßstrahlengang vorgesehen sind und daß der Trägerplatte ein teleskopisches Abbildungssystem zur Abbildung des Meß- und Referenzstrahlenganges auf eine Blendenanordnung bzw. auf die Detek­ toranordnung vorgesehen ist, wobei die Blendenanordnung der Detektoranordnung vorgeordnet ist.
10. Einrichtung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß die Blendenanordnung umschaltbar ist, derart, daß jeweils der Meß- oder der Referenzstrahlengang auf die Detektoranordnung abbildbar ist.
11. Einrichtung nach mindestens einem der Ansprüche 2 bis 10, dadurch gekenn­ zeichnet, daß die Substratplatte mit der darauf befindlichen Probe über einer resonanzfähigen Struktur eines Wellenleiters oder eines Oberflächenplasmonresonators auf der Hypotenusenfläche eines rechtwinkligen Prismas oder gleichschenkligen Prismas angeordnet ist, wobei durch die eine Kathetenfläche des Prismas das beleuchtende Lichtbündel einkoppelbar und durch die andere Kathetenfläche der Meß- und/oder Referenzstrahlengang auskoppelbar sind.
12. Einrichtung nach mindestens einem der Ansprüche 2 bis 11, dadurch gekenn­ zeichnet, daß in dem Raum zwischen der Trägerplatte und der Substratplatte zur Vermeidung störender Reflexe und zur Brechzahlanpassung eine Substanz mit einem geeigneten Brechungsindex eingelagert ist.
13. Einrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß Schichtsysteme in Form von Gitterkopplern, dünnen Edelmetallschichten, Prismenkopplern mit Schichtwellenleiter oder Fabry-Perot-Kavitäten zur Aufnahme der zu untersuchenden Proben und Wechselwirkungen vorgesehen sind.
DE19615366A 1996-04-19 1996-04-19 Verfahren und Einrichtung zum Nachweis physikalischer, chemischer, biologischer oder biochemischer Reaktionen und Wechselwirkungen Expired - Fee Related DE19615366B4 (de)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19615366A DE19615366B4 (de) 1996-04-19 1996-04-19 Verfahren und Einrichtung zum Nachweis physikalischer, chemischer, biologischer oder biochemischer Reaktionen und Wechselwirkungen
EP97920655A EP0834066B1 (de) 1996-04-19 1997-04-11 Verfahren und einrichtung zum nachweis physikalischer, chemischer, biologischer oder biochemischer reaktionen und wechselwirkungen
US08/973,653 US5999262A (en) 1996-04-19 1997-04-11 Process and apparatus for detecting structural changes of specimens
PCT/EP1997/001809 WO1997040366A1 (de) 1996-04-19 1997-04-11 Verfahren und einrichtung zum nachweis physikalischer, chemischer, biologischer oder biochemischer reaktionen und wechselwirkungen

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19615366A DE19615366B4 (de) 1996-04-19 1996-04-19 Verfahren und Einrichtung zum Nachweis physikalischer, chemischer, biologischer oder biochemischer Reaktionen und Wechselwirkungen

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE19615366A1 true DE19615366A1 (de) 1997-10-23
DE19615366B4 DE19615366B4 (de) 2006-02-09

Family

ID=7791666

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE19615366A Expired - Fee Related DE19615366B4 (de) 1996-04-19 1996-04-19 Verfahren und Einrichtung zum Nachweis physikalischer, chemischer, biologischer oder biochemischer Reaktionen und Wechselwirkungen

Country Status (4)

Country Link
US (1) US5999262A (de)
EP (1) EP0834066B1 (de)
DE (1) DE19615366B4 (de)
WO (1) WO1997040366A1 (de)

Cited By (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19828547A1 (de) * 1998-06-26 2000-01-05 Zeiss Carl Jena Gmbh Anordnung zum Nachweis biomolekularer Reaktionen und Wechselwirkungen
WO2000022419A1 (de) * 1998-04-02 2000-04-20 Institut für Physikalische Hochtechnologie e.V. Anordnung für die oberflächenplasmonen-resonanz-spektroskopie
WO2000031515A1 (de) * 1998-11-20 2000-06-02 Graffinity Pharmaceutical Design Gmbh Messanordnung zum parallelen auslesen von spr-sensoren
DE19937797C1 (de) * 1999-08-10 2001-03-22 Zeiss Carl Jena Gmbh Anordnung zum Nachweis biomolekularer Reaktionen und Wechselwirkungen
DE10008006A1 (de) * 2000-02-22 2001-09-13 Graffinity Pharm Design Gmbh SPR-Sensor und SPR-Sensoranordnung
DE10120959A1 (de) * 2001-04-27 2002-10-31 Zeiss Carl Jena Gmbh Probenträgerplatte, insbesondere für Anlagerungs-Screening-Verfahren
DE10163657A1 (de) * 2001-12-21 2003-07-10 Erk Gedig Vorrichtung und Verfahren zur Untersuchung dünner Schichten
DE10324934A1 (de) * 2003-06-03 2004-12-23 Carl Zeiss Jena Gmbh Anordnung und ein Verfahren zur Erkennung von Schichten, die auf Oberflächen von Bauteilen angeordnet sind, und Bestimmung deren Eigenschaften
DE10325735B4 (de) * 2003-06-06 2006-06-29 Robert Bosch Gmbh Vorrichtung und Verfahren zur Analyse einer Materialbibliothek
DE19806681B4 (de) * 1998-02-18 2006-07-27 Carl Zeiss Jena Gmbh Mikrotiterplatte
US7627201B2 (en) 2000-08-09 2009-12-01 Artificial Sensing Instruments Asi Ag Waveguide grating structure and optical measurement arrangement
EP3299799A1 (de) * 2016-09-27 2018-03-28 Berthold Technologies GmbH & Co. KG Verfahren und messsystem zur messung molekularer interaktionen an einer dünnen schicht
DE102017116055A1 (de) * 2017-07-17 2019-01-17 Leibniz - Institut Für Analytische Wissenschaften - Isas - E.V. Verfahren zur optischen Erfassung einzelner Nanoobjekte

Families Citing this family (51)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
IL131903A0 (en) * 1999-09-15 2001-03-19 Technion Res & Dev Foundation Plasmon resonance phase imaging
FR2801383B1 (fr) * 1999-11-19 2002-06-28 Federation Francaise De Contro Sonde optique compacte et procede de mesure associe
US6594018B1 (en) * 2000-02-01 2003-07-15 Texas Instruments Incorporated Miniature integrated multiple channel surface plasmon resonance liquid sensor
DE50112007D1 (de) * 2000-02-22 2007-03-22 Santhera Pharmaceuticals Deuts Spr-sensorsystem
RU2181487C2 (ru) * 2000-05-11 2002-04-20 Никитин Петр Иванович Способ оптического детектирования присоединения вещественного компонента к сенсорному материалу на основе биологического, химического или физического взаимодействия и устройство для его осуществления (варианты)
DE10023363C1 (de) * 2000-05-12 2001-12-20 Jandratek Gmbh Plasmonenresonanzsensor
FR2817963B1 (fr) * 2000-12-13 2004-08-06 Inst Optique Theorique Et Appl Dispositif d'imagerie par plasmon d'une surface metallique et procede d'utilisation du dispositif
EP1342071A1 (de) * 2000-12-13 2003-09-10 Institut d'Optique Theorique et appliquee Verfahren zur charakterisierung einer oberfläche und einrichtung dafür
US6674533B2 (en) * 2000-12-21 2004-01-06 Joseph K. Price Anodizing system with a coating thickness monitor and an anodized product
US7365860B2 (en) * 2000-12-21 2008-04-29 Sensory Analytics System capable of determining applied and anodized coating thickness of a coated-anodized product
US7274463B2 (en) * 2003-12-30 2007-09-25 Sensory Analytics Anodizing system with a coating thickness monitor and an anodized product
EP1384044B1 (de) * 2001-05-03 2018-06-27 Michael Kuechel Reduktion von kohärenten artefakten in einem interferometer
US20040166593A1 (en) * 2001-06-22 2004-08-26 Nolte David D. Adaptive interferometric multi-analyte high-speed biosensor
DE10131684C1 (de) * 2001-06-29 2002-12-12 Zeiss Carl Jena Gmbh Vorrichtung und Verfahren zur ortsaufgelösten Messung einer Schichtdicke
GB0119062D0 (en) * 2001-08-06 2001-09-26 Cambridge Consultants Interferometer
FR2822951B1 (fr) * 2002-03-28 2005-02-04 Federation Francaise De Contro Sonde optique compacte et procede de mesure associe
RU2201588C1 (ru) * 2002-05-08 2003-03-27 Атнашев Виталий Борисович Способ оптического детектирования присоединения вещественного компонента к сенсорному слою на основе биологического, химического или физического взаимодействия и устройство для его осуществления
FR2850171B1 (fr) * 2003-01-21 2005-04-08 Xenocs Dispositif optique pour applications rayons x
ATE341083T1 (de) * 2002-06-19 2006-10-15 Xenocs Optische anordnung und verfahren dazu
US6999181B2 (en) * 2002-08-09 2006-02-14 Angstrovision, Inc. Advanced signal processing technique for translating fringe line disturbances into sample height at a particular position above an interferometer's sample stage
US7136168B2 (en) * 2002-08-09 2006-11-14 Angstrovision, Inc. Interferometric topological metrology with pre-established reference scale
US20040027582A1 (en) * 2002-08-09 2004-02-12 Lev Dulman Method and apparatus for determining sample composition with an interferometer
US20040027583A1 (en) * 2002-08-09 2004-02-12 Lev Dulman Pre-established reference scale for interferometric topological metrology
US6996264B2 (en) * 2002-10-18 2006-02-07 Leco Corporation Indentation hardness test system
US7492463B2 (en) 2004-04-15 2009-02-17 Davidson Instruments Inc. Method and apparatus for continuous readout of Fabry-Perot fiber optic sensor
US7177030B2 (en) * 2004-04-22 2007-02-13 Technion Research And Development Foundation Ltd. Determination of thin film topography
US20050244093A1 (en) * 2004-05-03 2005-11-03 Vanwiggeren Gregory D Wavelength-tuned intensity measurement of surface plasmon resonance sensor
EP1681540A1 (de) 2004-12-21 2006-07-19 Davidson Instruments, Inc. Mehrkanalarrayprozessor
EP1674833A3 (de) 2004-12-21 2007-05-30 Davidson Instruments, Inc. Faseroptisches Sensorsystem
WO2006083917A2 (en) 2005-02-01 2006-08-10 Purdue Research Foundation Laser scanning interferometric surface metrology
US7910356B2 (en) 2005-02-01 2011-03-22 Purdue Research Foundation Multiplexed biological analyzer planar array apparatus and methods
US20070023643A1 (en) 2005-02-01 2007-02-01 Nolte David D Differentially encoded biological analyzer planar array apparatus and methods
EP1869737B1 (de) 2005-03-16 2021-05-12 Davidson Instruments, Inc. Hochintensitäts-fabry-perot-sensor
US7483127B1 (en) * 2005-08-08 2009-01-27 Sru Biosystems, Inc. Method and apparatus for generating an image of biomolecular sensor target area
US7790406B2 (en) * 2005-08-11 2010-09-07 Sru Biosystems, Inc Grating-based sensor combining label-free binding detection and fluorescence amplification and readout system for sensor
WO2007033069A2 (en) 2005-09-13 2007-03-22 Davidson Instruments Inc. Tracking algorithm for linear array signal processor for fabry-perot cross-correlation pattern and method of using same
JP2009527739A (ja) * 2006-02-16 2009-07-30 パーデュー・リサーチ・ファウンデーション インライン直交位相及び反射防止により改善した直交位相干渉検出
US20070222460A1 (en) * 2006-03-07 2007-09-27 Price Joseph K Mobile apparatus capable of surface measurements
US7684051B2 (en) 2006-04-18 2010-03-23 Halliburton Energy Services, Inc. Fiber optic seismic sensor based on MEMS cantilever
EP2021747B1 (de) 2006-04-26 2018-08-01 Halliburton Energy Services, Inc. Faseroptischer seismischer mems-sensor mit von schwenkbalken getragener masse
US8115937B2 (en) 2006-08-16 2012-02-14 Davidson Instruments Methods and apparatus for measuring multiple Fabry-Perot gaps
US7522282B2 (en) * 2006-11-30 2009-04-21 Purdue Research Foundation Molecular interferometric imaging process and apparatus
WO2008089495A2 (en) 2007-01-19 2008-07-24 Purdue Research Foundation System with extended range of molecular sensing through integrated multi-modal data acquisition
CA2676246C (en) 2007-01-24 2013-03-19 Halliburton Energy Services, Inc. Transducer for measuring environmental parameters
US7787126B2 (en) 2007-03-26 2010-08-31 Purdue Research Foundation Method and apparatus for conjugate quadrature interferometric detection of an immunoassay
DE102009003548A1 (de) * 2009-02-27 2010-09-02 Leibniz-Institut für Analytische Wissenschaften-ISAS-e.V. Verfahren zur hochaufgelösten Erfassung von Nanopartikeln auf zweidimensionalen Messflächen
DE102009019711A1 (de) 2009-05-05 2010-11-18 Biametrics Marken Und Rechte Gmbh Verfahren und Vorrichtung zur Bestimmung von Reflexionskoeffizienten an Filteranordnung mit dünnen Schichten
JP2014508921A (ja) 2011-01-31 2014-04-10 ビアメトリクス ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング 複数の波長の光を用いて薄膜層における強度を同時に測定することによって光学特性を決定する方法及び装置
US8687204B2 (en) * 2011-03-24 2014-04-01 Canon Kabushiki Kaisha Method and apparatus for measuring refractive index based on a ratio between a number of second fringes divided by a difference of the number of second fringes minus a number of first fringes
JP6538758B2 (ja) * 2017-06-07 2019-07-03 ビアメトリクス ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツングBiametrics GmbH 複数の波長の光を用いて薄膜層における強度を同時に測定することによって光学特性を決定する方法及び装置
CN117110267B (zh) * 2023-08-28 2024-08-06 深圳市凯佳光学科技有限公司 可见光至近红外二区的光片显微成像系统及成像方法

Family Cites Families (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4626684A (en) * 1983-07-13 1986-12-02 Landa Isaac J Rapid and automatic fluorescence immunoassay analyzer for multiple micro-samples
GB8620193D0 (en) * 1986-08-19 1986-10-01 Emi Plc Thorn Chemical sensor
SE462408B (sv) * 1988-11-10 1990-06-18 Pharmacia Ab Optiskt biosensorsystem utnyttjande ytplasmonresonans foer detektering av en specific biomolekyl, saett att kalibrera sensoranordningen samt saett att korrigera foer baslinjedrift i systemet
JPH0678978B2 (ja) * 1990-05-25 1994-10-05 スズキ株式会社 凝集パターン検出装置
US5173747A (en) * 1990-09-20 1992-12-22 Battelle Memorial Institute Integrated optical directional-coupling refractometer apparatus
CH681920A5 (de) * 1991-07-02 1993-06-15 Artificial Sensing Instr Asi A
DE4200088C2 (de) * 1992-01-04 1997-06-19 Nahm Werner Verfahren und Vorrichtung zum optischen Nachweis einer An- oder Einlagerung mindestens einer stofflichen Spezies in oder an mindestens einer dünnen Schicht
GB9200562D0 (en) * 1992-01-11 1992-03-11 Fisons Plc Analytical device with polychromatic light source
GB9212416D0 (en) * 1992-06-11 1992-07-22 Medical Res Council Reversible binding substances
US5494829A (en) * 1992-07-31 1996-02-27 Biostar, Inc. Devices and methods for detection of an analyte based upon light interference
ATE226320T1 (de) * 1993-03-26 2002-11-15 Hoffmann La Roche Optisches verfahren und vorrichtung zur analyse von substanzen an sensoroberflächen
GB9314991D0 (en) * 1993-07-20 1993-09-01 Sandoz Ltd Mechanical device
FI96800C (fi) * 1994-02-16 1996-08-26 Valtion Teknillinen Laite analyysin suorittamiseksi
US5721435A (en) * 1996-04-09 1998-02-24 Hewlett Packard Company Methods and apparatus for measuring optical properties of biological and chemical substances

Cited By (25)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19806681B4 (de) * 1998-02-18 2006-07-27 Carl Zeiss Jena Gmbh Mikrotiterplatte
WO2000022419A1 (de) * 1998-04-02 2000-04-20 Institut für Physikalische Hochtechnologie e.V. Anordnung für die oberflächenplasmonen-resonanz-spektroskopie
US6570657B1 (en) 1998-04-02 2003-05-27 Institut Fuer Physikalische Hochtechnolgolie E.V. Arrangement for surface plasmon resonance spectroscopy
DE19828547C2 (de) * 1998-06-26 2000-06-29 Zeiss Carl Jena Gmbh Anordnung zum Nachweis biomolekularer Reaktionen und Wechselwirkungen
DE19828547A1 (de) * 1998-06-26 2000-01-05 Zeiss Carl Jena Gmbh Anordnung zum Nachweis biomolekularer Reaktionen und Wechselwirkungen
DE19955556B4 (de) * 1998-11-20 2004-09-09 Graffinity Pharmaceuticals Ag Meßanordnung zum parallelen Auslesen von SPR-Sensoren
WO2000031515A1 (de) * 1998-11-20 2000-06-02 Graffinity Pharmaceutical Design Gmbh Messanordnung zum parallelen auslesen von spr-sensoren
US6441906B2 (en) 1998-11-20 2002-08-27 Graffinity Pharmaceutical Design Gmbh Set-up of measuring instruments for the parallel readout of SPR sensors
DE19937797C1 (de) * 1999-08-10 2001-03-22 Zeiss Carl Jena Gmbh Anordnung zum Nachweis biomolekularer Reaktionen und Wechselwirkungen
US6795192B2 (en) 2000-02-22 2004-09-21 Graffinity Pharmaceutical Design Gmbh SPR sensor and SPR sensor array
DE10008006A1 (de) * 2000-02-22 2001-09-13 Graffinity Pharm Design Gmbh SPR-Sensor und SPR-Sensoranordnung
DE10008006C2 (de) * 2000-02-22 2003-10-16 Graffinity Pharm Design Gmbh SPR-Sensor und SPR-Sensoranordnung
US7627201B2 (en) 2000-08-09 2009-12-01 Artificial Sensing Instruments Asi Ag Waveguide grating structure and optical measurement arrangement
US9341573B2 (en) 2000-08-09 2016-05-17 Artificial Sensing Instruments Asi Ag Waveguide grating structure and optical measurement arrangement
US9170201B2 (en) 2000-08-09 2015-10-27 Artificial Sensing Instrument Asi Ag Waveguide grating structure and optical measurement arrangement
US8503833B2 (en) 2000-08-09 2013-08-06 Artificial Sensing Instruments Asi Ag Waveguide grating structure and optical measurement arrangement
DE10120959A1 (de) * 2001-04-27 2002-10-31 Zeiss Carl Jena Gmbh Probenträgerplatte, insbesondere für Anlagerungs-Screening-Verfahren
DE10163657B4 (de) * 2001-12-21 2008-05-08 Gedig, Erk, Dr. Vorrichtung und Verfahren zur Untersuchung dünner Schichten
DE10163657A1 (de) * 2001-12-21 2003-07-10 Erk Gedig Vorrichtung und Verfahren zur Untersuchung dünner Schichten
US7502108B2 (en) 2003-06-03 2009-03-10 Carl Zeiss Microimaging Gmbh Assembly and method for identifying coatings lying on the surface of components and for determining their characteristics
DE10324934A1 (de) * 2003-06-03 2004-12-23 Carl Zeiss Jena Gmbh Anordnung und ein Verfahren zur Erkennung von Schichten, die auf Oberflächen von Bauteilen angeordnet sind, und Bestimmung deren Eigenschaften
US7479636B2 (en) 2003-06-06 2009-01-20 Robert Bosch Gmbh Device and method for analyzing a materials library
DE10325735B4 (de) * 2003-06-06 2006-06-29 Robert Bosch Gmbh Vorrichtung und Verfahren zur Analyse einer Materialbibliothek
EP3299799A1 (de) * 2016-09-27 2018-03-28 Berthold Technologies GmbH & Co. KG Verfahren und messsystem zur messung molekularer interaktionen an einer dünnen schicht
DE102017116055A1 (de) * 2017-07-17 2019-01-17 Leibniz - Institut Für Analytische Wissenschaften - Isas - E.V. Verfahren zur optischen Erfassung einzelner Nanoobjekte

Also Published As

Publication number Publication date
EP0834066B1 (de) 2002-11-06
EP0834066A1 (de) 1998-04-08
DE19615366B4 (de) 2006-02-09
US5999262A (en) 1999-12-07
WO1997040366A1 (de) 1997-10-30

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP0834066B1 (de) Verfahren und einrichtung zum nachweis physikalischer, chemischer, biologischer oder biochemischer reaktionen und wechselwirkungen
DE19732619C2 (de) Optische Detektoreinrichtung
EP3428622B1 (de) Diffraktiver biosensor
EP1307728B1 (de) Wellenleitergitterstruktur und optische messanordnung
DE10008006C2 (de) SPR-Sensor und SPR-Sensoranordnung
EP1131618B1 (de) Messanordnung und messmethode zum parallelen auslesen von spr-sensoren
DE60215018T2 (de) Spr interferometer
DE3789923T2 (de) Spektrometer.
EP0469377B1 (de) Analysesystem und Verfahren zur Bestimmung eines Analyten in einer fluiden Probe
EP0617273A2 (de) Optisches Verfahren und Vorrichtung zur Analyse von Substanzen an Sensoroberflächen
DE2721891A1 (de) Stabiles zweikanalspektrometer mit einzelfilter
EP2135059A2 (de) Messeinrichtung und verfahren zur optischen konzentrationsbestimmung von blutzucker und/oder laktat in biologischen systemen
WO2003056308A1 (de) Vorrichtung und verfahren zur untersuchung dünner schichten
EP1678547B1 (de) Vorrichtung und verfahren zur messung optischer eigenschaften eines objekts
DE3719524C2 (de)
DE102017127122B4 (de) Spektrometrisches Messgerät
DE3938142C2 (de)
EP3470822B1 (de) Vorrichtung zur bestimmung von reflexionskoeffizienten an dünnen schichten
DE4033912C2 (de) Optischer Sensor
WO1998025130A1 (de) Optische sensoren unter der verwendung durchstimmbarer laserdioden
DE2744168C3 (de) Magnetooptisches Spektralphotometer
DE102006018287B4 (de) Vorrichtung und Verfahren zur spektralanalytischen Bewertung von Materialien oder Objekten in einem Material- oder Objektstrom
WO1999041594A1 (de) Bestimmung der oberflächenplasmonenresonanz mit hilfe von örtlich oder zeitlich modifizierten schichten
EP3779408A1 (de) Messvorrichtung und verfahren zur bestimmung einer stoffkonzentration
DE2535398A1 (de) Spektralfluoreszenzmesser

Legal Events

Date Code Title Description
8110 Request for examination paragraph 44
8364 No opposition during term of opposition
8327 Change in the person/name/address of the patent owner

Owner name: UNIVERSITAET TUEBINGEN, 72074 TUEBINGEN, DE

8327 Change in the person/name/address of the patent owner

Owner name: BIAMETRICS MARKEN UND RECHTE GMBH, 72076 TUEBI, DE

R082 Change of representative

Representative=s name: WUESTEFELD, REGINE, DIPL.-CHEM. DR.RER.NAT., DE

R081 Change of applicant/patentee

Owner name: BIAMETRICS GMBH, DE

Free format text: FORMER OWNER: BIAMETRICS MARKEN UND RECHTE GMBH, 72076 TUEBINGEN, DE

Effective date: 20130123

R082 Change of representative

Representative=s name: WUESTEFELD, REGINE, DIPL.-CHEM. DR.RER.NAT., DE

Effective date: 20130123

R119 Application deemed withdrawn, or ip right lapsed, due to non-payment of renewal fee