RU2201588C1 - Способ оптического детектирования присоединения вещественного компонента к сенсорному слою на основе биологического, химического или физического взаимодействия и устройство для его осуществления - Google Patents

Способ оптического детектирования присоединения вещественного компонента к сенсорному слою на основе биологического, химического или физического взаимодействия и устройство для его осуществления Download PDF

Info

Publication number
RU2201588C1
RU2201588C1 RU2002112251/28A RU2002112251A RU2201588C1 RU 2201588 C1 RU2201588 C1 RU 2201588C1 RU 2002112251/28 A RU2002112251/28 A RU 2002112251/28A RU 2002112251 A RU2002112251 A RU 2002112251A RU 2201588 C1 RU2201588 C1 RU 2201588C1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
sensor layer
layer
material component
light wave
plane
Prior art date
Application number
RU2002112251/28A
Other languages
English (en)
Inventor
А.В. Атнашев
В.Б. Атнашев
П.В. Атнашев
рченков А.С. Бо
А.С. Боярченков
Original Assignee
Атнашев Виталий Борисович
Закрытое акционерное общество "УралЭКОС"
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Атнашев Виталий Борисович, Закрытое акционерное общество "УралЭКОС" filed Critical Атнашев Виталий Борисович
Priority to RU2002112251/28A priority Critical patent/RU2201588C1/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2201588C1 publication Critical patent/RU2201588C1/ru
Priority to PCT/RU2003/000205 priority patent/WO2003095992A1/ru
Priority to AU2003234949A priority patent/AU2003234949A1/en

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/17Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
    • G01N21/41Refractivity; Phase-affecting properties, e.g. optical path length
    • G01N21/45Refractivity; Phase-affecting properties, e.g. optical path length using interferometric methods; using Schlieren methods

Abstract

Изобретение относится к методам и средствам оптического детектирования вещественных компонентов. Заявленный способ осуществляется в устройстве, содержащем оптически сопряженные сенсорный слой, расположенный на прозрачной подложке с присоединенным вещественным компонентом когерентный источник светового излучения, матричное фотоприемное устройство и светоделительный элемент. Устройство дополнительно снабжено тонким частично пропускающим слоем, рассеивающим или поглощающим энергию электрического поля стоячей световой волны, толщиной не более λ/2, где λ - длина светового излучения, и наклонно расположенным между прозрачной подложкой и когерентным источником светового излучения под углом θ, определяемым из соотношения sinθ = λ/2d, где θ - угол между тонким частично пропускающим слоем и волновым фронтом световой волны, d - период интерференционных полос, а сенсорный слой имеет толщину не более λ/4. На сенсорный слой с присоединенным вещественным компонентом воздействуют стоячей световой волной, создают систему интерференционных полос, которую проецируют через светоделительный элемент на матричное фотоприемное устройство. Технический результат - возможность проводить многоканальное оптическое детектирование в режиме реального времени и увеличение количества детектируемых каналов за счет использования информационных возможностей стоячей световой волны. 2 с. и 2 з.п.ф-лы, 3 ил.

Description

Изобретения относятся к методам и средствам оптического детектирования вещественных компонентов.
Известен способ оптического детектирования присоединения вещественного компонента к сенсорному слою на основе биологического, химического или физического взаимодействия [Патент США 5999262, МПК G 01 B 9/02, НКИ США 356/357, 1999].
В данном способе структурные изменения материала сенсорного слоя детектируют в нескольких пространственно разделенных областях площади сенсорного слоя. При этом регистрация осуществляется последовательно по времени, что следует отнести к недостаткам данного способа.
Наиболее близким по технической сущности и достигаемому эффекту к предлагаемому изобретению является способ оптического детектирования присоединения вещественного компонента к сенсорному слою на основе биологического, химического или физического взаимодействия, включающий отражение от расположенного на прозрачной подложке сенсорного слоя коллимированного монохроматического излучения, падающего от источника света, с последующим измерением интенсивности упомянутого монохроматического излучения на матричном фотоприемном устройстве [Международная заявка WO 01/88536 А1, МПК 7 G 01 N 33/53, опубл. 22.11.2001 (прототип)].
К недостаткам данного способа следует отнести сложность многоканального оптического детектирования присоединения вещественного компонента к сенсорному слою на основе биологического, химического или физического взаимодействия.
Задачей изобретения является проведение многоканального оптического детектирования присоединения вещественного компонента к сенсорному слою на основе биологического, химического или физического взаимодействия.
Поставленная задача решается за счет того, что в способе оптического детектирования присоединения вещественного компонента к сенсорному слою на основе биологического, химического или физического взаимодействия, включающем отражение от расположенного на прозрачной подложке сенсорного слоя коллимированного монохроматического излучения, падающего от источника света с последующим измерением интенсивности упомянутого монохроматического излучения на матричном фотоприемном устройстве, на сенсорный слой, толщину которого выбирают не более λ/4, где λ - длина светового излучения, воздействуют стоячей световой волной, при этом в пространстве, занимаемом стоячей световой волной, создают систему интерференционных полос стоячей световой волны путем наклонного расположения между прозрачной подложкой и источником света тонкого частично пропускающего слоя, рассеивающего или поглощающего энергию электрического поля стоячей световой волны, толщиной не более λ/2, при этом угол θ между плоскостью тонкого частично пропускающего слоя и волновым фронтом упомянутого монохроматического излучения выбирают из соотношения sinθ = λ/2d, где d - период упомянутых интерференционных полос, упомянутую систему интерференционных полос проецируют через светоделительный элемент на упомянутое матричное фотоприемное устройство и используют монохроматическое излучение с длиной когерентности не менее удвоенного расстояния от сенсорного слоя до светоделительного элемента.
При этом в качестве сенсорного слоя возможно использование одной из поверхностей упомянутой прозрачной подложки.
При этом на расположенный на упомянутой прозрачной подложке упомянутый сенсорный слой, толщиной не более λ/4, где λ - длина светового излучения, наносят один или несколько дополнительных сенсорных слоев.
При этом в пространстве, занимаемом стоячей световой волной, создают дополнительную систему интерференционных полос стоячей световой волны путем наклонного расположения между прозрачной подложкой и источником света дополнительного тонкого частично пропускающего слоя, рассеивающего или поглощающего энергию электрического поля стоячей световой волны, толщиной не более λ/2, , где λ - длина светового излучения, под углом θ2, определяемым из соотношения sinθ2 = λ/2d2, где θ2 - угол между дополнительным тонким частично пропускающим слоем и волновым фронтом световой волны, d2 - период интерференционных полос, система которых образуется в дополнительном тонком частично пропускающем слое при воздействии стоячей световой волны, угол наклона θ1 между плоскостью основного тонкого частично пропускающего слоя и плоскостью упомянутой прозрачной подложки задают относительно угла наклона θ2 между плоскостью дополнительного тонкого частично пропускающего слоя и плоскостью упомянутой прозрачной подложки в диапазоне 0o-180o, плоскость дополнительного тонкого частично пропускающего слоя разворачивают по оси, совпадающей с направлением распространения светового излучения, относительно плоскости основного тонкого частично пропускающего слоя на величину угла Ω, лежащего в диапазоне 0,1o-90o, а изображения полученных таким образом двух систем интерференционных полос проецируют через упомянутый светоделительный элемент на упомянутое матричное фотоприемное устройство.
Известно устройство для оптического детектирования присоединения, по меньшей мере, одного вещественного компонента к материалу, расположенному на поверхности или в толще сенсорного слоя, на основе биологического, химического или физического взаимодействия [Патент Германии 4200088 С2, МПК G 01 N 21/45, 1997].
В данном устройстве детектирование осуществляют в нескольких пространственно разделенных областях площади сенсорного слоя и последовательно по времени, что следует отнести к недостаткам данного устройства.
Наиболее близким по технической сущности и достигаемому эффекту к предлагаемому изобретению является устройство для оптического детектирования присоединения вещественного компонента к сенсорному слою на основе биологического, химического или физического взаимодействия, содержащее оптически сопряженные сенсорный слой, расположенный на прозрачной подложке, когерентный источник светового излучения, матричное фотоприемное устройство и светоделительный элемент, расположенный между когерентным источником светового излучения и сенсорным слоем и оптически сопряженный с матричным фотоприемным устройством [Международная заявка WO 01/88536 А1, МПК 7 G 01 N 33/53, опубл. 22.11.2001 (прототип)].
К недостаткам данного устройства следует отнести сложность многоканального оптического детектирования присоединения вещественного компонента к сенсорному слою при передаче светового излучения по оптическому волокну.
Задачей изобретения является упрощение схемы многоканального оптического детектирования, проведение параллельного многоканального детектирования в режиме реального времени и увеличение количества детектируемых каналов за счет использования информационных возможностей стоячей световой волны.
Поставленная задача может быть решена за счет того, что устройство для оптического детектирования присоединения вещественного компонента к сенсорному слою на основе биологического, химического или физического взаимодействия, содержащее оптически сопряженные сенсорный слой, расположенный на прозрачной подложке, когерентный источник светового излучения, матричное фотоприемное устройство и светоделительный элемент, расположенный между когерентным источником светового излучения и сенсорным слоем и оптически сопряженный с матричным фотоприемным устройством, дополнительно снабжено тонким частично пропускающим слоем, рассеивающим или поглощающим энергию электрического поля стоячей световой волны, толщиной не более λ/2, где λ - длина светового излучения, и наклонно расположенным между упомянутой прозрачной подложкой и упомянутым когерентным источником светового излучения под углом θ, определяемым из соотношения sinθ = λ/2d, , где θ - угол между тонким частично пропускающим слоем и волновым фронтом световой волны, d - период интерференционных полос, система которых образуется в тонком частично пропускающем слое при воздействии стоячей световой волны, а упомянутый сенсорный слой имеет толщину не более λ/4.
При этом устройство для оптического детектирования присоединения вещественного компонента к сенсорному слою на основе биологического, химического или физического взаимодействия может быть снабжено дополнительным тонким частично пропускающим слоем, рассеивающим или поглощающим энергию электрического поля стоячей световой волны, толщиной не более λ/2, где λ - длина светового излучения, и наклонно расположенным между упомянутой прозрачной подложкой и упомянутым когерентным источником светового излучения под углом θ2, определяемым из соотношения sinθ2 = λ/2d2, где θ2 - угол между дополнительным тонким частично пропускающим слоем и волновым фронтом световой волны, d2 - период интерференционных полос, система которых образуется в дополнительном тонком частично пропускающем слое при воздействии стоячей световой волны, при этом дополнительный тонкий частично пропускающий слой выполнен с разворотом его плоскости по оптической оси устройства относительно плоскости основного тонкого частично пропускающего слоя.
Сущность изобретения поясняется чертежами, на которых представлены схема устройства для оптического детектирования присоединения вещественного компонента к сенсорному слою на основе биологического, химического или физического взаимодействия (фиг.1), схема расположения тонких слоев относительно друг друга при использовании оптических клиньев (фиг.2) и изображения двух систем интерференционных полос, проецируемых через светоделительный элемент на матричное фотоприемное устройство (фиг.3).
Устройство для оптического детектирования присоединения вещественного компонента к сенсорному слою на основе биологического, химического или физического взаимодействия (фиг.1) содержит оптически сопряженные сенсорный слой 1, расположенный на прозрачной подложке 2, когерентный источник 3 светового излучения, матричное фотоприемное устройство 4 и светоделительный элемент 5, расположенный между когерентным источником 3 светового излучения и сенсорным слоем 1, и оптически сопряженный с матричным фотоприемным устройством 4. Устройство дополнительно снабжено тонким частично пропускающим слоем 6, рассеивающим или поглощающим энергию электрического поля стоячей световой волны, толщиной не более λ/2, где λ - длина светового излучения, и наклонно расположенным между прозрачной подложкой 2 и когерентным источником 3 светового излучения под углом θ2, определяемым из соотношения sinθ2 = λ/2d2, где θ2 - угол между тонким частично пропускающим слоем 6 и волновым фронтом световой волны, d2 - период интерференционных полос 7, система которых образуется в тонком частично пропускающем слое 6 при воздействии стоячей световой волны, а сенсорный слой 1 имеет толщину не более λ/4.
Устройство для оптического детектирования присоединения вещественного компонента к сенсорному слою на основе биологического, химического или физического взаимодействия также снабжено дополнительным тонким частично пропускающим слоем 8, рассеивающим или поглощающим энергию электрического поля стоячей световой волны, толщиной не более λ/2, где λ - длина светового излучения, и наклонно расположенным между прозрачной подложкой 2 и когерентным источником 3 светового излучения под углом θ2, определяемым из соотношения sinθ2 = λ/2d2, где θ2 - угол между дополнительным тонким частично пропускающим слоем 8 и волновым фронтом световой волны, d2 - период интерференционных полос 9, система которых образуется в дополнительном тонком частично пропускающем слое 8 при воздействии стоячей световой волны, при этом дополнительный тонкий частично пропускающий слой 8 выполнен с разворотом его плоскости по оптической оси устройства относительно плоскости основного тонкого частично пропускающего слоя 6.
В качестве когерентного источника 3 светового излучения используют лазер. Для получения светового пятна большого диаметра устройство снабжено телескопом 10, расположенным между когерентным источником 3 светового излучения и светоделительным элементом 5. Тонкие частично пропускающие слои 6 и 8 могут быть нанесены на поверхности оптических клиньев 11 и 12. При этом углы φ1 и φ2 между плоскостью тонкого частично пропускающего слоя 6 и 8 и плоскостью сенсорного слоя 1 задают из соотношения sinθ = λ/2dn, где d - период интерференционных полос 7 и 9, n - показатель преломления материала оптического клина.
Выходные сигналы с матричного фотоприемного устройства 4 поступают на вход системного блока 13. Сенсорный слой 1 нанесен на прозрачную подложку 2 в виде тонкого покрытия, выполненного из материала, диэлектрическая проницаемость которого и/или коэффициент отражения на границе присоединения определяемого вещественного компонента изменяется в зависимости от концентрации указанного компонента.
Заявленный способ оптического детектирования присоединения вещественного компонента к сенсорному материалу на основе биологического, химического или физического взаимодействия осуществляется на настоящем устройстве следующим образом.
Световой поток от когерентного источника 3 светового излучения поступает на сенсорный слой 1, частично отражается от него и в виде стоячей световой волны поступает на тонкие частично пропускающие слои 6 и 8. За счет того что тонкие частично пропускающие слои 6 и 8 рассеивают или поглощают энергию электрического поля стоячей световой волны и расположены наклонно, при этом угол θ между плоскостью каждого тонкого частично пропускающего слоя и волновым фронтом световой волны задан из соотношения: sinθ = λ/2d, где λ - длина световой волны; d - период интерференционных полос, в них образуются две системы интерференционных полос. Так как плоскость тонкого частично пропускающего слоя 6 развернута по оси, совпадающей с направлением распространения светового излучения, относительно плоскости тонкого частично пропускающего слоя 8 на угол 90o, эти системы являются ортогональными. Полученная таким образом сетка из чередующихся темных и светлых полос проецируется с помощью светоделительного элемента 5 на матричное фотоприемное устройство 4. Выходные сигналы с матричного фотоприемного устройства 4 поступают на вход системного блока 13. При этом каждая клетка в сетке из чередующихся темных и светлых полос представляет собой выделенный канал для передачи оптической информации с соответствующего участка сенсорного слоя 1 на матричное фотоприемное устройство 4. Количество таких выделенных каналов определяется заданными периодами d1 и d2, систем интерференционных полос 7 и 9 (фиг.3).
Оптическое детектирование присоединения вещественного компонента к сенсорному материалу на основе биологического, химического или физического взаимодействия осуществляется на настоящем устройстве следующим образом. При присоединении вещественного компонента к сенсорному слою 1 на участке, соответствующем выделенной клетке, происходит изменение диэлектрической проницаемости материала сенсорного слоя 1 и/или коэффициента отражения на границе присоединения определяемого вещественного компонента в зависимости от концентрации последнего. Изменение диэлектрической проницаемости и/или коэффициента отражения приводит к изменению условий отражения светового излучения когерентного источника 3 светового излучения от сенсорного слоя 1, что в свою очередь приводит к изменению интенсивности стоячей световой волны на всем ее протяжении, т.е. от сенсорного слоя 1 до светоделительного элемента 5. Таким образом, за счет этих пространственных изменений происходит оптическое детектирование присоединения вещественного компонента к сенсорному материалу на основе биологического, химического или физического взаимодействия.
Предлагаемый способ оптического детектирования присоединения вещественного компонента к сенсорному материалу на основе биологического, химического или физического взаимодействия и устройство для его осуществления позволяют проводить многоканальное оптическое детектирование.

Claims (4)

1. Способ оптического детектирования присоединения вещественного компонента к сенсорному слою на основе биологического, химического или физического взаимодействия, включающий отражение с измененной интенсивностью световой волны от расположенного на прозрачной подложке сенсорного слоя с присоединенным вещественным компонентом, отличающийся тем, что на сенсорный слой с присоединенным вещественным компонентом, толщину которого выбирают не более λ/4 излучения, воздействуют стоячей световой волной, при этом в пространстве, занимаемом стоячей световой волной, создают систему интерференционных полос путем наклонного расположения между сенсорным слоем с присоединенным вещественным компонентом и источником света, тонкого частично пропускающего слоя толщиной не более λ/2, при этом угол θ между плоскостью тонкого частично пропускающего слоя и волновым фронтом световой волны выбирают из соотношения sinθ = λ/2d, где d - период интерференционных полос, эту систему интерференционных полос проецируют через светоделительный элемент на матричное фотоприемное устройство, при этом световой поток на сенсорный слой поступает от источника монохроматического излучения с длиной когерентности не менее удвоенного расстояния от сенсорного слоя до светоделительного элемента.
2. Способ оптического детектирования присоединения вещественного компонента к сенсорному слою на основе биологического, химического или физического взаимодействия по п. 1, отличающийся тем, что в пространстве, занимаемом стоячей световой волной, создают дополнительную систему интерференционных полос стоячей световой волны путем наклонного расположения между сенсорным слоем с присоединенным вещественным компонентом и источником света дополнительного тонкого частично пропускающего слоя толщиной не более λ/2, где λ - длина волны светового излучения под углом θ2, угол θ2 между дополнительным тонким частично пропускающим слоем и волновым фронтом световой волны определяют из соотношения sinθ2 = λ/2d2, где d2 - период дополнительной системы интерференционных полос, угол наклона θ1 между плоскостью основного тонкого частично пропускающего слоя и плоскостью сенсорного слоя с присоединенным вещественным компонентом задают относительно угла наклона θ2 в диапазоне 0-180o, плоскость дополнительного тонкого частично пропускающего слоя разворачивают по оси, совпадающей с направлением распространения светового излучения, относительно плоскости основного частично пропускающего слоя на величину угла Ω, лежащего в диапазоне 0,1-90o, а изображения полученных таким образом двух систем интерференционных полос проецируют через светоделительный элемент на матричное фотоприемное устройство.
3. Устройство для оптического детектирования присоединения вещественного компонента к сенсорному слою на основе биологического, химического или физического взаимодействия, содержащее оптически сопряженные сенсорный слой с присоединенным вещественным компонентом, расположенный на прозрачной подложке, когерентный источник светового излучения, матричное фотоприемное устройство и светоделительный элемент, расположенный между когерентным источником светового излучения и сенсорным слоем с присоединенным вещественным компонентом, отличающееся тем, что оно дополнительно снабжено тонким частично пропускающим слоем толщиной не более λ/2, где λ - длина волны светового излучения, наклонно расположенным между сенсорным слоем с присоединенным вещественным компонентом и когерентным источником светового излучения, под углом θ между плоскостью тонкого частично пропускающего слоя и волновым фронтом световой волны, определяемым из соотношения sinθ = λ/2d, где d - период интерференционных полос, а сенсорный слой имеет толщину не более λ/4.
4. Устройство для оптического детектирования присоединения вещественного компонента к сенсорному слою на основе биологического, химического или физического взаимодействия по п. 3, отличающееся тем, что оно снабжено дополнительным тонким частично пропускающим слоем, толщиной не более λ/ 2, где λ - длина волны светового излучения, наклонно расположенным между сенсорным слоем с присоединенным вещественным компонентом и когерентным источником светового излучения под углом θ2 между плоскостью тонкого частично пропускающего слоя и волновым фронтом световой волны, определяемым из соотношения sinθ2 = λ/2d2, где d2 - период интерференционных полос, при этом дополнительный тонкий частично пропускающий слой выполнен с разворотом его плоскости по оптической оси устройства относительно плоскости основного тонкого частично пропускающего слоя.
RU2002112251/28A 2002-05-08 2002-05-08 Способ оптического детектирования присоединения вещественного компонента к сенсорному слою на основе биологического, химического или физического взаимодействия и устройство для его осуществления RU2201588C1 (ru)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2002112251/28A RU2201588C1 (ru) 2002-05-08 2002-05-08 Способ оптического детектирования присоединения вещественного компонента к сенсорному слою на основе биологического, химического или физического взаимодействия и устройство для его осуществления
PCT/RU2003/000205 WO2003095992A1 (fr) 2002-05-08 2003-05-05 Procede de detection optique de l'attachement d'un composant materiel a une couche sensorielle sur la base d'une interaction biologique, chimique ou physique et dispositif de mise en oeuvre correspondant
AU2003234949A AU2003234949A1 (en) 2002-05-08 2003-05-05 Method for optical detection of a material component addition to a sensor layer using biological, chemical or physical interaction and device for carrying out said method

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2002112251/28A RU2201588C1 (ru) 2002-05-08 2002-05-08 Способ оптического детектирования присоединения вещественного компонента к сенсорному слою на основе биологического, химического или физического взаимодействия и устройство для его осуществления

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU2201588C1 true RU2201588C1 (ru) 2003-03-27

Family

ID=20255672

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2002112251/28A RU2201588C1 (ru) 2002-05-08 2002-05-08 Способ оптического детектирования присоединения вещественного компонента к сенсорному слою на основе биологического, химического или физического взаимодействия и устройство для его осуществления

Country Status (3)

Country Link
AU (1) AU2003234949A1 (ru)
RU (1) RU2201588C1 (ru)
WO (1) WO2003095992A1 (ru)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106769897B (zh) * 2016-12-19 2019-07-09 重庆大学 Pcf-lpg甲烷检测装置及传感器制作方法

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
SU1561641A1 (ru) * 1988-06-13 1994-05-30 Ю.В. Мищенко Способ регистрации порядка интерференции
DE4200088C2 (de) * 1992-01-04 1997-06-19 Nahm Werner Verfahren und Vorrichtung zum optischen Nachweis einer An- oder Einlagerung mindestens einer stofflichen Spezies in oder an mindestens einer dünnen Schicht
DE19615366B4 (de) * 1996-04-19 2006-02-09 Carl Zeiss Jena Gmbh Verfahren und Einrichtung zum Nachweis physikalischer, chemischer, biologischer oder biochemischer Reaktionen und Wechselwirkungen

Also Published As

Publication number Publication date
WO2003095992A1 (fr) 2003-11-20
AU2003234949A1 (en) 2003-11-11

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP7322037B2 (ja) レーザレーダ及びその作動方法
JP2511057B2 (ja) スペクトル分析方法及び装置
CN101443647B (zh) 同时具有多波长、多入射角和多方位角的光学测量系统
WO2005119169A3 (en) Beam profile complex reflectance system and method for thin film and critical dimension measurements
CA2430505C (en) Optical detection device
KR102254596B1 (ko) 결합 친화도의 검출시 사용하기 위한 장치
GB2284259A (en) Source collimating reflecting arrangement for a photoelectric encoder
JPH061217B2 (ja) スペクトル分析方向指示装置
RU2201588C1 (ru) Способ оптического детектирования присоединения вещественного компонента к сенсорному слою на основе биологического, химического или физического взаимодействия и устройство для его осуществления
US6998600B2 (en) Multifrequency ultra-high resolution miniature scanning microscope using microchannel and solid-state sensor technologies and method for scanning samples
JP3416941B2 (ja) 2次元配列型共焦点光学装置
WO2016068504A1 (ko) 다기능 분광장치
CN1026155C (zh) 激光角速率传感器的读出设备
FI95509C (fi) Spektroskopinen menetelmä ja laite optisen säteilyn mittaamiseksi
US7508522B2 (en) Reflected light measuring apparatus and reflected light measuring method
JP3068408B2 (ja) 格子干渉型変位検出装置
KR20040030066A (ko) 분광법 및 이 분광법 (실시예) 을 수행하기 위한 장치
RU2239157C2 (ru) Интерферометр
JP3152330B2 (ja) 格子干渉型変位検出装置
CN220399731U (zh) 用于光学检测系统的光路切换装置
RU2190197C1 (ru) Способ спектрометрии и устройство для его осуществления (варианты)
CA2100897A1 (en) Polarization Detector
WO2023062957A1 (ja) 光偏向装置、及び測距装置
RU2217713C1 (ru) Интерферометр
JP2890699B2 (ja) 非接触式配向計

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A The patent is invalid due to non-payment of fees

Effective date: 20050509