RU2201588C1 - Способ оптического детектирования присоединения вещественного компонента к сенсорному слою на основе биологического, химического или физического взаимодействия и устройство для его осуществления - Google Patents
Способ оптического детектирования присоединения вещественного компонента к сенсорному слою на основе биологического, химического или физического взаимодействия и устройство для его осуществления Download PDFInfo
- Publication number
- RU2201588C1 RU2201588C1 RU2002112251/28A RU2002112251A RU2201588C1 RU 2201588 C1 RU2201588 C1 RU 2201588C1 RU 2002112251/28 A RU2002112251/28 A RU 2002112251/28A RU 2002112251 A RU2002112251 A RU 2002112251A RU 2201588 C1 RU2201588 C1 RU 2201588C1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- sensor layer
- layer
- material component
- light wave
- plane
- Prior art date
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/41—Refractivity; Phase-affecting properties, e.g. optical path length
- G01N21/45—Refractivity; Phase-affecting properties, e.g. optical path length using interferometric methods; using Schlieren methods
Abstract
Изобретение относится к методам и средствам оптического детектирования вещественных компонентов. Заявленный способ осуществляется в устройстве, содержащем оптически сопряженные сенсорный слой, расположенный на прозрачной подложке с присоединенным вещественным компонентом когерентный источник светового излучения, матричное фотоприемное устройство и светоделительный элемент. Устройство дополнительно снабжено тонким частично пропускающим слоем, рассеивающим или поглощающим энергию электрического поля стоячей световой волны, толщиной не более λ/2, где λ - длина светового излучения, и наклонно расположенным между прозрачной подложкой и когерентным источником светового излучения под углом θ, определяемым из соотношения sinθ = λ/2d, где θ - угол между тонким частично пропускающим слоем и волновым фронтом световой волны, d - период интерференционных полос, а сенсорный слой имеет толщину не более λ/4. На сенсорный слой с присоединенным вещественным компонентом воздействуют стоячей световой волной, создают систему интерференционных полос, которую проецируют через светоделительный элемент на матричное фотоприемное устройство. Технический результат - возможность проводить многоканальное оптическое детектирование в режиме реального времени и увеличение количества детектируемых каналов за счет использования информационных возможностей стоячей световой волны. 2 с. и 2 з.п.ф-лы, 3 ил.
Description
Изобретения относятся к методам и средствам оптического детектирования вещественных компонентов.
Известен способ оптического детектирования присоединения вещественного компонента к сенсорному слою на основе биологического, химического или физического взаимодействия [Патент США 5999262, МПК G 01 B 9/02, НКИ США 356/357, 1999].
В данном способе структурные изменения материала сенсорного слоя детектируют в нескольких пространственно разделенных областях площади сенсорного слоя. При этом регистрация осуществляется последовательно по времени, что следует отнести к недостаткам данного способа.
Наиболее близким по технической сущности и достигаемому эффекту к предлагаемому изобретению является способ оптического детектирования присоединения вещественного компонента к сенсорному слою на основе биологического, химического или физического взаимодействия, включающий отражение от расположенного на прозрачной подложке сенсорного слоя коллимированного монохроматического излучения, падающего от источника света, с последующим измерением интенсивности упомянутого монохроматического излучения на матричном фотоприемном устройстве [Международная заявка WO 01/88536 А1, МПК 7 G 01 N 33/53, опубл. 22.11.2001 (прототип)].
К недостаткам данного способа следует отнести сложность многоканального оптического детектирования присоединения вещественного компонента к сенсорному слою на основе биологического, химического или физического взаимодействия.
Задачей изобретения является проведение многоканального оптического детектирования присоединения вещественного компонента к сенсорному слою на основе биологического, химического или физического взаимодействия.
Поставленная задача решается за счет того, что в способе оптического детектирования присоединения вещественного компонента к сенсорному слою на основе биологического, химического или физического взаимодействия, включающем отражение от расположенного на прозрачной подложке сенсорного слоя коллимированного монохроматического излучения, падающего от источника света с последующим измерением интенсивности упомянутого монохроматического излучения на матричном фотоприемном устройстве, на сенсорный слой, толщину которого выбирают не более λ/4, где λ - длина светового излучения, воздействуют стоячей световой волной, при этом в пространстве, занимаемом стоячей световой волной, создают систему интерференционных полос стоячей световой волны путем наклонного расположения между прозрачной подложкой и источником света тонкого частично пропускающего слоя, рассеивающего или поглощающего энергию электрического поля стоячей световой волны, толщиной не более λ/2, при этом угол θ между плоскостью тонкого частично пропускающего слоя и волновым фронтом упомянутого монохроматического излучения выбирают из соотношения sinθ = λ/2d, где d - период упомянутых интерференционных полос, упомянутую систему интерференционных полос проецируют через светоделительный элемент на упомянутое матричное фотоприемное устройство и используют монохроматическое излучение с длиной когерентности не менее удвоенного расстояния от сенсорного слоя до светоделительного элемента.
При этом в качестве сенсорного слоя возможно использование одной из поверхностей упомянутой прозрачной подложки.
При этом на расположенный на упомянутой прозрачной подложке упомянутый сенсорный слой, толщиной не более λ/4, где λ - длина светового излучения, наносят один или несколько дополнительных сенсорных слоев.
При этом в пространстве, занимаемом стоячей световой волной, создают дополнительную систему интерференционных полос стоячей световой волны путем наклонного расположения между прозрачной подложкой и источником света дополнительного тонкого частично пропускающего слоя, рассеивающего или поглощающего энергию электрического поля стоячей световой волны, толщиной не более λ/2, , где λ - длина светового излучения, под углом θ2, определяемым из соотношения sinθ2 = λ/2d2, где θ2 - угол между дополнительным тонким частично пропускающим слоем и волновым фронтом световой волны, d2 - период интерференционных полос, система которых образуется в дополнительном тонком частично пропускающем слое при воздействии стоячей световой волны, угол наклона θ1 между плоскостью основного тонкого частично пропускающего слоя и плоскостью упомянутой прозрачной подложки задают относительно угла наклона θ2 между плоскостью дополнительного тонкого частично пропускающего слоя и плоскостью упомянутой прозрачной подложки в диапазоне 0o-180o, плоскость дополнительного тонкого частично пропускающего слоя разворачивают по оси, совпадающей с направлением распространения светового излучения, относительно плоскости основного тонкого частично пропускающего слоя на величину угла Ω, лежащего в диапазоне 0,1o-90o, а изображения полученных таким образом двух систем интерференционных полос проецируют через упомянутый светоделительный элемент на упомянутое матричное фотоприемное устройство.
Известно устройство для оптического детектирования присоединения, по меньшей мере, одного вещественного компонента к материалу, расположенному на поверхности или в толще сенсорного слоя, на основе биологического, химического или физического взаимодействия [Патент Германии 4200088 С2, МПК G 01 N 21/45, 1997].
В данном устройстве детектирование осуществляют в нескольких пространственно разделенных областях площади сенсорного слоя и последовательно по времени, что следует отнести к недостаткам данного устройства.
Наиболее близким по технической сущности и достигаемому эффекту к предлагаемому изобретению является устройство для оптического детектирования присоединения вещественного компонента к сенсорному слою на основе биологического, химического или физического взаимодействия, содержащее оптически сопряженные сенсорный слой, расположенный на прозрачной подложке, когерентный источник светового излучения, матричное фотоприемное устройство и светоделительный элемент, расположенный между когерентным источником светового излучения и сенсорным слоем и оптически сопряженный с матричным фотоприемным устройством [Международная заявка WO 01/88536 А1, МПК 7 G 01 N 33/53, опубл. 22.11.2001 (прототип)].
К недостаткам данного устройства следует отнести сложность многоканального оптического детектирования присоединения вещественного компонента к сенсорному слою при передаче светового излучения по оптическому волокну.
Задачей изобретения является упрощение схемы многоканального оптического детектирования, проведение параллельного многоканального детектирования в режиме реального времени и увеличение количества детектируемых каналов за счет использования информационных возможностей стоячей световой волны.
Поставленная задача может быть решена за счет того, что устройство для оптического детектирования присоединения вещественного компонента к сенсорному слою на основе биологического, химического или физического взаимодействия, содержащее оптически сопряженные сенсорный слой, расположенный на прозрачной подложке, когерентный источник светового излучения, матричное фотоприемное устройство и светоделительный элемент, расположенный между когерентным источником светового излучения и сенсорным слоем и оптически сопряженный с матричным фотоприемным устройством, дополнительно снабжено тонким частично пропускающим слоем, рассеивающим или поглощающим энергию электрического поля стоячей световой волны, толщиной не более λ/2, где λ - длина светового излучения, и наклонно расположенным между упомянутой прозрачной подложкой и упомянутым когерентным источником светового излучения под углом θ, определяемым из соотношения sinθ = λ/2d, , где θ - угол между тонким частично пропускающим слоем и волновым фронтом световой волны, d - период интерференционных полос, система которых образуется в тонком частично пропускающем слое при воздействии стоячей световой волны, а упомянутый сенсорный слой имеет толщину не более λ/4.
При этом устройство для оптического детектирования присоединения вещественного компонента к сенсорному слою на основе биологического, химического или физического взаимодействия может быть снабжено дополнительным тонким частично пропускающим слоем, рассеивающим или поглощающим энергию электрического поля стоячей световой волны, толщиной не более λ/2, где λ - длина светового излучения, и наклонно расположенным между упомянутой прозрачной подложкой и упомянутым когерентным источником светового излучения под углом θ2, определяемым из соотношения sinθ2 = λ/2d2, где θ2 - угол между дополнительным тонким частично пропускающим слоем и волновым фронтом световой волны, d2 - период интерференционных полос, система которых образуется в дополнительном тонком частично пропускающем слое при воздействии стоячей световой волны, при этом дополнительный тонкий частично пропускающий слой выполнен с разворотом его плоскости по оптической оси устройства относительно плоскости основного тонкого частично пропускающего слоя.
Сущность изобретения поясняется чертежами, на которых представлены схема устройства для оптического детектирования присоединения вещественного компонента к сенсорному слою на основе биологического, химического или физического взаимодействия (фиг.1), схема расположения тонких слоев относительно друг друга при использовании оптических клиньев (фиг.2) и изображения двух систем интерференционных полос, проецируемых через светоделительный элемент на матричное фотоприемное устройство (фиг.3).
Устройство для оптического детектирования присоединения вещественного компонента к сенсорному слою на основе биологического, химического или физического взаимодействия (фиг.1) содержит оптически сопряженные сенсорный слой 1, расположенный на прозрачной подложке 2, когерентный источник 3 светового излучения, матричное фотоприемное устройство 4 и светоделительный элемент 5, расположенный между когерентным источником 3 светового излучения и сенсорным слоем 1, и оптически сопряженный с матричным фотоприемным устройством 4. Устройство дополнительно снабжено тонким частично пропускающим слоем 6, рассеивающим или поглощающим энергию электрического поля стоячей световой волны, толщиной не более λ/2, где λ - длина светового излучения, и наклонно расположенным между прозрачной подложкой 2 и когерентным источником 3 светового излучения под углом θ2, определяемым из соотношения sinθ2 = λ/2d2, где θ2 - угол между тонким частично пропускающим слоем 6 и волновым фронтом световой волны, d2 - период интерференционных полос 7, система которых образуется в тонком частично пропускающем слое 6 при воздействии стоячей световой волны, а сенсорный слой 1 имеет толщину не более λ/4.
Устройство для оптического детектирования присоединения вещественного компонента к сенсорному слою на основе биологического, химического или физического взаимодействия также снабжено дополнительным тонким частично пропускающим слоем 8, рассеивающим или поглощающим энергию электрического поля стоячей световой волны, толщиной не более λ/2, где λ - длина светового излучения, и наклонно расположенным между прозрачной подложкой 2 и когерентным источником 3 светового излучения под углом θ2, определяемым из соотношения sinθ2 = λ/2d2, где θ2 - угол между дополнительным тонким частично пропускающим слоем 8 и волновым фронтом световой волны, d2 - период интерференционных полос 9, система которых образуется в дополнительном тонком частично пропускающем слое 8 при воздействии стоячей световой волны, при этом дополнительный тонкий частично пропускающий слой 8 выполнен с разворотом его плоскости по оптической оси устройства относительно плоскости основного тонкого частично пропускающего слоя 6.
В качестве когерентного источника 3 светового излучения используют лазер. Для получения светового пятна большого диаметра устройство снабжено телескопом 10, расположенным между когерентным источником 3 светового излучения и светоделительным элементом 5. Тонкие частично пропускающие слои 6 и 8 могут быть нанесены на поверхности оптических клиньев 11 и 12. При этом углы φ1 и φ2 между плоскостью тонкого частично пропускающего слоя 6 и 8 и плоскостью сенсорного слоя 1 задают из соотношения sinθ = λ/2dn, где d - период интерференционных полос 7 и 9, n - показатель преломления материала оптического клина.
Выходные сигналы с матричного фотоприемного устройства 4 поступают на вход системного блока 13. Сенсорный слой 1 нанесен на прозрачную подложку 2 в виде тонкого покрытия, выполненного из материала, диэлектрическая проницаемость которого и/или коэффициент отражения на границе присоединения определяемого вещественного компонента изменяется в зависимости от концентрации указанного компонента.
Заявленный способ оптического детектирования присоединения вещественного компонента к сенсорному материалу на основе биологического, химического или физического взаимодействия осуществляется на настоящем устройстве следующим образом.
Световой поток от когерентного источника 3 светового излучения поступает на сенсорный слой 1, частично отражается от него и в виде стоячей световой волны поступает на тонкие частично пропускающие слои 6 и 8. За счет того что тонкие частично пропускающие слои 6 и 8 рассеивают или поглощают энергию электрического поля стоячей световой волны и расположены наклонно, при этом угол θ между плоскостью каждого тонкого частично пропускающего слоя и волновым фронтом световой волны задан из соотношения: sinθ = λ/2d, где λ - длина световой волны; d - период интерференционных полос, в них образуются две системы интерференционных полос. Так как плоскость тонкого частично пропускающего слоя 6 развернута по оси, совпадающей с направлением распространения светового излучения, относительно плоскости тонкого частично пропускающего слоя 8 на угол 90o, эти системы являются ортогональными. Полученная таким образом сетка из чередующихся темных и светлых полос проецируется с помощью светоделительного элемента 5 на матричное фотоприемное устройство 4. Выходные сигналы с матричного фотоприемного устройства 4 поступают на вход системного блока 13. При этом каждая клетка в сетке из чередующихся темных и светлых полос представляет собой выделенный канал для передачи оптической информации с соответствующего участка сенсорного слоя 1 на матричное фотоприемное устройство 4. Количество таких выделенных каналов определяется заданными периодами d1 и d2, систем интерференционных полос 7 и 9 (фиг.3).
Оптическое детектирование присоединения вещественного компонента к сенсорному материалу на основе биологического, химического или физического взаимодействия осуществляется на настоящем устройстве следующим образом. При присоединении вещественного компонента к сенсорному слою 1 на участке, соответствующем выделенной клетке, происходит изменение диэлектрической проницаемости материала сенсорного слоя 1 и/или коэффициента отражения на границе присоединения определяемого вещественного компонента в зависимости от концентрации последнего. Изменение диэлектрической проницаемости и/или коэффициента отражения приводит к изменению условий отражения светового излучения когерентного источника 3 светового излучения от сенсорного слоя 1, что в свою очередь приводит к изменению интенсивности стоячей световой волны на всем ее протяжении, т.е. от сенсорного слоя 1 до светоделительного элемента 5. Таким образом, за счет этих пространственных изменений происходит оптическое детектирование присоединения вещественного компонента к сенсорному материалу на основе биологического, химического или физического взаимодействия.
Предлагаемый способ оптического детектирования присоединения вещественного компонента к сенсорному материалу на основе биологического, химического или физического взаимодействия и устройство для его осуществления позволяют проводить многоканальное оптическое детектирование.
Claims (4)
1. Способ оптического детектирования присоединения вещественного компонента к сенсорному слою на основе биологического, химического или физического взаимодействия, включающий отражение с измененной интенсивностью световой волны от расположенного на прозрачной подложке сенсорного слоя с присоединенным вещественным компонентом, отличающийся тем, что на сенсорный слой с присоединенным вещественным компонентом, толщину которого выбирают не более λ/4 излучения, воздействуют стоячей световой волной, при этом в пространстве, занимаемом стоячей световой волной, создают систему интерференционных полос путем наклонного расположения между сенсорным слоем с присоединенным вещественным компонентом и источником света, тонкого частично пропускающего слоя толщиной не более λ/2, при этом угол θ между плоскостью тонкого частично пропускающего слоя и волновым фронтом световой волны выбирают из соотношения sinθ = λ/2d, где d - период интерференционных полос, эту систему интерференционных полос проецируют через светоделительный элемент на матричное фотоприемное устройство, при этом световой поток на сенсорный слой поступает от источника монохроматического излучения с длиной когерентности не менее удвоенного расстояния от сенсорного слоя до светоделительного элемента.
2. Способ оптического детектирования присоединения вещественного компонента к сенсорному слою на основе биологического, химического или физического взаимодействия по п. 1, отличающийся тем, что в пространстве, занимаемом стоячей световой волной, создают дополнительную систему интерференционных полос стоячей световой волны путем наклонного расположения между сенсорным слоем с присоединенным вещественным компонентом и источником света дополнительного тонкого частично пропускающего слоя толщиной не более λ/2, где λ - длина волны светового излучения под углом θ2, угол θ2 между дополнительным тонким частично пропускающим слоем и волновым фронтом световой волны определяют из соотношения sinθ2 = λ/2d2, где d2 - период дополнительной системы интерференционных полос, угол наклона θ1 между плоскостью основного тонкого частично пропускающего слоя и плоскостью сенсорного слоя с присоединенным вещественным компонентом задают относительно угла наклона θ2 в диапазоне 0-180o, плоскость дополнительного тонкого частично пропускающего слоя разворачивают по оси, совпадающей с направлением распространения светового излучения, относительно плоскости основного частично пропускающего слоя на величину угла Ω, лежащего в диапазоне 0,1-90o, а изображения полученных таким образом двух систем интерференционных полос проецируют через светоделительный элемент на матричное фотоприемное устройство.
3. Устройство для оптического детектирования присоединения вещественного компонента к сенсорному слою на основе биологического, химического или физического взаимодействия, содержащее оптически сопряженные сенсорный слой с присоединенным вещественным компонентом, расположенный на прозрачной подложке, когерентный источник светового излучения, матричное фотоприемное устройство и светоделительный элемент, расположенный между когерентным источником светового излучения и сенсорным слоем с присоединенным вещественным компонентом, отличающееся тем, что оно дополнительно снабжено тонким частично пропускающим слоем толщиной не более λ/2, где λ - длина волны светового излучения, наклонно расположенным между сенсорным слоем с присоединенным вещественным компонентом и когерентным источником светового излучения, под углом θ между плоскостью тонкого частично пропускающего слоя и волновым фронтом световой волны, определяемым из соотношения sinθ = λ/2d, где d - период интерференционных полос, а сенсорный слой имеет толщину не более λ/4.
4. Устройство для оптического детектирования присоединения вещественного компонента к сенсорному слою на основе биологического, химического или физического взаимодействия по п. 3, отличающееся тем, что оно снабжено дополнительным тонким частично пропускающим слоем, толщиной не более λ/ 2, где λ - длина волны светового излучения, наклонно расположенным между сенсорным слоем с присоединенным вещественным компонентом и когерентным источником светового излучения под углом θ2 между плоскостью тонкого частично пропускающего слоя и волновым фронтом световой волны, определяемым из соотношения sinθ2 = λ/2d2, где d2 - период интерференционных полос, при этом дополнительный тонкий частично пропускающий слой выполнен с разворотом его плоскости по оптической оси устройства относительно плоскости основного тонкого частично пропускающего слоя.
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
RU2002112251/28A RU2201588C1 (ru) | 2002-05-08 | 2002-05-08 | Способ оптического детектирования присоединения вещественного компонента к сенсорному слою на основе биологического, химического или физического взаимодействия и устройство для его осуществления |
PCT/RU2003/000205 WO2003095992A1 (fr) | 2002-05-08 | 2003-05-05 | Procede de detection optique de l'attachement d'un composant materiel a une couche sensorielle sur la base d'une interaction biologique, chimique ou physique et dispositif de mise en oeuvre correspondant |
AU2003234949A AU2003234949A1 (en) | 2002-05-08 | 2003-05-05 | Method for optical detection of a material component addition to a sensor layer using biological, chemical or physical interaction and device for carrying out said method |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
RU2002112251/28A RU2201588C1 (ru) | 2002-05-08 | 2002-05-08 | Способ оптического детектирования присоединения вещественного компонента к сенсорному слою на основе биологического, химического или физического взаимодействия и устройство для его осуществления |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
RU2201588C1 true RU2201588C1 (ru) | 2003-03-27 |
Family
ID=20255672
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
RU2002112251/28A RU2201588C1 (ru) | 2002-05-08 | 2002-05-08 | Способ оптического детектирования присоединения вещественного компонента к сенсорному слою на основе биологического, химического или физического взаимодействия и устройство для его осуществления |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
AU (1) | AU2003234949A1 (ru) |
RU (1) | RU2201588C1 (ru) |
WO (1) | WO2003095992A1 (ru) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN106769897B (zh) * | 2016-12-19 | 2019-07-09 | 重庆大学 | Pcf-lpg甲烷检测装置及传感器制作方法 |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
SU1561641A1 (ru) * | 1988-06-13 | 1994-05-30 | Ю.В. Мищенко | Способ регистрации порядка интерференции |
DE4200088C2 (de) * | 1992-01-04 | 1997-06-19 | Nahm Werner | Verfahren und Vorrichtung zum optischen Nachweis einer An- oder Einlagerung mindestens einer stofflichen Spezies in oder an mindestens einer dünnen Schicht |
DE19615366B4 (de) * | 1996-04-19 | 2006-02-09 | Carl Zeiss Jena Gmbh | Verfahren und Einrichtung zum Nachweis physikalischer, chemischer, biologischer oder biochemischer Reaktionen und Wechselwirkungen |
-
2002
- 2002-05-08 RU RU2002112251/28A patent/RU2201588C1/ru not_active IP Right Cessation
-
2003
- 2003-05-05 AU AU2003234949A patent/AU2003234949A1/en not_active Abandoned
- 2003-05-05 WO PCT/RU2003/000205 patent/WO2003095992A1/ru not_active Application Discontinuation
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2003095992A1 (fr) | 2003-11-20 |
AU2003234949A1 (en) | 2003-11-11 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP7322037B2 (ja) | レーザレーダ及びその作動方法 | |
JP2511057B2 (ja) | スペクトル分析方法及び装置 | |
CN101443647B (zh) | 同时具有多波长、多入射角和多方位角的光学测量系统 | |
WO2005119169A3 (en) | Beam profile complex reflectance system and method for thin film and critical dimension measurements | |
CA2430505C (en) | Optical detection device | |
KR102254596B1 (ko) | 결합 친화도의 검출시 사용하기 위한 장치 | |
GB2284259A (en) | Source collimating reflecting arrangement for a photoelectric encoder | |
JPH061217B2 (ja) | スペクトル分析方向指示装置 | |
RU2201588C1 (ru) | Способ оптического детектирования присоединения вещественного компонента к сенсорному слою на основе биологического, химического или физического взаимодействия и устройство для его осуществления | |
US6998600B2 (en) | Multifrequency ultra-high resolution miniature scanning microscope using microchannel and solid-state sensor technologies and method for scanning samples | |
JP3416941B2 (ja) | 2次元配列型共焦点光学装置 | |
WO2016068504A1 (ko) | 다기능 분광장치 | |
CN1026155C (zh) | 激光角速率传感器的读出设备 | |
FI95509C (fi) | Spektroskopinen menetelmä ja laite optisen säteilyn mittaamiseksi | |
US7508522B2 (en) | Reflected light measuring apparatus and reflected light measuring method | |
JP3068408B2 (ja) | 格子干渉型変位検出装置 | |
KR20040030066A (ko) | 분광법 및 이 분광법 (실시예) 을 수행하기 위한 장치 | |
RU2239157C2 (ru) | Интерферометр | |
JP3152330B2 (ja) | 格子干渉型変位検出装置 | |
CN220399731U (zh) | 用于光学检测系统的光路切换装置 | |
RU2190197C1 (ru) | Способ спектрометрии и устройство для его осуществления (варианты) | |
CA2100897A1 (en) | Polarization Detector | |
WO2023062957A1 (ja) | 光偏向装置、及び測距装置 | |
RU2217713C1 (ru) | Интерферометр | |
JP2890699B2 (ja) | 非接触式配向計 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
MM4A | The patent is invalid due to non-payment of fees |
Effective date: 20050509 |